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Fターム[2F065EE05]の内容

光学的手段による測長装置 (194,290) | 補償;補正 (1,944) | 倍率;被測定物までの距離 (270)

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【課題】所定領域内の状況を適切に把握することが可能な電子機器を提供する。
【解決手段】電子機器は、第1の所定領域にある第1物体を撮像する第1撮像部130又は30と、前記第1撮像部が撮像した前記第1物体の面積に関する量を検出する検出部42とを備え、前記第1物体の面積に関する量に基づいて第1の所定領域内の状況を把握する。さらに、第2の所定領域にある第2の物体を撮像する第2撮像部30又は130とを備え、前記検出部は前記第2撮像部が撮像した前記第2物体の面積に関する量を検出する。 (もっと読む)


【課題】保持部材の第1の方向のたわみを検出する。
【解決手段】第1のイメージセンサは、中間転写ベルトの裏面に形成されたラダーパターンチャートの濃度を測定する。記憶部は、第1のイメージセンサと中間転写ベルトの裏面との間の距離と、この第1のイメージセンサの測定に係るラダーパターンチャートのコントラストとの対応関係を示す第1の関数を記憶する。制御部は、第1のイメージセンサにより測定されたラダーパターンチャートの濃度を用いて、ラダーパターンチャートにおいて隣り合う白領域と黒領域とのコントラストを算出する。制御部は、記憶部に記憶された第1の関数を用いて、算出されたコントラストに対応する距離を特定し、特定した距離を上述した白領域及び黒領域と中間転写ベルトの裏面との間の距離として用いて、中間転写ベルトの幅方向のたわみを検出する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、精度が高い距離情報を生成できる距離情報推定装置を提供する。
【解決手段】距離情報推定装置1は、ステレオ画像の類似度である誤差関数を計算する誤差関数計算部10と、距離の連続性を示すスムーズ関数を計算するスムーズ関数計算部11と、基準画像における隣接画素間の色情報の差分絶対値が色情報閾値T以下であるか否かによって、隣接画素間でメッセージを伝搬できるか否かを判定するメッセージ伝搬制限判定部12と、誤差関数とスムーズ関数とを含むメッセージを生成・伝搬するメッセージ生成・伝搬部13と、メッセージの評価関数を計算する評価関数計算部14と、評価関数が最小となる距離を、距離情報として推定する距離推定部15とを備える。 (もっと読む)


【課題】画像解析の処理負荷および精度を改善するための画像処理装置、画像処理方法、プログラム、および画像処理システムを提供する。
【解決手段】距離画像センサにより取得される対象空間における各位置の距離が表現された距離画像の解析結果に基づき、前記対象空間を撮像する撮像装置により取得される撮像画像から注目領域を決定する注目領域決定部と、前記注目領域決定部により決定された前記注目領域を画像解析する画像解析部と、を備える画像処理装置。 (もっと読む)


【課題】片眼でも立体感を得ることができる立体感提示装置を提供する。
【解決手段】間隔をおいて配置された2台のカメラから出力されるステレオ画像データを構成する左右の画像データに基づいて距離画像データを生成する距離画像生成手段53と,生成された距離画像データを用いて,上記の左または右の画像データに,距離に応じた焦点ぼけを与えてぼけ画像データを生成するぼけ画像生成手段55を備える。生成されたぼけ画像データに基づいて対象の焦点ぼけ画像を表示装置に表示する。 (もっと読む)


【課題】欠陥座標に含まれている誤差を低減可能な光学式検査装置を提供する。
【解決手段】チャンネルが配列されたラインセンサと、ウエハをステージに載せてラインセンサに対して移動させる移動手段と、行列の行毎に1つ且つ列毎に1つ擬似欠陥ダイが形成され擬似欠陥ダイには複数の擬似欠陥が列方向に一列に形成されている座標管理用ウエハを検査したのを受けてチャンネル上に結像した擬似欠陥のステージ上の位置を擬似欠陥ステージ座標Xs0として検出するステージ位置検出手段と、擬似欠陥ステージ座標Xs0を擬似欠陥ダイ座標に変換する座標変換手段と、設計座標に対する擬似欠陥ダイ座標の差分ΔXを算出する差分算出手段と、擬似欠陥ステージ座標Xs0に対して差分ΔXが一定の振幅A1で振動し直線L1に沿って増加又は減少する座標誤差特性パターンCP1を取得する特性パターン取得手段とを有する。 (もっと読む)


【課題】電子部品を、高速に検査する光学システムを提供する。
【解決手段】センサは、カメラのアレイに対してノンストップで移動する加工対象物に関する画像データを取得するように構成されたカメラのアレイを含む。カメラのアレイが画像データを取得するとき照明のパルスを提供するために照明システムが配置されている。少なくともいくらかの画像データは、加工対象物上のスキップマーク又はバーコードに関するデータを含む。又取得した複数の画像により立体画像化する。 (もっと読む)


【課題】二次元平面を構成する基準面を複数用いて物体の三次元形状を計測する形状計測装置及び形状計測方法を提供する。
【解決手段】本発明の形状計測装置100は、物体を照射する第1の光源20と、物体を照射する第2の光源30と、物体を撮像するための複数の画素を有するカメラ10と、第1の光源20及び第2の光源30の各々で得られる画素毎の輝度比を各基準面の高さと対応付けた画素毎の画素別輝度比・三次元座標変換テーブルを予め保持するメモリ70と、物体を撮像して得られるそれぞれの画像信号の画素毎の輝度比を算出し、該輝度比の値から画素別輝度比・三次元座標変換テーブルを参照して当該物体の三次元座標を決定する制御ユニット50とを備える。 (もっと読む)


【課題】物体上の複数のマークを効率的に、かつ高精度に検出する。
【解決手段】少なくとも1軸方向に関する検出領域が互いに異なる複数のアライメント系で、少なくともその1軸方向に関して互いに異なる位置に配置されたウエハ上のマークを検出するマーク検出方法であって、複数のアライメント系の検出領域にそれぞれウエハ上のマークを移動するステップ315と、ウエハをZ方向にスキャンして複数のアライメント系の検出信号及びデフォーカス量に対応するフォーカス信号を取り込むステップ316と、複数のアライメント系の検出信号とフォーカス信号とからフォーカス信号のオフセットを求めるステップ317とを有する。 (もっと読む)


【課題】載置面上に自由に置かれた物体を高速に認識する。
【解決手段】安定姿勢計算部6は、3次元モデル情報記憶部5から3次元モデルの情報を読み出して、物体が載置面上で静止すると予測される物体の姿勢に対応する3次元モデルの安定姿勢を計算する。2次元投影画像生成部7は、安定姿勢計算部6で計算された安定姿勢の3次元モデルを観測して得られる2次元投影画像を生成する。2次元投影画像記憶部8は、2次元投影画像生成部7により生成された2次元投影画像を記憶する。載置面上に載置された物体の姿勢を認識する際には、画像照合部9は、撮像部101により撮像されて得られた撮像画像と、2次元投影画像記憶部8に記憶された2次元投影画像との一致度を計算する画像照合を行う。姿勢認識部10は、一致度が最も高い2次元投影画像に対応する3次元モデルの姿勢を、物体の姿勢として認識する。 (もっと読む)


【課題】移動する被検体までの絶対距離を高精度に計測するために有利な波長走査干渉計を提供する。
【解決手段】波長走査干渉計は、光源から射出される光束の波長を変更しながら該光束から分割された参照光と被検光との干渉光の信号に基づいて被検体までの絶対距離を計測する。波長走査干渉計は、前記光源から射出される光束の波長が互いに等しい時刻である第1時刻およびその後の第2時刻と、前記第1時刻、前記第2時刻のそれぞれにおける前記干渉光の信号の周波数である第1周波数、第2周波数とに基づいて、前記被検体の移動による誤差成分が低減された絶対距離を算出する処理部を備える。 (もっと読む)


【課題】微小径ワイヤーボンドの接合状態の良否検査に先立ち、当該ワイヤーボンドの三次元的位置決めを迅速且つ精確に行うことができるワイヤーボンドの三次元位置決め方法及び装置を提供することを課題とする。
【解決手段】カメラ5とラインレーザー3、4を用いて、可動ステージ2上に載置されたワイヤーボンド1の三次元位置決めを行うための方法であって、 ラインレーザー3、4を、カメラ5の向きに対して角度を持たせて配置することにより、照射されたレーザーラインがワイヤーボンド照射部分において他の照射部分と一直線状にならないようにし、カメラ5で取り込んだレーザーラインが照射された状態のワイヤーボンド1の画像データにおいて、ワイヤーボンド1上におけるレーザーラインの位置と基準位置とのずれとラインレーザーの傾斜角度とから演算して求めた数値を基に、可動ステージ2を移動制御する (もっと読む)


【課題】ストレートエッジと同等の精度で真直度の測定、調整ができる小型軽量安価な真直度測定装置の提供。
【解決手段】光位置センサ7が、測定対象12に沿って摺動させられつつ、光ビーム出力部1からの光ビームを受光した平面上の位置を検出することにより、測定対象12の真直度を測定する真直度測定装置。光ビーム出力部1及び光位置センサ7間の距離を距離センサ6が測定し、受光する平面上の任意の位置を基準位置として受付け、校正動作時に、基準位置及び光位置センサ7が検出した位置の差を算出し、算出した差を、位置の検出時に距離センサ6が測定した距離と共に記憶しておき、測定動作時に、基準位置及び光位置センサ7が検出した位置の差を算出し、算出した差から、位置の検出時に測定した距離に対応して記憶している差を差引いた結果を距離と共に表示部11に表示する構成である。 (もっと読む)


【課題】変位量への換算を迅速に処理する。
【解決手段】 対物レンズ18は、光源13が発した光束を被検面23a上に微小スポットとして投射する。シリンドリカルレンズユニット21は、曲率半径の異なる2つのシリンドリカルレンズ30,31をもっており、それぞれに被検面23aで反射した反射光束に異なる量の非点収差を与える。受光センサ19は、非点収差が与えられた反射光束を入射させて受光パターンに応じた出力変化が得られるように受光面が複数に分割されている。信号処理部24は、受光面から得られる出力信号に基づいて被検面23aの変位を検出する。選択部33は、被検面23aの検出範囲に応じて、いずれか一方のシリンドリカルレンズ30,31を光路上にセットするように移動機構22を制御する。 (もっと読む)


【課題】 撮像装置のレンズ及び撮像素子を対象面と平行な方向に沿う方向に配置するこ
とで、撮像画像における歪みを抑止し、位置検出の精度を向上させる位置検出システム、
表示システム及び情報処理システムを提供すること。
【解決手段】 位置検出システム400は、撮像画像を撮像する撮像部500と、撮像部
500からの撮像画像に基づいて、対象面20に設定された検出エリアでの対象物OBの
座標情報を求める座標演算部430と、を含み、撮像部500は、レンズ部LEを有する
光学系と、撮像素子IMとを含み、撮像部500から対象面20の中央部へと向かう方向
である第1の方向と、対象面20のなす角度α1とし、レンズ部LEの光軸方向である第
2の方向と対象面20のなす角度をα2とした場合に、角度α1及び角度α2は、α1<
α2を満たす。 (もっと読む)


【課題】うねりによる影響を極力無くして被検面の変位量を検出する。
【解決手段】 対物レンズ18は、光源13が発した光束を被検面23a上に微小なビーム光として投射する。シリンドリカルレンズ21は、被検面23aで反射した反射光束に非点収差を与える。受光センサ19は、非点収差が与えられた反射光束を入射させて受光パターンに応じた出力変化が得られるように受光面が複数に分割されている。信号処理部26は、受光面から得られる変位信号に基づいて被検面23aの変位を検出する。表面すねり補正部28は、変位信号に基づいて表面のうねりの周期ピッチを求め、その時点の被検面23a上のビーム径が周期ピッチよりも大きくなるように集光レンズ20と受光面19aとの間隔を変え、これに連動して対物レンズ18を移動する。 (もっと読む)


【課題】温度センサ等を追加しなくても、環境温度の変化に応じた適正な補正を行うことのできる光学式位置検出装置および光学式位置検出方法を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置10および光学式位置検出方法において、補正条件決定部64は、対象物体Obが存在しないデフォルト状態により位置検出部50で検出されたデフォルト二次元座標データの第1座標値と第2座標値との比較結果に基づいて補正条件を決定し、位置検出部50により対象物体Obの二次元座標データを検出する際、補正条件に対応する補正が行われる。従って、環境温度を直接、測定しなくても、温度補正を行うことができるので、検出用光源12からの検出光の出射強度が環境温度によって変化した場合でも、対象物体Obの二次元座標データを精度よく検出することができる。 (もっと読む)


【課題】この発明は、複数回撮像しなくてもステレオカメラを校正することができ、手前の支柱により奥のマーカが隠れることがなく、個々のマーカを容易に区別することができるステレオカメラ校正器を実現することを目的とする。
【解決手段】この発明は、ステレオカメラの校正に使用されるステレオカメラ校正器において、向かい合わせた2枚の鏡の間に2つ以上の実マーカを配置し、1つの実マーカに対して2枚の鏡に複数の鏡像が映ることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】測定対象物の表面に発生するひずみを、直接測定すること無く離れた位置から簡易に、かつ、高精度に計測可能なひずみ計測方法及びひずみ計測システムを提供する。
【解決手段】ひずみ計測システム1は、測定対象物2の表面の計測対象領域Sを正面から撮像する第1撮像装置3と、測定対象物2の側面を撮像する第2撮像装置5と、第1撮像装置3及び第2撮像装置5により撮像された画像に基づいて測定対象物2に発生するひずみを算出する計測装置10と、を備えている。 (もっと読む)


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