【課題】簡単な構成で、試料を加熱しつつ正確に計測することが可能な計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、試料Ａを保持する位置または試料Ａに対向する位置に配置され、透明基板１２１と透明基板１２１の表面に設けられた透明導電膜１２２を有する透明部材１２と、試料Ａを撮影する光検出部２２と、透明部材１２の透明導電膜１２２に印加する電圧を制御することにより、透明部材１２の温度を制御する熱制御部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】光路長差が小さくなっても被加工物の厚みまたは上面高さ位置を正確に計測することができる計測装置を提供する。
【解決手段】被加工物保持手段に保持された被加工物の基準面から上面までの距離を計測する計測装置であって、被加工物の上面で反射した反射光と基準面で反射した基準反射光を受光したイメージセンサーからの検出信号に基づいて分光干渉波形を求め、この分光干渉波形における各波長毎の隣接する１またはｎ個隣の光強度との差を演算して分光干渉差分波形を求め、分光干渉差分波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行し、被加工物の上面で反射した反射光の光路長と基準面で反射した基準反射光の光路長との光路長差に基づいて被加工物の基準面から上面までの距離を求める。 （もっと読む）

【課題】第１表面に対向する第２表面による反射像の影響を受けずに被評価物体の表面形状を精度よく評価することができるようにする。
【解決手段】評価装置は、評価対象である板ガラスなどの被評価物体３の表面３ａに映し出されたストライプパターン１を、ＣＣＤカメラ２によって撮像するように構成されている。ストライプパターン１は、光源の発光面に設けられている。また、光源が発射する光の波長は、２００〜３８０ｎｍである。ＣＣＤカメラ２によって撮像された画像は、演算装置としてのコンピュータ４に取り込まれ、コンピュータ４によって画像解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】 複数波長による表面形状の測定方法およびこれを用いた装置によって測定する場合に発生するクロストーク現象のクロストーク補正係数を算出する。
【解決手段】 測定対象面の平面領域内から輝度の異なる６点以上の干渉輝度信号を取得し、前記輝度信号に干渉縞モデルとクロストークモデルとの組み合わせを適合（フィッティング）することにより、クロストーク補正係数を一括して算出するクロストーク補正係数算出方法、また、該方法を実行できる装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】画像処理によって廃棄物中に混在しているペットボトルを確実に判別可能とすることを課題とする。
【解決手段】被判別対象の撮影工程と、被判別対象の二値化画像を作成する二値化工程と、前記二値化画像から前記容器の口部分の形状を抽出する口部分形状抽出工程と、前記二値化画像の容器の口部分を含む画像部分を、容器を輪切りするように帯状に複数の区域に区分けする区域分け工程と、前記区域毎に容器に該当する領域の横幅をそれぞれ計測する横幅計測工程と、前記区域毎に、各区域において同一の方向に隣接する区域との前記横幅の差又は比率を求め、求めた値を判別値とする判別値演算工程と、前記判別値と事前に設定した閾値とを比較する形状判断工程とからなり、該形状判断工程での比較の結果に基づいて前記容器がペットボトルであるか否かを判別する、という技術的手段を講じた。 （もっと読む）

【課題】凸レンズの周縁の形状を簡易な構成で精度良く検出することができるエッジ検出方法およびエッジ検出装置を提供すること。
【解決手段】凸レンズ１００を撮像する撮像部２を用いて凸レンズ１００の周縁の形状を検出させるためのエッジ検出方法であって、出射開口１１ａが形成されたマスク１１の出射開口１１ａを通じて撮像部２へ向けて拡散光を発し、出射開口１１ａと撮像部２との間の撮像光学系３の被写界深度内に凸レンズ１００を配置し、撮像部２の撮像面４ａに、拡散光が凸レンズ１００を透過して撮像部２へ入射した第一拡散光Ｌ１と、拡散光が凸レンズ１００の外部を通って撮像部２へ入射した第二拡散光Ｌ２とによってマスク１１の像を投影させ、第二拡散光Ｌ２による明部とマスク１１の像による暗部との境界の形状に基づいて凸レンズ１００の周縁の形状を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 パターン投影法により、測定対象物の画像特徴と距離画像とを同時に取得することを目的とする。
【解決手段】 測定装置に、測定対象に投影するパターン光特性の照明光を設定するパターン光特性設定部１１２と、前記照明光を前記測定対象に照射したときの反射光を測定する反射光測定部１２０と、測定された前記反射光から測定対象の物理特性に応じた画像特徴を抽出する画像特徴抽出部１３０と、前記画像特徴の局所領域ごとの分布特性を算出する特徴分布算出部１８０と、算出された前記局所領域ごとの分布特性に応じて、距離計測用のパターン光特性と、画像特徴抽出用のパターン光特性とを含む前記照明光のパターン光特性を制御するパターン光制御部１７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】線上での追尾点の動きを容易に把握することができるとともに、動画中での任意の時点の追尾点の状態を容易に観察することが可能な動画追尾装置、動画追尾方法および動画追尾プログラムを提供する。
【解決手段】複数フレームの画像データに基づいて表示部２０の画像表示領域Ｔａに画像が表示される。画像表示領域Ｔａの画像内で追尾点および追尾線が設定されると、設定された追尾線上での追尾点の位置を識別する追尾動作が各フレームの画像において実行される。また、複数フレームの画像における追尾動作により識別された追尾点の位置の時間変化を示す追尾結果時間変化線が表示部２０の画像表示領域Ｔｂに表示される。画像表示領域Ｔｂに表示される追尾結果時間変化線の時間軸方向の位置が現在表示位置バーＬにより指定されると、指定された位置に対応するフレームの画像が画像表示領域Ｔａに表示される。 （もっと読む）

【課題】光源の光量に変化があった場合であっても、三次元形状を精度良く算出することができる。
【解決手段】三次元形状測定装置１は、メイン光源２２が発光した光を縞パターンに変換して測定対象物１１上に投影する投影部１３と、測定対象物１１を撮像する撮像部１４と、投影部１３が投影する縞パターンの位相を変化させながら、撮像部１４に測定対象物１１の撮像を繰り返しさせるとともに、縞パターンの画像を複数順に取得する制御部と、メイン光源２２の光量の変化量を検出し、当該検出した変化量が所定の値以上である場合に、当該検出した変化量に基づいて前記縞パターンの画像を補正し、当該補正した縞パターンの画像に基づいて、測定対象物１１の三次元形状を算出する形状算出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 対象物の高さを高精度かつ迅速に計測することが可能な計測装置を提供する。
【解決手段】 計測範囲内にある対象物の高さを計測する計測装置は、複数の波長を含む光を出射する光源と、軸上色収差を有する光学ユニットを含み、前記光源から出射された光を複数の光束に分割して、前記計測範囲を含むが異なる焦点範囲に前記複数の光束を前記光学ユニットによって集光させる第１光学系と、前記複数の光束について前記対象物の表面に焦点位置を有する波長を検出する検出部と、前記第１光学系と光路の一部を共有していて、前記第１光学系によって集光され前記対象物の表面で反射された前記複数の光束を前記検出部に導く第２光学系と、前記複数の光束から１つの光束を選択し、該選択された光束の前記検出部により検出された波長を用いて前記対象物の高さを算出する処理部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】計測時間を短縮化でき、装置構成が複雑化することを防ぐ。
【解決手段】三次元形状測定装置１は、測定対象物１１上に投影パターンを照射する投影部１３と、測定対象物１１を撮像する撮像部１４と、投影部１３に縞パターンを照射させ、照射させる縞パターンの位相を変化させながら、撮像部１４に測定対象物１１を繰り返し撮像させるとともに、測定対象物１１上に照射させた縞パターンの画像を複数取得する第１の制御部と、第１の領域のみに所定の光を照射させて撮像した第１の画像と、第２の領域のみに所定の光を照射させて撮像した第２の画像とを取得する第２の制御部と、第１の画像と第２の画像との差分に基づいて、縞パターンに含まれる縞の夫々を識別する基準線を検出する基準線検出部と、基準線に基づいて、測定対象物１１の三次元形状を測定する形状測定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】断面円形材である高温の棒鋼、線材や鋼管の外径を測定しても測定精度が良く、かつ、スケールや粉塵が投光部及び受光部に付着し難い外径測定装置を提供する。
【解決手段】外径測定装置１は、棒鋼Ｗの外径を測定する外径測定器２と、棒鋼Ｗを挿通させる挿通部材３とを備えている。外径測定器２は、棒鋼Ｗに光Ｌを投光する投光部２１と、光Ｌを受光する受光部２２と、棒鋼Ｗの外径を演算する制御演算部２３とを有している。挿通部材３は、棒鋼Ｗを挿通させる挿通口３１を有しており、挿通口３１が投光部２１から受光部２２への光路に対向するように設けられている。挿通部材３は、挿通口３１を囲繞する環状の送風口３２を有しており、送風口３２は、棒鋼Ｗの径方向外方の周囲を棒鋼Ｗの軸方向にエアーＦを送風してエアーカーテンＡを形成する。送風口３２から送風されるエアーＦの送風方向には遮蔽物がない。 （もっと読む）

【課題】低コストでありながら操作性及び機能の優れた干渉対物レンズ装置、及び当該干渉対物レンズ装置を備えた光干渉測定装置を提供する。
【解決手段】光出射部１０から出力された光をワークＷに対して収束させる対物レンズ３１と、対物レンズ３１よりもワークＷ側に配される参照ミラー３２と、対物レンズ３１を透過してきた光を、参照ミラー３２を有する参照光路とワークＷを配置した測定光路とに分岐させると共に、参照ミラー３２からの反射光とワークＷからの反射光とを合成して干渉光として出力させる分岐合成部材３３と、参照ミラー３２からの反射光又はワークＷからの反射光の何れか一方の他方に対する光量を調節する光量調節手段（液晶パネル３４及び制御部７０）を備える。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン薄膜の表面の画像を検出して多結晶シリコン薄膜の表面の状態を観察し、多結晶シリコン薄膜の結晶の状態を検査することを可能にする。
【解決手段】多結晶シリコン薄膜の検査装置を、表面に多結晶シリコン薄膜が形成された基板１００に光を照射する光照射手段８００と、光照射手段８００により基板１００に照射された光のうち多結晶シリコン薄膜を透過した光または多結晶シリコン薄膜で正反射した光の近傍の多結晶シリコン薄膜からの散乱光の像を撮像する撮像手段８２０と、この撮像手段８２０で撮像して得た散乱光の画像を処理して多結晶シリコン薄膜の結晶の状態を検査する画像処理手段７４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】対象面に対して光を照射し、その反射光を検出することによって当該表面の位置を検出するにあたって、適切な出射光量の値を簡易に決定できる技術を提供する。
【解決手段】光源から、光源に対して相対的に移動する対象面（基板Ｗの上面）に対して、出射光量を変化させながら間欠的に光を照射させるとともに、その反射光の光量分布データを受光部に取得させて、対象面内の異なる位置Ｐ（１），Ｐ（２），・・・Ｐ（Ｎ）で反射した反射光の光量分布データをサンプルデータとして次々と取得していく。続いて、取得された複数のサンプルデータのうち、受光量が許容範囲内にあるものを有効データとして抽出し、有効データを与えた最大の出射光量を、位置検出を行う位置検出用光源の出射光量の最適値とする。 （もっと読む）

【課題】位置や形状を測定するに際しての校正の簡素化をはかったシートに形成されたパターンの位置および形状測定装置を提供する。
【解決手段】パターンが形成されたシートと、
該シートの搬送方向に直交して配置されたカメラ保持機構と、
該カメラ保持機構の長手方向に沿って移動可能に配置されたカメラと、
該カメラで撮像した画像を処理する画像処理コンピュータと、
を備え、校正に際しては、前記塗工パターンと、校正用基準体の撮像画像に基づいて校正を行う。 （もっと読む）

【課題】反射画像の輝度を適切な輝度に調整することができ、被計測物の三次元形状を正確に計測することが可能な三次元形状計測装置を提供すること。
【解決手段】三次元形状計測装置１００は、輝度が正弦波状に変化する縞状の光パターンを異なる位相で複数回、被計測物に投影する投影手段１０と、光パターンが投影された被計測物の反射画像を撮像する撮像手段２０と、被計測物の反射画像を基に、被計測物の三次元座標を計測する計測手段３１と、を有し、光パターンを被計測物に投影する前に、投影手段１０より所定の光を被計測物に投影し、所定の光が投影された被計測物の反射画像における各画素の輝度階調値と、所定の光の輝度階調値と、を基に、被計測物の光の最大反射率を算出する反射率算出手段３２と、最大反射率に応じて、撮像手段２０が受光する受光量を調整する調整手段３３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】位置合わせ測定の精度を向上する。
【解決手段】１つの実施形態によれば、位置合わせ測定方法では、測定光学系の測定領域内が２次元的に分割された複数の部分領域のそれぞれに位置合わせ測定用マークが位置するように前記位置合わせ測定用マークに対する前記測定領域の相対的な位置を順次にシフトさせながら前記位置合わせ測定用マークの位置合わせずれ量を予め測定して、前記測定光学系の特性ずれに関する装置要因誤差を前記複数の部分領域のそれぞれごとに求め、前記複数の部分領域ごとに求められた前記装置要因誤差に基づいて前記複数の部分領域のうち使用すべき部分領域を決定し、前記決定された前記使用すべき部分領域に前記位置合わせ測定用マークが位置するように前記位置合わせ測定用マークに対する前記測定領域の相対的な位置をシフトさせた状態で前記位置合わせ測定用マークの位置合わせずれ量を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の波長毎の反射率を精度良く測定することができる反射率測定装置及び反射率測定方法、並びに本発明による反射率測定装置を備えた膜厚測定装置及び本発明による反射率測定方法を含む膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】
反射率測定装置１は、照射光Ｌ１を測定対象物へ供給する測定光源３０と、照射光Ｌ１の強度及び測定対象物からの反射光Ｌ２の強度を波長毎に検出する分光検出部８０と、照射光Ｌ１の波長毎の強度の検出値を、基準測定対象物からの反射光Ｌ２の波長毎の強度の検出値に相当する値に変換する変換係数Ｋ（λ）を記録する係数記録部９２と、照射光Ｌ１の波長毎の強度の検出値及び変換係数Ｋ（λ）より求まる、基準測定対象物からの反射光Ｌ２の波長毎の強度に相当する値に基づいて、波長毎の反射率を算出する反射率算出部９３とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ上に形成されたチップ内の直接周辺回路部の近辺に存在する致命欠陥を高感度に検出することができる欠陥検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】被検査対象物を所定の光学条件で照射する照明光学系と、被検査対象物からの散乱光を所定の検出条件で検出して画像データを取得する検出光学系とを備えた欠陥検査装置において、前記検出光学系で取得される光学条件若しくは画像データ取得条件が異なる複数の画像データから領域毎に複数の異なる欠陥判定を行い，結果を統合して欠陥候補を検出するようにした。 （もっと読む）