移動体駆動方法及び移動体駆動システム、パターン形成方法及び装置、露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法
【課題】 エンコーダで位置を計測しつつ、移動体を所望の方向へ精度良く駆動する。
【解決手段】 駆動装置により、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の位置情報を計測するエンコーダ６２Ａの計測値とそのエンコーダによって計測されるスケール３９Ｙ1の平面度に関する情報とに基づいて、ウエハステージＷＳＴがＹ軸方向に駆動される。この場合、駆動装置は、そのエンコーダの計測値に含まれるスケールの平面度に起因する計測誤差をスケールの平面度に関する情報に基づいて補正した補正後の計測値に基づいて、ウエハステージを所定方向に駆動することが可能である。従って、スケールの凹凸に影響を受けることなく、エンコーダを用いてウエハステージを精度良く所定方向に駆動することが可能となる。
【解決手段】 駆動装置により、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の位置情報を計測するエンコーダ６２Ａの計測値とそのエンコーダによって計測されるスケール３９Ｙ1の平面度に関する情報とに基づいて、ウエハステージＷＳＴがＹ軸方向に駆動される。この場合、駆動装置は、そのエンコーダの計測値に含まれるスケールの平面度に起因する計測誤差をスケールの平面度に関する情報に基づいて補正した補正後の計測値に基づいて、ウエハステージを所定方向に駆動することが可能である。従って、スケールの凹凸に影響を受けることなく、エンコーダを用いてウエハステージを精度良く所定方向に駆動することが可能となる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直交する第１軸及び第２軸を含む移動面内で移動体を駆動する移動体駆動方法であって、
前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第２軸と平行な方向の位置情報を計測する第１干渉計の計測値と、前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第１軸と平行な方向の位置情報を計測する第２干渉計の計測値とに基づいて、前記移動体を前記第１軸に平行な方向に移動させる第１移動工程と、
前記移動体上に配置された前記第１軸と平行な方向を周期方向とする所定ピッチの格子を有するスケールに対向するヘッドの計測値に基づいて前記移動体の前記第１軸に平行な方向の位置情報を計測するエンコーダを構成する、前記第２軸に平行な方向に沿って所定間隔で配置された複数の前記ヘッドを含むヘッドユニットに対して、前記第１移動工程における前記移動体の移動に伴って順次対向配置される前記スケールの格子ピッチの補正情報を、前記第２干渉計の計測値と前記エンコーダの計測値と前記スケールの平面度に関する情報とに基づいて決定する工程と、
前記ヘッドユニットから得られる計測値を前記格子ピッチの補正情報に基づいて補正しながら、前記移動体を前記第１軸に平行な方向へ駆動する工程と、を含む移動体駆動方法。
【請求項２】
請求項１に記載の移動体駆動方法において、
前記第２干渉計の計測値と前記第１干渉計の計測値とに基づいて、前記移動体を前記第２軸に平行な方向に移動させる第２移動工程と、
前記複数のヘッドのうち、前記第２移動工程における前記移動体の移動に伴って前記スケールに順次対向配置される複数の前記ヘッドから得られる計測値を統計的に処理して前記スケールの格子曲がりの補正情報を求める工程と、をさらに含み、
前記駆動する工程では、前記ヘッドユニットから得られる計測値を前記格子ピッチの補正情報と前記格子曲がりの補正情報とに基づいて補正しながら、前記移動体を前記第１軸と平行な方向へ駆動する移動体駆動方法。
【請求項３】
実質的に所定平面に沿って移動体を駆動する移動体駆動方法であって、
前記所定平面と平行な面内の所定方向を周期方向とする格子を有するスケールに検出光を照射し、前記スケールからの反射光を受光するヘッドを有するエンコーダを用いて、前記移動体の前記所定方向の位置情報を計測し、該計測値と前記スケールの平面度に関する情報とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する工程と、
前記移動体を前記所定方向に移動させつつ、該移動体の前記所定方向の位置情報を計測する前記エンコーダの計測値と前記スケールの平面度とに基づいて、前記平面度を考慮した前記スケールの格子ピッチの補正情報を算出する工程と、を含み、
前記駆動する工程では、前記スケールの平面度に関する情報として前記スケールの平面度を考慮した格子ピッチの補正情報を用い、該補正情報と前記エンコーダの計測値とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する移動体駆動方法。
【請求項４】
実質的に所定平面に沿って移動体を駆動する移動体駆動方法であって、
前記所定平面と平行な面内の所定方向を周期方向とする格子を有するスケールに検出光を照射し、前記スケールからの反射光を受光するヘッドを有するエンコーダを用いて、前記移動体の前記所定方向の位置情報を計測し、該計測値と前記スケールの平面度に関する情報とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する工程を含み、
前記駆動する工程では、前記エンコーダによる計測時における前記移動体の前記所定方向とは異なる方向の位置情報に応じた補正情報に更に基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する移動体駆動方法。
【請求項５】
移動面内で移動可能な移動体上に物体を載置する工程と、
前記物体に対してパターンを形成するため、請求項１〜４のいずれか一項に記載の移動体駆動方法により前記移動体を駆動する工程と、を含むパターン形成方法。
【請求項６】
パターン形成工程を含むデバイス製造方法であって、
前記パターン形成工程では、請求項５に記載のパターン形成方法を用いて基板上にパターンを形成するデバイス製造方法。
【請求項７】
エネルギビームの照射によって物体にパターンを形成する露光方法であって、
前記エネルギビームと前記物体との相対移動のために、請求項１〜４のいずれか一項に記載の移動体駆動方法を用いて、前記物体を載置する移動体を駆動する露光方法。
【請求項８】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムの計測情報と、前記格子部の平面度に関する情報とに基づいて、前記所定平面内で前記移動体を駆動する露光方法。
【請求項９】
請求項８に記載の露光方法において、
前記格子部の形成誤差に関する情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光方法。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載の露光方法において、
前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の位置情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光方法。
【請求項１１】
請求項８〜１０のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記所定平面に対する前記移動体の傾斜情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光方法。
【請求項１２】
請求項８〜１１のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記エンコーダシステムの計測誤差の発生要因となる前記ヘッドユニットの特性情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光方法。
【請求項１３】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムの計測情報と、前記格子部及び前記ヘッドユニットの特性情報に応じた補正情報とに基づいて、前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するように前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する露光方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の位置情報に応じて設定される露光方法。
【請求項１５】
請求項１３又は１４に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記所定平面に対する前記移動体の傾斜情報に応じて設定される露光方法。
【請求項１６】
請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記特性情報は、前記格子部の平面度及び／又は形成誤差に関する情報を含む露光方法。
【請求項１７】
請求項１３〜１６のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記特性情報は、前記ヘッドユニットの光学特性に関する情報を含む露光方法。
【請求項１８】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムの計測情報と、前記格子部の平坦性に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する露光方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記格子部の形成誤差に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光方法。
【請求項２０】
請求項１８又は１９に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の変位に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光方法。
【請求項２１】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムの計測情報と、
前記格子部と、前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の変位とに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する露光方法。
【請求項２２】
請求項２１に記載の露光方法において、
前記異なる方向は、前記所定平面と直交する方向、前記所定平面と直交する軸の回りの回転方向、及び前記所定平面と平行な軸の回りの回転方向の少なくとも１つを含む露光方法。
【請求項２３】
請求項１８〜２２のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記所定平面に対する前記移動体の傾斜に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光方法。
【請求項２４】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能かつ前記所定平面に対して傾斜可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムの計測情報と、前記格子部と前記移動体の傾斜とに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する露光方法。
【請求項２５】
請求項１８〜２４のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記ヘッドユニットに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光方法。
【請求項２６】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムの計測情報と、
前記格子部と前記ヘッドユニットとに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する露光方法。
【請求項２７】
請求項２５又は２６に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記ヘッドユニットの少なくとも光学特性に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償する露光方法。
【請求項２８】
請求項２１〜２７のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記格子部の少なくとも形成誤差に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償する露光方法。
【請求項２９】
請求項１３〜２８のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記補正情報に基づいて、前記エンコーダシステムの計測情報又は前記移動体を位置決めする目標位置を補正する露光方法。
【請求項３０】
請求項１３〜２４のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記物体はマスクを介して前記エネルギビームで露光され、前記露光時、前記エンコーダシステムの計測情報に基づいて前記移動体を駆動しつつ、前記計測誤差を補償するように前記補正情報に基づいて前記マスクの位置を制御する露光方法。
【請求項３１】
請求項８〜３０のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記格子部は、前記第１方向を長手方向として延設され、前記ヘッドユニットは、前記第２方向に関して異なる位置に配置される複数のヘッドを有し、前記複数のヘッドのうち前記格子部と対向するヘッドによって前記移動体の位置情報を計測する露光方法。
【請求項３２】
請求項８〜３１のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記格子部は、前記移動体の一面に設けられ、前記ヘッドユニットは、前記移動体の一面と対向して設けられる露光方法。
【請求項３３】
請求項８〜３２のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記ヘッドユニットと同じ側に配置される複数のセンサのうち前記格子部と対向するセンサによって、前記所定平面と直交する第３方向に関する前記移動体の位置情報を計測する計測システムをさらに用い、前記計測システムの計測情報に基づいて、前記移動体の第３方向の位置を制御する露光方法。
【請求項３４】
請求項３３に記載の露光方法において、
前記計測システムは、前記格子部と対向する複数のセンサによって前記移動体の第３方向の位置情報、及び傾斜情報を計測する露光方法。
【請求項３５】
請求項３３又は３４に記載の露光方法において、
前記移動体の６自由度の方向の位置情報のうち、前記第１方向、前記第２方向、及び前記所定平面内の回転方向を含む３自由度の方向の位置情報が前記エンコーダシステムで計測され、残りの３自由度の方向の位置情報が前記計測システムで計測される露光方法。
【請求項３６】
請求項３５に記載の露光方法において、
前記計測される６自由度の方向の位置情報に基づいて、少なくとも露光動作における前記移動体の位置を制御する露光方法。
【請求項３７】
請求項３３〜３６のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記物体の面位置情報の計測動作では前記エンコーダシステム及び前記計測システムに加えて、前記物体の前記第３方向の位置情報を計測する位置計測装置がさらに用いられる露光方法。
【請求項３８】
請求項３３〜３７のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記マークの検出動作では、前記エンコーダシステムと前記物体のマークを検出するマーク検出系とが用いられる露光方法。
【請求項３９】
請求項８〜３８のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記移動体を駆動するために、露光動作で前記エンコーダシステムの計測情報が用いられ、前記露光動作と異なる動作で前記移動体の少なくとも前記第１及び第２方向の位置情報を計測する干渉計システムの計測情報が用いられる露光方法。
【請求項４０】
請求項３９に記載の露光方法において、
前記物体のマーク及び／又は面位置情報の検出動作では前記エンコーダシステムの計測情報が用いられる露光方法。
【請求項４１】
請求項３９又は４０に記載の露光方法において、
前記干渉計システムの計測情報の少なくとも一部は前記露光動作で用いられる露光方法。
【請求項４２】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、前記移動体の少なくとも前記第１及び第２方向の位置情報を計測する干渉計システムと、を用意し、
前記移動体を前記第１方向に移動して得られる前記エンコーダシステム及び前記干渉計システムの計測情報と、前記格子部の平面度に関する情報とに基づいて、前記格子部の形成誤差に起因して生じる前記エンコーダシステムの前記第１方向の計測誤差を補償するための補正情報を決定し、前記エンコーダシステムの計測情報と前記補正情報とに基づいて前記移動体の前記第１方向の位置を制御する露光方法。
【請求項４３】
リソグラフィ工程を含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィ工程では、請求項８〜４２のいずれか一項に記載の露光方法を用いて、感応物体を露光し、該感応物体上にパターンを形成するデバイス製造方法。
【請求項４４】
互いに直交する第１軸及び第２軸を含む移動面内で移動体を駆動する移動体駆動システムであって、
前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第２軸と平行な方向の位置情報を計測する第１干渉計と、
前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第１軸と平行な方向の位置情報を計測する第２干渉計と、
前記第１軸と平行な方向を周期方向とする所定ピッチの格子を有し、前記移動体上に配置されたスケールと、
前記第２軸に平行な方向に沿って所定間隔で配置された複数のヘッドを有し、前記スケールと共に前記移動体の前記第１軸に平行な方向の位置情報を計測するエンコーダを構成するヘッドユニットと、
前記第１干渉計の計測値と前記第２干渉計の計測値とに基づいて、前記移動体を前記第１軸に平行な方向に移動させ、該移動に伴って前記ヘッドユニットに順次対向配置される前記スケールの格子ピッチの補正情報を、前記第２干渉計の計測値と前記エンコーダの計測値と前記スケールの平面度に関する情報とに基づいて決定する決定装置と、
前記ヘッドユニットから得られる計測値を前記格子ピッチの補正情報に基づいて補正しながら、前記移動体を前記第１軸に平行な方向へ駆動する制御装置と、を備える移動体駆動システム。
【請求項４５】
請求項４４に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記決定装置は、前記スケールの各格子間のピッチの計測に際し、前記移動体を前記第２干渉計の計測値の短期変動が無視できる速度で、前記移動体を前記第１軸に平行な方向に移動させる移動体駆動システム。
【請求項４６】
請求項４４又は４５に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記第２干渉計の計測値と前記第１干渉計の計測値とに基づいて、前記移動体を前記第２軸に平行な方向に移動させ、前記複数のヘッドのうち、前記移動体の移動に伴って前記スケールに順次対向配置される複数の前記ヘッドから得られる計測値を統計的に処理して前記スケールの格子曲がりの補正情報を求める演算処理装置をさらに備え、
前記駆動装置は、前記ヘッドユニットから得られる計測値を前記格子ピッチの補正情報と前記格子曲がりの補正情報とに基づいて補正しながら、前記移動体を前記第１軸と平行な方向へ駆動する移動体駆動システム。
【請求項４７】
実質的に所定平面に沿って移動体を駆動する移動体駆動システムであって、
前記所定平面と平行な面内の所定方向を周期方向とする格子を有するスケールに検出光を照射し、前記スケールからの反射光を受光するヘッドを有し、前記移動体の前記所定方向の位置情報を計測するエンコーダと、
前記エンコーダの計測値と前記スケールの平面度に関する情報とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する駆動装置と、を備え、
前記駆動装置は、前記スケールの平面度に応じた補正情報として、該平面度を考慮した格子ピッチの補正情報を用い、該格子ピッチの補正情報と前記エンコーダの計測値とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する移動体駆動システム。
【請求項４８】
実質的に所定平面に沿って移動体を駆動する移動体駆動システムであって、
前記所定平面と平行な面内の所定方向を周期方向とする格子を有するスケールに検出光を照射し、前記スケールからの反射光を受光するヘッドを有し、前記移動体の前記所定方向の位置情報を計測するエンコーダと、
前記エンコーダの計測値と前記スケールの平面度に関する情報とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する駆動装置と、を備え、
前記駆動装置は、前記エンコーダによる計測時における前記移動体の前記所定方向とは異なる方向の位置情報に応じた補正情報に更に基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する移動体駆動システム。
【請求項４９】
物体が載置され、該物体を保持して移動面内で移動可能な移動体と、
前記物体に対するパターン形成のため、前記移動体を駆動する請求項４４〜４８のいずれか一項に記載の移動体駆動システムと、を備えるパターン形成装置。
【請求項５０】
エネルギビームの照射によって物体にパターンを形成する露光装置であって、
前記物体に前記エネルギビームを照射するパターニング装置と、
請求項４４〜４８のいずれか一項に記載の移動体駆動システムと、を備え、
前記エネルギビームと前記物体との相対移動のために、前記移動体駆動システムによる前記物体を載置する移動体の駆動を行う露光装置。
【請求項５１】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記エンコーダシステムの計測情報と、前記格子部の平面度に関する情報とに基づいて、前記所定平面内で前記移動体を駆動する駆動装置と、を備える露光装置。
【請求項５２】
請求項５１に記載の露光装置において、
前記格子部の形成誤差に関する情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光装置。
【請求項５３】
請求項５１又は５２に記載の露光装置において、
前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の位置情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光装置。
【請求項５４】
請求項５１〜５３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記所定平面に対する前記移動体の傾斜情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光装置。
【請求項５５】
請求項５１〜５４のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記エンコーダシステムの計測誤差の発生要因となる前記ヘッドユニットの特性情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光装置。
【請求項５６】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記エンコーダシステムの計測情報と、前記格子部及び前記ヘッドユニットの特性情報に応じた補正情報とに基づいて、前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するように前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する制御装置と、を備える露光装置。
【請求項５７】
請求項５６に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の位置情報に応じて設定される露光装置。
【請求項５８】
請求項５６又は５７に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記所定平面に対する前記移動体の傾斜情報に応じて設定される露光装置。
【請求項５９】
請求項５６〜５８のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記特性情報は、前記格子部の平面度及び／又は形成誤差に関する情報を含む露光装置。
【請求項６０】
請求項５６〜５９のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記特性情報は、前記ヘッドユニットの光学特性に関する情報を含む露光装置。
【請求項６１】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記格子部の平坦性に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報と、前記エンコーダシステムの計測情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する制御装置と、を備える露光装置。
【請求項６２】
請求項６１に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記格子部の形成誤差に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光装置。
【請求項６３】
請求項６１又は６２に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の変位に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光装置。
【請求項６４】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記格子部と、前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の変位とに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報と、前記エンコーダシステムの計測情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する制御装置と、を備える露光装置。
【請求項６５】
請求項６３又は６４に記載の露光装置において、
前記異なる方向は、前記所定平面と直交する方向、前記所定平面と直交する軸の回りの回転方向、及び前記所定平面と平行な軸の回りの回転方向の少なくとも１つを含む露光装置。
【請求項６６】
請求項６１〜６５のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記所定平面に対する前記移動体の傾斜に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光装置。
【請求項６７】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能かつ前記所定平面に対して傾斜可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記格子部と前記移動体の傾斜とに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報と、前記エンコーダシステムの計測情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する制御装置と、を備える露光装置。
【請求項６８】
請求項６１〜６７のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記ヘッドユニットに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光装置。
【請求項６９】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記格子部と前記ヘッドユニットとに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報と、前記エンコーダシステムの計測情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する制御装置と、を備える露光装置。
【請求項７０】
請求項６８又は６９に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記ヘッドユニットの少なくとも光学特性に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償する露光装置。
【請求項７１】
請求項６４〜７０のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記格子部の少なくとも形成誤差に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償する露光装置。
【請求項７２】
請求項５６〜７１のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記補正情報に基づいて、前記エンコーダシステムの計測情報又は前記移動体を位置決めする目標位置を補正する露光装置。
【請求項７３】
請求項５６〜６７のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記物体はマスクを介して前記エネルギビームで露光され、前記露光時、前記エンコーダシステムの計測情報に基づいて前記移動体を駆動しつつ、前記計測誤差を補償するように前記補正情報に基づいて前記マスクの位置を制御する露光装置。
【請求項７４】
請求項５１〜７３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記格子部は、前記第１方向を長手方向として延設され、前記ヘッドユニットは、前記第２方向に関して異なる位置に配置される複数のヘッドを有し、前記複数のヘッドのうち前記格子部と対向するヘッドによって前記移動体の位置情報を計測する露光装置。
【請求項７５】
請求項５１〜７４のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記格子部は、前記移動体の一面に設けられ、前記ヘッドユニットは、前記移動体の一面と対向して設けられる露光装置。
【請求項７６】
請求項５１〜７５のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記ヘッドユニットと同じ側に配置される複数のセンサのうち前記格子部と対向するセンサによって、前記所定平面と直交する第３方向に関する前記移動体の位置情報を計測する計測システムをさらに備え、
前記計測システムの計測情報に基づいて、前記移動体の第３方向の位置を制御する露光装置。
【請求項７７】
請求項７６に記載の露光装置において、
前記計測システムは、前記格子部と対向する複数のセンサによって前記移動体の第３方向の位置情報、及び傾斜情報を計測する露光装置。
【請求項７８】
請求項７６又は７７に記載の露光装置において、
前記移動体の６自由度の方向の位置情報のうち、前記第１方向、前記第２方向、及び前記所定平面内の回転方向を含む３自由度の方向の位置情報が前記エンコーダシステムで計測され、残りの３自由度の方向の位置情報が前記計測システムで計測される露光装置。
【請求項７９】
請求項７８に記載の露光装置において、
前記計測される６自由度の方向の位置情報に基づいて、少なくとも露光動作における前記移動体の位置を制御する露光装置。
【請求項８０】
請求項７６〜７９のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記物体の前記第３方向の位置情報を計測する位置計測装置をさらに備え、
前記物体の面位置情報の計測動作では前記エンコーダシステム、前記計測システム、及び前記位置計測装置が用いられる露光装置。
【請求項８１】
請求項７６〜８０のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記物体のマークを検出するマーク検出系をさらに備え、
前記マークの検出動作では前記エンコーダシステムと前記マーク検出系とが用いられる露光装置。
【請求項８２】
請求項５１〜８１のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記移動体の少なくとも前記第１及び第２方向の位置情報を計測する干渉計システムをさらに備え、
前記移動体を駆動するために、露光動作で前記エンコーダシステムの計測情報が用いられ、前記露光動作と異なる動作で前記干渉計システムの計測情報が用いられる露光装置。
【請求項８３】
請求項８２に記載の露光装置において、
前記物体のマーク及び／又は面位置情報の検出動作では前記エンコーダシステムの計測情報が用いられる露光装置。
【請求項８４】
請求項８２又は８３に記載の露光装置において、
前記干渉計システムの計測情報の少なくとも一部は前記露光動作で用いられる露光装置。
【請求項８５】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記移動体の少なくとも前記第１及び第２方向の位置情報を計測する干渉計システムと、
前記移動体を前記第１方向に移動して得られる前記エンコーダシステム及び前記干渉計システムの計測情報と、前記格子部の平面度に関する情報とに基づいて、前記格子部の形成誤差に起因して生じる前記エンコーダシステムの前記第１方向の計測誤差を補償するための補正情報を決定し、前記エンコーダシステムの計測情報と前記補正情報とに基づいて前記移動体の前記第１方向の位置を制御する制御装置と、を備える露光装置。
【請求項１】
互いに直交する第１軸及び第２軸を含む移動面内で移動体を駆動する移動体駆動方法であって、
前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第２軸と平行な方向の位置情報を計測する第１干渉計の計測値と、前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第１軸と平行な方向の位置情報を計測する第２干渉計の計測値とに基づいて、前記移動体を前記第１軸に平行な方向に移動させる第１移動工程と、
前記移動体上に配置された前記第１軸と平行な方向を周期方向とする所定ピッチの格子を有するスケールに対向するヘッドの計測値に基づいて前記移動体の前記第１軸に平行な方向の位置情報を計測するエンコーダを構成する、前記第２軸に平行な方向に沿って所定間隔で配置された複数の前記ヘッドを含むヘッドユニットに対して、前記第１移動工程における前記移動体の移動に伴って順次対向配置される前記スケールの格子ピッチの補正情報を、前記第２干渉計の計測値と前記エンコーダの計測値と前記スケールの平面度に関する情報とに基づいて決定する工程と、
前記ヘッドユニットから得られる計測値を前記格子ピッチの補正情報に基づいて補正しながら、前記移動体を前記第１軸に平行な方向へ駆動する工程と、を含む移動体駆動方法。
【請求項２】
請求項１に記載の移動体駆動方法において、
前記第２干渉計の計測値と前記第１干渉計の計測値とに基づいて、前記移動体を前記第２軸に平行な方向に移動させる第２移動工程と、
前記複数のヘッドのうち、前記第２移動工程における前記移動体の移動に伴って前記スケールに順次対向配置される複数の前記ヘッドから得られる計測値を統計的に処理して前記スケールの格子曲がりの補正情報を求める工程と、をさらに含み、
前記駆動する工程では、前記ヘッドユニットから得られる計測値を前記格子ピッチの補正情報と前記格子曲がりの補正情報とに基づいて補正しながら、前記移動体を前記第１軸と平行な方向へ駆動する移動体駆動方法。
【請求項３】
実質的に所定平面に沿って移動体を駆動する移動体駆動方法であって、
前記所定平面と平行な面内の所定方向を周期方向とする格子を有するスケールに検出光を照射し、前記スケールからの反射光を受光するヘッドを有するエンコーダを用いて、前記移動体の前記所定方向の位置情報を計測し、該計測値と前記スケールの平面度に関する情報とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する工程と、
前記移動体を前記所定方向に移動させつつ、該移動体の前記所定方向の位置情報を計測する前記エンコーダの計測値と前記スケールの平面度とに基づいて、前記平面度を考慮した前記スケールの格子ピッチの補正情報を算出する工程と、を含み、
前記駆動する工程では、前記スケールの平面度に関する情報として前記スケールの平面度を考慮した格子ピッチの補正情報を用い、該補正情報と前記エンコーダの計測値とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する移動体駆動方法。
【請求項４】
実質的に所定平面に沿って移動体を駆動する移動体駆動方法であって、
前記所定平面と平行な面内の所定方向を周期方向とする格子を有するスケールに検出光を照射し、前記スケールからの反射光を受光するヘッドを有するエンコーダを用いて、前記移動体の前記所定方向の位置情報を計測し、該計測値と前記スケールの平面度に関する情報とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する工程を含み、
前記駆動する工程では、前記エンコーダによる計測時における前記移動体の前記所定方向とは異なる方向の位置情報に応じた補正情報に更に基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する移動体駆動方法。
【請求項５】
移動面内で移動可能な移動体上に物体を載置する工程と、
前記物体に対してパターンを形成するため、請求項１〜４のいずれか一項に記載の移動体駆動方法により前記移動体を駆動する工程と、を含むパターン形成方法。
【請求項６】
パターン形成工程を含むデバイス製造方法であって、
前記パターン形成工程では、請求項５に記載のパターン形成方法を用いて基板上にパターンを形成するデバイス製造方法。
【請求項７】
エネルギビームの照射によって物体にパターンを形成する露光方法であって、
前記エネルギビームと前記物体との相対移動のために、請求項１〜４のいずれか一項に記載の移動体駆動方法を用いて、前記物体を載置する移動体を駆動する露光方法。
【請求項８】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムの計測情報と、前記格子部の平面度に関する情報とに基づいて、前記所定平面内で前記移動体を駆動する露光方法。
【請求項９】
請求項８に記載の露光方法において、
前記格子部の形成誤差に関する情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光方法。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載の露光方法において、
前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の位置情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光方法。
【請求項１１】
請求項８〜１０のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記所定平面に対する前記移動体の傾斜情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光方法。
【請求項１２】
請求項８〜１１のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記エンコーダシステムの計測誤差の発生要因となる前記ヘッドユニットの特性情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光方法。
【請求項１３】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムの計測情報と、前記格子部及び前記ヘッドユニットの特性情報に応じた補正情報とに基づいて、前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するように前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する露光方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の位置情報に応じて設定される露光方法。
【請求項１５】
請求項１３又は１４に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記所定平面に対する前記移動体の傾斜情報に応じて設定される露光方法。
【請求項１６】
請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記特性情報は、前記格子部の平面度及び／又は形成誤差に関する情報を含む露光方法。
【請求項１７】
請求項１３〜１６のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記特性情報は、前記ヘッドユニットの光学特性に関する情報を含む露光方法。
【請求項１８】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムの計測情報と、前記格子部の平坦性に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する露光方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記格子部の形成誤差に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光方法。
【請求項２０】
請求項１８又は１９に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の変位に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光方法。
【請求項２１】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムの計測情報と、
前記格子部と、前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の変位とに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する露光方法。
【請求項２２】
請求項２１に記載の露光方法において、
前記異なる方向は、前記所定平面と直交する方向、前記所定平面と直交する軸の回りの回転方向、及び前記所定平面と平行な軸の回りの回転方向の少なくとも１つを含む露光方法。
【請求項２３】
請求項１８〜２２のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記所定平面に対する前記移動体の傾斜に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光方法。
【請求項２４】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能かつ前記所定平面に対して傾斜可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムの計測情報と、前記格子部と前記移動体の傾斜とに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する露光方法。
【請求項２５】
請求項１８〜２４のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記ヘッドユニットに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光方法。
【請求項２６】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムの計測情報と、
前記格子部と前記ヘッドユニットとに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する露光方法。
【請求項２７】
請求項２５又は２６に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記ヘッドユニットの少なくとも光学特性に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償する露光方法。
【請求項２８】
請求項２１〜２７のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記補正情報は、前記格子部の少なくとも形成誤差に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償する露光方法。
【請求項２９】
請求項１３〜２８のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記補正情報に基づいて、前記エンコーダシステムの計測情報又は前記移動体を位置決めする目標位置を補正する露光方法。
【請求項３０】
請求項１３〜２４のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記物体はマスクを介して前記エネルギビームで露光され、前記露光時、前記エンコーダシステムの計測情報に基づいて前記移動体を駆動しつつ、前記計測誤差を補償するように前記補正情報に基づいて前記マスクの位置を制御する露光方法。
【請求項３１】
請求項８〜３０のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記格子部は、前記第１方向を長手方向として延設され、前記ヘッドユニットは、前記第２方向に関して異なる位置に配置される複数のヘッドを有し、前記複数のヘッドのうち前記格子部と対向するヘッドによって前記移動体の位置情報を計測する露光方法。
【請求項３２】
請求項８〜３１のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記格子部は、前記移動体の一面に設けられ、前記ヘッドユニットは、前記移動体の一面と対向して設けられる露光方法。
【請求項３３】
請求項８〜３２のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記ヘッドユニットと同じ側に配置される複数のセンサのうち前記格子部と対向するセンサによって、前記所定平面と直交する第３方向に関する前記移動体の位置情報を計測する計測システムをさらに用い、前記計測システムの計測情報に基づいて、前記移動体の第３方向の位置を制御する露光方法。
【請求項３４】
請求項３３に記載の露光方法において、
前記計測システムは、前記格子部と対向する複数のセンサによって前記移動体の第３方向の位置情報、及び傾斜情報を計測する露光方法。
【請求項３５】
請求項３３又は３４に記載の露光方法において、
前記移動体の６自由度の方向の位置情報のうち、前記第１方向、前記第２方向、及び前記所定平面内の回転方向を含む３自由度の方向の位置情報が前記エンコーダシステムで計測され、残りの３自由度の方向の位置情報が前記計測システムで計測される露光方法。
【請求項３６】
請求項３５に記載の露光方法において、
前記計測される６自由度の方向の位置情報に基づいて、少なくとも露光動作における前記移動体の位置を制御する露光方法。
【請求項３７】
請求項３３〜３６のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記物体の面位置情報の計測動作では前記エンコーダシステム及び前記計測システムに加えて、前記物体の前記第３方向の位置情報を計測する位置計測装置がさらに用いられる露光方法。
【請求項３８】
請求項３３〜３７のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記マークの検出動作では、前記エンコーダシステムと前記物体のマークを検出するマーク検出系とが用いられる露光方法。
【請求項３９】
請求項８〜３８のいずれか一項に記載の露光方法において、
前記移動体を駆動するために、露光動作で前記エンコーダシステムの計測情報が用いられ、前記露光動作と異なる動作で前記移動体の少なくとも前記第１及び第２方向の位置情報を計測する干渉計システムの計測情報が用いられる露光方法。
【請求項４０】
請求項３９に記載の露光方法において、
前記物体のマーク及び／又は面位置情報の検出動作では前記エンコーダシステムの計測情報が用いられる露光方法。
【請求項４１】
請求項３９又は４０に記載の露光方法において、
前記干渉計システムの計測情報の少なくとも一部は前記露光動作で用いられる露光方法。
【請求項４２】
エネルギビームで物体を露光する露光方法であって、
少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体に前記物体を載置し、
前記物体が載置される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、前記移動体の少なくとも前記第１及び第２方向の位置情報を計測する干渉計システムと、を用意し、
前記移動体を前記第１方向に移動して得られる前記エンコーダシステム及び前記干渉計システムの計測情報と、前記格子部の平面度に関する情報とに基づいて、前記格子部の形成誤差に起因して生じる前記エンコーダシステムの前記第１方向の計測誤差を補償するための補正情報を決定し、前記エンコーダシステムの計測情報と前記補正情報とに基づいて前記移動体の前記第１方向の位置を制御する露光方法。
【請求項４３】
リソグラフィ工程を含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィ工程では、請求項８〜４２のいずれか一項に記載の露光方法を用いて、感応物体を露光し、該感応物体上にパターンを形成するデバイス製造方法。
【請求項４４】
互いに直交する第１軸及び第２軸を含む移動面内で移動体を駆動する移動体駆動システムであって、
前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第２軸と平行な方向の位置情報を計測する第１干渉計と、
前記移動体に設けられた反射面に対して計測ビームを照射することにより、前記移動体の第１軸と平行な方向の位置情報を計測する第２干渉計と、
前記第１軸と平行な方向を周期方向とする所定ピッチの格子を有し、前記移動体上に配置されたスケールと、
前記第２軸に平行な方向に沿って所定間隔で配置された複数のヘッドを有し、前記スケールと共に前記移動体の前記第１軸に平行な方向の位置情報を計測するエンコーダを構成するヘッドユニットと、
前記第１干渉計の計測値と前記第２干渉計の計測値とに基づいて、前記移動体を前記第１軸に平行な方向に移動させ、該移動に伴って前記ヘッドユニットに順次対向配置される前記スケールの格子ピッチの補正情報を、前記第２干渉計の計測値と前記エンコーダの計測値と前記スケールの平面度に関する情報とに基づいて決定する決定装置と、
前記ヘッドユニットから得られる計測値を前記格子ピッチの補正情報に基づいて補正しながら、前記移動体を前記第１軸に平行な方向へ駆動する制御装置と、を備える移動体駆動システム。
【請求項４５】
請求項４４に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記決定装置は、前記スケールの各格子間のピッチの計測に際し、前記移動体を前記第２干渉計の計測値の短期変動が無視できる速度で、前記移動体を前記第１軸に平行な方向に移動させる移動体駆動システム。
【請求項４６】
請求項４４又は４５に記載の移動体駆動システムにおいて、
前記第２干渉計の計測値と前記第１干渉計の計測値とに基づいて、前記移動体を前記第２軸に平行な方向に移動させ、前記複数のヘッドのうち、前記移動体の移動に伴って前記スケールに順次対向配置される複数の前記ヘッドから得られる計測値を統計的に処理して前記スケールの格子曲がりの補正情報を求める演算処理装置をさらに備え、
前記駆動装置は、前記ヘッドユニットから得られる計測値を前記格子ピッチの補正情報と前記格子曲がりの補正情報とに基づいて補正しながら、前記移動体を前記第１軸と平行な方向へ駆動する移動体駆動システム。
【請求項４７】
実質的に所定平面に沿って移動体を駆動する移動体駆動システムであって、
前記所定平面と平行な面内の所定方向を周期方向とする格子を有するスケールに検出光を照射し、前記スケールからの反射光を受光するヘッドを有し、前記移動体の前記所定方向の位置情報を計測するエンコーダと、
前記エンコーダの計測値と前記スケールの平面度に関する情報とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する駆動装置と、を備え、
前記駆動装置は、前記スケールの平面度に応じた補正情報として、該平面度を考慮した格子ピッチの補正情報を用い、該格子ピッチの補正情報と前記エンコーダの計測値とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する移動体駆動システム。
【請求項４８】
実質的に所定平面に沿って移動体を駆動する移動体駆動システムであって、
前記所定平面と平行な面内の所定方向を周期方向とする格子を有するスケールに検出光を照射し、前記スケールからの反射光を受光するヘッドを有し、前記移動体の前記所定方向の位置情報を計測するエンコーダと、
前記エンコーダの計測値と前記スケールの平面度に関する情報とに基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する駆動装置と、を備え、
前記駆動装置は、前記エンコーダによる計測時における前記移動体の前記所定方向とは異なる方向の位置情報に応じた補正情報に更に基づいて、前記移動体を前記所定方向に駆動する移動体駆動システム。
【請求項４９】
物体が載置され、該物体を保持して移動面内で移動可能な移動体と、
前記物体に対するパターン形成のため、前記移動体を駆動する請求項４４〜４８のいずれか一項に記載の移動体駆動システムと、を備えるパターン形成装置。
【請求項５０】
エネルギビームの照射によって物体にパターンを形成する露光装置であって、
前記物体に前記エネルギビームを照射するパターニング装置と、
請求項４４〜４８のいずれか一項に記載の移動体駆動システムと、を備え、
前記エネルギビームと前記物体との相対移動のために、前記移動体駆動システムによる前記物体を載置する移動体の駆動を行う露光装置。
【請求項５１】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記エンコーダシステムの計測情報と、前記格子部の平面度に関する情報とに基づいて、前記所定平面内で前記移動体を駆動する駆動装置と、を備える露光装置。
【請求項５２】
請求項５１に記載の露光装置において、
前記格子部の形成誤差に関する情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光装置。
【請求項５３】
請求項５１又は５２に記載の露光装置において、
前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の位置情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光装置。
【請求項５４】
請求項５１〜５３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記所定平面に対する前記移動体の傾斜情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光装置。
【請求項５５】
請求項５１〜５４のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記エンコーダシステムの計測誤差の発生要因となる前記ヘッドユニットの特性情報にも基づいて前記移動体が駆動される露光装置。
【請求項５６】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記エンコーダシステムの計測情報と、前記格子部及び前記ヘッドユニットの特性情報に応じた補正情報とに基づいて、前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するように前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する制御装置と、を備える露光装置。
【請求項５７】
請求項５６に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の位置情報に応じて設定される露光装置。
【請求項５８】
請求項５６又は５７に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記所定平面に対する前記移動体の傾斜情報に応じて設定される露光装置。
【請求項５９】
請求項５６〜５８のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記特性情報は、前記格子部の平面度及び／又は形成誤差に関する情報を含む露光装置。
【請求項６０】
請求項５６〜５９のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記特性情報は、前記ヘッドユニットの光学特性に関する情報を含む露光装置。
【請求項６１】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記格子部の平坦性に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報と、前記エンコーダシステムの計測情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する制御装置と、を備える露光装置。
【請求項６２】
請求項６１に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記格子部の形成誤差に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光装置。
【請求項６３】
請求項６１又は６２に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の変位に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光装置。
【請求項６４】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記格子部と、前記第１及び第２方向と異なる方向に関する前記移動体の変位とに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報と、前記エンコーダシステムの計測情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する制御装置と、を備える露光装置。
【請求項６５】
請求項６３又は６４に記載の露光装置において、
前記異なる方向は、前記所定平面と直交する方向、前記所定平面と直交する軸の回りの回転方向、及び前記所定平面と平行な軸の回りの回転方向の少なくとも１つを含む露光装置。
【請求項６６】
請求項６１〜６５のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記所定平面に対する前記移動体の傾斜に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光装置。
【請求項６７】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能かつ前記所定平面に対して傾斜可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記格子部と前記移動体の傾斜とに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報と、前記エンコーダシステムの計測情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する制御装置と、を備える露光装置。
【請求項６８】
請求項６１〜６７のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記ヘッドユニットに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差をも補償する露光装置。
【請求項６９】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記格子部と前記ヘッドユニットとに起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償するための補正情報と、前記エンコーダシステムの計測情報とに基づいて、前記所定平面内での前記移動体の位置を制御する制御装置と、を備える露光装置。
【請求項７０】
請求項６８又は６９に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記ヘッドユニットの少なくとも光学特性に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償する露光装置。
【請求項７１】
請求項６４〜７０のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記補正情報は、前記格子部の少なくとも形成誤差に起因して生じる前記エンコーダシステムの計測誤差を補償する露光装置。
【請求項７２】
請求項５６〜７１のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記補正情報に基づいて、前記エンコーダシステムの計測情報又は前記移動体を位置決めする目標位置を補正する露光装置。
【請求項７３】
請求項５６〜６７のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記物体はマスクを介して前記エネルギビームで露光され、前記露光時、前記エンコーダシステムの計測情報に基づいて前記移動体を駆動しつつ、前記計測誤差を補償するように前記補正情報に基づいて前記マスクの位置を制御する露光装置。
【請求項７４】
請求項５１〜７３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記格子部は、前記第１方向を長手方向として延設され、前記ヘッドユニットは、前記第２方向に関して異なる位置に配置される複数のヘッドを有し、前記複数のヘッドのうち前記格子部と対向するヘッドによって前記移動体の位置情報を計測する露光装置。
【請求項７５】
請求項５１〜７４のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記格子部は、前記移動体の一面に設けられ、前記ヘッドユニットは、前記移動体の一面と対向して設けられる露光装置。
【請求項７６】
請求項５１〜７５のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記ヘッドユニットと同じ側に配置される複数のセンサのうち前記格子部と対向するセンサによって、前記所定平面と直交する第３方向に関する前記移動体の位置情報を計測する計測システムをさらに備え、
前記計測システムの計測情報に基づいて、前記移動体の第３方向の位置を制御する露光装置。
【請求項７７】
請求項７６に記載の露光装置において、
前記計測システムは、前記格子部と対向する複数のセンサによって前記移動体の第３方向の位置情報、及び傾斜情報を計測する露光装置。
【請求項７８】
請求項７６又は７７に記載の露光装置において、
前記移動体の６自由度の方向の位置情報のうち、前記第１方向、前記第２方向、及び前記所定平面内の回転方向を含む３自由度の方向の位置情報が前記エンコーダシステムで計測され、残りの３自由度の方向の位置情報が前記計測システムで計測される露光装置。
【請求項７９】
請求項７８に記載の露光装置において、
前記計測される６自由度の方向の位置情報に基づいて、少なくとも露光動作における前記移動体の位置を制御する露光装置。
【請求項８０】
請求項７６〜７９のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記物体の前記第３方向の位置情報を計測する位置計測装置をさらに備え、
前記物体の面位置情報の計測動作では前記エンコーダシステム、前記計測システム、及び前記位置計測装置が用いられる露光装置。
【請求項８１】
請求項７６〜８０のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記物体のマークを検出するマーク検出系をさらに備え、
前記マークの検出動作では前記エンコーダシステムと前記マーク検出系とが用いられる露光装置。
【請求項８２】
請求項５１〜８１のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記移動体の少なくとも前記第１及び第２方向の位置情報を計測する干渉計システムをさらに備え、
前記移動体を駆動するために、露光動作で前記エンコーダシステムの計測情報が用いられ、前記露光動作と異なる動作で前記干渉計システムの計測情報が用いられる露光装置。
【請求項８３】
請求項８２に記載の露光装置において、
前記物体のマーク及び／又は面位置情報の検出動作では前記エンコーダシステムの計測情報が用いられる露光装置。
【請求項８４】
請求項８２又は８３に記載の露光装置において、
前記干渉計システムの計測情報の少なくとも一部は前記露光動作で用いられる露光装置。
【請求項８５】
エネルギビームで物体を露光する露光装置であって、
前記物体を保持し、少なくとも所定平面内で直交する第１及び第２方向に移動可能な移動体と、
前記物体が保持される前記移動体の一面に格子部とヘッドユニットとの一方が設けられ、かつ他方が前記移動体の一面と対向して設けられ、前記所定平面内での前記移動体の位置情報を計測するエンコーダシステムと、
前記移動体の少なくとも前記第１及び第２方向の位置情報を計測する干渉計システムと、
前記移動体を前記第１方向に移動して得られる前記エンコーダシステム及び前記干渉計システムの計測情報と、前記格子部の平面度に関する情報とに基づいて、前記格子部の形成誤差に起因して生じる前記エンコーダシステムの前記第１方向の計測誤差を補償するための補正情報を決定し、前記エンコーダシステムの計測情報と前記補正情報とに基づいて前記移動体の前記第１方向の位置を制御する制御装置と、を備える露光装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【公開番号】特開２０１３−６５８６６（Ｐ２０１３−６５８６６Ａ）
【公開日】平成２５年４月１１日（２０１３．４．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−２４５０１５（Ｐ２０１２−２４５０１５）
【出願日】平成２４年１１月７日（２０１２．１１．７）
【分割の表示】特願２００８−５３２１３７（Ｐ２００８−５３２１３７）の分割
【原出願日】平成１９年８月３１日（２００７．８．３１）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月１１日（２０１３．４．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年１１月７日（２０１２．１１．７）
【分割の表示】特願２００８−５３２１３７（Ｐ２００８−５３２１３７）の分割
【原出願日】平成１９年８月３１日（２００７．８．３１）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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