【課題】屈折・回折型レンズを用いたSchupmann光学系で配置される分光光学系により垂直落射照明を可能とし、かつ、ＤＵＶ−ＵＶ（２００ｎｍ〜４００ｎｍ）領域の広帯域色補正を行うことを可能とする分光光学系および分光測定装置を提供する。
【解決手段】光源１１０と、視野絞り１１１と、リレーレンズ系１４０と、フィールドレンズ系１５０と、結像レンズ系１６０と、分光器１７０とを有し、リレーレンズ系１４０、フィールドレンズ系１５０および結像レンズ系１６０は、屈折型レンズおよび／または回折型レンズによるSchupmann光学系で配置され、かつ、リレーレンズ系１４０と結像レンズ系１６０のいずれか一方に回折型レンズを有する分光光学系であって、フィールドレンズ系１５０が２枚以上のレンズで構成され、そのうちの１箇所においてレンズが所定の距離だけ離して配置されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な機構であっても、精度良く且つ信頼度の高い形状測定を行うことができる形状測定装置を提供することである。
【解決手段】位置測定手段（ＣＰＵ８１、位置測定プログラム８３ｂ４）によって、球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量を測定し、拡大倍率情報抽出手段（ＣＰＵ８１、拡大倍率情報抽出プログラム８３ｂ５）によって、位置測定手段によって測定された球体２００の基準位置からの光軸方向のずれ量に基づき、補正量記憶手段（補正量データテーブル８３ａ）から当該ずれ量に対応した拡大倍率情報を抽出し、断面形状補正手段（ＣＰＵ８１、断面形状補正プログラム８３ｂ６）によって、拡大倍率情報抽出手段により抽出された拡大倍率情報に基づき、断面形状算出手段（ＣＰＵ８１、断面形状算出プログラム８３ｂ１）により算出された一断面形状を補正する。 （もっと読む）

【課題】ロールカリバー形状調整のための各カリバーロールのカリバー部分の相対位置関係を高精度に検出すること。
【解決手段】複数のカリバーロールを組み合わせて形成される圧延空間であるロールカリバーの全カリバーを含む圧延方向断面形状を取得する照明光源７，光ファイバ８，投光レンズ６，撮影レンズ９，撮像部１０および画像入力部１２と、取得された圧延方向断面形状をもとに各カリバーロールを識別する画像処理部１３およびロール識別部１４と、識別された各カリバーロールのカリバー部分の形状プロフィールを求め、各形状プロフィール内で圧延に寄与する有効カリバー曲線をそれぞれ抽出し、各有効カリバー曲線を描くための中心位置を算出する演算部１５と、算出された各中心位置をもとに各カリバーロールの相対位置を算出して出力する表示部１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】傾斜した測定面を有する被測定物を良好に測定できる光学式変位測定器を提供。
【解決手段】対物レンズ１７０の焦点位置を測定面９０１に一致させる焦点合わせ手段２２０を備える。焦点合わせ手段は、測定面から反射された反射光を２つに分割し、その第１反射光、第２反射光の結像点の前および後にそれぞれ配置された第１，第２受光素子アレイ２３７Ａ，２３７Ｂと、第１，第２受光素子アレイのそれぞれにおいて予め定めたエリア内の複数の画素で受光される受光信号のうち最も明るい画素からｎ（整数）番目までの画素の受光信号を除外して残りの画素の受光信号の合計値を求める受光信号演算手段（焦点位置検出回路２３２）とを備える。これらの受光信号合計値が等しくなるように、フォーカシングレンズ１３０の位置を制御して対物レンズの焦点位置を測定面に一致させる。 （もっと読む）

【課題】実質的に所定平面に沿って移動する移動体の、該所定平面に垂直な方向の位置情報を、安定かつ高精度に計測する。
【解決手段】投影ユニットＰＵの＋Ｘ，−Ｘ側にそれぞれ複数のＺヘッド７６，７４が、常時各２つのＺヘッドが対になってウエハステージ上の一対のＹスケール（反射面）に対向するように、Ｘ軸と平行に、Ｙスケールの有効幅の半分以下の間隔ＷＤで配列されている。同時にＹスケールに対向する２つのＺヘッドからなるヘッド対のうち、優先ヘッドの計測値を、優先ヘッドの計測値がスケール表面に付着したゴミなどに起因して異常である場合には他方のヘッドの計測値を、使用して、ウエハステージの少なくともＺ軸方向の位置情報を、安定かつ高精度に計測する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、パネルの欠陥位置を精度良く特定する装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の装置１０は、パネル１２の保持台１４と、パネル１２の全ての画素を駆動させる信号発生器１６と、パネル１２を撮影するカメラ１８と、カメラ１８で撮影される領域の中心にレーザーを照射するレーザーポインタ２０と、カメラ１８とレーザーポインタ２０とを移動させる２軸（ＸＹ）ステージ２２と、２軸ステージ２２におけるカメラ１８の位置（以下、第１の位置）を求めるスケーラー（図示せず）と、種々の制御やデータの処理をおこなうコンピュータ２４と、欠陥サブピクセルの座標などを記憶するデータベース２６とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成でありながら収差の発生を極力抑え、光線の入射角を高精度に検出することが可能な光学ユニットを提供する。
【解決手段】光源１と、受光素子列３と、光源１からの出射光を試料配置部２ａ₁に入射させると共に試料配置部２ａ₁からの全反射光を受光素子列３に導くプリズム２とを有する。プリズムは、試料配置部２ａ₁を有する放物形状の光学面２ａと、放物形状の光学面２ａの焦点Ｐからこの光学面２ａに入射しこの光学面２ａで全反射した光をプリズム２の外部に垂直に出射させる出射面２ｂを有する。受光素子列３の各受光素子は、出射面２ｂから垂直に出射した光を受光面で垂直に受光するように配置される。さらに、光源１からの出射光が、放物形状の光学面２ａの焦点Ｐを中心として発散する発散光となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】パターンのムラと、欠陥等の検査を１台の検査装置により実現すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置１０は、試料３０上に形成されたパターンを検査する検査装置であって、試料３０に照明光を照射する光源１１と、試料３０のパターンに対する光学的なフーリエ変換面に配置され、試料３０からの回折光又は散乱光を反射するデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）１３と、ＤＭＤ１３と共役な位置に配置され、ＤＭＤ１３で反射された光を受光する光検出器１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転体の振れ測定装置および方法において、回転体の振れを精度よく測定することができるようにする。
【解決手段】振れ測定装置１００は、回転体１ｂの回転体端面１ａに回転体１ｂとともに回転可能に配置された球面反射面２ａを有する球面反射鏡２に、回転体１ｂの回転軸に沿う方向からレーザー光Ｌを照射するレーザー光源４と、レーザー光源４からのレーザー光Ｌを球面反射面２ａの曲率中心面に向けて集光するとともに、レーザー光Ｌの球面反射面２ａでの反射光を結像する集光レンズ６と、集光レンズ６により結像されたスポット像を撮像するＣＣＤカメラ７と、回転体１ｂを１回転以上回転させて取得される複数のスポット像に基づく軌跡から回転体１ｂの振れ量を求める演算処理部とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡素な構成にしたがって、例えばマスクのパターン面または感光性基板の露光面の三次元的な位置情報を高精度で検出することのできる位置検出装置。
【解決手段】 位置検出装置（１１）は、検出光を供給する光源（２１）と、物体（Ｍ）に設けられた回折光発生部（ＰＨ）に検出光を集光させる集光光学系（２３）と、検出光を受けて回折光発生部から発生する回折測定光および検出光を受けて参照面（２４）から発生する参照光を所定位置へ導く導光光学系（２２，２５）と、所定位置に配置されて回折測定光と参照光との干渉縞を検出する光検出器（２６）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
印刷製品を加工するための装置を提供する。
【解決手段】
搬送流に平坦に位置して搬送される複数の印刷紙葉または個別の紙葉からなる印刷製品６、６’、６’’の位置および／または少なくとも１つの寸法を制御するための装置は、印刷製品６、６’、６’’を搬送するための搬送装置１３、２８と、印刷製品６、６’、６’’に向けられて、計算機で支援された制御装置４に接続された少なくとも１つのセンサ２、２’、２’’とを備え、この場合、少なくとも１つのセンサ２、２’、２’’は、ラインセンサまたは面センサとして形成されており、また印刷製品６、６’、６’’の縁部８、９、１０に向けられている。 （もっと読む）

非接触測定装置および方法。測定される対象物体の画像を取り込むための少なくとも１つの撮像デバイスを備える、座標位置決め装置上に装着するためのプローブが提供される。第１の透視位置からプローブによって得られる対象物体の少なくとも１つの第１の画像および第２の透視位置からプローブによって得られる対象物体の少なくとも１つの第２の画像を解析して、測定される対象物体上の少なくとも１つのターゲット特徴を識別するように構成された画像解析装置も提供される。前記画像解析装置は、光学的パターンが投影される対象物体の、プローブによって得られる画像の解析結果を用いて、対象物体の表面に関する凹凸形状データを取得するようにさらに構成される。
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【課題】インクジェットヘッドから吐出され、基板に着弾した液滴の接触角を精度よく測定可能なシステムを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド３０と、インクジェットヘッドのノズル３１から吐出された液滴の飛翔状態を観察するための第１の撮像デバイス１１および第１の撮像用レンズ１２を含む第１の観察ユニット１０と、インクジェットヘッドのノズル３１から吐出された液滴がターゲットの基板２に着弾した後の状態を側方から観察するための第２の撮像デバイス２１および第２の撮像用レンズ２２を含む第２の観察ユニット２０と、第１の撮像用レンズ１２の焦点位置１３および第２の撮像用レンズ２２の焦点位置２３を結ぶ第１のラインＸ１に沿ってインクジェットヘッド３０を移動させるヘッド移動機構５０とを有する観察システム１を提供する。 （もっと読む）

【課題】液層中の気泡または気層中の液滴の径が小さい場合にも流動現象を高精度に計測することができる装置，方法，光ファイバプローブを提供する。
【解決手段】流動現象計測装置１は、光ファイバプローブ１０，光源部２０，受光部３０および解析部４０を備える。光ファイバプローブ１０は、第１端１１ａと第２端１１ｂとの間に延在する光ファイバ１１が加工されて構成されたもので、その第１端１１ａ側において第１検知部１４および第２検知部１５を有する。第１検知部１４および第２検知部１５それぞれは、ファイバ軸方向について互いに離間した位置に設けられている。第１検知部１４および第２検知部１５それぞれでは、光ファイバ１０の第２端１１ｂから第１端１１ａに向かう導波光の反射率が接触物の屈折率によって異なる。 （もっと読む）

【課題】ひずみ極大箇所を正確に特定し、そのひずみ極大箇所に正確に貼り付けることができるひずみ発生箇所検出部品及びひずみ発生箇所検出装置を提供する。
【解決手段】ひずみ発生箇所検出部品に所定以上のひずみが発生した際、その発生場所に亀裂や断線が生じるので、ひずみが無くなった後でも亀裂箇所や断線箇所を観察することでひずみが発生した場所を特定できる。この結果、ひずみを定量的に測定する際に、ひずみが大きな場所に正確にひずみゲージを貼り付けることが出来、正確なひずみ測定を行うことが出来る。 （もっと読む）

【課題】静止物体を低価格で簡易に且つ高精度にステレオ３次元計測できるようにした、インタラクティブなステレオ３次元計測システムを提供する。
【解決手段】ステレオ画像間の対応位置を探索することにより、静止物体である計測対象の３次元計測を行うステレオ３次元計測システムであって、撮像装置と、空間的にも時間的にも変化するアクティブ照明を発生させるアクティブ照明手段と、３次元計測処理装置と、表示装置とを備え、アクティブ照明で計測対象を照らしつつ、撮像装置を用いて時系列のステレオ画像を撮影し、撮影されたステレオ画像は、３次元計測処理装置に入力され、３次元計測処理装置では、時間方向に複数のフレームを使ってステレオ画像間の対応位置を探索することにより、計測対象までの距離を計測し、計測して得られた計測結果を表示装置に表示させ、更に、最新のステレオ画像を用いて逐次的に計測処理を行い、実時間に計測結果を表示装置に表示させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、表面特性の定量測定のための方法を提供し、解析されるべき表面（８）の、多数の測定値を含んでいる空間的に分解された画像が評価される。
【解決手段】方法は、測定値によって特徴付けられ得る特定の物理的な特性を表す画像の表面積（Ａ）を決定するために、測定値を解析するステップと、物理的な特性の結果値（Ｉ）を決定するステップであって、この結果値は、測定値を解析することによって決定された表面積（Ａ）全体の物理的な特性の測定値に特有のものである、ステップと、を包含し、結果値に加えて、表面に特有のさらなる値（Ｂ）が決定され、このさらなる特徴値（Ｂ）は、結果値（Ｉ）またはこの結果値に依存する値と共に表示されることを特徴とする、方法。 （もっと読む）

【課題】 光源からの光でレンズの球面収差により形成される光のリング像の大きさが十分でない場合であっても、リング像の中心位置を算出することができる位置演算システム、位置演算装置および位置演算方法を提供する。
【解決手段】 位置演算システムは、光源１〜４と、光源からの光で球面収差により光のリング像１１を形成するレンズ１２と、リング像を撮像するイメージセンサ１３と、撮像素子による撮像画像に対して連結成分解析を行って演算対象領域を設定し、この演算対象領域の輝度分布に基づいて算出したリング像の中心位置を用いて光源位置の演算を行う演算装置１４とを備える。リング像の中心位置は、例えば演算対象領域の輝度分布において輝度値を二値化することにより抽出したリング像のエッジ点に基づいて算出することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物表面の形状を検査する表面形状検査装置において、被検査物表面へ投射する投射光を３種類以上に分割するフィルタの構成を単純なものとすることによって、表面形状検査装置を比較的簡単な構成とするように工夫すること。
【解決手段】被検査物１３の表面の形状を検査する表面形状検査装置であって、
投射光発生手段１０と、上記投射光発生手段から発生した投射光の進行方向を変更する進行方向変更手段１１と、上記進行方向が変更された投射光を３種類以上に分割する投射光分割手段１６と、上記分割された投射光を被検査物表面で反射させ、その反射光を種類ごとに選別して透過させる反射光選別手段２６と、上記選別された反射光を撮像する撮像手段１５とを備えることである。 （もっと読む）

【課題】歯科分野に適用される光コヒーレンストモグラフィー装置を提供する。
【解決手段】生体の顎口腔領域における組織または顎口腔領域の人工組成物を被計測体とし、データ演算部を持つ３次元上特性測定・表示装置であって、咬合状態にない歯牙表面の形状データ、咬合運動状態を含む咬合状態にある咬合面の形状データ、咬合運動状態を含む咬合状態にある上下咬合面の形状、咬合運動状態を含む咬合状態にある上下対合歯の咬合面を含む断層データのいずれか少なくともひとつに、上下咬合面の接触点または接触面のデータを前記演算部により演算して表示するか、さらに前記３次元上特性測定・表示装置による演算生成によらず別途得られた咬合状態に無い歯牙表面の形状データを同時表示することにより、口腔組織の表面形状や咬合面形状・咬合状態を測定表示することを特徴とする３次元上特性測定・表示装置である。 （もっと読む）