【課題】 エンコーダで位置を計測しつつ、移動体を所望の方向へ精度良く駆動する。
【解決手段】 駆動装置により、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の位置情報を計測するエンコーダ６２Ａの計測値とそのエンコーダによって計測されるスケール３９Ｙ₁の平面度に関する情報とに基づいて、ウエハステージＷＳＴがＹ軸方向に駆動される。この場合、駆動装置は、そのエンコーダの計測値に含まれるスケールの平面度に起因する計測誤差をスケールの平面度に関する情報に基づいて補正した補正後の計測値に基づいて、ウエハステージを所定方向に駆動することが可能である。従って、スケールの凹凸に影響を受けることなく、エンコーダを用いてウエハステージを精度良く所定方向に駆動することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ステレオカメラの設置状態を、簡単にかつ精度良く測定することができるカメラ状態測定装置を提供すること。
【解決手段】カメラ状態測定装置１００は、ステレオカメラの設置状態に関し、ステレオカメラの撮影画像から、特徴点を抽出する特徴点検出部１３０と、特徴点検出部１３０で検出された特徴点のうち、基準面上に位置する２点の指定をユーザから受け付ける計測点指定部１５０と、上記２点についての対カメラ距離ｄ_１、ｄ_２を取得する対カメラ距離測定部１８０と、上記２点にいての対カメラ角θ_１、θ_２を取得する対カメラ角測定部１９０と、上記ｄ_１、ｄ_２、θ_１、θ_２に基づいて、ピッチ角θ_０を算出するピッチ角計算部２００と、上記ｄ_１、ｄ_２、θ_１、θ_２、θ_０に基づいて、カメラ高さｈを算出するカメラ高さ計算部２１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数回印刷ヘッドを走査して爪部に印刷を施す場合に、ｎ回目の走査終了後ｎ＋１回目の走査までの間に指が動いてしまった場合でも、走査ごとの画像のずれを防いで高品質の印刷を行うことのできるネイルプリント装置及び印刷制御方法を提供する。
【解決手段】爪部Ｔを複数の領域に分けて複数回の走査により１つのデザイン画像を印刷する場合に、各回の走査開始前（Ｓ３）に爪部Ｔの位置情報を取得する（Ｓ２）とともに、ｎ＋１回目の走査を開始する前に、ｎ回目の走査開始前の爪部Ｔの位置情報とｎ＋１回目の走査開始前の爪部Ｔの位置情報とを比較して（Ｓ８）爪部Ｔの位置変化を検出して（Ｓ９）、ｎ＋１回目の走査開始前に爪部Ｔの位置変化が検出されたときは、爪部Ｔの位置変化に応じて、ｎ＋１回目の走査を行う際の印刷開始位置を補正し（Ｓ１０）、この補正後の印刷開始位置から、次の印刷を開始するように印刷制御する（Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】多数の板材を連続的に加工する加工機に好適な回転テーブルの回転角の誤差（ピッチエラー）を測定する方法に関し、ワークの連続加工中においても自動測定できるようにする。
【解決手段】ワークと略同形で、表面に所定角度毎に引いた放射状の計測線と、計測線の放射中心を検出させるマークを表示した測定用基板を用いる。加工機に設けられている搬入誤差検出手段により、テーブル上に搬入された測定用基板の中心の位置偏倚及び角度偏倚を検出し、次にテーブルを所定角度ずつ回動したときのカメラの画像上での各計測線の位置を検出し、先に検出した基板中心の偏差で補正した計測線の方向と、その本来の方向との差から、テーブルのピッチエラーを測定する。 （もっと読む）

【課題】面位置センサの設置位置を計測し、該計測された設置位置に基づいて面位置センサを用いて移動体の２次元移動面の垂直方向と傾斜方向の位置座標を計測することにより、移動体を安定かつ高精度に駆動する。
【解決手段】 干渉計システムを用いてウエハステージＷＳＴのＸＹ位置を監視しながらウエハステージを移動させて、面位置センサ７２_ｋ，７４_ｉ，７６_ｊを用いてＹスケール３９Ｙ₃，３９Ｙ₄を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に走査することにより、面位置センサのＸＹ設置位置を計測する。得られた設置位置情報に基づいて、面位置センサを用いて、ウエハステージのＸＹ平面（移動面）に対する垂直方向と傾斜方向の位置座標を計測することにより、ウエハステージを安定かつ高精度に駆動する。 （もっと読む）

【課題】カメラ、レーザの相対位置を高精度で設置する必要がなく、また、測定レンジを複数種類を単一の測定プログラムにより変更する。
【解決手段】レーザ線条光照射部12と、既知形状の基準模様群を表示面に表示した座標変換テーブル作成用印刷表示板16と、照射部位の光切断面及びレーザ照射平面上に設置される表示板16を撮影するカメラ11と、表示板１６の基準模様群を撮影したカメラ上の座標データを抽出する基準座標抽出手段131とから基準模様群の座標データと基準座標抽出手段131で抽出されたカメラ上の座標データとの対応関係を示す座標変換テーブル133を作成する。形状測定時には、表示板16を外して同じ位置に被測定物を配置させ、レーザ線条光を照射して照射部位の光切断面を撮影した画像から、点群抽出手段134により光切断面の点群を抽出する。抽出した点群座標を近似処理手段135により座標変換テーブル上の値に近似する。 （もっと読む）

【課題】欠陥座標に含まれている誤差を低減可能な光学式検査装置を提供する。
【解決手段】チャンネルが配列されたラインセンサと、ウエハをステージに載せてラインセンサに対して移動させる移動手段と、行列の行毎に１つ且つ列毎に１つ擬似欠陥ダイが形成され擬似欠陥ダイには複数の擬似欠陥が列方向に一列に形成されている座標管理用ウエハを検査したのを受けてチャンネル上に結像した擬似欠陥のステージ上の位置を擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０として検出するステージ位置検出手段と、擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０を擬似欠陥ダイ座標に変換する座標変換手段と、設計座標に対する擬似欠陥ダイ座標の差分ΔＸを算出する差分算出手段と、擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０に対して差分ΔＸが一定の振幅Ａ１で振動し直線Ｌ１に沿って増加又は減少する座標誤差特性パターンＣＰ１を取得する特性パターン取得手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】カメラパラメータを用いることなく簡単に高精度の「pixel→高さ」換算式を求めることを可能とする。
【解決手段】長方形状に形成されその表面に白色領域１ｗと黒色領域１ｂとを交互に配されてなるキャリブレーション用機材１と、キャリブレーション用機材１の長手方向を撮影するように配設されたラインセンサカメラ２と、ラインセンサカメラ２から出力される画像信号に基づいてラインセンサカメラ２のキャリブレーションを行う処理用コンピュータ３とを備え、白色領域１ｗと黒色領域１ｂの幅がそれぞれ同一幅であるとともに白色領域１ｗと黒色領域１ｂとの境界線がキャリブレーション用機材１本体の長手方向に対して所定の角度θだけ傾斜するように構成した。 （もっと読む）

【課題】ポリゴンミラーなどの静止物体の校正に使用されるエンコーダに有用な技術を提供する。
【解決手段】光源と、マークが一定のピッチで配列され相対移動するスケールと、スケールのピッチによって決定される周期の整数分の一の大きさの周期で偏光方向が回転する直線偏光を生成する光学系と、生成された直線偏光を第１直線偏光と第２直線偏光とに分割する分割部と、固定配置された第１偏光板を含み、スケールが相対移動する間における、第１偏光板を通過した第１直線偏光の偏光方向の回転の数を得る第１ユニットと、直線偏光の偏光方向に対して回転する第２偏光板を含み、スケールが静止したときにおける第２直線偏光の偏光方向を検出することによってスケールが静止したときにおける直線偏光の１回転内の位相を得る第２ユニットと、第１ユニットおよび第２ユニットにより得られた結果を統合してスケールの移動量を出力する出力部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】物体の位置の測定に有利な技術を提供する。
【解決手段】第１ヘッド１１２ａ、１１２ｃ又は第２ヘッド１１３ａで第１物体に対する第２物体の相対的な位置を測定する第１測定部１１０と、第１物体に対する第２物体の相対的な位置を求める処理を行う処理部と、を有し、処理部は、第１ヘッド１１２ａ、１１２ｃ及び第２ヘッド１１３ａのうち一方のヘッドで以前に検出された回折格子１１１ａ、１１１ｂ上の位置を他方のヘッドの視野の中心に位置決めした状態で一方のヘッドで以前に検出された回折格子上の位置とは別の位置を一方のヘッドで検出する処理を、一方のヘッドが回折格子の全面を検出するまで繰り返して回折格子の変形量を求める第１処理と、回折格子の変形量に基づいて、第１ヘッド１１２ａ、１１２ｃ又は第２ヘッド１１３ａで測定された第１物体に対する第２物体の相対的な位置を補正する第２処理と、を行う。 （もっと読む）

【課題】集積回路のような電子素子の製造において、光計測を用いた測定の精度を改善する方法及びシステムを提供する。また、調節可能なレジストの光学特性を変化させる方法及びシステムを提供する。
【解決手段】その調節可能なレジスト層は反応性ガス、液体、プラズマ、放射線若しくは熱エネルギー又はこれらを結合させたものを用いて処理されて良い。それによってフォトレジストは露光前に第１組の光学特性と異なる第２組の光学特性を得て、露光波長で又はその近傍の放射線に対して透明ではなくなり、ＯＴＳＭ構造４２０が光線４２５、４２６及び４２７を反射する。 （もっと読む）

【課題】ステレオ法を用いた三次元測定に適したカメラ校正を行い、三次元位置の測定における測定精度を向上させることができるカメラ校正方法を提供すること。
【解決手段】複数の特徴点が設けられ、各特徴点の相対位置が既知である校正器を撮像する（Ｓ２）。撮像した校正器の画像情報から校正器の特徴点を抽出する（Ｓ３）。２つのカメラそれぞれのカメラパラメータの初期値を算出する（Ｓ４）。算出したカメラパラメータを用いて、２つ以上の特徴点の三次元位置座標を算出する（Ｓ５）。三次元位置座標を算出した各特徴点のうち、２つの特徴点間の距離を算出する（Ｓ６）。算出した距離と実際の距離との誤差を算出する（Ｓ７）。算出した誤差を用いてカメラパラメータの修正量を算出する（Ｓ８）。算出した修正量の分、カメラパラメータを修正して更新する（Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】光断面式により形状を測定する形状測定装置の校正を、校正用ターゲットを頻繁に移動させることなく行うことのできる形状測定装置の校正方法、形状測定装置及び校正用ターゲットを提供する。
【解決手段】底面形状及び寸法が既知である柱体の校正用ターゲット２０に、校正用ターゲット２０の底面形状における複数の特徴点に対応し、該底面と平行に配置された複数の発光点を含む少なくとも３組の発光体群２１〜２３を、校正用ターゲット２０の柱体高さ方向の位置が異なり、且つそれぞれの前記特徴点と該特徴点に対応する前記発光点各々とが同一直線上に位置するように並設し、発光体各々及びラインレーザの撮像画像と射影変換で複比が不変であることとに基づいて校正用ターゲット２０の特徴点の位置座標を同定し、装置校正を行う。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 ウエハＷを保持し所定面内で移動するウエハステージＷＳＴと、所定面内と実質的に平行に配置される移動スケール４４Ａ〜４４Ｄに、複数のヘッド４８ａ〜４８ｋを介してそれぞれ所定平面と交差する方向からビームを照射して、ウエハステージＷＳＴの位置情報を計測するエンコーダシステムと、エンコーダシステムの計測情報に基づいてウエハステージＷＳＴを制御する制御システムによって、複数のヘッド４８ａ〜４８ｋのうち移動スケール４４Ａ〜４４Ｄと対向する複数のヘッド４８ａ〜４８ｋの数が変化するとともに、ウエハステージＷＳＴの移動によって、複数のヘッド４８ａ〜４８ｋのうち位置情報の計測に用いられるヘッドが別のヘッドに切り換わる。 （もっと読む）

【課題】距離画像データ等の３次元データと２次元画像データとの対応付け、距離画像データと２次元画像データを相補的に用いることにより柔軟で信頼性の高い認識結果が得られる、３次元データと２次元画像データの統合方法およびそれを用いた頑健な監視・見守りシステムを提供する。
【解決手段】システムは、２次元データを取得する２次元データ取得ステップと、３次元データを取得する３次元データ取得ステップと、上記２次元データと前記３次元データの位置を対応付ける対応付けステップと、上記対応付けステップで対応付けた結果に基づいて上記３次元データを２次元データ上に重畳する重畳ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】大量の輸送貨物量の発生する現代社会および今後において、物流の自動化、システム化はますます重要になっている。物流システムの効率化、コストダウンにおいて形状、寸法、重量、温度、色、模様などの物性、個別認識情報の一括計測、情報管理が自動化、システム化の要件であるが高速、軽量簡便な計測センサーを実現させ合理化を進める。
【解決手段】形状寸法計測センサーとしてCCDカメラ１２０〜１２２を利用し、重量計１０９その他のセンサー、装置を併用して形状、寸法、物性、個別管理情報の一括計測を可能にし、物流の自動化システム化を計る。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置を高精度に制御しつつ、物体上の複数のマークの検出時間を短縮する。
【解決手段】 露光装置は、ウエハＷを保持してＸＹ平面内で移動するとともに、上面にＹ軸方向を周期方向とする格子を有する一対のＹスケール３９Ｙ_１、３９Ｙ_２が設けられたウエハステージＷＳＴと、Ｘ軸方向に関して検出領域の位置が異なる複数のアライメント系ＡＬ１、ＡＬ２_１〜ＡＬ２_４と、Ｘ軸方向に関して前記複数の検出領域の両外側に１つずつ配置される一対のＹヘッド６４ｙ_１、６４ｙ_２を含む複数のＹヘッド６４を有し、一対のＹスケールの少なくとも一方と対向するＹヘッドによって、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の位置情報を計測するＹエンコーダと、を備えている。このため、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の移動の際に、ウエハ上の複数のマークを複数のアライメント系で同時に計測可能になる。 （もっと読む）

【課題】カメラの取り付け位置や取り付け姿勢の情報を迅速かつ精度良く得ることを課題とする。
【解決手段】設定部２３２は、４個のマーカーが映し出された画像平面上の４個に対応するカメラ座標系における仮想的な４つの対応点の中から基準マーカーとする点Ｍを選択する。そして、設定部２３２は、基準点Ｍまでの距離Ｌ_０に所定の値を設定する。作成部２３３は、基準点Ｍ以外の点、つまり基準マーカー以外のマーカーに対応する点１〜点３までの各距離Ｌ_１，Ｌ_２，Ｌ_３を表す数式を作成する。導出部２３４は、設定部２３２により設定された基準マーカーで採用する全ての符号パターンを導出する。棄却部２３５は、導出部２３４により導出された符号パターンの中から、距離Ｌ_１、Ｌ_２、Ｌ_３の値の少なくとも１つが相応しい値となり得えない符号パターンを棄却する。 （もっと読む）

【課題】円軌道上を公転する球体の位置を好適に測定することができる球体の位置測定装置を提供する。
【解決手段】球体の位置測定装置は、円軌道の中心線Ｏ上に中心を有するリング照明１８と、前記中心線Ｏ上に配置されたレンズ２０を有し、前記中心線Ｏを含む範囲で前記球体１３を撮像する撮像部１７と、前記撮像部１７によって撮像された画像中における、前記球体１３の表面で反射した前記リング照明１８の反射光を認識し、この反射光の領域の重心位置を求める画像処理部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】第ｍの加工位置と第ｎの加工位置とのずれを精度よく計測することのできる加工位置の計測方法の提供を目的とする。
【解決手段】加工位置の計測方法は、第ｍの加工を施すとともに、第ｍのマーク２６、及び、基準寸法を示す基準マーク２９を形成し（Ｓ２）、第ｎの加工を施すとともに、第ｎのマーク２７を形成し（Ｓ７）と、第ｍのマーク２６及び第ｎのマーク２７の相対的位置を測定するとともに、測定した基準寸法Ｌ１と基準寸法Ｌ０との比にもとづいて、第ｍのマーク２６と第ｎのマーク２７との相対的位置を補正し、第ｍの加工位置と第ｎの加工位置との加工位置のずれを計測する（Ｓ９）方法としてある。 （もっと読む）