【課題】 視野角が広い場合においても正確に距離測定が可能である双眼視装置を提供する。
【解決手段】 歪曲収差は、レンズ系への入射角θに依存するので、歪曲収差が無いときに光軸からｒ_０だけ離れた点に結像すべき点が光軸からｒだけ離れた点に結像したとすると、歪曲収差Ｖは、 Ｖ＝（ｒ−ｒ_０）／ｒ_０ で表される。この関係より、歪曲収差Ｖが知られているとき、光軸からｒ離れた点に結像した点を、光軸とその点を結ぶ線上で、光軸から ｒ／（１＋Ｖ） だけ離れた点に結像したものに変換する画像処理を行うことにより、歪曲収差の補正を行うことができる。これにより、互いに直交する平行線群を撮像したとき（ａ）のようになる像を、（ｂ）のように修正することができる。 （もっと読む）

【課題】 多層構造を有する半導体装置の製造において、簡単に正確な層間位置合わせを実現する。
【解決手段】 第１の導体パターンを含む第１の絶縁膜と、前記第１の絶縁膜上に形成され第２の導体パターンを含む第２の絶縁膜とよりなる積層構造上に、第３の導体パターンを形成する工程を含む半導体装置の製造方法において、前記第１の導体パターンと前記第２の導体パターンとの間の第１の位置ずれ量を計測し、前記第２の導体パターンと前記第３の導体パターンとの間の第２の位置ずれ量を計測し、前記第２の絶縁膜上に前記第３の導体パターンを、エッチングにより形成し、前記第３の導体パターンと前記第１の導体パターンとの間の第３の位置ずれ量を、前記パターニングされた第３の導体パターンと前記第１の絶縁膜中に含まれる位置合わせマークを観察することにより計測し、前記第２の位置ずれ量を前記第１および第３の位置ずれ量に基づいて補正した補正位置ずれ量を求める。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ内のパターン内部の分光情報を高速で得ることができ、制御性が向上し、多数点測定に対するシステム構築が容易になる膜厚検査装置を提供する。
【解決手段】液晶カラーフィルタ基板Ｂのカラーパターン内部のレジスト等の膜厚を測定する膜厚検査装置である。光源１と、光源１からの測定光を基板Ｂ上に微小スポットＳとして結像するレンズ群２と、レンズ群２を基板Ｂに対して略直交する方向に移動させて微小スポットＳを合焦させる駆動手段５５と、レンズ群２にて結像される微小スポットＳを基板Ｂ上に移動させる移動手段２５とを備える。カラーパターンＰに対する微小スポットＳの相対位置を検知して、これに基づいて移動手段２５にて微小スポットＳをカラーパターンＰ上に結像させる。カラーパターンＰ上に結像した微小スポットＳからの反射光の分光測定を分光手段５にて行う。 （もっと読む）

【課題】
常時又は地震時等の災害時に於ける構造物、特に、２点間の変位量を所定の遠隔地に於いても迅速かつ適正に検出できる技術を提供する。
【解決手段】
構造物としての一方の桁３５、構造物としての他方の桁３６に於いて、該一方の桁３５と他方の桁３６の相互間の下方位置には橋台又は橋脚３７が配置してある。該橋脚３７は躯体で構成してもよい。上記橋脚３７は、上面に２点間変位計３８を配置し、上記２点間変位計３８は、上記光ファイバ固定治具及び複数列で構成された複数個又は多数固のプーリーでなる回転可能な光ファイバ巻回部材及びコイルバネ等でなる変位・荷重変換部材を搭載する。この２点間変位計３８から歪みセンサ機能を有する一方側及び他方側の光ファイバ３９、４０を引出すと共に該一方側の光ファイバ３９をＢＯＴＤＲ計測器４６に接続する。 （もっと読む）

ウェハ上またはデバイス上の微細構成を破壊することなく測定できるようにするために、本発明は、少なくとも１つの蛍光発光局所構造体（２２）が共焦点顕微鏡（１）を用いて励起光で走査され、対物レンズ（１５）の焦点面（１９）中の焦点（１７）から放射され励起光で励起された蛍光が検出され、前記焦点（１７）の位置および検出された蛍光信号から測定データが得られる、ウェハ（２）上またはデバイス上の３次元局所構造体（２２）を測定する方法を提供する。 （もっと読む）