【課題】 コンパクトでシンプルな構成を有し、被検面上の複数位置を検出することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】 被検面Ｒの複数位置４２ａ〜４２ｃを検出する位置検出装置２であって、計測光を供給する光源ユニットと、共焦点光学系と、前記共焦点光学系を介した前記光源ユニットからの前記計測光を前記被検面内の異なる位置に導くリレー光学系３６ａ〜３６ｃ，４０ａ〜４０ｃと、前記リレー光学系３６ａ〜３６ｃ，４０ａ〜４０ｃ及び前記共焦点光学系を介した前記被検面Ｒからの計測光を受光する受光センサと、前記受光センサからの出力に基づいて、前記被検面Ｒの位置を検出する検出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 解像度を向上させ、しかも小型化が可能で設計や利用に便利な表面形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 被測定対象面に光線を投影する光源体と、該光源体の被測定対象表面による鏡面反射像を撮影するカメラと、該カメラによる撮影画像を処理する処理装置を具備した表面形状測定装置において、前記被測定対象面から前記カメラへの光路に反射鏡を設け、前記カメラのレンズ中心軸を前記被測定対象面に略平行に設けると共に、前記反射鏡は被測定対象面から反射された鏡面反射像がカメラレンズの中心に向くように配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 検出光の光量の損失を抑制することができ、かつ検出光を分割することができ面位置検出装置を提供する。
【解決手段】 光源から供給される検出光により照明された第１面１２ａ上のパターンを被検面Ｗ上に斜め方向から投射する送光光学系ＳＬと、前記被検面で反射された前記検出光を受光する受光光学系ＲＬと、該受光光学系を介した前記検出光を検出する検出器３８とを備え、該検出器の出力に基づいて前記被検面の面位置を検出する面位置検出装置２において、前記送光光学系は、前記被検面上で一方向に延びた計測領域Ａを形成し、前記送光光学系の光軸を前記被検面上に投影した軸線方向は、前記計測領域の長手方向と一致し、前記光源と前記第１面との間の光路中に配置されて、前記計測領域の長手方向に対応した方向に関して光束を拡大させる、または前記長手方向と直交する短手方向に対応した方向に関して光束を縮小させる光学部材１１を備える。 （もっと読む）

【課題】
部品点数を抑え、回路の複雑化を招くことなく、像担持体の状態等に影響を受けにくい信頼性に優れた画像位置検出装置およびそれを備えた画像形成装置を実現する。
【解決手段】
像担持体に形成された画像の位置を検出する画像位置検出装置において、前記画像と対向可能に設けられた光源と、前記光源からの光を検知する受光素子とを有する光学式センサと、前記像担持体に形成された画像が前記光学式センサの検出位置を通過することで得られる光学式センサの出力信号幅を計測する計測手段と、前記出力信号幅の時間的中心位置を演算し、光学式センサの出力タイミングを求める演算手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、反射防止フィルムの製造中、フィルム走行状態でフィルム全巾にわたり連続的に反射防止層の膜厚を測定することが可能な、反射防止フィルムの反射防止層の膜厚を測定する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】反射防止フィルムの反射防止層の膜面に３６５〜４００ｎｍの長波長域紫外光を照射し、その膜面および膜の裏面からの反射光を相互に干渉させ、その干渉により得らた濃淡の光像（光信号）によって薄膜の膜厚を測定することを特徴とする反射防止フィルムの反射防止層の膜厚を測定する方法である。 （もっと読む）

【課題】 スペクトル干渉を用いて被検物体の諸情報を取得する装置において、簡単な構成で精度よく被検物体の諸情報を取得可能な物体測定装置を提供する。
【解決手段】 低コヒーレント長の光束を出射する光源を有し，光源から出射した光束を被検物体と参照面とに向けて出射し，被検物体からの反射光と参照面からの反射光とを合成して干渉させる干渉光学系と、干渉光学系にて得られた干渉光を周波数成分に分光する分光手段と，分光手段により周波数成分に分光された各光束を時系列的に分ける時分割手段と，時分割手段に分けられた各光束を受光する単一の受光素子とを有するスペクトロメータ部と、スペクトロメータ部による受光信号に基づいて演算により被検物体の深さ方向の情報を取得する演算制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 スパークプラグの製造方法において、カメラにて中心電極から接地電極側を撮影したとき、各部材の境界を鮮明にさせて、接地電極に対する仮曲げ後の偏芯修正工程における加工精度を向上させる。
【解決手段】 第１照明６１および第２照明６２を点灯させ、第３照明６３を第１照明６１および第２照明６２よりも暗くさせた状態、第１照明６１および第３照明６３を点灯させ、第２照明６２を第１照明６１および第３照明６３よりも暗くさせた状態、第１照明６１、第２照明６２、および第３照明６３をすべて点灯させた状態でそれぞれカメラ３０にて中心電極１２および貴金属チップ１４近傍を撮影する。 （もっと読む）

【課題】 光源から測定対象に対して光ビームを照射して得られる反射ビームの光路の変化から該測定対象の変位量を測定する変位測定装置において、高い分解能と広い測定レンジを有する変位量測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 前記測定対象を介して得られる反射ビーム４の光路が変化する方向に間隙２０１Ａ、２０１Ｂ、……、２０１Ｎをおいて複数の受光素子２００Ａ、２００Ｂ、………２００Ｎを配し、反射ビーム４のスポットが受光素子と間隙とに峻別されて照射される受光部受光部１１５と、
反射ビーム４の光路の変位によって受光部２００Ａ、２００Ｂ、……２００Ｎから得られる受光量の変化を検出する検出部検出部１１６とから構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の流動体試料の粒子に関する情報を同時に測定することができる小型の光学的測定装置を提供する。
【解決手段】 光源１６と、電源１５と、セル１０ａ、１０ｂと、セル内の流動体試料と近接する位置に形成され、光源から光が照射されたときに互いに異なる方向に沿って並ぶ複数本の基本回折光パターンを発生する複数の回折格子兼電極１１ａ、１１ｂと、各回折格子がそれぞれ発生する基本回折光パターンを検出する二次元光検出器２５とを備え、二次元光検出器２５は、複数の回折格子兼電極に光を同時照射して発生させた複数の基本回折光パターンを検出するとともに、電圧を印加して各回折格子兼電極１１ａ、１１ｂ近傍に存在する粒子の密度分布を周期的に変化させることにより発生した密度回折格子Ｍに光が照射されることにより派生的に生じる派生回折光パターンを検出する。 （もっと読む）

【課題】 小型の被計測部材に形成されたアール部の寸法を測定するための治具を、簡単かつ安価な構成で実現する。
【解決手段】 被計測部材としての玉軸受内輪１０は、その内孔１８に挿入部２０６が挿入されることによって、幅方向計測治具２００に装着される。このとき、玉軸受内輪１０の一端面１２がベース部２０２の上面２０４に面接触し、内孔１８の内面１６が挿入部２０６の側壁２２２に当接する。挿入部２０６は、合焦面に位置する参照用面２１８を有しており、この参照用面２１８と玉軸受内輪１０の一端面１２とこれらの間に挟まれたアール部２０とを含む観測対象領域が、観測孔２１０を介して観測され、ひいては当該アール部２０の幅寸法（径方向の寸法）が計測される。なお、挿入部２０６は、円柱状の頭部を有するネジ状部材２１２の当該頭部によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】ターゲットを設置することなくＦＯＥを決定することができる無限遠点決定装置を提供する。
【解決手段】撮像範囲内にボンネットが含まれるように車両に固定された車載カメラによって撮像される画像内における無限遠点の位置を決定する無限遠点決定装置において、その画像内におけるボンネットの頂点の位置からＦＯＥのＸ座標ＦＯＥ（Ｘ）およびＦＯＥのＹ座標の第１候補値ＦＯＥ（ｙ１）を決定し（ステップＳ１００）、その画像内におけるヘッドライトのカットラインＣＬの位置からＦＯＥのＹ座標の第２候補値ＦＯＥ（ｙ２）および車載カメラ１１０のロール角を決定する（ステップＳ２００）。そして、第１候補値ＦＯＦ（ｙ１）とＦＯＥ（ｙ２）を補正し（ステップＳ３００）、補正後の第１候補値ＦＯＦ（ｙ１’）と第２候補値ＦＯＥ（ｙ２’）とを平均してＦＯＥのＹ座標ＦＯＥ（Ｙ）を決定する（ステップＳ３５０）。 （もっと読む）

【課題】 無侵襲によって、生体の代謝に伴う生体情報を用いて生体内部の状態を詳細に観察できる光干渉断層計を提供すること。
【解決手段】 光出射部１は、複数の光源１２を備えて構成されていて、異なる特定波長を有する近赤外線低干渉光を光干渉部２に出射する。光干渉部２は、入射した近赤外線低干渉光を眼底に透過するとともに、一部を可動ミラー２２に反射する。そして、光干渉部２は、眼底で反射した計測光と可動ミラー２２で反射した参照光とを干渉させ、同干渉した干渉光を光検出部３に出射する。光検出部３は、入射した干渉光の光量分布を用いて眼底の断面形状を算出する。また、光検出部３は、光出射部１が出射した近赤外線低干渉光の光量と受光した干渉光の光量とを用いて酸素飽和度SO₂を算出する。そして、表示部４は、算出された断面形状と酸素飽和度SO₂とを互いに重ねて合成して表示する。 （もっと読む）

【課題】 画像から求めた重ね合わせずれ量が正しいか否かの判断を行うことができる重ね合わせ測定装置を提供する。
【解決手段】 基板１１の異なる層に形成された第１マークと第２マークの画像を測定波長域の光によって取り込み、該測定波長域での画像に基づいて、第１マークと第２マークとの重ね合わせずれ量を求める第１計測手段(１３〜２７)と、第１マークと第２マークの画像を測定波長域とは異なる評価波長域の光によって取り込み、該評価波長域での画像に基づいて、第１マークと第２マークとの重ね合わせずれ量を求める第２計測手段(１３〜２７)と、第１計測手段が測定波長域で求めた重ね合わせずれ量と、第２計測手段が評価波長域で求めた重ね合わせずれ量とに基づいて、測定波長域での重ね合わせずれ量の信頼性に関わる指標を算出する算出手段２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 目の位置を従来より高精度に検出することができる赤外線利用型目位置検出装置を提供する。
【解決手段】 目位置検出装置１０は、赤外線を照射する赤外線照射装置１１と、赤外線照射装置１１によって照射された赤外線の反射光を捉える赤外線カメラ１２と、赤外線カメラ１２によって撮像された画像から顔の画像を取得する顔画像取得部２１と、顔画像取得部２１によって取得された顔の画像中の輝度に基づいて顔の画像中の目の位置を検出する目位置検出部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 波長に依存する測定誤差を最小にすることができる位置測定装置を提供すること。
【解決手段】 被検物１５に照明光を照射する照明光学系１と、前記被検物の像を撮像装置２５に結像する結像光学系２と、前記撮像装置からの信号を処理する画像処理装置３を有する位置測定装置において、複数の狭波長帯域の光それぞれを前記被検物にテレセントリックに照明する前記狭波長帯域の光毎の専用照明光学系１Ｒ、１Ｇ、１Ｂと、前記被検物からの前記複数の狭波長帯域の光それぞれをテレセントリックに結像する前記狭波長帯域の光毎の専用結像光学系２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを有し、前記専用照明光学系を選択する照明光学系選択手段２７と前記専用結像光学系を選択する結像光学系選択手段２６を有する位置測定装置。 （もっと読む）

【課題】 高さ計測のための３次元画像取得に最適なＺ走査範囲を設定でき、正確な３次元画像を容易に取得でき、操作性も格段に向上させる走査型共焦点顕微鏡および試料情報測定方法を提供する。
【解決手段】 対物レンズを通して光源からの光を試料に照射し、対物レンズの集光位置と試料との相対的な位置を集束光の光軸方向に沿って離散的に繰り返し往復動作させ、各相対位置での試料からの光強度情報をそれぞれ取得し、それら光強度情報群から複数の光強度情報を抽出し、抽出した複数の光強度情報に適合する変化曲線上の最大値と、それを与える相対位置を推定し、その推定した光強度情報の最大値と相対位置をそれぞれ輝度情報と高さ情報として連続的に取得し、取得した輝度情報と高さ情報とに基づいて、繰り返し往復動作を行なう走査範囲を設定する。 （もっと読む）

【課題】寸法等の画像測定が可能であって、かつ携帯性が得られる、画像測定装置を提供する。
【解決手段】携帯型画像測定装置は、撮像部１１０、表示部１２５、信号処理制御ユニット１２０、画像取込起動要素及びユーザインターフェースを備える。またユーザインターフェースはユーザが調整可能で表示部における画像に応じて構成可能なビデオ測定ツールと、ビデオツール調整要素とを備えてよい。ビデオ測定ツールの構成に基づいて寸法測定結果を提供するために操作される測定機能が設けてよい。携帯型画像測定装置は、一般にノギスやマイクロメータのような従来の携帯型ツールによって測定されてきた典型的な部位だけでなく、従来のツールでは測定が難しかった極小の又は平らな部位をも測定することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 レンズの球面収差による光リング像を検出して光源までの距離を計測する場合に、その測定可能距離を伸ばすことができる位置計測システムを提供する。
【解決手段】 本位置計測システムは、光源１２、１２’からの光で球面収差により光リング像を形成するレンズおよびこのレンズにより形成される光リング像を検出する受光素子を有するカメラ１５と、受光素子により検出された光リング像の非飽和領域の光量に基づいて光源１２、１２’までの距離を計測するＰＣ（演算処理装置）１６とを備える。ここで、光源までの距離が所定範囲内にあるときは、ＰＣ１６は、上記光リング像の非飽和領域の光量に代えて、受光素子により検出された光リング像の直径に基づいて光源までの距離を計測することができる。 （もっと読む）

【課題】少ない数のゾーンプレートで高さを測定するようにする。
【解決手段】 ステップＳ１１で、フーリエスペクトルの幅ｆvが決定される。ステップＳ１２で、ゾーンプレートの周波数γの走査ステップ（＝１／fs）が決定される。ステップＳ１３で、ステップＳ１１で算出された幅ｆvとステップＳ１２で算出されたサンプリングレートｆsとの関係の下で、キャリア縞の周波数ｆcが決定される。ステップＳ１４で、初期位相βと周波数γをリニアな関係に設定する式β＝２πｆcγに従って、周波数γと、ステップＳ１３で決定されたキャリア縞の周波数ｆcから位相βが算出される。周波数γと算出した位相βを有するゾーンプレート１５ａが生成される。 （もっと読む）

【課題】 試料の大きさや重さと無関係に同じ速度で且つ高速に干渉縞を得ることができるようにする。
【解決手段】 低コヒーレンス光源２２の出射光Ｐ０を第１のビームスプリッタ２４に入射し、第１のビームスプリッタ２４から出射された第１の光Ｐ１を固定長折返し部２５に入射し固定長光路を経由させて参照光Ｐｒを得る。また、第１のビームスプリッタ２４から出射された第２の光Ｐ２を第２のビームスプリッタ２６を介して可変長折返し部３０に入射して可変長の光路を経由させて折り返し、その折り返し光Ｐ３′を試料表面２に入射させ、その反射光Ｐ５を再度可変長折返し部３０によって可変長の光路を経由させてから、第１のビームスプリッタ２４へ戻して試料光Ｐｘを得て、参照光Ｐｒとの間で干渉縞を生じさせている。 （もっと読む）