【課題】簡便に且つ精度上の制限を受け難い状態でコレットの位置を検出し得るコレット位置検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】基準座標系において、半導体チップＴのピックアップステージ４とボンディングステージ５との間の所定の座標に光センサ９を配置し、一方向にコレット８０を移動させながら、コレットまたはその装着部の縁部を光センサ９で検知することにより、２つの縁部の中心である第一中央位置の座標値を検出し、一方向に直交する方向に同様の移動及び検知を行なって２つの縁部の中心である第二中央位置の座標値を検出し、第一中央位置及び第二中央位置からコレット中心の検出座標値を求め、該検出座標値に基づいてコレットの設定座標値を補正することを特徴とするコレット位置検出方法及び該方法を実施するための検出装置。 （もっと読む）

【課題】軌間外の建築限界を支障しない箇所に１つのセンサを設置するだけで車輪のレールに対するアタック角を測定することができ、複数のセンサを用いることや、高い精度でのゼロ点調整が不要な、鉄道車両アタック角測定装置および方法を提供する。
【解決手段】レールを走行する鉄道車両の車輪Ｗが通過する位置が測定範囲となるように設置され、測定点を通過する前記車輪Ｗまでの距離を連続的に測定するセンサ部１２と、前記センサ部１２による測定結果を受信して解析する処理部１４と、を有し、前記処理部１４は、前記センサ部１２の測定結果から、前記車両の走行速度と、所定時間における車輪Ｗまでの距離の変化量を算出し、前記走行速度に前記所定時間を乗じた値と、前記所定時間における車輪Ｗまでの距離の変化量とから、その車輪の前記レールに対するアタック角を算出する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板上に小型マスク連続露光方式により露光して第１層を形成することができるカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】形成工程１０は表面に第１層が形成されていないガラス基板にアライメントマークをレーザマーキングにより形成する。塗布工程２０はアライメントマークが形成されたガラス基板の表面に感光性を有するレジストを塗布する。露光工程３０はレジストを塗布されたガラス基板を搬送しつつガラス基板の裏面側からアライメントマークを読み取ることにより、露光ヘッド３３、３４の位置を調整しながらガラス基板の表面を小型マスク連続露光方式により露光する。現像工程４０は露光されたガラス基板の表面を現像して第１層を形成する。 （もっと読む）

【課題】部品装着前の位置合わせに必要な装置誤差のデータを正確に取得して部品を高精度で基板に装着することができる部品実装装置及び部品実装方法を提供することを目的とする。
【解決手段】装着ヘッド１５のツール（部品用ツール２０又は治具用ツール２０Ｊ）の加熱を行うヘッド側加熱ヒータＨ１のほか、治具部品ＪＧが載置される治具部品載置部ＡＲ２の加熱を行う載置部側加熱ヒータＨ２を備え、治具部品載置部ＡＲ２の温度がヘッド側加熱ヒータＨ１によって加熱された治具用ツール２０Ｊの温度とほぼ同じ温度になるように載置部側加熱ヒータＨ２の制御を行う。 （もっと読む）

【課題】免震装置が設置されている場所のスペースが制約になることを抑え、高精度に検査する。
【解決手段】上部構造体に固定された上端板１１、および下部構造体に固定された下端板１２にはそれぞれ、水平方向に延びる水平部２０、および鉛直方向に延びる鉛直部２１を備える印体２２、２３が、これらの水平部および鉛直部が径方向の外側を向くように配設され、上端板および下端板に各別に配設されて上下で対をなす印体を一体に撮像し、得られた撮像データ３０上における印体の水平部および鉛直部を特定することで二次元直交座標系を決定し、該撮像データ上で印体が占める画素数に対する当該印体の実寸法の比率と、該撮像データ上における上下一対の印体同士の間の水平方向および鉛直方向それぞれの画素数と、に基づいて、これら上下一対の印体同士の水平方向および鉛直方向それぞれの距離を計測することにより、弾性体１３の変形を検査する。 （もっと読む）

【課題】監視対象領域の位置変動の測定精度を高める。
【解決手段】位置変動監視システム１は、予め決められた監視対象領域に設置された複数の監視指標２と、複数の監視指標２が撮像された撮像画像を用いて監視対象領域の位置変動を検出する位置変動監視装置３とを備える。位置変動監視装置３は、複数の監視指標２を予め設定された時間間隔で撮像する撮像部５１と、撮像部５１により時系列で得られる撮像画像を用いて複数の監視指標２の位置変位を求める画像解析部６１と、複数の監視指標２の位置変位があった場合に警告を報知するように報知装置４を制御する報知制御部６３とを備える。 （もっと読む）

【課題】線上での追尾点の動きを容易に把握することができるとともに、動画中での任意の時点の追尾点の状態を容易に観察することが可能な動画追尾装置、動画追尾方法および動画追尾プログラムを提供する。
【解決手段】複数フレームの画像データに基づいて表示部２０の画像表示領域Ｔａに画像が表示される。画像表示領域Ｔａの画像内で追尾点および追尾線が設定されると、設定された追尾線上での追尾点の位置を識別する追尾動作が各フレームの画像において実行される。また、複数フレームの画像における追尾動作により識別された追尾点の位置の時間変化を示す追尾結果時間変化線が表示部２０の画像表示領域Ｔｂに表示される。画像表示領域Ｔｂに表示される追尾結果時間変化線の時間軸方向の位置が現在表示位置バーＬにより指定されると、指定された位置に対応するフレームの画像が画像表示領域Ｔａに表示される。 （もっと読む）

【課題】放物線で送り出される材料流れの幅を測定する方法の提供。
【解決手段】第１の位置と第２の位置を通過するように移動しながら下方へ放物線で送出する材料流れの幅を測定する方法であって、所定の鉛直走査面に対して走査測定を行って複数の距離データを取得し、第２の位置で材料流れの光波測距手段に向かっている端縁における複数の点の座標データを第１の軌跡情報として取り出し、第２の位置で材料流れの光波測距手段に向かっている端縁における複数の点の座標データを第２の軌跡情報として取り出してから、第１の軌跡情報および第２の軌跡情報を用いて第１の軌跡情報に対応する第１の曲線および第２の軌跡情報に対応する第２の曲線を算出してから材料流れの幅を算出することを特徴とする、材料流れの幅を測定する方法。 （もっと読む）

【課題】位置合わせ測定の精度を向上する。
【解決手段】１つの実施形態によれば、位置合わせ測定方法では、測定光学系の測定領域内が２次元的に分割された複数の部分領域のそれぞれに位置合わせ測定用マークが位置するように前記位置合わせ測定用マークに対する前記測定領域の相対的な位置を順次にシフトさせながら前記位置合わせ測定用マークの位置合わせずれ量を予め測定して、前記測定光学系の特性ずれに関する装置要因誤差を前記複数の部分領域のそれぞれごとに求め、前記複数の部分領域ごとに求められた前記装置要因誤差に基づいて前記複数の部分領域のうち使用すべき部分領域を決定し、前記決定された前記使用すべき部分領域に前記位置合わせ測定用マークが位置するように前記位置合わせ測定用マークに対する前記測定領域の相対的な位置をシフトさせた状態で前記位置合わせ測定用マークの位置合わせずれ量を測定する。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサにより高さのみ及び高さと変位の両方を高精度に測定することができ、設置作業が容易な測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置において、５つ以上の高さ方向の絶対座標が分かるキャリブレーションターゲット２と、前記キャリブレーションターゲット２の画像を撮像し、撮像した画像の画像信号を出力するラインセンサ１と、前記画像信号に基づき画像情報を作成する入力画像作成部と、前記画像情報に基づきターゲット座標を検出するターゲット検出部と、前記ターゲット座標及び予め取得した絶対座標に基づきＤＬＴ法の係数を算出する係数算出部と、前記係数に基づき前記ラインセンサ１の姿勢を計算する姿勢計算部と、前記係数に基づき前記ラインセンサ１の焦点距離を計算する焦点距離計算部と、前記係数に基づき前記ラインセンサ１の位置を計算する位置計算部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ダムの堤体に配置したワイヤの水平方向および鉛直方向の変位を検出でき、ダム堤体の変位を精度良く検出できるダム堤体の変位測定装置を提供すること。
【解決手段】ダム堤体の変位測定装置１は、堤体内部に鉛直に配置された測定ワイヤ２と、測定ワイヤ２に固定された金属球２０と、金属球２０を撮影する２台のカメラ２１，２２および照明装置２３，２４と、各カメラ２１，２２で撮影された画像を処理する画像処理装置３０とを備える。カメラ２１，２２は、レンズの光軸が水平面内で互いに直交する位置に配置する。画像処理装置３０は、撮影画像データから金属球２０を認識して重心位置を検出し、その重心位置の変位によって、ダム堤体の変位を測定する。金属球２０を２台のカメラ２１，２２で撮影して重心位置を検出しているので、金属球２０の三次元方向の変位量を測定でき、ダム堤体の変位を精度良く検出できる。 （もっと読む）

【課題】記録媒体浮き検出の誤動作を防ぐことができる記録媒体浮き検出装置及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】検出ビームを出射、受光するための投光ユニット、受光ユニットを有する投光受光手段と、前記検出ビームの光路を平行移動させるための投光用平行平板と、を備え、前記投光用平行平板は、互いに平行な入射面と、出射面とを有する平板であり、前記検出ビームに垂直な回転軸を中心に回動することにより、前記入射面から入射した前記検出ビームを屈折させて前記出射面から前記検出ビームの光路を前記搬送面から離れる方向に平行移動させて出射するように構成され、所定のタイミングで、前記検出ビームを前記搬送面から離れる方向に平行移動させる記録媒体浮き検出装置。 （もっと読む）

【課題】反射面を通過した光束に発生する偏光成分による相対的な位置ずれなどの影響を実質的に受けることなく、被検面の面位置を高精度に検出することのできる面位置検出装置。
【解決手段】投射系は、第１反射面７ｂ，７ｃを有する投射側プリズム部材７を備えている。受光系は、投射側プリズム部材に対応するように配置された第２反射面８ｂ，８ｃを有する受光側プリズム部材８を備えている。第１反射面および第２反射面を通過した光束の偏光成分による相対的な位置ずれを補償するための位置ずれ補償部材をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】表示パネルと光学手段との相対的な位置精度を低コストかつ高速に検出できる、実装精度検査方法及びその検査方法を用いる検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象となる表示装置は、複数の画素群が配列された表示パネルと、画素群から複数のＮ（Ｎは２以上の自然数）視点に向けた画像表示を提供するための光学手段と有する。検査装置は、視点毎に異なる画像信号を有する検査パターンを表示装置に出力する画像出力手段と、表示装置から表示された検査画像の境界線分の傾きと位置を抽出する抽出手段とを備え、抽出手段が抽出した傾きと位置に基づいて表示パネルと光学手段との位置精度を検出する。 （もっと読む）

【課題】電力消費量が少なく高熱の発生を伴わずに太陽光に近い白色光で被測定物を照明できる照明手段を備えた二次元測定機を提供する。
【解決手段】
テーブル12に載置した被測定物Wに対して垂直を保持したままＸ−Ｙ方向に自在に移動する顕微鏡一体型ＣＣＤカメラ30と、顕微鏡光学系と同軸状の被測定物照明手段と、を備えた二次元測定機で、前記照明手段を、顕微鏡20の鏡筒21内のハーフミラー24と、ハーフミラー24に対応する鏡筒21側方延長位置に配置したクロスプリズム54と、該クロスプリズム54を取囲んで配置した赤,青,緑の単色ＬＥＤ52R,G,Bで構成し、単色ＬＥＤ52R,G,Bの発光がクロスプリズム54で合成されてハーフミラー24に導かれる。単色ＬＥＤ52R,G,Bの同時点灯で、太陽光に近い十分な光量の白色照明光が得られ、モニタ画面に映し出されるカラー画像が非常に見易い。照明用光源の電力消費量，発熱量が小さく、省エネルギー対策にも合致する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、画像処理による位置決め測定方法の安全かつ簡便化と操作容易化を図り、画像位置決め測定装置の小型化・高精度化を図ったものである。
【解決手段】 顕微鏡、オートフォーカスユニット、門型のステージ計測ユニット６、パソコン、防振台、直動基準スケール、直動基準スケール治具、回転用基準スケール、回転用基準スケール治具で構成される画像位置決め測定装置を用いて、計測したい製品を門型のステージ計測ユニットに載置し、基準スケールと基準スケール治具をステージの上に置き、ステージを動かしながら基準スケール治具で基準スケールとステージの平行出しを行ない、基準スケールに記載されている目盛線のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、それに基づきステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」などの測定をし、測定項目ごとに画像処理により連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定方法。 （もっと読む）

【課題】レンズの偏心を測定できる形状測定装置を簡易的に、かつ高精度に校正できる校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】校正用冶具１００は、中心が円周上を３等分し、計測用基準球を接するように設置できる３個の基準球２を備える。形状測定装置は、該校正用冶具を配置可能であり、被測定物の形状に関する情報を取得するための第１プローブと、校正用冶具に対して第１プローブと反対側に設けられ被測定物の形状に関する情報を取得するための第２プローブと、第１プローブ及び第２プローブにより、配置された計測用基準球を測定して第１測定結果及び第２測定結果を求める測定部と、第１測定結果及び第２測定結果を比較してシフトを算出するシフト量算出部と、を備える。校正方法は、上記形状測定装置を用いた測定ステップとシフト量等を算出するシフト量算出ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】オフセット量を正確かつ容易に取得する。
【解決手段】第１の位置情報に基づいて特定される位置Ｏｂ上にビーム照射部が位置するように移動させた後に、照射部をＸ方向（矢印Ａ１，Ａ２の向き）に移動させながらレーザービームを照射させたときのレーザービームの反射光量の変化、およびＹ方向（矢印Ｂ１，Ｂ２の向き）に移動させながら照射させたときの反射光量の変化に基づいてマーク２１の位置Ｍｘ１，Ｍｘ２，Ｍｙ１，Ｍｙ２を取得すると共に、位置Ｍｘ１，Ｍｘ２，Ｍｙ１，Ｍｙ２と、第２の位置情報とに基づいて基板保持機構によって保持されているオフセット量取得用基板におけるマーク２１の位置Ｍｂを特定し、位置Ｍｂ，ＯｂのＸ方向に沿った位置ずれ量Ｘｂ、およびＹ方向に沿った位置ずれ量Ｙｂを、照射部のＸ方向に沿った移動量、およびＹ方向に沿った移動量をそれぞれ補正するためのオフセット量として特定する。 （もっと読む）

【課題】画像式測定方法であっても、動的測定や１ｍｍ以下の微小変位を離れた位置からの完全非接触測定を可能とし、測定精度の推定を可能にする構造物変位量測定方法を提供する。
【解決手段】動的撮影を行い、基準画像と測定画像とを比較、画素変位量を算出し、撮影距離と撮影角度の情報をもとに、画素数で表わされた変位量を実スケールの単位に変換し、変位量を算出する。あわせ実測定誤差も算出する。現地の条件により、測定誤差が大きい場合には、撮影条件を変更する。大気揺らぎの影響を軽減するために、撮影距離の制約を導入、夜間撮影による測定を可能にする。また、測定データに大気揺らぎの影響がある場合、フィルタ処理などによる軽減を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 被検面の形状や被検光学系の透過波面を簡便かつ迅速に計測する。
【解決手段】 被検面の形状又は被検光学系の透過波面を計測する計測装置であって、光源から出射された光を参照光と被検光とに分割する分割部と、前記被検光を回折することにより分割し、当該分割された被検光を前記被検面又は前記被検光学系の瞳の複数の領域へそれぞれ出射する回折光学素子と、前記参照光と前記被検面又は前記被検光学系の反射面で反射され前記回折光学素子で再度回折された前記被検光とによって生じた互いに部分的に重なり合う複数の干渉縞を検出する検出器と、前記検出器によって検出された互いに部分的に重なり合った複数の干渉縞から、前記複数の干渉縞それぞれの情報を分離して取得し、前記取得されたそれぞれの情報から前記複数の領域それぞれにおける面形状又は透過波面を算出する処理部と、を備える。 （もっと読む）