【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。
【解決手段】コーティング検査装置１０は、紫外光を受けた基板１のコーティングからの蛍光を受光して紫外光画像を生成し、可視光を受けた基板１からの反射光を受光して可視光画像を生成する。コーティング検査装置１０は、可視光画像に基づいて基板１の位置を特定し、生成した画像のうち少なくとも紫外光画像とに基づいて基板１のコーティングを検査する。特定された基板１の位置を用いて被検査画像の位置を補正したうえでコーティングを検査してもよい。 （もっと読む）

【課題】従来とは異なる方法で、電気回路部品の下端等、特定部位の高さ方向位置を取得し、あるいは電気回路部品の特定部位の高さ寸法を取得する方法、およびその方法の実施に好適な装置を得る。
【解決手段】ＢＧＡ１１０を吸着ノズル８０ｂにより部品供給装置から取り出した後、下方側部品撮像装置により下方から撮像し、その後、側方側部品撮像装置１８０により真横から撮像する。撮像装置１８０の撮像可能領域の水平方向の幅はＢＧＡ１１０の側面の水平方向の寸法より小さく、下方からの撮像に基づいて得られるＢＧＡ１１０の撮像装置１８０に対する相対位置に基づいてＢＧＡ１１０を、対角線上に並ぶ複数のはんだボール１２０が撮像装置１８０の撮像中心線上に位置する位置に位置決めし、撮像装置１８０に撮像させる。撮像により得られる画像データに基づいてはんだボール１２０の下端の高さ方向位置を取得し、装着時における下降速度の制御等に使用する。 （もっと読む）

【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。
【解決手段】コーティング検査装置１０は、紫外光を受けた基板１のコーティングを受けた被検査体からの蛍光を受光して、各々が異なる色成分に分解された複数の画像を生成する。コーティング検査装置１０は、生成した画像のうち少なくとも１つに基づいて基板１のコーティングを検査する。コーティング検査装置１０は、検査区域ごとに、色分解された複数の画像のいずれかを選択して検査してもよい。 （もっと読む）

【課題】 被検査物の表面の平坦度を高感度で簡易に検出する。
【解決手段】 被検査物２を乗せるステージ１と、被検査物の上面に対して任意に選択した角度方向からその上面に光を照射する光源５と、光源によって照射されるその上面の領域のエッジに光軸が合うように、被検査物の上面に対して選択した角度方向に置かれ、被検査物の上面の領域のエッジからの反射光を受光するライン・センサ９とを備える、マクロ検査装置１００である。 （もっと読む）

【課題】搬送角度を容易に求めることが可能な画像検査装置、画像検査方法および検査用画像作成方法を提供する。
【解決手段】一方向を長手とする複数のレンズを有するレンズシートＬに印刷されている検査用画像を用いて搬送角度を算出する画像検査装置であって、検査用画像は、特定のラインを基準ラインとし、この基準ラインから一方側および他方側のそれぞれに向かって離間するラインごとに、当該基準ラインに対する傾斜角度が所定の角度ずつ増大するように、各ラインが配置されていて、この検査用画像が印刷されているレンズシートＬに光を照射し、このレンズシートＬから反射される光を読み取って、該レンズシートＬに対応する読み取り画像を出力するスキャナ手段１１Ｂと、読み取り画像から、レンズシートＬの搬送角度を算出する算出手段１１Ｃと、を具備している。 （もっと読む）

【課題】 検出対象物の検出可能範囲が広く、しかも位置検出精度を向上した受発光一体型素子アレイおよびそれを用いたセンサ装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る受発光一体型素子アレイＬは、基板１と、基板１上に列状に配置して設けられた複数の受光素子２と、基板１上に、受光素子２の配列方向に沿って、列状に配置して設けられた複数の発光素子３と、を備えている。そして、発光素子３は、各受光素子２に対し、複数個ずつ対応するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】 通路を移動する被測定体の寸法を光電的に無接触かつ高分解能で測定する。
【解決手段】 移動経路Ｂを移動中の被測定体Ａの測長に際して、移動経路Ｂに沿って配置し、それぞれ複数個の発光素子１２ａ、１２ｂ、・・・及び複数個の受光素子１３ａ、１３ｂ、・・・を有する複数組の測定ユニット１１を用いて同時に測定を始める。つまり、各測定ユニット１１の各発光素子１２ａ、１２ｂ、・・・からの発光、消灯が順次に行われ、これと同期して対応する各受光素子１３ａ、１３ｂ、・・・が作動する。そこで、或る時点で各測定ユニット１１における光ビームを検知せずオフ出力をした受光素子１３ｉの総数を求めれば、被測定体Ａの長さを知ることができる。 （もっと読む）

【課題】測定死角を完全に排除した高精度な３次元測定を短時間でできる印刷半田検査装置を提供することにある。
【解決手段】基板に対して垂直上方から光照射する１つの光照射手段２３と、前記基板で該照射光路に対し両側方向にそれぞれ反射した光を入射する２つの撮像手段３２、３３とを備え、該入射光に基づいて当該印刷半田を３次元画像処理して検査する。これにより、１つの光照射手段が、基板に対して垂直上方から光照射し、該光照射手段を挟んで相対する２つの撮像手段が、印刷半田によって生じる凹凸状態を斜め両側からそれぞれ撮像するので、照明の影を補うことが可能となって測定死角を完全に排除した高精度な３次元測定ができると共に、同時撮像処理が可能となって測定時間を短縮させることができる。 （もっと読む）

【課題】自動車等の外観面品質の検査に用いられるハイライト検査において、製品としての表面形状を得るための部品の組付けや治具等が用いられる仮組付けが必要とされず、製品の生産過程における早い段階で、組付け状態での評価と同様に、表面形状について製品状態で隣り合う部品間のつながりを評価することができる表面形状評価方法を提供すること。
【解決手段】二つの部品の境界部分における任意の位置に、二つの部品が共有するターゲットポイントＴＰを設定し、各部品について、仮想の評価対象面に対して共通となるような光線束を照射した状態で、ターゲットポイントＴＰに対する共通の撮像視点から撮像することで、撮像画像１０４、１０５を取得し、各撮像画像を各画像上のターゲットポイントＴＰの位置が互いに一致するように合成することで合成画像１１０を生成し、この合成画像におけるハイライト流れに基づいて、評価対象面の形状を評価する。 （もっと読む）

【課題】直方体状の物品が傾いて搬送され、かつ、物品が変形している場合においても、安定して精度よく寸法測定が可能な寸法測定装置、寸法測定方法及び寸法測定プログラムの提供を目的とする。
【解決手段】寸法測定装置１は、物品１０の見かけの最大幅（Ｗ）を測定する物品最大幅測定部２と、見かけの最大長さ（Ｌ´）を測定する物品最大長測定部３と、外接長方形と被測定面１０ａとによって形成される四つの直角三角形の面積（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ１´、Ｓ２´）を測定する空き面積測定部４と、被測定面１０ａの面積（Ｓ０）を測定する物品面積測定部５と、所定の式により、物品１０の長さ（Ｌ）及び幅（Ｄ）を算出する寸法算出部６とを備えた構成としてある。
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【課題】導電性ポリマー層形成後に導電性ポリマー層の膜厚不良を効率よく検査できるようにした有機ＥＬパネル基板の導電性ポリマー層の膜厚不良検査装置及びそれを用いた膜厚不良検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】有機ＥＬパネル基板の導電性ポリマー層の膜厚不良検査装置１００は、想定される導電性ポリマー層の膜厚範囲から最低３水準の膜厚での分光反射率を予め測定する分光反射率測定手段１０と、該分光反射率測定定手段１０により得られた結果から最も反射率に差が生じる波長を透過するバンドパスフィルタ２２を備えた撮像手段２０と、撮像したアナログデータ画像をデジタルデータ画像に変換するＡ／Ｄ変換手段３０と、デジタルデータ画像を処理する画像処理手段４０と、膜厚の正常、不良を判断処理する膜厚不良判断処理手段５０と、各手段の制御を司る制御手段６０と、から構成されている。 （もっと読む）

【課題】エンボステープのポケットに収納された状態等の電子部品の傷や欠け等の外観検査を精度よく行うことができる電子部品検査装置および電子部品検査方法を提供する。
【解決手段】電子部品１３に対して直交する方向から第１照明光を照射するとともに、電子部品に対して斜め方向から第２照明光を照射し、電子部品１３とこの周りの部位とにコントラスト差を生じさせて、電子部品１３の輪郭を検出する工程を行う。電子部品１３に対して斜め方向から第３照明光を照射して電子部品１３の表面を検査する工程を行う。 （もっと読む）

【課題】 取り込み済み画像フレームのデータにおいてビーコンクラスタなどの特徴を特定し、取り込まれる画像フレーム内のピクセルを処理するために必要なメモリサイズを低減する光学ナビゲーションのためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】 画像フレームのデータにおいてクラスタピクセルを特定してラベル付けする光学ナビゲーションのためのシステム及び方法であって、画像フレームのデータにおけるカレントピクセルがクラスタピクセルであるかどうかを決定し、カレントピクセルの近傍ピクセルを用いて、カレントピクセルを、新たなクラスタ又は既存のクラスタに属するものとしてラベル付けする。 （もっと読む）

【課題】
安定した測定を簡便に行うことができる光学測定装置、及び基板保持装置を提供する。
【解決手段】。
本実施の形態にかかる光学測定装置は、試料を透過した透過光を用いて測定を行う光学測定装置であって、試料５０の端部が載置される載置台１２と、試料５０の下側においてＹ方向に移動可能に設けられ、試料を吸着する吸着口を有する吸着台１８と、吸着台１８に設けられ、前記試料を下側から照明光を出射する照明光源４１と、照明光源４１から試料を透過した透過光を試料５０の上側で受光する測定ヘッド２２と、試料５０の下側に設けられ、載置台１２よりも内側において試料５０を支持する複数の支持部材１６と、吸着台１８に設けられ、支持部材１６と当接することによって一部の支持部材１６の上端を試料５０から離間させる当接部４８と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】疵の検査対象である薄鋼板等の帯状体のエッジの位置を精度良く特定して帯状体表面の疵を適切に検出する疵検査装置及び疵検査方法を提供すること。
【解決手段】移動する帯状体１を幅方向に横切る照射領域４００に帯状光を照射し帯状体１の表面の疵を検査する疵検査装置が提供される。この疵検査装置１００は、帯状体の移動方向Ｖに対して帯状体の幅方向の一側に所定の第１角度θ１だけ傾いた第１方向３１１に出射される第１帯状光と、帯状体の移動方向に対して帯状体の幅方向の他側に所定の第２角度θ２だけ傾いた第２方向３２１に出射される第２帯状光とを、照射領域に照射する照明手段１１０と、照射領域における第１及び第２帯状光の反射光を撮像して照射領域の画像を出力する撮像手段１２０と、撮像手段により撮像した反射光の強度に基づいて、照射領域の画像における帯状体１の幅方向の両エッジの位置を特定する画像処理手段１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で用紙の端部などの位置を適切に検出することができるラインセンサを提供すること。
【解決手段】 基板１の一主面１ａ上に列状に設けられ、一主面１ａの一方側に光を放射可能な複数の発光部２と、一主面１ａ上で、複数の発光部２のそれぞれに隣接して設けられ、一主面１ａの一方側から到来する光を受光可能な複数の受光部３と、外部から発光部２の発光状態を制御する信号が与えられる第２および第３電極４ｂ，４ｃ、および外部に受光部３の受光状態に応じた信号が出力される第４および第５電極４ｄ，４ｅを有し、第２〜第５電極４ｂ〜４ｅは、複数の発光部２および受光部３のうち、端部に設けられる発光部２ａおよび受光部３ａよりも列の延在方向の外方に設けられて、発光部２および受光部３に選択的に接続される配線部４とを含む。 （もっと読む）

【課題】検出手段の損傷を確実に防止することができる検出装置を提供する。
【解決手段】搬送手段３により搬送される物体Ｓに接近又は離間する方向に移動して該物体Ｓの性状を検出可能であると共に、計測手段６が計測した移動方向に沿った物体Ｓの長さに応じて物体Ｓに接近可能な検出手段２１と、搬送手段３による物体Ｓの搬送方向に対して検出手段２１より上流側で検出手段２１と共に物体Ｓに接近可能であり、前記移動方向における物体Ｓの規制位置にてこの物体Ｓに接触して物体Ｓを検知可能な検知手段７と、検知手段７が物体Ｓを検知した際に物体Ｓと検出手段２１との接触を回避する回避手段５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 、基板に溶液を塗布するに際し、今後予想される要望に対応すべく、液滴の吐出量を算出する速度、精度の更なる向上を図ること。
【解決手段】 基板１に溶液を塗布する溶液の塗布方法において、基板１に塗布された液滴Ｌの厚さと、該液滴Ｌを透過する光を該液滴Ｌが吸収する吸光度との厚さ／吸光度関係を予め定め、基板１に塗布された液滴Ｌに対して照射した光の吸光度を測定し、上記液滴Ｌの厚さ／吸光度関係に基づいてこの測定した吸光度に対応する液滴Ｌの厚さを算出し、この算出した液滴Ｌの厚さに基づいて該液滴Ｌの吐出量を算出するもの。 （もっと読む）

【課題】コークス炉の炭化室の炉壁を従来よりも効率的に補修することができるようにする。
【解決手段】複数のコークス炉１００の複数の炭化室１１で実際に生じた押出負荷と、その炭化室１１について導出した抵抗指数ｋとを用いて、押出負荷と抵抗指数ｋとの関係を示すグラフ１４０１を求めておく。その後、炉壁３次元プロフィールデータ１５０１、１５０２に対して、補修対象領域１５０３、１５０４が指定されると、その補修対象領域１５０３、１５０４を補修した場合の抵抗指数ｋを計算し、計算した抵抗指数ｋに対応する押出負荷を、グラフ１４０１から推定する。抵抗指数ｋと押出負荷とは明瞭な相関関係があるので、推定した押出負荷の信頼性は、極めて高いものとなる。したがって、ユーザは、押出負荷の推定値（計算値）に基づいて、補修箇所の判断を、容易に且つ正確に行える。 （もっと読む）

【課題】被検査物の外観検査と回転振れ検査を、同じ一次元撮像手段を用いる装置構成により高精度で行うことができるように、その検査方法について工夫すること。
【解決手段】被検査物の表面画像を入力して該被検査物の検査を行う方法であって、先ず、上記一次元撮像手段５をライン状の反射光に対して略平行な所定位置に移動し、少なくとも上記被検査物３の一周以上の画像を入力し、この入力した外観検査用画像を処理することにより、該被検査物の外観検査を行い、次に、上記一次元撮像手段５を上記被検査物３の中心軸に対して斜めになる所定位置に移動し、少なくとも該被検査物の一周以上の画像を入力し、この入力した偏心・回転振れ検出用画像から、該被検査物の回転時の偏心・回転振れを演算し偏心・回転振れ検査を行い、上記被検査物の外観検査と偏心・回転振れ検査を順次行うことである。 （もっと読む）