【課題】基板の加工領域の位置に関する位置情報をアライメントマークに関連させて取り出し、アライメントと実際の加工とを切り離して基板を効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】基板（５；４２）は、基板（５；４２）に対して固定されたアライメントマーク（６ａ、６ｂ；１２ａ…ｄ；４４ａ…ｃ）が設けられ、基板（５；４２）を加工する前に、基板（５；４２）の加工領域の位置に関する位置情報がアライメントマーク（６ａ、６ｂ；１２ａ…ｄ；４４ａ…ｃ）に関連させて取り出された場合に、アライメントと実際の加工とを切り離すことによって効率よく製造することができる。この場合に、アライメントは、加工時にアライメントマーク（６ａ、６ｂ；１２ａ…ｄ；４４ａ…ｃ）の位置を１回だけ再測定し、加工領域の位置に関する保存された位置情報を使用することにより行うことができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面や表面近傍に存在する異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する異方性を有する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】光源１１からの光はビームスプリッタ１２で、略等しい仰角を有し、互いに略直交する２つの方位角からの２つの照明ビーム２１、２２となり、半導体ウェハ１００に照射され、照明スポット３、４となる。照明光２１、２２による散乱・回折・反射光の和を検出するとウェハ１００自身又はそこに存在する異物や欠陥が照明方向に関する異方性の影響を解消できる。これにより、異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】フォトインターラプターを、アームやギアなどといった可動部材の位置検出に応用する場合、位置検出の対象である可動部材に取り付けられる遮光板と、フォトインターラプターとのクリアランスを厳密に調整しないと、遮光不良が生じたり、遮光板とフォトインターラプターとが接触したりして、部材の位置を正確に検出することができないため、装置の組み立てや調整のためのコストが上昇するという課題があった。
【解決手段】フォトインターラプター６６６用の遮光板６６３１に、遮光部材６６３２を取り付けることによって、フォトインターラプター６６６における遮光不良を防止する。 （もっと読む）

【課題】従来の２次元画像処理装置と同様に、利用可能な処理項目を提示して３次元計測の処理のシーケンスを作成させるユーザインタフェースを持つ画像処理装置を提供する。
【解決手段】２次元画像処理の複数の項目、および３次元計測処理の少なくとも１つの項目が登録された画像処理装置において、ユーザによる処理項目の選択に応じて２つの画像Ａ０，Ａ１を用いた処理のシーケンスを設定して実行する。２次元画像処理の項目には、画像Ａ０に対し、あらかじめ登録されたモデル画像との一致の程度が高い領域７１の代表位置を特定する処理項目が含まれる。この処理項目を含むシーケンスに組み込まれる３次元計測用の項目は、画像Ａ１に対し、上記のモデル画像との一致の程度が高い領域８１の代表位置を特定する処理と、各領域７１，８１の代表位置を用いて３次元計測用の演算処理を実行する処理とを実行するように設計される。 （もっと読む）

【課題】高精度な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】本発明のエンコーダは、移動可能な格子スケールと、前記格子スケールに照射した光束の反射光または透過光を光電変換して、互いに位相差が異なるＮ相（Ｎは６以上の整数）の周期信号を生成する複数の受光素子と、前記受光素子で生成された各相の前記周期信号に対してＭ組（Ｍは２以上の整数）の係数群を乗算し、該係数群を乗算して得られた値の総和からＭ相の正弦波状周期信号を生成する増幅器とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で設置及び調整が容易であり、且つ、主ロープのテンション測定を自動で行うことができるエレベーターのロープテンション測定装置を提供する。
【解決手段】エレベーター昇降路２内を昇降するかご１と、かご１を昇降路２内で懸架する複数本の主ロープ４とを備えたエレベーター装置に、主ロープ４を側方から撮像するための撮像装置７を設置する。そして、この撮像装置７によって撮像された画像情報に基づいて、各主ロープ４の振動周波数を演算する。 （もっと読む）

【課題】 構成素子の配置誤差や画像情報検出装置自体の配置誤差に対して、パターンの検出位置精度が鈍感となる画像情報検出装置を提供すること。
【解決手段】 複数の感光ドラムを有するカラー画像形成装置の画像の重なりずれを検出する画像情報検出装置は、四角形の発光面を有する光源と、所定の方向に移動する像担持体と、四角形の受光面を有する受光手段と、前記光源の発光面と前記像担持体を共役関係にし、前記光源から出射された光束を前記像担持体上に形成された重なりずれ検出パターンに照射する照明光学系と、前記像担持体と前記受光手段の受光面を共役関係にし、前記重なりずれ検出パターンにて反射された光束を前記受光手段に導光する受光光学系と、を有し、前記発光面の前記像担持体上における共役像の輪郭を形成する発光面共役像直線部と前記受光面の前記像担持体上における共役像の輪郭を形成する受光面共役像直線部は平行である。 （もっと読む）

【課題】視野角を拡大した画像を生成すると共に、カメラ画像から同程度の視野角の被写体の距離を測定可能とした複眼カメラを提供し、新たな機能の実現や低コストで高性能なカメラ応用機器を提供する。
【解決手段】水平画角αの同一の２つのカメラａ、ｂのレンズ中心を含む平面上でカメラａ，ｂの光軸を水平画角αと同じ角度αで交差するように配置し、画像を合成することで、２αの視野のワイド画像を生成し、距離測定をできる。さらに同様の配置を行う４眼カメラの場合、垂直方向も２βの視野の画面を生成でき、距離測定範囲も同様に拡大できる。また背景画像を記憶し移動物・人物抽出部により背景の変化を記録することで、送信や記録の画像情報データ量を削減すると同時に忘れ物記憶や置き場所当てゲームなどができ、また動き出部情報から人物の体形情報を成長記録として残せ、また教師の動き情報との比較からダンス等の採点などの機能を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 計量皿に載置された被測定物の単位重量あたりに対する天秤ビームの他端部が変位する変位の量が小さくても、天秤ビームの他端部の変位を正確に算出することができる電子天秤を提供すること。
【解決手段】 一端部に被測定物１５が載置される計量皿９が連結され、他端部に電磁力発生装置６、７が連結される天秤ビーム４と、光束を出射する発光部２と、光束を受光する受光面２１、２２、２３、２４を有する受光部Ｒとを備える光学的位置センサ２０と、受光部Ｒの受光面２１、２２、２３、２４で受光された受光量情報に基づいて、天秤ビーム４の他端部の変位を算出する制御部５とを備える電子天秤１であって、受光部Ｒは、４個以上に分割された受光面２１、２２、２３、２４を有し、制御部５は、４個以上の受光量情報に基づいて、天秤ビーム４の他端部の変位を算出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、比較的安価で狭視野なテレセントリックレンズなどの光学系レンズを使用して高精度、かつ全体を見渡した測定を行うことが可能となる測定顕微鏡に関するものである。
【解決手段】本発明は、ステージ１上に載置された被検物Ｂを撮影するために光学系レンズ５を装着した被検物撮影カメラ２と、前記被検物Ｂ周辺を含んで撮影する周辺撮影カメラ４とを設置し、前記周辺撮影カメラ４で撮影した映像内に前記被検物撮影カメラ２で撮影した映像を出力した測定顕微鏡Ａである。 （もっと読む）

【課題】回転工具の刃先の三次元位置を非接触で測定することができ、繰り返し精度が高く、工具刃先形状の違いによる測定誤差が小さい工具位置測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】回転する回転工具１２の刃先１２ａを、Ｚ軸方向から見た回転刃先画像を撮像する回転刃先撮像工程Ｓ１１を有する。回転刃先画像から、回転軸αの概略位置の仮回転軸位置を原点として、Ｘ軸上及びＹ軸上の輝度分布を求める。原点及びその近傍のＸ軸方向の複数の位置であるＸ反転位置から、Ｘ軸方向に同一距離だけ離れた位置同士の輝度の差分を所定範囲でＸ軸方向に積分したＸ積分値を、Ｘ反転位置ごと算出する。同様にＹ軸方向に、同一距離だけ離れた位置同士の輝度の差分を積分したＹ積分値を、Ｙ反転位置ごと算出する。Ｘ積分値及びＹ積分値が最も小さくなるＸ積分値差最小位置及びＹ積分値差最小位置とで定まる座標を回転軸位置とする。 （もっと読む）

【課題】 投光系部品及び受光系部品が取り付けられた基板の剛性が低下してしまうことを防ぐ。
【解決手段】 投光器１１０及び受光器１２０が離間して取り付けられたベース基板１０２と、ベース基板１０２に取り付けられ、投光器１１０及び受光器１２０を収納するケース１０１と、を備え、ケース１０１は、投光器１１０を収納する投光器収納部１０１ｂと、受光器１２０を収納する受光器収納部１０１ａと、投光器収納部１０１ｂの開口周縁部１０１ｈと受光器収納部１０１ａの開口周縁部１０１ｇを連結する連結部１０１ｃと、を有し、連結部１０１ｃのベース基板１０２と対向する側の面には、投光器１１０に接続された電気ケーブル１４０を収納するための収納溝１０１ｆが形成されている。 （もっと読む）

本発明は，少なくとも第１クラッチ部材と，軸線方向に可動とした第２クラッチ部材とを備えた車両トランスミッション用の形状密着結合型クラッチ装置，特に噛合いクラッチ装置を提案する。本発明では，両クラッチ部材（１，２）の対応する係合爪部（３，４）を互いに形状密着的に係合させるため，軸線方向に可動としたクラッチ部材（２）を，両クラッチ部材（１，２）の速度差が所定値に達したときに切り替え可能とする。更に，両クラッチ部材（１，２）の対応する係合爪部（３，４）における係合に際して必要とされる位置差を探知するため，少なくとも１つの検出手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】計測能力を向上すること。
【解決手段】所定の移動面内を移動する移動体の移動情報を検出する計測装置であって、ピッチが互いに等しくなるように配置された格子をそれぞれ有し、当該格子の位相が互いにずれるように移動体に設けられた複数の回折格子と、光源からの光を複数の回折格子のそれぞれに向けて射出すると共に、複数の回折格子のそれぞれにおいて得られた回折光を個別に干渉させる光学系と、光学系を介して得られた干渉光を検出し、検出結果に基づいて移動情報を検出する検出装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】表示手段に表示された各要素の間の距離を容易に把握することができる画像測定機の提供。
【解決手段】画像測定機１は、撮像装置２と、制御装置３とを備える。制御装置３は、制御装置本体４と、表示手段５と、操作手段６とを備える。制御装置本体４は、撮像装置２にて撮像される被測定物の画像に基づいて、測定対象となる複数の要素の情報を取得する要素情報取得部４１と、要素情報取得部４１にて取得される各要素の情報に基づいて、各要素の画像を表示手段５に表示させる要素画像表示部４２と、操作手段６を介して各要素の画像における複数の要素が選択されると、選択された各要素を指定要素として設定する指定要素設定部４４と、指定要素設定部４４にて設定される各指定要素の間の距離を寸法線、及び寸法補助線で表示手段５に表示させる距離表示部４６とを備える。 （もっと読む）

【課題】表示手段に表示される各要素の画像に基づいて、多数の要素を容易に指定することができる画像測定機の提供。
【解決手段】画像測定機１は、撮像装置２と、制御装置３とを備える。制御装置３は、制御装置本体４と、表示手段５と、操作手段６とを備える。制御装置本体４は、撮像装置２にて撮像される被測定物の画像に基づいて、測定対象となる複数の要素の情報を取得する要素情報取得部４１と、要素情報取得部４１にて取得される各要素の情報に基づいて、各要素の画像を表示手段５に表示させる要素画像表示部４２と、操作手段６を介して各要素の画像における所定の範囲が選択されると、所定の範囲に含まれる各要素を指定要素として設定する指定要素設定部４４とを備え、指定要素設定部４４にて設定される各指定要素に基づいて被測定物を測定する。 （もっと読む）

【課題】位置感知光検出器を使用する線形変位センサを提供する。
【解決手段】位置感知装置は、ソース拡散光を光軸方向に沿って検出器に放射する光源と、光源と検出器のとの間に位置決めされ、光軸方向に垂直に移動する移動アパーチャ機構とを備える。移動アパーチャ機構は、ソース拡散光を角度的にフィルタリングして透過し、検出器上に測定スポットを形成する第１および第２の制限アパーチャを備える。検出器により出力される少なくとも１つの信号は、測定軸に沿った可動部材の位置を示す。測定スポットを形成する角度フィルタリング済みの光線の角度強度分布は、ソース光の角度強度分布よりも、測定軸に沿った位置に応じてより均一化している。結果として生成される、測定スポット内の測定範囲全体を通して均一な強度分布は、測定の線形性および精度を高める。 （もっと読む）

【課題】 投射レンズの光軸と、スクリーンの法線の傾きを精度よく検出し、調整者にわかりやすく傾き情報を伝達することができる画像表示装置を得ること。
【解決手段】 画像表示素子と、該画像表示素子により表示された画像をスクリーン上に投射する投射レンズと、該スクリーン上あるいは該スクリーンと同一平面上であって、該投射レンズの光軸と直交する第１方向で該投射レンズの光軸を挟んだ２つの測距点と、該投射レンズの光軸と直交し、該第１方向と直交する第２方向において、前記２つの測距点とは位置が異なる１つの測距点の、少なくとも３つの測距点の距離情報を各々検出する少なくとも３つの距離測定手段と、該３つの距離測定手段で得られる距離情報を表示する表示手段とを備えた画像表示装置であって、該３つの距離測定手段の光軸は、該投射レンズの光軸に対して、同じ角度だけ異なる方向に傾けて配置されていること。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面に発生したプローブの二次像とプローブの先端部との位置関係から、プローブの先端部とワーク表面との距離を測定する距離測定装置を提供する。
【解決手段】ＬＥＤランプ７からプローブ６に光を照射することによりワーク９の表面に現れる二次像とプローブ６とを撮像した画像において、プローブ６のエッジを特定するエッジ特定部１０１と、二次像の外縁に沿った直線を画像上に挿入する直線挿入部１０２と、上記エッジと上記直線との重なりを判定する重なり判定部１０３と、を備え、１以上のＬＥＤランプ７、撮像装置、及びプローブ６が、ワーク９の表面に対して一体に移動可能に保持されている。それゆえ、距離測定装置１００は、ワーク９の表面に発生したプローブ６の二次像とプローブ６のエッジとの位置関係から、プローブ６のエッジとワーク９の表面との距離を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】画面内での十字パターンの大きさや位置に制限を受けることなく、十字パターンの中心座標を検出することを可能にする。
【解決手段】十字パターンの中心検出装置１は、入力画像データに対し、所定以上の輝度を有する高輝度画素の数が所定数に満たない列にマスク処理を施す第１のマスク処理手段４ａと、第１のマスク処理手段４ａでマスク処理を施した画像データに基づき、十字パターン１１の行方向の中心位置Ｘを算出する第１の演算手段４ｂと、入力画像データに対し、高輝度画素の数が所定数に満たない行にマスク処理を施す第２のマスク処理手段４ｃと、第２のマスク処理手段４ｃでマスク処理を施した画像データに基づき、十字パターン１１の列方向の中心位置Ｙを算出する第２の演算手段４ｄとを備え、行方向及び列方向の中心位置Ｘ、Ｙを用いて十字パターン１１の中心座標を求める。 （もっと読む）