【課題】層構造を有する被計測物体内の中間層を基板とした構造情報を視覚的に判断する。
【解決手段】処理部２２は、光構造情報検出部２２０、光立体構造像構築部２２１、中間層抽出手段としての中間層抽出部２２２、層平坦化手段としての平坦化処理部２２３、構造像変換手段としての光立体構造像変換部２２４、領域情報抽出手段及び水平断面画像生成手段としての水平断層画像生成部２２５、画像合成手段としての画像合成部２２６、表示制御手段としての表示制御部２２７及びＩ／Ｆ部２２８を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】取得画像及びＣＡＤデータをリンクして、拡散補償により検査の正確性を向上させ、欠陥タイプを特徴つける検査システムを提供する。
【解決手段】３次元距離を決定する装置は、その物体の２次元ピクセル実画像を取得し（１０２）、３次元ＣＡＤモデルを用いてその物体の模擬画像を生成し（１０４）、模擬画像と２次元ピクセル実画像とを比較して特定費用関数を決定し、特定費用関数が所定値以下になるまでその模擬画像を変更する。ＣＡＤモデルと２次元ピクセル画像との間の相対位置の相互調整に従って、その模擬画像を再配置し（１１０）、再配置された模擬画像を用いて３次元距離スケールマトリクスを生成し（１１２）、物体のピクセル画像上の２次元距離と３次元距離スケールマトリクスとを用いて実画像の表面上にある選択されたピクセル間の距離を測定し、表示する。 （もっと読む）

【課題】表面の一部に傾斜面あるいは曲面が存在する計測対象物体、あるいは傾いた計測対象物体に対して高精度な計測を可能とする光学式計測装置を提供する。
【解決手段】遮光部２１２は、拡散反射光５７の受光中心軸５６に対する入射角度範囲を規定するように構成される。すなわち開口２１２ａの径によって、拡散反射光５７が遮光部２１２の開口２１２ａを通過するときに拡散反射光５７の進行方向と受光中心軸５６とがなす最大角度θが規定される。また、投光部２０２は、計測対象物体５の表面５Ａで正反射された投光ビーム（すなわち反射光ビーム５６）のうちレンズ部２１１により集光される成分について、受光中心軸５６上での集光位置Ｐが受光中心軸５６上における遮光部２１２の範囲内に含まれるように投光ビーム５３を投光する。 （もっと読む）

【課題】金属板の複数の測定点に対する腐食深さの測定作業を効率的に行い、かつ金属板に変形が生じている場合でも、変形の影響により金属板に対する厚さ検出の精度が低下することを防止する。
【解決手段】腐食深さ測定装置１０では、金属板１２０の表側面における複数の測定点がレーザ光Ｂ₁の反射点を順次通過し、かつ裏側面における測定点と一致する複数の対向点がレーザ光Ｂ₂の反射点を順次通過するように、金属板１２０を保持したホルダ６２をＸ方向又はＹ方向に沿って移動させる。これにより、レーザ変位センサ７６により複数の測定点１３６までの距離を順次検出でき、かつレーザ変位センサ７８により対向点までの距離を順次検出できるので、複数の測定点における金属板１２０の厚さを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】管状披検体内壁の全周観察・計測時に側方視野を持つ光切断計測装置の視野方向を容易に選択操作可能とすることで、管状被検体内壁の傷部分の観察や計測の操作性を著しく改善した光切断法を用いた計測装置を提供する。
【解決手段】
挿入部の挿入方向軸に対して前方視野を有するように装着された直視撮像手段と、挿入方向軸に対して挿入方向軸の周りを回転可能とした側方の視野をもつ光切断法計測ヘッド部を有し、回転する光切断法計測ヘッド部の視野方向を検出し視野方向を画像として、直視撮像モジュールによる画像内に重畳して表示し、回転方向を制御することで光切断法計測ヘッド部の視野方向を選択可能とした光切断法を用いた計測装置。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドも計測システムも一つだけでよい溶接用レーザ・視覚複合センサおよび溶接制御方法を提供する。
【解決手段】開先上に投光したレーザ光（レーザスリット光２５）の開先断面像と、アーク直下の溶融池及び電極１４の画像を得るための溶接用レーザ・視覚複合センサであって、溶接トーチ２２を中心として、トーチ移動方向の前方及び後方斜め方向の一方にレーザ投光器２４を配設し、他方に画像撮影カメラ２６を配設する。 （もっと読む）

【課題】駆動機構による光センサの移動速度の変化に拘わらず変位データを取得し、その後に一定距離間隔の変位データだけ抽出する構成とすることで、測定時間の短縮を図る。
【解決手段】移動機構手段４２により基板１０に対する光センサ３１の位置を速度が変化しながら移動させる。その移動中に、光センサは光学的に基板１０の表面の高さ方向の変位を検出する。Ａ／Ｄ変換手段３２ｂ及び変位算出手段３２ａは、光センサからの変位をクロックでデジタルの変位データに変換して出力する。データ取得部５０は移動機構手段が移動するときの移動量を基に、移動量の所定間隔毎に、前記変位算出手段３２ａからの前記変位データを抽出する。画像生成手段６０は所定間隔毎の変位データを基に、基板の表面上の形状を示す画像データを生成する構成とした。 （もっと読む）

パルス式施術レーザ照射を行うレーザ装置のパルス・エネルギーを較正する方法では、施術レーザ照射を用いて、それぞれ異なるパルス・エネルギーによる複数の試験切除、特に複数パルスの試験切除を１つまたは複数の供試体に実施する。試験切除のそれぞれの切除深さを測定し、次いで、測定された切除深さ、および指定された設定点切除深さに基づいて、対応する設定点パルス・エネルギーを求め、レーザ装置に設定する。本発明によれば、コヒーレント光干渉測定装置を用いて切除深さを測定する。
本発明はまた、特に上記方法を実施するレーザ装置に関する。
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【課題】表面に凹凸模様のある媒体に対して、媒体のハイトフィールドデータを用いて、ツヤむらを可視化し、ツヤむらがある箇所を特定することを支援するツヤむら可視化装置等を提供する。
【解決手段】ツヤむら可視化装置１は、ハイトフィールドを微小鏡面とみなし、角度情報算出手段２１によりハイトフィールドデータ２７を用いて鏡面の法線の仰角値を角度情報として算出する。角度情報の統計量算出手段２３により、一定範囲の領域として設定したフィルタ範囲に含まれる画素の法線の仰角値の平均値αと、分散σ_ｉ，ｊ、あるいは標準偏差σを統計量データ２９として算出し、分散σ_ｉ，ｊあるいは標準偏差σを０から２５５の整数、あるいは０か１の整数に正規化し、グレースケール画像あるいは２値画像として画像出力することにより、媒体表面のツヤむらを可視化する。 （もっと読む）

【課題】信号光成分が小さい一方でノイズ光成分が大きいという状態においても光学式計測装置による計測を実現可能とする技術を提供する。
【解決手段】光学式計測装置は、計測対象物体５の表面の計測対象部分に直線偏光（レーザビーム５３）を照射するレーザダイオード２０２ａと、直線偏光によって照射された計測対象部分の撮影画像が計測対象物体５の表面高さに応じて変化する方向から、計測対象部分を撮影して撮影画像を取得する２次元ＣＣＤ２０３ａと、２次元ＣＣＤ２０３ａの前段に設けられて、入射する光のうち直線偏光の偏光軸に平行な偏光軸を有する偏光成分を抽出する偏光フィルタ２０３ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物における微小な高さを測定するに際し、測定に要する時間を短くし、ケース内のＩＣの検査を可能にし、繰り返し測定精度を高め、測定装置の構成を簡易なものとする。
【解決手段】光軸に関して対称的に配設された１対の異なる色のフィルターＦ１，Ｆ２が設けられたフィルター付マスクＭと撮像用レンズＬとを備えた撮像用光学系を有する撮像装置で対象物をその基準表面に対して合焦させて撮像し、得られた画像について画像解析を行い、画像における対象物の凸部または凹部についての異なる色で分離した像の重心位置の間隔を算出する。一方で、この異なる色で分離した像の重心位置の間隔と凸部の高さまたは凹部の深さとの比例関係を表す換算係数を予め求めておき、この換算計数と実際に撮像により得られた重心位置の間隔とから凸部の高さまたは凹部の深さを求める。 （もっと読む）

【課題】外部から視認することができないような穴の深さも測定可能な深さ測定装置及び深さ測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】深さ測定装置は、被検査物に形成された穴の一方の入口を照明する第１の光源（４）と、穴の一方の入口のテーパ状部を撮影した第１の画像を取得する第１の内視鏡（２）と、被検査物に形成された穴のテーパ状部を撮影した画像のテーパ状部に対応する領域における、その穴の半径方向の輝度勾配とテーパ状部の深さの関係を示す参照テーブルを記憶した記憶部（６３）と、第１の画像から一方の入口のテーパ状部における穴の半径方向の輝度勾配である第１の輝度勾配を求め、第１の輝度勾配と参照テーブルを参照して一方の入口のテーパ状部の深さを求める深さ測定部（６１）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構造で、目視検査に近い多数の条件にて外観異常部と表面深さ異常部を総括的に評価して検査できる。
【解決手段】円柱周面検査装置１０は、円柱体１の周面に明視野から暗視野の縞模様を映す照明部１２と、円柱周面に投光するラインレーザ投光器と、円柱周面を撮像するカメラ１４と、撮像画像データから円柱体１の異常部を抽出する画像処理装置３０を備えている。画像処理装置３０は、照明条件及び撮像角の違う複数の展開画像を位置を合わせて仮想画面階層配列に再構成し、層別画像データより円柱体１の外観異常部を抽出する外観異常検査部と、画像データよりラインレーザ光が投光された円柱周面の位置を割り出して表面深さ異常部を抽出し、位置を合わせて階層の仮想画面配列にマッピングする表面深さ異常検査部と、目視検査に似せて異常抽出条件の違った多数のデータから総括的に円柱体１の合否判定する判定部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】エンドポイント検出装置１００において、従来相反すると考えられていたエンドポイント終末点の位置分解能の向上及び撮像における画像分解能の向上を同時に実現する。
【解決手段】半導体基板Ｗに検査光Ｌ１を照射して得られる検査光Ｌ１及び反射光Ｌ２の干渉光強度を測定し、エッチング終末点を検出する検出光学系１と、半導体基板Ｗにおける検査光Ｌ１の照射領域を撮像する撮像光学系２とを具備し、検出光学系１が、撮像光学系２と異なる光路上に設けられ、エンドポイント終末点検出において所定の位置分解能を得るための検出用絞り１５を有し、撮像光学系２が、所定の画像分解能を得るための撮像用絞り２５を有し、位置分解能及び画像分解能がそれぞれ独立して規定されるものであり、撮像用絞り２５の開口径が、検出用絞り１５の開口径よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】形状が事前に判明していない曲面に施された凹凸文字を抽出する。
【解決手段】本発明に係る凹凸文字抽出のための画像処理方法は、表面形状データが未取得の任意の曲面に施された凹凸文字の画像を抽出するものであって、凹凸文字を含んだ曲面の３次元データを取得する３次元計測ステップと、得られた３次元データに基づき、水平面内の各点における高さデータの微分値を算出する微分ステップと、算出された微分値に基づいて、各点の高さデータに対する重みを算出する重み付けステップと、重みと各点の高さデータとを用いて、凹凸文字が刻印される前の曲面の形状を近似した近似曲面の３次元データを算出する近似曲面算出ステップと、凹凸文字を含んだ曲面の３次元データと、近似曲面の３次元データとから、凹凸文字の３次元データを抽出する凹凸文字抽出ステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】フーリエ変換法による波形解析においてデータ範囲の有限性などに起因するリップル状の解析誤差を確実に抑える。
【解決手段】本発明の波形解析方法は、フーリエ変換法を利用した解析処理を入力波形へ施すことにより、その入力波形の各成分を算出する本解析手順（Ｓ１１）と、本解析手順で算出された各成分を基礎データとした関数フィッティングにより、各成分が既知のモデル波形を作成するモデル作成手順（Ｓ１４、Ｓ１５）と、モデル作成手順で作成されたモデル波形へ本解析手順と同じ解析処理を施すことにより、そのモデル波形の特定成分を算出するテスト解析手順（Ｓ１６）と、テスト解析手順で算出された特定成分とモデル波形の実際の特定成分との差異を、テスト解析手順の特定成分に関する解析誤差として算出する誤差算出手順（Ｓ１７）と、誤差算出手順で算出された解析誤差に基づき本解析手順で算出された特定成分を補正する補正手順（Ｓ２１）とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 個々の凹部や凸部の一部に形成されている小さな欠陥と、凹部と凸部とにまたがって形成されている格子ピッチよりも大きな欠陥とを両方一緒に検出する。
【解決手段】 検査対象物ＯＢを固定した固定治具１０を回転させながら回転軸方向に移動させるとともに、検査対象物ＯＢの微細格子構造Ｇにレーザ光を照射し、その反射光の強度と偏光状態とを検出する。反射光の強度が基準レベルより低下している場合には、その照射位置に、凹部と凸部とにまたがって形成されている格子ピッチよりも大きな欠陥が存在すると判断する。また、上記大きな欠陥が存在していると判断した部位を除く領域において、反射光の偏光状態が理想の偏光状態に対して許容値を超える差を生じている場合には、その照射位置に、個々の凹部や凸部の一部に形成されている小さな欠陥が存在すると判断する。 （もっと読む）

【課題】光学式高さ・段差測定装置の測定精度を高めると共に、測定時間を短縮する。
【解決手段】Ｚ方向に相対移動する被測定物に投影したターゲットマーク像の合焦点の検出操作により、Ｚ方向の移動量を検出して、被測定物のＺ方向の寸法を測定する測定装置において、照明光束を光軸と直交する方向に２分割して反対方向に偏向させるよう、クサビ方向が反対となるように組み合わされた一対のクサビ部分を有するクサビ型プリズム１１を投影光学系に配すると共に、２分割された光束を跨ぐように配したターゲットマークを投影原板上に複数個設ける。 （もっと読む）

【課題】他の判別結果に対する影響を抑えつつ、誤判定した判定対象に対し所望の判別結果が得られるよう判別規則を調整可能な判別装置、判別方法及びプログラムを提供すること。
【解決手段】判別対象が複数種類の集合のいずれに属するかを判別する判別装置１００を提供する。この判別装置１００は、判別結果が既知の学習用特徴情報とその学習用判別結果情報とに基づいて、学習用特徴情報を特徴情報による空間上の点を写像した際を写像先の空間上で点を線形分離する判別面と、判別面までの距離が最短の点との距離が最大になるように判別面を算出して判別関数とする判別関数算出部１１２と、判別関数による判別結果情報と既知の判別結果とが異なる誤判別特徴情報の判別関数への影響係数を調整する判別関数修正部１２０と、当該判別結果が未知の判別対象の特徴情報と修正された判別関数とに基づいてその判別対象を判別する判別部１３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】短時間で測定を行うことができ、簡素な構成の３次元測定装置及び測定方法を得る。
【解決手段】薄板状部材の片面側に結像光学系及び撮像素子を配置し、溝部のうちの被測定部に蛍光を発する液体を流入させ、撮像素子により液体から発せられる蛍光を受光して画像を作成し、該画像に基づいて被測定部の平面形状及び深さの少なくとも一方を測定する測定装置とする。 （もっと読む）