【課題】部品の表面上におけるアルミナ層の存在を確認する方法を提供する。
【解決手段】部品の表面を適切な波長における放射線で照明し、該部品の該表面上にある任意のアルミナにおける電子を通常エネルギー状態から高エネルギー状態に励起する工程と、該部品の該表面上にある任意のアルミナにおける該高エネルギー状態から該通常エネルギー状態に戻る電子により特定の波長で放射される放射線を検出、分析し、該部品の該表面上にある少なくとも一点における該アルミナの厚さを測定する工程と、該部品の該表面上にある該少なくとも一点で測定した該アルミナの厚さを、該部品の該表面上にある該点で予め決められたアルミナの厚さと比較し、該部品の該表面上における該少なくとも一点における該アルミナの厚さが十分であるか否かを決定する工程を含んでなる、方法。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＯＳセンサーによる撮像時に、投影照明と回転シャッタとの同期を取る。
【解決手段】画像形成装置は照明組立体を有し、照明組立体は、複数の放射源と投影光学系を有し、放射源から視覚野の異なるそれぞれの領域の上へ放射を投影するように構成される。画像形成組立体は、画像センサ上に視覚野の光学的画像を形成するように構成された、画像センサと対物光学系を有し、画像センサは、多重のグループ内に配置されたセンサ要素の１配列を有し、画像センサは、視覚野の電子画像を形成するため、回転シャッタによりトリガーされて、連続するそれぞれの露出期間において、視覚野の異なるそれぞれの区域からの放射を獲得する。制御装置は、照明組立体が視覚野の異なるそれぞれの区域を前記回転シャッタと同期して照明するために、放射源をパルスモードで順次活性化するように接続される。 （もっと読む）

【課題】高精度な変位測定装置を提供する。
【解決手段】移動物体１０２の変位量を測定する変位測定装置１００であって、
発光領域１０１から発せられた光束で移動物体１０２を照射する光源と、移動物体１０２の移動方向において複数の受光領域を備え、移動物体１０２の凹面１０３により反射された光束を結像させて受光するフォトダイオードアレイ１０４、１０５と、光束を結像させてフォトダイオードアレイ１０４、１０５に形成された発光領域像１０６の移動量から、移動物体１０２の変位量を測定する測定手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数のライン光を照射する低コストで小型なライン照明装置を提供することにある。
【解決手段】本発明のライン照明装置９Ａは、同一基板９４上に色別にそれぞれ複数個一列に配置された光源９１，９２と、複数個の前記光源から照射される色別の光をそれぞれライン状に結像する単一の集光光学系９３もしくは光軸方向に配列された複合の集光光学系と、を備えている。これにより、多種類の光源の光を、１つの集光光学系のみにより集光することができるので、多種類の集光光学系を設計・製作する必要がなく部品点数を減少させて低コスト化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】対象物体の少なくとも２次元座標を検出することのできる光学式位置検出装置、および当該光学式位置検出装置を備えた位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、検出領域１０ＲのＸＹ平面に沿う方向に検出光Ｌ２を出射する複数の位置検出用光源１２を備え、かかる位置検出用光源１２は、互いに異なる方向に光軸を向けた発光素子１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄからなる。発光素子１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄから出射された検出光Ｌ２によって検出領域１０Ｒに、Ｘ軸方向で検出光Ｌ２の強度が変化するＸ座標検出用光強度分布およびＹ軸方向で検出光Ｌ２の強度が変化するＹ座標検出用光強度分布を形成し、この状態で、対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で形成する。 （もっと読む）

【課題】被覆が剥離された被覆電線端部の良否を的確に検査することのできる被覆電線検査装置及び電線処理機を提供する。
【解決手段】被覆が剥離された被覆電線Ｄの端部Ｔの状態を検査する被覆電線検査装置Ａであって、被覆が剥離された芯線Ｓの端面Ｔを撮像する第１撮像手段３ａと、被覆が剥離された芯線Ｓの側面を撮像する第２撮像手段３ｂと、前記各撮像手段３ａ、３ｂにより撮像された画像に基づいて前記剥離の良否を判定する判定手段９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被撮像物の材質あるいは背景や周辺環境、さらには、光源の照明方向や明るさに左右されることなく被撮像物のエッジ位置を正確に検出する。
【解決手段】被撮像物ＩＯのエッジを検出するために、制御部３は、被撮像物を実質的に半円形状で囲むように複数設けられた光源ＬＥＤを予め定められた順番で１つずつ点灯させることで、その点灯タイミングに同期して被撮像物を定点からカメラ２で撮像して当該被撮像物の濃淡画像を連続的に取得する。演算処理部４は、この点灯タイミングに同期して連続的に取得したすべての濃淡画像で、画素列毎に各画素の階調を比較して、階調の最大値となる画素と最小値となる画素との差分値を微分処理して画素列毎に微分値分布を算出し、この微分値分布から予め定められた閾値以上の画素位置をエッジ点として検出する。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡易に、半導体ウェハのエッジ位置の検出範囲を拡げることが可能なエッジ位置検出器およびアライメント装置を提供する。
【解決手段】エッジ位置検出部５０は、半導体ウェハ１２のエッジを挟んで対向するように配置された投光部５４および受光部５２を備える。投光部５４は、ＬＥＤ基板５４０、導光板５４４、および拡散板５４６を備える。ＬＥＤ基板５４０は、半導体ウェハ１２に対して光を照射するように構成され、かつ、アレイ状に配列された複数のＬＥＤチップ５４２を備える。導光板５４４は、ＬＥＤ基板５４０と対向する入射面および半導体ウェハ１２と対向する出射面を有する。拡散板５４６は、導光板５４４の出射面に設けられる。受光部５２は、ＬＥＤチップ５４２の配列方向に沿って延びるように設けられたＣＣＤ５２２およびＣＣＤ５２４を備える。 （もっと読む）

【課題】トナーパタンの位置およびトナー濃度の少なくとも一方を検出する反射型光学センサを実現する。
【解決手段】半導体発光素子ＥｉとフォトダイオードＤｉを、半導体発光素子の発光軸とフォトダイオードの受光軸とが平行となるようにし、発光軸および受光軸が間隔：Ｌとなるように相互に近接して配置一体化した一体型発光受光素子と、半導体発光素子から担持媒体２０４０表面に照射される光束に、収束作用を及ぼす照明用集光レンズＬＥｉとを有し、照明用集光レンズは光軸を発光軸と平行にしてフォトダイオード側へシフトし、半導体発光素子から発光軸上に放射される光線が、照明用集光レンズにより屈折されて、発光軸に直交する担持媒体表面に入射角：Θをもって斜め入射し、担持媒体表面により正反射されてフォトダイオードの受光部の中心部に入射するように半導体発光素子とフォトダイオードと照明用集光レンズとの位置関係が調整され、間隔：Ｌが１ｍｍ程度より小さく、入射角：Θが１０度より小さくなるように設定されている反射型光学センサ。 （もっと読む）

光学検査システム及び方法が提供される。加工対象物輸送機構が加工対象物（１２）をノンストップで移動させる。照明装置（４０）が、ライトパイプを含み、第一及び第二のストロボ照明野タイプを提供するように構成されている。第一（３）及び第二（５）のカメラ（２）アレイが、加工対象物（１２）の立体画像化を提供するために配設されている。第一のカメラアレイ（３）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第一の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第二の複数の画像を生成するように構成されている。第二のカメラアレイ（５）は、第一の照明野を用いて加工対象物（１２）の第三の複数の画像を生成し、第二の照明野を用いて加工対象物（１２）の第四の複数の画像を生成するように構成されている。処理装置が、第一、第二、第三及び第四の複数の画像の少なくともいくつかを記憶し、他の装置に提供する。
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本発明は、液状薬剤（Ｍ）の半透明の薬剤容器（１）のコンパートメント（５）をシールするためのストッパ（４）の長手位置を決定するための配置及び方法に関する。配置は、円形光源（８）及び光感受性センサ（７）を含み、ここで光源（８）又はセンサ（７）は、薬剤容器（１）の長さの少なくとも一部に広がる薬剤容器（１）に接して横方向に配置可能であり、ここでそれぞれの他の光源（８）及びセンサ（７）は薬剤容器（１）の先端周りに円形状に配置可能である。光源は薬剤容器中に光を放射するように配置される。光は薬剤又は薬剤容器（１）により散乱され、センサ（７）により検出される。センサ（７）はストッパ（４）の位置を検出するためにプロセッサユニットに連結される。 （もっと読む）

【課題】フォーカス値の測定時間を短縮し、かつ正確なフォーカス値を得ることができる半導体装置の製造方法及び露光装置を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、ウエハ３上に形成されたレジスト６より下層に形成された膜によって反射率が異なる領域について測定されたフォーカス値を取得し、反射率が低い第１の領域３１について得られたフォーカス値に、前記第１の領域３１よりも反射率が高い第２の領域３２について得られたフォーカス値を近づけて露光処理を行う。 （もっと読む）

統合された視覚及び表示システムは、表示面を通じて見るために表示画像を送信するように構成された表示画像形成層と、表示面の法線に対して狭い範囲の角度の、表示面上又は表示面の近くの１つ以上の物体からの反射を含む、赤外光を結像するように構成された結像検出器と、物体を照らすために赤外光を放射するように構成された視覚システムエミッターと、対向する上面及び／又は下面を有し、視覚システムエミッターから赤外光を受信し、上面及び下面からＴＩＲによって赤外光を導き、表示面の法線に対して狭い範囲の角度の外側の物体上へ赤外光を投影するように構成された、可視光及び赤外光を伝達可能な導光路とを具備する。
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【課題】Ｏリング外壁シール部（リング状の外傾斜部）の正反射像を得て、傷、打痕、クラック等の高速検査に適用する。
【解決手段】Ｏリング７に対して弧を描く位置に列をなすＬＥＤ光源１からの照明光束は、直接にＯリング７に照射されるとともに、シリンドリカルミラー５を介してＯリング７に照射される。照明光束により照射されたＯリング７の外壁シール部からの正反射光は、シリンドリカルミラー５を介して正反射像を形成する。 （もっと読む）

【課題】より低消費電力で高速・高精度に指示体の検出が可能な光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】光学式位置検出装置は、複数の光源部１０とカメラ部２０と検出部３０と制御部４０とからなる。複数の光源部１０は、検出面の所定の領域を照らす光をそれぞれ発し、これらを組み合わせて検出面全面を選択的に照らす。カメラ部２０は、検出面全面を撮像可能な画角を有し、光源部１０により照らされる指示体２の像を撮像する。検出部３０は、カメラ部２０により撮像される指示体２の像を用いて指示体２の指示位置を算出する。制御部４０は、初期スキャン時に複数の光源部１０を所定の順序で点灯させると共に、一旦検出部３０により指示体２の指示位置が検出されると、検出される指示体２の指示位置をカバーする範囲を照らす光源部１０を点灯させ、それ以外の光源部１０を消灯させるよう制御する。 （もっと読む）

【課題】画像プローブの校正方法を提供すること。
【解決手段】画像プローブ３の撮像方向を垂直にした状態で画像プローブ３および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂによりそれぞれ校正ゲージ６２を測定し、画像プローブ３の光軸中心および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの相対位置関係を求める。次に、一方の測定子６１１Ａ，６１１Ｂにより基準球６３を測定し、基準球６３の位置を登録する。続いて、画像プローブ３の撮像方向を傾斜させた後、各測定子６１１Ａ，６１１Ｂで基準球６３を測定し、該測定結果と登録した基準球６３の位置とから測定機１上の各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの位置を求める。画像プローブ３の光軸中心および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの相対位置関係は既に取得しているので、求めた測定機１上の各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの位置から画像プローブ３の光軸周りの回転角度および画像プローブ３の位置を校正できる。 （もっと読む）

【課題】第８世代や第１０世代のガラス基板に対する欠陥検査や欠陥修正に対応できる基板保持装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板保持装置は、固定端とテンション端との間に張架されると共に第１の方向に沿って延在する支持ワイヤ（７〜１０）を含む複数のワイヤ支持機構（３〜６）と、ワイヤ支持機構の各支持ワイヤに対して第１の方向に沿って移動可能に連結されたステージ（３０）と、ステージを第１の方向に案内するガイド手段（４４）と、ステージを第１の方向に沿って移動させる駆動装置（５１，５３）とを具える。ワイヤ支持機構の各支持ワイヤは、同一の平面内において互いに平行に張架され、複数の支持ワイヤ上に基板が載置された際、当該ステージは、支持ワイヤ上に載置された基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動する。ステージは、基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動するので、支持ワイヤによる影響を受けることなく各種処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ユーザ所望の測定モードが正しく選択されているか否かを直感的に認識可能とし、かつ投光器の投光面及び受光器の受光面に汚れが付着した場合に速やかに適切な処置が可能な透過型寸法測定装置を提供する。
【解決手段】コントローラに測定領域の始点及び終点を選択するための複数の測定モードから一つの測定モードの選択を受け付ける測定モード選択手段を設け、選択された測定モードと測定対象物による遮光領域に基づいて設定される測定領域を、その他の領域と識別可能に表示する測定領域表示部を備える。 （もっと読む）

【課題】明るさの分布を有する照明光の全体の明るさが低下するのを抑制することが可能な位相シフト画像撮像装置を提供する。
【解決手段】この部品撮像装置６０（位相シフト画像撮像装置）は、それぞれＡ方向に延びるとともにＢ方向に間隔ｄ２で略平行に配置され、それぞれ線状パターンに発光する複数の発光素子列６２ａを含み、複数の発光素子列６２ａの少なくとも一部を発光させることによりＢ方向への明るさの分布を有する照明光を生成して部品１２０に対して照射する照明部６１と、照明部６１からの照明光を用いて部品１２０を撮像する撮像素子６３とを備え、照明部６１は、発光させる発光素子列６２ａを変更することにより部品１２０に照射する照明光の明るさの分布の位置をＢ方向へ変更可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】検出スクリーンを同時に通過した複数個の弾丸を検出可能な弾丸検出装置及び弾丸検出方法を提供する。
【解決手段】計測装置４ａ〜４ｃが、弾丸の飛行方向に沿って配置された３つの検出スクリーン２ａ〜２ｃを同時に通過した複数の弾丸の検出スクリーン上における通過位置座標を検出スクリーン毎に検出する。計測処理装置８が、計測装置４ａ〜４ｃにより検出された通過位置座標を用いて検出スクリーンを同時に通過した弾丸の数、飛行経路、速度を算出する。 （もっと読む）