【課題】熱間プレスされた加熱状態にある被加工物を撮像し、これにより得た画像から被加工物の寸法を測定する場合に、当該寸法を精度よく測定できる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】熱間プレスされた加熱状態にある被加工物１の寸法を測定する寸法測定装置１０。被加工物１にパルスレーザを照射するレーザ照射装置３と、パルスレーザが被加工物１に照射された時に、被加工物１を撮像するように作動する撮像装置５とを備える。撮像装置５は、パルスレーザの照射方向と異なる方向から被加工物１を撮像するように配置される。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の移動機構を使用せずに高さ方向のダイナミックレンジを拡大可能とする。
【解決手段】本発明の干渉測定装置は、可干渉距離が有限の光束を生成する生成手段（９、２０）と、光束を２つの光束に分岐し、それら２つの光束の一方を測定対象面（２５ａ）へ照射すると共に他方を参照面（２４ａ）へ照射する分岐手段（２２）と、測定対象面を経由した測定光束と参照面を経由した参照光束とを同一光路に統合して統合光束を生成する統合手段（２２、２１）と、分岐手段により分岐される光束の可干渉距離を走査する走査手段（２０）と、可干渉距離の走査位置と統合光束の強度との関係を示す関係情報を取得する測定手段（２７、３０）と、関係情報に基づき、測定光束と参照光束とが干渉する走査範囲と、測定光束と参照光束とが干渉しない走査範囲との境界を、測定対象面の高さ情報として取得する演算手段（３０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】パワーが比較的小さな光源を少ない数、用いた場合でも、対象物体の少なくとも二次元座標を検出することのできる光学式位置検出装置、および当該光学式位置検出装置を備えた位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、検出領域１０Ｒ内の対象物体Ｏｂで反射した検出光を受光して対象物体Ｏｂの位置を検出するにあたって、検出領域１０Ｒの辺に沿って延在する第１乃至第４線状光源体Ｌ１〜Ｌ４と、検出領域１０Ｒを分割した領域Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２を受光対象領域とする第１乃至第４受光素子Ｄ１〜Ｄ４と用いる。このため、線状光源体は、検出領域１０Ｒ全体に光強度分布を形成しなくてもよい。 （もっと読む）

【課題】画像検査装置において、被検体からの光を複数の波長帯域に分けて画像を取得して画像検査を行う場合に、簡素な構成により高精度な検査を行うことができるようにする。
【解決手段】画像検査装置５０は、可視光Ｌ_１と、赤外光Ｌ_２とを、導体パターン２に照射する照明部４と、導体パターン２で反射された可視光Ｌ_１および赤外光Ｌ_２を結像する撮像光学系６と、撮像光学系６によって結像された像を撮像する撮像素子８と、導体パターン２と撮像素子８との間の光路上で進退可能に設けられ、可視光Ｌ_１の透過を阻止するとともに赤外光Ｌ_２を透過させる可視光カットフィルタ７ｂと、導体パターン２と撮像光学系６との間の光路上で進退可能に設けられ、赤外光Ｌ_２の透過を阻止するとともに可視光Ｌ_１を透過させる赤外光カットフィルタ７ａと、を備える。 （もっと読む）

【課題】検出結果の誤差を低減することが可能な干渉計システム、ステージ装置及び露光装置を提供すること。
【解決手段】移動体の位置情報を検出する干渉計システムであって、光を射出する光源と、光を分光して射出する分光装置と、移動体に設けられ、分光された光を反射させる移動鏡と、移動鏡を介した光を受光する受光装置と、光が分光装置から射出され移動鏡に入射し当該移動鏡で反射された後に分光装置へ向かう所定の光路を形成する第１光学系と、当該光路を進行した光が分光装置に入射せずに当該光路の進行方向とは逆向きに当該光路を進行するように光を導光する第２光学系と、第２光学系を進行する光のうち所定成分を前記受光装置に入射させ、所定成分以外の成分を光路に入射させないように当該光を分光する第２分光装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】計測能力を向上すること。
【解決手段】所定の移動面内を移動する移動体の移動情報を検出する計測装置であって、ピッチが互いに等しくなるように配置された格子をそれぞれ有し、当該格子の位相が互いにずれるように移動体に設けられた複数の回折格子と、光源からの光を複数の回折格子のそれぞれに向けて射出すると共に、複数の回折格子のそれぞれにおいて得られた回折光を個別に干渉させる光学系と、光学系を介して得られた干渉光を検出し、検出結果に基づいて移動情報を検出する検出装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化に伴う誤検出を防止した対物レンズの調整方法を提供する。
【解決手段】結晶質の材料を用いたレンズを含む複数のレンズからなる対物レンズの調整方法であって、環境温度の変化によって対物レンズに生じる熱応力を求め、求めた熱応力から、当該熱応力により生じる対物レンズを通る光の状態変化を求める変化量算出ステップ（ステップＳ１０１〜Ｓ１０３）と、対物レンズを通る光の状態が環境温度の変化に拘わらず一定となるように、求めた光の状態変化を打ち消すような結晶質の材料を用いたレンズ（第９レンズ）の結晶方位を算出する調整量算出ステップ（ステップＳ１０４）と、算出した結晶方位が得られるように結晶質の材料を用いたレンズ（第９レンズ）を光軸回りに回転させる調整ステップ（ステップＳ１０５）とを有している。 （もっと読む）

【課題】 連続移動する測定対象物の三次元形状を、位相シフト法により高速に測定すると共に、垂直解像度や深度を柔軟に設定できる構成とする。
【解決手段】
被測定対象物に対して斜め上方から、投影方向に沿って光の強度が正弦波状に変化する格子縞を投影する格子縞投影器１と、鉛直上方に位置しエリアセンサ６を備えたカメラ２と、被測定対象物を一定方向へ移動させるステージ３とを備え、格子縞は位相が互いにπ／２ずつシフトした４つの帯状領域に分かれており、エリアセンサ６上の各帯状領域につき一本の水平ライン、計４本から画像を読出し、位相シフト法の原理を用いて位相を算出して高さに変換し、被測定対象物の三次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】導体パターンの良否を精度よく検査することのできる検査装置および配線回路基板の検査方法を提供する。
【解決手段】回路付サスペンション基板の金属支持層２１および導体パターンに入射する入射光７を発光する発光部２と、入射光７が金属支持層２１および導体パターンにおいて反射された反射光１１を受光する受光部４とを備え、発光部２および受光部４は、入射光軸１３と反射光軸１４とが一致するように配置され、発光部２は、入射光軸１３と同一直線上にある直線光８と、回路付サスペンション基板に向かうに従って集光され、入射光軸１３に対して傾斜する傾斜光９とを含む入射光７を発光する。 （もっと読む）

【課題】物体に簡便で小型な反射センサーを取り付け、回転・傾斜を精密にリモート計測する方法を提供する。
【解決手段】リモート観測方向に設置固定された偏光検知器と、物体に取り付ける反射センサーと、該反射センサーに円偏光を照射する光源装置から成り、且つ、該円偏光の照射角度範囲の設定によって、該反射センサーで所定の範囲の入射角度分布で正反射せしめ、その正反射せしめることで、該正反射光束を偏光反射の既知の入射角依存性に従う所定の空間分布の発散する楕円偏光光束を成さしめ、その楕円偏光光束を検出して、リモート観測方向へ向かう光線成分の偏光楕円から該反射センサーのリモート観測光軸周りの回転角θと観測光軸と成す傾斜角φを計測する。 （もっと読む）

【課題】ロール状記録媒体中の記録用紙の終端をその記録用紙に押し付け跡を残すことなく非接触で、かつ簡単な装置で検知することができるロール状記録媒体の終端検知方法を提供すること。前記終端検知方法に用いるロール形状の記録媒体を提供すること。
【解決手段】巻き芯と前記巻き芯表面に連結した記録媒体部分とを含むロール状記録媒体であって、前記記録媒体部分の巻き始め部から離れた位置の記録媒体部分に貫通孔を有することを特徴とするロール状記録媒体。巻き芯と前記巻き芯表面に連結した記録媒体部分とを含み前記記録媒体部分の巻き始め部から離れた位置の記録媒体部分に貫通孔を有するロール状記録媒体の終端検知方法であって、前記記録媒体部分の片面側に光源および反対面側に受光部を設けて前記貫通孔を透過光量の変化で検知することを特徴とするロール状記録媒体の終端検知方法。 （もっと読む）

【課題】高い空間解像度を有しており、検査に要する時間を短くでき、簡易な構成によって半導体デバイスの異常箇所を特定可能な半導体検査装置を提供する。
【解決手段】半導体検査装置１Ａは、ＤＵＴ１７の端子電極にストレス電圧Ｖｓを印加するストレス印加装置２２と、シリコン基板１７ａを透過する波長の光を発生する光源１１と、光源１１から提供された光をシリコン基板１７ａに照射し、シリコン基板１７ａを透過した光に関する干渉像を生成する干渉光学系と、干渉像を撮像して撮像データを生成するＩＲカメラ１９と、撮像データに基づいて、異常発生箇所としてのＤＵＴ１７の発熱箇所を特定するための情報を演算する演算部２１とを備える。ストレス電圧Ｖｓの時間波形は、一定周期の繰り返し波形であって、ＤＵＴ１７の発熱によるシリコン基板１７ａ内部の光学的距離の時間変化を正弦波状とする時間波形である。 （もっと読む）

薄膜の厚さに関するデータ（例えば、厚さ変化）は、以下の通りに本願明細書において決定される。前記膜および基板が、全体において、干渉計構造を形成するように、前記膜は基板上に配置される。その光放射線が膜および基板によって形成される干渉計構造の方へ発されて、前記干渉計構造から光学的に反射された後、放射線は測定される。前記薄膜の厚さ関連のデータ（例えば、厚さ変化）は、その後、スペクトル関連の情報の中で、例えば、前記光学的に反射された放射線によって決定される。 （もっと読む）

【課題】対象物の大きさの指標となる目盛をリアルタイムに撮像画像に重ねて表示することができる安価で簡潔な構成の撮像装置、画像表示方法、及び画像表示のためのプログラムを記録した記録媒体を提供すること。
【解決手段】対象物を撮像し、その撮像画像を表示する撮像装置であって、撮像画像中の対象物の大きさの指標となる目盛を生成する目盛生成部と、目盛に歪曲収差による歪みと同等の歪みを与える形状補正を行うために使用する補正用データを記憶しているデータ記憶部と、補正用データに基づいて目盛に形状補正を行った歪曲目盛を生成する目盛形状補正部と、歪曲目盛を撮像画像に合成する画像合成部を有し、リアルタイムで撮像画像を歪曲目盛と合成して表示する。 （もっと読む）

【課題】
スキャトロメトリを用いることにより、基板上に形成された線幅数１００ｎｍ以下のパターンの断面形状を、例えばディスク全面を数マイクロメータ程度の領域毎に検査・測定することも可能となる。しかし、ディスク全面を数マイクロメータ程度の領域毎に検査・測定したパターンの幅や高さ等を全て表示することは困難であり、また全て表示することが必ずしも有効であるとはいえない。
【解決手段】
本発明では、パターンの幅や高さ、特にデバイスの性能に直接影響を及ぼすパターン断面の磁性体部分の断面積(単位長さあたりの体積)等の分布を独立に、又は組み合わせて表示する。また、結果の特徴を強調して表示する。さらに、リードライトテスト結果との相関を予め評価しておくことにより、パターン断面形状の検査・測定時に最終的な不良箇所の特定を可能とし、不良の発生を事前に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】三次元形状を測定する三次元測定の作業性を改善できる技術を提供する。
【解決手段】複数の識別点が設けられた対象物の三次元形状のうち第１領域に第１検出光および第２検出光を時間的に順次に投光する検出光投光手段と、検出光投光手段からの投光によって照明された第１領域の画像を撮影する画像撮影手段と、第１検出光が投光されたときの画像に基づいて第１領域の三次元形状を表現した三次元形状データを取得する形状取得手段と、第２検出光が投光されたときの前記画像に基づいて第１領域に設けられた複数の着目識別点のそれぞれの位置を表現した第１位置データを取得する位置取得手段と、前記第１位置データに基づいて、前記複数の着目識別点のそれぞれの位置を示す第１位置指示光を前記対象物に向けて投光する指示光投光手段を備える。 （もっと読む）

【課題】撮像手段によって撮像された切削溝の状態を正確に判定することができる機能を備えた切削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、光照射器によって切削溝に光を照射して切削溝を撮像する撮像手段と、撮像された切削溝の状態を判定する制御手段と、加工条件を入力する入力手段と、表示手段と、警報手段とを具備する切削装置であって、制御手段は、入力された加工条件および撮像された切削溝の状態に基づいて切削溝が適正か否かを判定する切削溝判定工程と、切削溝が適正でないと判定した場合には、光照射器の光量を所定範囲において調整しつつ適正であると判定したときに光量を修正光量として変更し、光照射器の光量を所定範囲において調整しても切削溝が適正でないと判定した場合には警報手段を作動するとともに表示手段にエラーメッセージを表示する光量学習工程を実行する （もっと読む）

【課題】本発明は、多重回折格子記録媒体のそれぞれの模様を検出することが可能な品質検査装置及び品質検査方法に関する。
【解決手段】多重回折格子記録媒体の裏面側から透過光を照射する透過光照射部と、多重回折格子記録媒体を保持する保持部と、多重回折格子記録媒体の透過光軸方向に設けられ、多重回折格子記録媒体の透過光を偏光する偏光素子と、偏光素子を前記多重回折格子記録媒体の透過光の光軸を中心に所定の角度に回転する偏光素子回転部と、所定の角度に応じて多重回折格子記録媒体の透過光による各模様の読取を行う画像読取部を有する画像撮影部と、画像撮影部により読取られた各模様を演算処理し、あらかじめ記録した基準模様と比較して良否判定を行う画像処理部と、画像処理部により演算処理された模様と、良否判定の結果を表示する出力部を有する。 （もっと読む）

【課題】オートコリメータを使用したレンズの偏心測定精度を改善する。
【解決手段】オートコリメータ１００を用い、かつ光軸を有する光学素子１を回転させて上記光学素子における上記光軸と回転軸との偏心を調整する偏心調整方法であって、光源１３０が発する光束から回折光学素子１１２によりそれぞれ異なる次数の回折光１３１，１３２を上記光学素子の光学作用面１ａ及びフランジ面１ｃに照射し、受光部１２０で検出された検出結果から、上記光学作用面における光軸と上記光学素子の上記回転軸とが一致するように上記光学素子を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】線形状物の反射光を取り込んで作成した画像データから背景の影響を受けずに線形状物の高さを正確に検出する線形状物高さ計測装置を提供する。
【解決手段】照明１３により、線形状物１１（検査対象物）に入射光ｉが照射され、カメラ１４により、反射光ｊが取り込まれて画像データが生成される。入射光ｉと反射光ｊとの軸は、ほぼ一致するようになっている。濃淡画像記憶部１７により、カメラ１４で生成された画像データが、濃淡画像データとして記憶される。線形状物検出部１８により、濃淡画像データに基づいて線形状物１１が検出される。高さ計測領域決定部１９により、線形状物検出部１８で検出された線形状物１１の情報に基づいて、同線形状物１１の占有領域を超えないように線形状物高さ計測領域が決定される。高さ計測部２０により、線形状物高さ計測領域の濃淡情報に基づいて、線形状物１１の高さが計測される。 （もっと読む）