【課題】 光学部材の変動の影響を抑制して被検面の面位置を高精度に検出する。
【解決手段】 面位置検出装置は、第１パターンからの第１の光と第２パターンからの第２の光とを被検面（Ｗａ）へ入射させて、被検面に対して第１パターンの中間像および第２パターンの中間像を投射する送光光学系（４〜１０）と、被検面で反射された第１の光および第２の光をそれぞれ第１観測面（２３Ａａ）および第２観測面（２３Ｂａ）へ導いて、第１パターンの観測像および第２パターンの観測像を形成する受光光学系（３０〜２４）と、第１観測面および第２観測面における第１パターンの観測像および第２パターンの観測像の各位置情報を検出し、各位置情報に基づいて被検面の面位置を算出する検出部（２３〜２１，ＰＲ）とを備えている。送光光学系は、例えば第２パターンの中間像を第１パターンの中間像に対して所定方向に反転された像として投射する。 （もっと読む）

【課題】測定を迅速に実行可能な画像測定装置、画像測定方法、及び画像測定プログラムを提供する。
【解決手段】画像測定装置は、所定の幅を有して線状に延び且つ所定位置に段差が設けられたリード部を有するワークの画像を測定する。画像測定装置は、リード部の画像ＩＭ１１を取得する画像取得部と、リード部の画像ＩＭ１１に基づきリード部の輪郭を含む領域（第１領域）ＡＲ１を抽出する第１抽出部と、リード部の画像ＩＭ１１に基づき段差を含む領域ＡＲ２１（第２領域）を抽出する第２抽出部と、領域ＡＲ１及び領域ＡＲ２１に基づきリード部における段差の位置ＡＲ３を特定する特定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】帯状部材の幅方向位置や幅寸法等を正確に測定することのできる帯状部材の幅方向端部位置測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】この帯状部材の幅方向端部位置測定装置は、各ベルト部材２Ｂ〜４Ｂの幅方向端部における厚さ方向の輪郭データを検出し、輪郭データ内でベルト部材の幅方向端部位置を測定するためのベルト部材厚さ方向の測定位置（図４における一点鎖線の位置）を輪郭データに基づいて設定し、設定された測定位置におけるベルト部材の幅方向端部位置（輪郭線の位置）を輪郭データごとに測定することから、ベルト部材の幅方向端部位置を輪郭データごとに確実に測定することができ、また、輪郭データをベルト部材の長さ方向に連続的に検出することから、ベルト部材の長さ方向の全体に亘ってベルト部材の幅方向端部位置を確実に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】スループットを向上できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、露光光が照射される第１位置を含む第１領域を有する露光ステーションと、基板の位置情報を計測するための第２位置を含み、第１領域と異なる第２領域を有する計測ステーションと、第１領域及び第２領域を含む所定領域内で基板を保持しながら移動可能な移動体と、移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムとを備える。エンコーダシステムは、移動体に配置されたエンコーダヘッドと、露光ステーションに配置される移動体のエンコーダヘッド、及び計測ステーションに配置される移動体のエンコーダヘッドのそれぞれと対向可能な位置に配置されたスケール板とを有する。 （もっと読む）

【課題】レーザー光スポットの変位を的確に目測することができるレール変位検出器を提供する。
【解決手段】本発明は、敷設されたレールの変位を測定するレール変位検出器であって、レーザー発信部が取り付けられると共に、本体をレールに固定するための固定部と、を有するレーザー発信部取付部材と、前記レーザー発信部から投光されるレーザー光を集光する凸レンズ３３１と、この凸レンズ３３１によって集光されたレーザー光を受けるターゲット３０１と、本体をレールに固定するための固定部（２１１、２１２）と、を有するターゲット部取付部材２００と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報の計測精度の低下を抑制できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】エンコーダシステムを含む位置計測装置は、第１面及び第１面と反対側の第２面を有するグリッド板と、移動体に配置され、第１面と対向するエンコーダヘッドと、グリッド板の温度を調整する温度調整装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】個々間で厚さにばらつきのある薄膜部材のパターンマッチングを安定して行うことができる画像認識装置及び画像認識方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光源部８は波長の異なる照明光Ｌを選択的に切り換えて出射し、照明光学系９は光源部８から出射された照明光Ｌを認識マークＭ（薄膜部材）に導いてこれを照明する。制御部１０は、光源部８から出射される照明光Ｌの波長を切り換えて異なる波長の照明光Ｌで認識マークＭを照明しながらカメラ７ｅで認識マークＭの撮像を行うとともに、認識マークＭの撮像に用いている照明光Ｌの波長に応じた認識マークＭのテンプレート画像を記憶部１１から読み出し、撮像によって得られた認識マークＭの画像と記憶部１１から読み出したテンプレート画像とを比較してパターンマッチングを行う。 （もっと読む）

【課題】ＴＩＳの平均値以外の重ね合わせ測定精度に関わる指標も考慮し、総合的に最適な焦点位置を決定できる重ね合わせずれ量算出方法を提供する。
【解決手段】重ね合わせずれ量の相関係数、基板面内のTISの３σ、繰り返し測定再現性を考慮し、（焦点位置決定値）＝−（相関係数）＋（基板面内TISバラツキ）＋（繰り返し測定再現性）と、上記焦点位置決定値を定義する。この焦点位置決定値を測定マークに対する光学顕微鏡の最適な焦点位置決定指標として用いる。この焦点位置決定値が最小となる焦点位置を最適な焦点位置と決定し、その最適焦点位置における基板面内のTISの平均値を個々の重ね合わせずれ量に対して補正を行う。 （もっと読む）

【課題】回転軸の軸方向の変位（アキシャルモーション）の測定精度を向上させることができる回転軸の軸方向変位測定装置、スケール部および角度スケール部を提供すること。
【解決手段】アキシャルスケール吸収部５２は、主軸２の外周面の円周方向に連続して凹設された断面Ｖ字形状の溝であり、アキシャルスケール反射部５３は、主軸２の外周面の円周方向に連続して延設される円筒面である。そのアキシャルスケール吸収部５２とアキシャルスケール反射部５３とは交互に配設されている。よって、主軸２が軸心Ｔを中心として回転している状態において、アキシャルスケール吸収部５２でレーザー光線Ｌ１が吸収または拡散されて、アキシャルスケール反射部５３でレーザー光線Ｌ１が反射回折される。その反射回折されたレーザー光線Ｌ１を照射部３１で測定することで主軸２の軸心Ｔ方向の変位を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】光スポットの変位を検出することを原理とする光学式センサにおいて、アナログ型のものは測定範囲が狭い、ダイナミックレンジが狭いなどの難点があり、ディジタル型のものは処理が面倒で、応答が遅いという難点があった。
【解決手段】光スポットの光強度を単独のフォトダイオードで検出することを基本として、受光素子前に光スポットよりピッチの短い格子を置くことでディジタル信号を得ると共に、広範囲の光スポット変位に対応できるアナログ型の検出器を併用する。 （もっと読む）

【課題】精度の高い測定を優先した距離測定を簡単な操作で行なうことができる距離測定装置及びそのプログラムを提供する。
【解決手段】画像を取得すると、特徴点評価値が所定の範囲内である点を特徴点として検出し、得られた特徴点を示す情報を●マーク（６０１）を、現左右カーソルにて選択している特徴点は■マーク（６１０）を付けてＬＣＤモニタ４上に基準画像とともに図６（ａ）のように表示し、表示された特徴点を示す情報から１つを左右カーソルの移動及びセットキーの操作により選択すると図６（ｂ）で示されているように第１の選択点６２０として表示する。次に検出する特徴点評価値が所定の範囲内を変更し、変更した範囲内で検出された特徴点を●マーク（６０２）にて図６（ｃ）のように表示させ、第１選択点と同様に第２選択点６３０を選択し、図６（ｄ）のように表示させ、選択された２点間の距離を測定し、図６（ｅ）のように表示させる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成にできるとともに、コスト低減を図ることができ、高速処理し得る検出装置及び検出方法を提案する。
【解決手段】変位検出部３で検出した受光位置の変位に基づいて天井Ｃが床Ｆに対して変位したか否かを検出できるので、撮像手段による撮像や、コンピュータを用いた画像処理技術等が不要となり、その分だけ構成を簡易にできるとともに、コスト低減を図ることができる。また、この検出装置１では、変位検出部３で受光位置の変位を検出するだけで、天井Ｃが床Ｆに対して変位したか否かを検出できることから、従来のようなコンピュータを用いた画像処理技術等を省くことができ、かくしてその分だけ従来よりも高速処理し得る。 （もっと読む）

【課題】 書状に接触することなく、その厚さなどの形状を検出できるようにする。
【解決手段】 書状Ｐを搬送路２２に沿って挟持搬送する搬送ベルト２１ａ、２１ｂと、搬送路２２を介して所定間隔を存して配置され、搬送される書状Ｐの両面部との間の距離を光学的に非接触で測定する一対の非接触式の距離センサ２２ａ、２２ｂと、この距離センサ２２ａ、２２ｂの測定値に基づいて書状Ｐの形状を検出する算出部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 簡便な方法により試験片の変位の測定精度を高くすることができる材料試験装置に用いる変位測定装置及び変位測定方法を実現する。
【解決手段】 変位測定装置３０は、ベース１２と一体的に設けられているスケール３３を基準とし、荷重検出部材１６の変位Ｌ１の影響を受けない第１検出ヘッド３１の移動量と、荷重検出部材１６の変位Ｌ１が加算された第２検出ヘッド３２の移動量とを検出するため、材料試験装置１０に起因するベース１２の変位やバッククラッシュなど誤差要因と荷重検出部材１６の変位Ｌ１の影響とを排除し、試験片Ｓの変位Ｌ２を精度良く測定することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な手法で、表示画素の位置のずれ量を求める画素ずれ測定装置、画像表示装置及び画素ずれ測定方法を提供する。
【解決手段】表示画素のずれ量を測定する画素ずれ測定装置２００は、画素のずれ量が互いに異なる複数のパターン画像を構成する各パターン画像の表示画素のずれ量に対応した測定値を取得する測定部と、前記各パターン画像に対応する測定値に基づいて前記複数のパターン画像の１つを選択し、選択したパターン画像に対応したずれ量を求める画素ずれ量決定部とを含む。 （もっと読む）

【課題】 複雑な位置合わせであっても精度良く行えるようにすること。
【解決手段】 支持部材１１０に取り付けられた光発生部１０１は、光源１０２が発生した光を、コーンミラー１０３の頂部１０４を含む反射部１０５によって直角方向に反射し、放射状の測定用光１３０を出力する。光センサ１０７は、円柱状穴１１６を有する対象物１１５の円柱状穴内壁面１０９で反射した測定用光１３０を検出して対応する検出信号を出力する。制御部１２１及び制御装置１１４は、前記検出信号に基づいて円柱状穴１１６の中心軸と支持部材１１０の中心軸との距離が許容値内になるように支持部材１１０と対象物１１５の少なくとも一方の位置を制御し、両者の位置合わせが終わった後、チャック１２０を制御して爪部材１１１〜１１３を円柱状穴内壁面１０９に当接させ、チャック１２０によって対象物１１５を保持する。 （もっと読む）

【課題】物体に応答して符号化された検知結果を取得する。
【解決手段】装置は、ＩＣ上の光検知セルの第１および第２の組を含む光検知セルの配列であって、第１の組は物体が検出領域内にあるとき１組の識別可能な物体の各々からの放射光を光検知し、第２の組は符号化／検知領域内の物体からの放射光を光検知する、配列と、識別可能な物体のサブセットの、検出領域内への、検出領域から符号化／検知領域内への、および符号化／検知領域内の相対運動をもたらす相対運動要素と、第１および第２の光検知セルの組からの光検知された量を読み出し、検出領域内の物体のサブセットのうち１つから放射する光を示す第１の組からの光検知された量に応じて、第２の組からの光検知された量からデータを得る回路要素であって、データが、符号化／検知領域内の物体の相対運動から生じる情報を有する少なくとも１つの時変波形を示す、回路要素と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ユーザにかかる負担の増大を抑制しつつ、画像内の小領域のみで画像間の位置合わせを精度よく行うことが可能な欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】複雑領域探索部１３４は、正解パターン画像から探索した小領域の位置およびその小領域の画像を位置合わせ用パターンとして位置合わせ用パターン保存部１３５に保存し、位置合わせ部１３６は、位置合わせ用パターンとして保存された小領域の画像を位置合わせ用パターン保存部１３５から読み出し、検査対象画像と正解パターン画像との小領域間での画像の位置ずれ量に基づいて、検査対象画像と正解パターン画像との位置合わせを行い、欠陥検出部１３７は、正解パターン画像保存部１３２に保存された正解パターン画像と、位置合わせ部１３６にて位置合わせのための処理が行われた検査対象画像との比較結果に基づいて、検査対象の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置において使用されるアラインメントシステムを提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態によるリソグラフィ装置が、基板またはレチクルを位置合わせするためのアラインメントシステムを備える。アラインメントシステムは、基板上またはレチクル上のアラインメントマークを照明する放射源を備え、アラインメントマークは、最大長シーケンスマークまたは多重周期的粗アラインメントマークを含む。アラインメントマークから生成されるアラインメント信号が、検出システムにより検出される。プロセッサが、アラインメント信号に基づいて基板またはレチクルのアラインメント位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】 格子またはパターンの製造が容易である測定システムを提供する。
【解決手段】 測定システムは、構造に対するセンサの第１位置量を決定するために測定システムの構造上に配置される第１パターンと協動するように配置され、かつ構造に対するセンサの第２位置量を決定するために構造上に配置される第２パターンと協動するように配置されるセンサを含み、前記第１および第２パターンが、構造の異なる表面上に配置される。 （もっと読む）