【課題】照明開口絞りと結像開口絞りとの位置ずれの影響を低減する。
【解決手段】瞳面に配置させた第２照明開口絞り４Ｂを通過した照明光を用いて結像系の結像開口絞りＡＳの像を第２像検出素子に撮像させ、次に、回転盤４を回転させて瞳面に第１照明開口絞り４Ａを配置させ、第１照明開口絞りを通過した照明光を用いて第１照明開口絞りの像を第２像検出素子４１に撮像させ、撮像された結像開口絞りの像と第１照明開口絞りの像とに基づいて、結像開口絞りに対する第１照明開口絞りの位置ずれの影響を低減するように第１照明開口絞りの補正処理を行う。位置検出装置は、補正処理が行われた前記第１照明開口絞りを通過した照明光を用い、第１像検出素子１１により検出されたマークの像の位置に基づいて被検物体の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】外周縁の断面形状が表裏で異なるボタンの表裏を確実に判別することのできるボタンの表裏判別装置を提供する。
【解決手段】ボタンＢが載置される載置面Ｗａと、載置面Ｗａに斜光Ｌａを照射する斜光照明装置７と、記斜光Ｌａが載置面Ｗａに照射された際に、載置面上に形成されるボタンＢの影が投影されるように、複数の受光素子が配列されて載置面Ｗａに埋設されたイメージセンサ３と、イメージセンサ３の出力電圧を所定の検出レベルと比較することにより、ボタンＢの影を検出する検出手段１６と、検出レベルを、斜光照明装置７からのイメージセンサ３の各受光素子の距離に応じて斬減するように設定する検出レベル設定手段１９と、斜光Ｌａを照射した際に、前記検出手段１６で検出された影の長ＬＳさに基づいてボタンＢの表裏を判別する制御手段５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 基板上に形成された膜厚が巨視的に見てなだらかに傾斜している場合でも、光の波長帯に依存せず、検出感度の良いムラ検査装置、およびムラ検査方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 基板９の上面に形成された膜９２に対して異なる波長帯の光を照射し、それぞれの波長帯の光により膜９２の膜厚の変動を示すムラ画像を取得する。ムラ画像からムラを含む領域を選択し、それぞれの領域を合成することにより、基板全面において膜厚ムラが高感度に検出されたムラ画像を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ワークに施された溝または穴の断面形状を高精度に検出することができる断面形状測定装置を提供する。
【解決手段】白色光を発する光源１０１と、白色光に含まれる各波長をそれぞれ集光して、溝２に向かう光軸上に複数の集光点を形成する色収差レンズ１０２と、色収差レンズ１０２とワーク１とを溝２に交差する方向に相対的に移動させる移動手段と、移動手段によって色収差レンズ１０２とワーク１とを溝２に交差する方向に相対的に移動させながら色収差レンズ１０２で溝２に光を集光させたときに、溝２の表面で反射した反射光に基づいて溝２の断面形状を測定する測定手段１２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】生産性を低下させることなく、精度の向上した電子写真感光体の検査方法を提供する。
【解決手段】光学検査第一工程で、電子写真感光体に白色の光を照射し、その反射光を測定し測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定し、電気検査第一工程で、感光体表面に導電性ローラを圧接して感光体を回転させながら直流電圧を印加し、導電性ローラから感光体へ流れる電流を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の欠陥の有無を判定する。検査した感光体のうち、光学検査第一工程で被疑欠陥が検出され電気検査第一工程で欠陥が検出されなかった感光体のみに対して、レーザー光を照射し、その光の反射光を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定する光学検査第二工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】ねじなどの軸方向が長い測定対象物であっても、簡易な構成で高精度にねじ形状を測定することができるねじ形状測定装置およびねじ形状測定方法を提供すること。
【解決手段】光をねじ１０の螺旋に平行に照射する光源１と、光源１と同一の受光光軸を有する受光光学系２と、受光光学系２の経路内に配置され、ねじ１０の管軸方向に走査する反射鏡３と、ねじ１０の管軸に直交する方向の１次元画像を検出するラインセンサ５ａを有する撮像装置５と、を備え、反射鏡３による走査に伴って得られる１次元画像を管軸方向に合成することによってねじ１０の形状を測定するようにしている。 （もっと読む）

【課題】動的明条件の影響を受けることがより少なく、及び／又は三次元の対象物の動き及び／又は存在に対する感度がより高い対象物検出システムを提供する。
【解決手段】１つ又はそれより多いパターンを監視範囲上に投影し、当該監視範囲の１つ又はそれより多い生の像を捕捉し、且つ生の像内の１つ又はそれより多いパターンの変化を検出する。パターンの変化は、監視範囲内の地形的変化を、従って監視範囲内の対象物の侵入又は動きを指示し得る。パターンが監視範囲上に投影されるので、周囲の照明条件の変化は、対象物検出システムの効力への影響がより少ない。監視範囲内の対象物を検出するのを支援するため、モアレ干渉パターンが用いられる。モアレ干渉パターンは特に、そのモアレ干渉パターンを生成するのに用いられる２つ又はそれより多い基となるパターン間の相対的動きに対して感度が高い。 （もっと読む）

【課題】 精度の高い測定を行うことが可能な３次元形状測定装置及び３次元形状測定方法を提供すること。
【解決手段】 測定対象物４０の三次元形状を測定する三次元形状測定装置１において、
パターン素子１４の格子パターンを測定対象物４０に対して投影する投影部１０と、測定対象物４０に投影された格子パターンを撮像する撮像部２０とを含み、前記格子パターンを基準面ＳＰに対して投影した場合に基準面ＳＰ上において等間隔なパターンが形成されるように、前記格子パターンの間隔を不等間隔としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄膜の基板面内における膜厚変動の影響を低減でき、計測精度の向上を図ること。
【解決手段】ガラス基板上に薄膜が製膜された被検査基板Ｗに、該ガラス基板側から単波長の光を照射する光源と、光源から射出された照明光の光軸に対して所定の傾斜角度で受光軸が交差するように配置され、被検査基板Ｗを透過した拡散透過光を受光する受光素子と、受光素子によって受光された光の強度に基づいて薄膜のヘイズ率を求めるコンピュータ７とを備える。コンピュータ７は、ヘイズ率と拡散透過光の光強度とが関連付けられたヘイズ率特性を有しており、該ヘイズ率特性と前記受光素子によって受光された光強度とを用いてヘイズ率を求める。 （もっと読む）

【課題】複数の薄膜が積層された状態で各薄膜の膜厚を計測すること。
【解決手段】薄膜検査装置は、第１透明薄膜及び第２透明薄膜の少なくとも一方の膜厚変動に影響を受ける分光反射スペクトルの特徴量の中から少なくとも２つの特徴量を選択し、選択した該特徴量の各々と第１透明薄膜の膜厚及び第２透明薄膜の膜厚とをそれぞれ関連付けた少なくとも２つの特徴量特性が格納された記憶部１４と、被検査基板Ｓに対して透明ガラス基板側から白色光を照射する光照射部１１と、被検査基板Ｓからの反射光を受光する受光部１２と、受光された反射光に基づく分光反射スペクトルから記憶部１４に格納されている各特徴量の実測値を求め、求めた各特徴量の実測値と記憶部１４に格納されている特徴量特性とを用いて、第１透明薄膜及び第２透明薄膜の膜厚をそれぞれ求める演算部１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】屈折レンズのみを用いた光学系により垂直照明を可能とし、かつＤＵＶ−ＵＶ（１９０ｎｍ〜４００ｎｍ）領域の広帯域色補正を行うことを可能とする分光光学系および分光測定装置を提供する。
【解決手段】光源100、折り返しミラー110、視野絞り120、及び試料上に集光させる物体側集光レンズ系130と、該物体側集光レンズ系の結像面に配置される像側集光レンズ系140と、前記試料からの正反射光を分光する分光器150とを有し、前記物体側集光レンズ系130と、前記像側集光レンズ系140は、波長１９０〜４００ｎｍのブロードな帯域で色補正され、かつ垂直照明可能な屈折型レンズのみで構成される分光光学系であって、レンズのワーキングディスタンス（WD）が、所定の距離以下で設定され、かつ各接合レンズ間隔Ｄが、所定の距離以上で設定されている。 （もっと読む）

【課題】装置のサイズを大きくすることなく、口腔内を高精度に測定することを可能にする口腔内測定装置及び口腔内測定システムを提供する。
【解決手段】口腔内の少なくとも歯を含む被測定物に光を照射する投光部と、前記被測定物で反射された光を集光させるレンズ系部と、前記レンズ系部が集光した光の焦点位置を変化させる焦点位置可変機構と、前記レンズ系部を通過した光を撮像する撮像部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 薄膜構造の特性評価を含む、偏光解析、反射光測定および散乱光測定のための干渉計法を提供する。
【解決手段】検出器上で参照光と干渉するように、或る範囲の角度にわたってテスト物体から出射するテスト光を結像することであって、テスト光および参照光は共通の光源から生成される。それぞれの角度毎に、テスト光がテスト物体から出射する角度に依存する速度で、テスト光および参照光の干渉する部分の間にいて、光源から検出器までの光路長差を同時に変更すること、および、それぞれの角度毎に光路長差を変更しながら、テスト光と参照光との間の干渉に基づいて、テスト物体の光学特性の角度依存性を特定することからなる方法。 （もっと読む）

【課題】シルエットとして投影できない形状のエッジでも、非接触で、加工途中のワークなどを精度高く、かつ、リアルタイムで輪郭形状を数値的に測定可能とする光学的なエッジ検出装置を提供すること
【解決手段】本発明のエッジ検出装置は、投影光学系の光軸１６ａと平行な光線を遮光するアンチピンホールフィルタ２５を備えた投影光学系と、投影光学系の光軸１６ａと一定の偏角θをもって配設された光源モジュール１１と、撮像素子２６と、コンピュータとを備え、光源モジュール１１の平行光に照射されたワーク１７からの反射光による投影画像を撮像素子で撮像し、エッジ近傍の信号強度を判定し、２本の帯状の高輝度の部分に挟まれた低輝度の線状部分をエッジと判定する。そのため、ワークのエッジを正確に検出でき、これを画像処理により数値処理することでＣＡＤやＮＣ制御と連動させることができる。 （もっと読む）

【課題】液浸型露光装置においてウエハ上に形成された計測用マークを検出する。
【解決手段】マークが形成されたウエハの表面に撥液膜を形成し（ステップ６００）、該撥液膜を介してマークが形成されたウエハ上の領域に光を照射し、該光の物体からの戻り光を受光して前記領域を撮像し（ステップ６０８）、該撮像結果からマークの形成状態を検出する（ステップ６１０）。このため、検出に際して液体の付着が問題とならず、常時液浸タイプの露光装置においても、結像式アライメントセンサ等を用いてマークの形成状態の高精度な検出を、支障なく行うことが可能となる。さらに、撥液膜の膜厚等に応じて検出光の波長帯域を決定し（ステップ６０２）、その波長の検出光を用いて前記領域を撮像することにより、撥液膜による薄膜干渉の影響を受けることなく、マークの形成状態を正確に検出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 回転軸体の軸線方向および／または当該方向に直角な方向における軸振れ量を非接触にて簡単に測定できる軸振れ計測装置を提供する。
【解決手段】 被計測対象である回転軸体の軸線方向および径方向の軸振れ量をこれらのそれぞれに対応する前記回転軸体の回転方向における光反射距離の変化として検出可能な反射パターンを有する平行ターゲット体および鍔状の直立ターゲット体をそれぞれ当該回転軸体の外周面に設けるとともにこれに外嵌設置しておき、前記回転軸体の回転中に発光部からの光線をいずれか一方の反射パターンに照射してそこを走査することで反射する反射光を光誘導手段を用いて他方の反射パターンに誘導して照射し、そこからの前記２つの反射パターンにてそれぞれ反射した反射光を受光・演算表示部で受光し、受光時間の変化から前記回転軸体の軸線方向および径方向の軸振れを計測する軸振れ計測装置。 （もっと読む）

【課題】測定範囲を拡大することが可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供すること。
【解決手段】格子パターンを有するパターン素子３０と、パターン素子３０と投影レンズ２２とビームスプリッタ４０とを介して格子パターンを測定対象物６０に投影する投影部と、測定対象物６０に投影された格子パターンをビームスプリッタ４０を介して撮像する撮像部７０と、撮像部７０によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定部８２とを有し、測定部８２が、焦点位置を変化させて撮像された２つの画像のコントラスト値を検出し、検出された２つのコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハなどの円盤状の測定対象物の端部の撮像画像に基づいて，その端部における面取り加工された端面以外の表面が鏡面であるか非鏡面であるかに関わらず，その面取り加工された端面の幅を測定でき，さらに，その測定を表裏各面それぞれの側について同時に行うことができること。
【解決手段】測定対象物１の端部に対しその測定対象物の表裏各面に平行な方向Ｒｂから光束を投光する第１投光部１０と，これにより光が照射された端部をその測定対象物１の表裏各面側におけるその表面に直角の方向Ｒａから撮像する２つのカメラ３０ａ，３０ｂと，その撮像画像における明部の像の幅を面取り加工された端面の幅として検出する画像処理装置４０とを備える。また，前記方向Ｒａから平行光を投光する２つの第２投光部２０ａ，２０ｂによる投光時には，画像処理装置４０は，撮像画像における暗部の像の幅を面取り加工された端面の幅として検出する。 （もっと読む）

【課題】太陽電池ウェハの表面全体の画像から，前記ソーマークの像のみを的確に抽出することにより，太陽電池ウェハの表面全体の前記ソーマークの形成状態を精緻な空間分解能で高速かつ定量的に検査できるようにすること。
【解決手段】太陽電池ウェハの表面の撮像により得られた入力画像データに対しソーマークの像の長手方向に直交する方向におけるエッジ強調処理を施してエッジ強調画像データを生成し（Ｓ２），そのエッジ強調画像データに対しソーマークの像の長手方向に平行な方向におけるハイパスフィルタリングを施してハイパス画像データを生成し（Ｓ３），エッジ強調画像データからハイパス強調画像データを差し引くことによりソーマークの像が抽出された検査用画像データを生成し（Ｓ４），検査用画像データに基づいてソーマークの形成状態の評価値を算出する（Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】 インラインにおいても金属膜の実際の膜厚を測定することが可能な金属膜の膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】 膜厚測定用の測定光を測定対象物１１に照射する工程と、測定対象物１１からの反射光からこの測定対象物１１の反射率を検出する工程と、検出された測定対象物１１の反射率から得た測定反射率データと、膜厚判断の基礎となる基礎反射率データとに基づいて、測定対象物１１の膜厚を決定する工程と、を備え、測定対象物１１が導電性を有する金属膜であり、金属膜の膜厚が、金属膜に透過した測定光がこの金属膜中で全て吸収されない膜厚以下である。 （もっと読む）