本発明は、配置検出システム内で使用するための、光源によって放出された信号を検出するための光センサであって、この光センサは、ピクセル（２１）から構成されるピクセルライン（２０）を含む検出ラインを有するラインセンサと、ラインセンサの検出ラインに対して交差方向である光ストリップ上へと光源の光を映し出す光学的画像化手段（１７）であり、ラインセンサからある距離で配列され、光ストリップが検出ラインの方向において両端のそれぞれにストリップ境界遷移部を有する、光学的画像化手段（１７）とを備える。本発明の光センサは、検出ラインが、隣接するピクセル（２１）間にギャップがあるピクセルライン（２０）を含み、光センサは、ストリップ境界遷移部のうちの少なくとも一方がピクセル（２１）上へと少なくとも部分的に常に当たることを確実にする検出範囲を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】露光装置のチャンバーの内部と外部との間に温度差が存在する場合においても、より正確に投影光学系の投影倍率を補正する。
【解決手段】露光装置は、チャンバーの内部で原版のパターンを投影光学系によって基板に投影し該基板を露光する。露光装置は、前記原版の変形量を求めるための計測を行う計測部と、前記チャンバーの内部の温度における前記原版の形状を基準とする前記原版の変形量と前記原版が露光光を受ける時間との関係を示す情報と、前記チャンバーに搬入され露光に使用される前の状態において前記計測部が計測を行うことによって得られた計測値に基づいて決定される前記原版の露光前の変形量と、前記原版が露光光を受ける時間とに基づいて、前記原版の予測変形量を演算し、前記予測変形量を補正するように前記投影光学系の投影倍率を補正する制御部とを備える。 （もっと読む）

加工機械（１）中の板状アイテム（１０）に印刷される基準マーク（１２）を検出するための較正方法であって、加工機械（１）が、これら板状アイテム（１０）をコンベヤ（３０）の複数個の把持部材（３１）中に位置決めする挿入装置（２０）を有し、コンベヤ（３０）は、これら板状アイテムを連続して配置されたステーション（３，４，５）を通って安定的に単一ファイルで運搬し、挿入装置（２０）は、固定装置（２１）を備え、挿入装置（２０）は、制御ユニット（４０）によって制御され、制御ユニットは又、少なくとも１つの照明装置及び少なくとも１つのセンサ（７）を制御する、方法。この方法は、加工されるべき複数枚の板状アイテム（１０）のバッチから１枚の板状アイテム（１０）を選択するステップと、固定装置（２１）を作動させてこの板状アイテム（１０）を挿入装置（２０）に固定するステップと、挿入装置（２０）が板状アイテムに対して一連の往復運動を実行するようにするステップとを有する。照明装置及びセンサ（７）は、各往復運動により照明装置が板状アイテムに印刷されている基準マークに異なる照明を与え、センサ（７）が対応の読みを受け取って一連の読みを生じさせるよう制御される。板状アイテムのバッチ全体の加工中に用いられる較正済み照明のパラメータは、上述の発生した一連の読みに基づいて決定される。
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【課題】従来よりも小さなトナーパターンで尚且つリアルタイムでのトナー位置検出を可能としたトナー位置検出方法及び反射型光学センサを提供する。
【解決手段】反射型光学センサＯＳ１において、検出光を放射する発光部Ｅ１〜Ｅ２は副方向に交わる２方向に配置されて照射手段となる。Ｅ１とＥ２は副方向において平行ではない。Ｄ１〜Ｄ１０は受光部を示し、ＢＳＰ１、ＢＳＰ２は照射スポットを示している。副方向に交わる任意の２方向に配置した照射手段Ｅ１、Ｅ２のうち１方向に配列した照射手段の検出光に対する支持部材（転写ベルト）の反射特性と、該転写ベルト上に形成されたトナーパターンＤＰ１の反射特性との差を信号Ａ、残りの１方向に配列した照射手段の検出光に対する上記支持部材の反射特性と上記トナーパターンの反射特性との差を信号Ｂとするとき、上記信号Ａと信号Ｂとに基づいてトナーパターンの上記支持部材上における位置を演算的に検出する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で媒体の位置ずれを検出することができる透過型センサ、位置ズレ検出装置、位置ズレ検出方法、プログラム、及び記録媒体を提供する。
【解決手段】媒体のエッジ近傍を照射する発光部と、発光部からの光を受光する受光部と、媒体と受光部との間に配置され複数の開閉領域を有する開閉手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】車両に搭載するＰＣＳセンサの取り付け位置を容易に調整でき、その調整作業を行うための作業占有面積の縮小化を図ることができるＰＣＳセンサの電波軸調整装置及びその方法を提供する。
【解決手段】車両７に取り付けたＰＣＳセンサ２の上部に複数のレーザポインタを備えたポインタ照射用治具３を取り付ける。該治具３から照射したレーザポインタ９、１２ａ、１２ｂ、１３ａ、１３ｂを上方に配置したポインタ投影用スクリーン４に投影する。該スクリーン４には、正位置に取り付けたＰＣＳセンサの中心点を通る水平方向と垂直方向を示すＸ軸１４とＹ軸１５を予め表示しておく。該スクリーン４の上方に配置されたポインタ測定用カメラ５によりスクリーンの映像を撮影して位置情報を解析し、解析した情報をパソコン６に送信する。調整作業者は、パソコン画面上に表示された取り付けズレ量を観測しながら調整手段によりＰＣＳセンサ２の上下方向および左右方向の向きを調整する。 （もっと読む）

【課題】斑点の形状変化及び斑点の強度変動を避ける画像不変光斑点の捕獲装置と方法を提供する。
【解決手段】高コヒーレント光を用いて表面を照射し表面で散乱し、正反射角度から±１０°の方向で捕獲する。斑点捕獲装置が表面に対して相対運動する場合、センサーの視野角が制限されるように光制限モジュールを設計し、斑点は画像上を移動するだけでその形状と強度はほぼ一定に保持することで、高精度の光学パターン認識と位置決めが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 生タイヤの生産を停止させずに成型ドラム上のタイヤ構成部材を検査すること、及び検査した部材とそれを成型した生タイヤとを対応させることを可能にする。
【解決手段】 成型ドラム４にタイヤ構成部材５を貼り付けた後、成型者がジョイント合わせ等を行っている機械の待ち時間に、点観測式レーザ変位計１により、タイヤ構成部材５の表面迄の距離を測定する。その測定データと、予め測定しておいた成型ドラム４の表面迄の距離の測定データを基に、タイヤ構成部材５の断面形状データ及び貼り付け位置データを求める。求めたデータを、そのタイヤ構成部材５を用いて成型する生タイヤのバーコードとともにデータベース３に保存する。また、求めたデータとマスタデータとを比較処理部９で比較し、差が所定の閾値を越えた場合、比較結果出力部１０でアラームを出力する。 （もっと読む）

【課題】複数の光ビーム照射装置を用い、複数の光ビームにより基板の走査を行う際に、光ビーム照射装置のヘッド部の位置ずれによる描画品質の低下を防止する。
【解決手段】チャック１０の位置を検出し、チャック１０の位置の検出結果に基づき、ステージ５，７の移動を制御して、チャック１０を位置決めし、チャック１０に設けられた受光手段５１により、光ビーム照射装置２０のヘッド部２０ａから照射された光ビームを受光する。受光した光ビームから、各光ビーム照射装置２０のヘッド部２０ａの位置ずれを検出する。各光ビーム照射装置２０のヘッド部２０ａの位置ずれの検出結果に基づき、各光ビーム照射装置２０のＤＭＤ駆動回路２７へ供給する描画データの座標を補正し、補正した座標の描画データを、各光ビーム照射装置２０のＤＭＤ駆動回路２７へ供給する。 （もっと読む）

【課題】鮮鋭度が極大値となる対象が複数あっても、測定対象の合焦点位置を他と誤認せずに得る合焦点方式、基板エッジの座標測定方法及び測定用マークの距離測定方法を提供する。
【解決手段】鮮鋭度の各極大値と、予め得らた測定対象の極大値とを対比し、得らた測定対象の極大値と合致した各極大値中の極大値の位置を合焦点位置とする。閾値を超えた鮮鋭度の検出数が予測数に満たない場合、閾値を任意のステップで下げ、或いは、最小閾値まで閾値を下げる。対象が基板エッジ２と面取りコーナー１であり、高い極大値Ｎｏ２の位置を基板エッジの合焦点位置とする。上記合焦点方式を用いた基板エッジの座標測定方法及び測定用マークの距離測定方法。 （もっと読む）

【課題】精度の高い位置計測に有利なパターン形成技術を提供する。
【解決手段】パターン形成方法は、膜の形成、第１レジストを塗布する第１塗布、前記第１レジストを露光する第１露光、前記第１レジストを現像する第１現像および前記膜をエッチングする第１エッチングを含む第１リソグラフィー工程により少なくとも１つの第１エッジ対を含む第１エッジ群を前記膜に形成する第１工程と、第２レジストを塗布する第２塗布、前記第２レジストを露光する第２露光、前記第２レジストを現像する第２現像および前記膜をエッチングする第２エッチングを含む第２リソグラフィー工程により少なくとも１つの第２エッジ対を含む第２エッジ群を前記膜に形成する第２工程とを含み、前記第１エッジ対は、第１対称軸に関して対称な位置に配置された２つの第１エッジで構成され、前記第２エッジ対は、第２対称軸に関して対称な位置に配置された２つの第２エッジで構成される。 （もっと読む）

【課題】 高精度で機械的な駆動を行う機構の基準位置を検出する。
【解決手段】 基準位置検出装置は、発光手段と、前記発光手段からの光を受光する受光手段と、前記発光手段からの光を遮光する遮光手段と、前記遮光手段によって前記発光手段からの光が遮光されていない開口状態において、前記発光手段からの光の発光量を変化させることより、前記遮光手段からの出力が予め定められた基準となるときの前記発光手段からの光の発光量を決定する決定手段と、前記決定手段によって決定された発光量で前記発光手段を発光させることにより、機械的に駆動を行う機構の基準位置を検出する検出手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】車両の車体に対するホイールの位置および方向を、車両の挙動に対する影響を実質的に少しも受けることなく、きわめて正確な方法で測定すること。
【解決手段】本発明によれば、少なくとも１つのカメラ・ユニット１を有する光学測定システムを用いて、車両の第１の要素３の、この第１の要素３が移動可能に取り付けられた車両の第２の要素２に対する位置および／または方向を測定する方法であって、一直線上にない少なくとも３つの基準点４、５、６をこれらの要素の一方３に設け、これらの基準点４、５、６をカメラ・ユニット１で感知する装置および方法が提供される。前記カメラ・ユニット１がもう一方の要素４に対して固定して取り付けられ、前記基準点４、５、６の位置が、前記光学測定システムを用いて、これらの基準点４、５、６を設けた要素３の連続する位置および／または方向のために測定される。 （もっと読む）

【課題】光学系の組み立て調整が容易で、かつ、スケール部に異物等が付着した際の光量低下を抑えることが可能な光学式変位測定装置を提供する。
【解決手段】光学式変位測定装置１Ａは、スケール部１１Ａの回折格子１１Ｔで回折された２つの１回回折光Ｌｂ１，Ｌｂ２を再度回折格子１１Ｔに照射する反射光学系１６を備える。反射光学系１６は、直角を３つ合成した頂点を持つ三角錐のプリズムで構成されるマイクロコーナーキューブプリズムが、縦横に並べて配列されるマイクロコーナーキューブプリズム集合ミラー１７ａ，１７ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】好適な立体視３次元光学式測定システムおよび方法を提供すること。
【解決手段】立体視３次元光学式測定システム（１００）および方法は、表面形状の不連続性に関して高速かつロバストな態様で被検物（１２０）上の物理的フィーチャ（１２９）の位置を正確に測定する。開示された実施形態は、２つ以上の視点から、基点マーキング（１９９）を載せた実質的に透過性の基点プレート（１９０）を通して被検物（１２０）を撮像し得、カメラ（１１１、１１２）視野角、および被検物（１２０）上のフィーチャと１つ以上の基点（１９９）との間の見掛け相対距離は、フィーチャ位置の正確な計算を可能にし得る。 （もっと読む）

【課題】比較用のデータをあらかじめ準備しておくことなく、薄肉部位の検出が可能な薄肉部位検出方法及び薄肉部位検出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、壁部表面において厚さが一定の部位ｎａと厚さが不明な部位とに測定点ｍｐがそれぞれ指定され、加熱時及び前記自然冷却時のうち少なくとも一方において測定点毎に温度が時系列に測定され、測定点ｍｐ毎の時間と対応した温度データの温度データ群が取得される。この取得された厚さが一定の部位ｎａに指定された測定点ｓｐにおける基準データ群と、厚さが不明な部位に指定された測定点ｃｐにおける比較データ群との類似度が導出されこの類似度に基づいて基準データ群が取得された測定点ｓｐでの壁部に対する比較データ群が取得された測定点ｃｐでの壁部の薄さの度合いが導出されることで薄肉部位ｔａが検出されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で移動方向を異にする２つの移動方向の移動を検出し、各測光系の配置および測定動作において、相互の干渉を低減する。
【解決手段】波長域において互いに重なり部分を持たない２つの測光波長域を用い、一つの測光波長域によって２つの異なる移動方向の一方の移動方向を検出し、別の測光波長域によって２つの異なる移動方向の他方の移動方向を検出するものであり、各測光波長域を２つの移動方向の各移動方向に対応させる。第１の測光系と第２の測光系とは、それぞれの測光波長域に重なる波長域がないため、各移動方向の検出において互いの測光系を干渉することなくそれぞれ独立して検出する。また、移動検出に用いる部材の点数を減少させると共に装置サイズが大きくなることを抑制する。 （もっと読む）

【課題】測定のためのコストを抑えつつ、所定方向に移動するステージの真直度を容易かつ正確に測定する技術を提供する。
【解決手段】上面に直線状のパターン２１を有するパターン体２を、ステージ１の第１位置ＰＯＳ１に固定した場合と、ステージ１の移動方向（＋Ｙ方向）と平行に所定長さ分ずらした第２位置ＰＯＳ２に固定した場合とのそれぞれについて、パターン体２をＹ軸方向に移動させたときの、各地点におけるパターン２１のＸ軸方向の中心位置を測定する。そして、得られた測定結果Ｄ１，Ｄ２の差分をとることにより、パターン２１自体のＸ軸方向の変位量を相殺し、移動中のステージ１の各位置におけるＸ軸方向についての位置の変化量を算出する。さらに、差分結果を累積加算することにより、（＋Ｙ）方向に移動するステージ１のＸ軸方向についての各地点における変位量（移動誤差、真直度）を算出する。 （もっと読む）

【解決手段】バーコード読み取り装置および方法であって、そこではプローブ光のスペクトルがまず空間にフーリエ変換され、バーコード上に導かれ、そしてフーリエ変換され、スペクトル的に符号化されたバーコードパターンを時間ドメインの波形に変換する。ある実装では、スペクトルドメインから空間ドメインへのフーリエ変換は分散要素によって行われ、一方でスペクトル的に符号化されたバーコードパターンから時間ドメインの波形へのフーリエ変換は群速度分散（ＧＶＤ）によって行われる。時間的に符号化されたバーコードパターンは光ディテクタによって検出され、デジタイザによってデジタル化され、およびデジタル信号プロセッサによって解析される。本発明は、１および２次元バーコードの読み取りや変位検知や表面測定や幅およびギャップの測定やフローサイトメトリや光メディアの読み取りや存在または非存在検出や他の関連分野を含む複数の分野に適用可能である。 （もっと読む）

【解決手段】部品の物理的特徴を計測するシステムと方法であって、システムは光源、検知装置、反射装置、及び保持マウントを有している。方法は、部品が保持マウント内に配置されるように部品をシステムに連結するステップと、システムを動作させて光源が光源光路に沿って伝搬するコリメート光線を放射するようにするステップと、を有し、コリメート光線は、センサ光路に沿って伝搬するように反射され、部品の影を生成するように部品に入射し、検知装置はデータを影に対応して生成する。画像データは部品に対応して結果データを生成するために処理され、結果データは平滑化アルゴリズム、機能サイズアルゴリズム、センタリングアルゴリズムの少なくとも１つにさらに対応している。 （もっと読む）