検出装置
【課題】検出手段の損傷を確実に防止することができる検出装置を提供する。
【解決手段】搬送手段３により搬送される物体Ｓに接近又は離間する方向に移動して該物体Ｓの性状を検出可能であると共に、計測手段６が計測した移動方向に沿った物体Ｓの長さに応じて物体Ｓに接近可能な検出手段２１と、搬送手段３による物体Ｓの搬送方向に対して検出手段２１より上流側で検出手段２１と共に物体Ｓに接近可能であり、前記移動方向における物体Ｓの規制位置にてこの物体Ｓに接触して物体Ｓを検知可能な検知手段７と、検知手段７が物体Ｓを検知した際に物体Ｓと検出手段２１との接触を回避する回避手段５とを備えることを特徴とする。
【解決手段】搬送手段３により搬送される物体Ｓに接近又は離間する方向に移動して該物体Ｓの性状を検出可能であると共に、計測手段６が計測した移動方向に沿った物体Ｓの長さに応じて物体Ｓに接近可能な検出手段２１と、搬送手段３による物体Ｓの搬送方向に対して検出手段２１より上流側で検出手段２１と共に物体Ｓに接近可能であり、前記移動方向における物体Ｓの規制位置にてこの物体Ｓに接触して物体Ｓを検知可能な検知手段７と、検知手段７が物体Ｓを検知した際に物体Ｓと検出手段２１との接触を回避する回避手段５とを備えることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出装置に関し、特に、物体から発生する放射線を検出する検出器に適用して好適な検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、物体の性状を検出するための検出装置として、例えば、原子力発電所等の放射性物質を取り扱う施設から搬出される廃棄物等の放射能の汚染度合いを検査するための放射線検出装置が知られている。このような放射線検出装置は、例えば、前記廃棄物等の検査対象物を搬送する搬送部としてのベルトコンベアと、検出器としての放射線センサとを備えており、ベルトコンベアによって検出位置にまで搬送される検査対象物から発生する放射線を、この放射線センサによって連続的に検出する。そして、このような従来の放射線検出装置では、まず、検査対象物の高さを計測し、当該計測された高さに応じて放射線センサを検査対象物にできる限り近接させて放射線を検出することで、検査対象物表面から発生する放射線のより正確な強度を測定するものがある。
【０００３】
そして、このような検査対象物の高さなどの形態情報を計測する従来の形態計測装置として、例えば、特許文献１に記載されている形態計測装置は、搬送過程にある検査対象物に対して異なる方向から複数のライン光を照射する光照射部と、光照射部から照射されたライン光のうち、検査対象物に遮られずに透過したライン光を受光する受光部と、受光部において受光したライン光の情報に基づいて、検査対象物の概略形態を認識する形態認識部とを備えている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２４７９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１に記載された形態計測装置では、例えば、検査対象物に細い突起部があった場合に、光照射部から照射された光がこの突起部を回り込んでしまい、この結果、突起部があるにもかかわらず受光部に光が受光されてしまうことがあった。言い換えれば、検査対象物の正確な高さなどを計測することができないことがあった。また、計測精度が光軸ピッチに依存してしまうことで極めて細い突起部が計測されないおそれもある。そして、検査対象物の突起部が認識されないまま、上記のように放射線センサを検査対象物にできる限り接近させてしまうと、この検査対象物の突起部と放射線センサとが接触してしまい、放射線センサが損傷してしまうおそれがある。
【０００６】
そこで本発明は、検出手段の損傷を確実に防止することができる検出装置を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するための請求項１の発明の検出装置は、搬送手段により搬送される物体に接近又は離間する方向に移動して該物体の性状を検出可能であると共に、計測手段が計測した前記移動方向に沿った前記物体の長さに応じて前記物体に接近可能な検出手段を備える検出装置において、前記搬送手段による前記物体の搬送方向に対して前記検出手段より上流側で前記検出手段と共に前記物体に接近可能であり、前記移動方向における該物体の規制位置にて該物体に接触して該物体を検知可能な検知手段と、前記検知手段が前記物体を検知した際に前記物体と前記検出手段との接触を回避する回避手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明の検出装置では、前記検知手段は、先端部が前記物体の規制位置に設定されると共に、基端部を回転中心として回転可能な回転部と、前記回転部の回転に応じて前記物体を検知する回転検知部とを有することを特徴とする。
【０００９】
請求項３の発明の検出装置では、前記搬送手段は、前記物体を載置可能な搬送面を有し、前記回転部は、板状に形成され、前記回転中心が前記搬送方向に対して水平に直交する幅方向に沿って水平な回転軸線をなすと共に、前記幅方向の長さが少なくとも前記搬送面の前記幅方向の長さ以上の長さに設定されることを特徴とする。
【００１０】
請求項４の発明の検出装置では、前記回避手段は、前記検知手段が前記物体を検知した際に前記搬送手段を制御して前記物体の搬送を停止することを特徴とする。
【００１１】
請求項５の発明の検出装置では、前記計測手段は、前記物体に対して複数の光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射された光のうち、前記物体に遮られずに透過した光を受光する受光部と、前記受光部が受光した光の情報に基づいて前記移動方向に沿った前記物体の長さを計測する計測部とを有することを特徴とする。
【００１２】
請求項６の発明の検出装置では、前記計測手段は、前記搬送手段により搬送される前記物体に先端部が接触可能であると共に、基端部を回転中心として回転可能な回転手段と、前記回転手段の回転角度を計測可能な回転角度計測手段と、前記回転角度に基づいて前記物体の高さを算出する算出手段とを有することを特徴とする。
【００１３】
上記の目的を達成するための請求項７の発明の検出装置は、搬送手段により搬送される物体に接近又は離間する方向に移動して該物体の性状を検出可能であると共に、計測手段が計測した前記移動方向に沿った前記物体の長さに応じて前記物体に接近可能な検出手段を備える検出装置において、前記計測手段は、前記物体に先端部が接触可能であると共に、基端部を回転中心として回転可能な回転手段と、前記回転手段の回転角度を計測可能な回転角度計測手段と、前記回転角度に基づいて前記物体の高さを算出する算出手段とを有することを特徴とする。
【００１４】
請求項８の発明の検出装置では、前記搬送手段は、前記物体を載置可能な搬送面を有し、前記回転手段は、板状に形成され、前記回転中心が前記搬送方向に対して水平に直交する幅方向に沿って水平な回転軸線をなすことを特徴とする。
【００１５】
請求項９の発明の検出装置では、前記回転手段は、前記幅方向の長さが少なくとも前記搬送面の前記幅方向の長さ以上の長さに設定されることを特徴とする。
【００１６】
請求項１０の発明の検出装置では、前記回転手段は、前記幅方向に沿って複数設けられ、前記回転角度計測手段は、複数の前記回転手段に対応して複数設けられ、前記算出手段は、前記回転角度計測手段が計測したそれぞれの前記回転角度に基づいて前記物体の高さを算出することを特徴とする。
【００１７】
請求項１１の発明の検出装置では、前記検出手段は、前記物体から発生する放射線を検出することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１の発明の検出装置によれば、検知手段により、表面位置が規制位置より高い物体に物理的に接触して当該物体を検知することから、仮に計測手段が物体の正確な高さを計測できなかったとしても、検知手段が物体を検知した際に回避手段により物体と検出手段との接触を回避するので、物体が検出手段に衝突することを防止することができ、この検出手段が損傷することを防止することができる。
【００１９】
請求項２の発明の検出装置によれば、表面位置が規制位置より高い物体が回転部に接触した際に、回転部が回転しこの回転部の回転を回転検知部が検知することで、検知手段にて、物体に物理的に接触して当該物体を検知することができる。この結果、計測手段では、計測漏れしてしまう物体であっても、この物体に物理的に接触して検知する検知手段であれば、見逃すことなく検知することができる。
【００２０】
請求項３の発明の検出装置によれば、回転部は少なくとも搬送面の幅方向端部間で連続していることから、幅方向に対して物体が通過しうる範囲を１枚の回転部と１つの回転検知部で全てカバーできるので、表面位置が規制位置より高い物体を検知漏れすることがなく、その上で部品点数も比較的少なくて済むことから、製造コストも抑制することができる。
【００２１】
請求項４の発明の検出装置によれば、回避手段により、検知手段が物体を検知した際に、搬送手段を制御し当該物体の搬送を停止することから、確実に物体と検出器との接触を回避することができる。
【００２２】
請求項５の発明の検出装置によれば、光照射部により物体に向けて光が照射され、この光を受光する受光部から物体が存在しない位置の高さ出力と、物体が存在する位置の高さ出力とが計測部に送信される。そして、計測部では、物体が存在しない位置の高さ出力と物体が存在する位置の高さ出力との差から、物体の高さを演算し、これにより、このときの最大寸法が物体の高さ寸法として計測される。
【００２３】
請求項６の発明の検出装置によれば、物体が接触することで回転される回転手段の回転角度を回転角度計測手段によって計測し、算出手段によりこの回転角度に基づいて物体の高さを計測することから、回転手段がこの物体に物理的に接触して高さを計測するので、計測漏れが発生することを防止することができ、よって、物体の高さを確実に計測することができる。
【００２４】
請求項７の発明の検出装置によれば、物体が接触することで回転される回転手段の回転角度を回転角度計測手段によって計測し、算出手段によりこの回転角度に基づいて物体の高さを計測することから、回転手段がこの物体に物理的に接触して高さを計測するので、計測漏れが発生することを防止することができ、よって、物体の高さを確実に計測することができる。このため、正確に計測された物体の高さに応じて、検出手段を前記物体に接近させることができるので、物体が検出手段に衝突することを防止することができ、この検出手段が損傷することを防止することができる。
【００２５】
請求項８の発明の検出装置によれば、回転手段は水平な回転軸線周りに回転することができるので、回転角度に基づいて簡易な演算により物体の高さを計測することができる。
【００２６】
請求項９の発明の検出装置によれば、回転手段は少なくとも搬送面の幅方向端部間で連続していることから、幅方向に対して物体が通過しうる範囲を１枚の回転手段と１つの回転角度計測手段で全てカバーできるので、物体の高さを計測漏れすることがなく、また、部品点数が比較的少なくて済むことから、製造コストも抑制することができる。
【００２７】
請求項１０の発明の検出装置によれば、幅方向に沿って複数の回転手段を設け、複数の回転手段に対応して複数の回転角度計測手段を設け、算出手段により、複数の回転角度計測手段が計測したそれぞれの回転角度に基づいて物体の高さを算出することから、幅方向に沿った複数箇所で物体の高さを計測することができる。
【００２８】
請求項１１の発明の検出装置によれば、物体と検出手段との接触を確実に回避した上で、検出手段を物体と衝突しない範囲で可能な限り物体に近づけた後に物体から発生する放射線を検出することができるので、より正確な放射線を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に、本発明に係る検出装置の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施例における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、或いは実質的に同一のものが含まれる。
【実施例１】
【００３０】
図１は、本発明の実施例１に係る放射線検出装置の概略構成図、図２は、本発明の実施例１に係る放射線検出装置の概略斜視構成図、図３は、本発明の実施例１に係る放射線検出装置の要部の概略回路構成図である。
【００３１】
図１、図２に示すように、本実施例にかかる検出装置は、物体として検査対象物Ｓから発生する放射線を検出する放射線検出装置１に適用した場合で説明するが、これに限らず、検査対象物Ｓを搬送して性状を検出する種々の検出装置として適用可能である。ここでは、検査対象物Ｓは放射能汚染を受けた恐れのある物体であり、放射線検出装置１は、この検査対象物Ｓから発生する放射線を検出して、その放射線強度を測定するものである。
【００３２】
この放射線検出装置１は、検出手段としての検出器２と、搬送手段としての搬送部３と、移動手段として昇降装置４と、制御手段としての制御部５と、計測手段としての光学式計測装置６と、検出器保護装置１００とを備える。
【００３３】
搬送部３は、搬送方向（水平方向）に沿って複数設けられるローラ３３により構成されるトレイ搬送ローラ群３１と、このローラ３３を例えばチェーン駆動により回転駆動する駆動部３２と、検査対象物Ｓを載置可能な搬送面としてトレイ３４を有する。トレイ搬送ローラ群３１は、搬送方向に対して水平に直交する幅方向に左右一対で設けられる。すなわち、トレイ搬送ローラ群３１は、搬送方向下流側に向かって右側に設けられる右搬送ローラ群３１ａと、左側に設けられる左搬送ローラ群３１ｂとを有する。そして、トレイ３４は、フレームと、フレームにはめ込まれたメッシュ状の部材とにより矩形平板上に形成されると共に、幅方向両端のフレームがそれぞれ右搬送ローラ群３１ａと、左搬送ローラ群３１ｂとに載置される。トレイ３４のメッシュ状の部分は、光が透過できる構成となっている。したがって、駆動部３２によりトレイ搬送ローラ群３１の右搬送ローラ群３１ａ、左搬送ローラ群３１ｂを構成する各ローラ３３を駆動することで、トレイ３４は搬送方向に移動し、これにより、このトレイ３４に載置されている検査対象物Ｓが所定の速度で水平に搬送される。搬送部３の駆動部３２は、制御部５に電気的に接続されており、この制御部５により駆動が制御されている。
【００３４】
検出器２は、搬送部３による検査対象物Ｓの搬送経路上に設けられており、検査対象物Ｓの性状として、搬送部３により搬送される検査対象物Ｓから発生する放射線を検出するものである。この検出器２は、検査対象物Ｓの鉛直方向上側表面から発生する放射線を検出する上部検出器２１と、下側表面から発生する放射線を検出する下部検出器２２とを有する。上部検出器２１は、トレイ搬送ローラ群３１の上方にて、トレイ３４が通過する高さより上側に設けられる一方、下部検出器２２は、トレイ搬送ローラ群３１の下方にて、トレイ３４が通過する高さより下側に設けられる。そして、この上部検出器２１と下部検出器２２は、互いに対向して向き合うように設けられる。
【００３５】
この検出器２の上部検出器２１と下部検出器２２とは、検査対象物Ｓに面する側にシンチレータが配置されている。シンチレータとしては、プラスチックシンチレータやＮａＩシンチレータが用いられ、検査対象物Ｓから放射される放射線（β線やγ線）を検出する。シンチレータは、例えば、幅方向に３つ並べた状態で設けられている。上部検出器２１、下部検出器２２は、ともに制御部５に電気的に接続されており、それぞれ得られた検出結果をこの制御部５に送信するように構成されている。
【００３６】
ところで、これらの放射線（β線およびγ線）のうち、γ線は、放射された後に、進行方向にある蔽妨害物の密度の指数関数に比例して減衰する性質がある一方、空気中を伝搬することによる減衰は微小である。これに対してβ線は、空気中での伝搬においても減衰する。このため、検査対象物Ｓ表面の放射線汚染をβ線を用いて計測するためには、仮に得られた検出結果を減衰量に応じて補正するとしても、上部検出器２１、下部検出器２２と検査対象物Ｓ表面との間隔は狭ければ狭いほど好ましく、より正確な放射線の検出が可能となる。上部検出器２１、下部検出器２２と検査対象物Ｓ表面との間隔は、例えば数ｍｍ程度に設定されることが好ましい。
【００３７】
ここで、検査対象物Ｓは、トレイ３４に載置されて搬送されることから、検査対象物Ｓの鉛直方向下側表面の位置は常にほぼ一定である。このため、下部検出器２２は、トレイ３４が通過する高さより下側にて、右搬送ローラ群３１ａ、左搬送ローラ群３１ｂのフレームなどに固定して配設される。一方、検査対象物Ｓの鉛直方向上側表面の位置は必ずしも一定ではない。このため、より正確な放射線の検出を行うためには、検査対象物Ｓの鉛直方向上側表面の位置、言い換えれば、検査対象物Ｓの鉛直方向高さを計測し、この検査対象物Ｓの高さに応じて上部検出器２１を検査対象物Ｓにできる限り近接させることが好ましい。このため、この放射線検出装置１は、検査対象物Ｓの高さを計測する光学式計測装置６と、計測された検査対象物Ｓの高さに応じて、上部検出器２１を検査対象物Ｓに接近させるための昇降装置４を備えている。ここで、昇降装置４による上部検出器２１の移動方向は、検査対象物Ｓの高さ方向であり、言い換えれば、鉛直方向である。また、この上部検出器２１の移動方向は、上述した搬送方向と幅方向とにそれぞれ直交する方向である。
【００３８】
昇降装置４は、上部検出器２１に連結された電動シリンダ４１を備え、この電動シリンダ４１が駆動することで、上部検出器２１が検査対象物Ｓに対して接近又は離間することができる。すなわち、上部検出器２１は、昇降装置４の電動シリンダ４１が駆動することで、図１、図２に示すように、移動方向（高さ方向）に移動することができる。昇降装置４は、制御部５に電気的に接続されており、この制御部５により駆動が制御されている。
【００３９】
光学式計測装置６は、搬送部３による検査対象物Ｓの搬送方向に対して検出器２より上流側に設けられる。光学式計測装置６は、光学式の高さセンサであり、光照射部６１と、受光部６２とを備え、計測部として制御部５が兼用される。光照射部６１は、検査対象物Ｓの高さ方向に沿った支柱６３ａに設けられる複数の光源(例えば、光軸ピッチ＝２．７ｍｍ)から検査対象物Ｓに対して複数の光を照射する。受光部６２は、光照射部６１から照射された光のうち、検査対象物Ｓに遮られずに透過した光を受光する。受光部６２は、検査対象物Ｓの高さ方向に沿った支柱６３ｂに、受光素子であるＣＣＤを検査対象物Ｓの高さ方向に沿って配置して構成されるラインセンサ（ＣＣＤカメラ）を有し、このラインセンサは、受光した光の強度に基づいて電気信号に変換し、制御部５に出力する。制御部５は、受光部６２が受光した光の情報に基づいて、上部検出器２１の移動方向に沿った検査対象物Ｓの長さ、すなわち、検査対象物Ｓの高さを計測する。
【００４０】
制御部５は、マイクロコンピュータを中心として構成され、放射線検出装置１の各部の動作を制御すると共に検出結果や計測結果等の各種の演算等を行う。制御部５には、記憶部と演算部が設けられており、記憶部は、ハードディスク装置や光磁気ディスク装置、フラッシュメモリ等の不揮発性のメモリや、ＣＤ−ＲＯＭ等の読出しのみ可能な記憶媒体、ＲＡＭ等の揮発性のメモリ、あるいはこれらの組合せにより実現することができる。演算部は、メモリ及びＣＰＵ（中央演算装置）などによって構成され、種々のプログラムをメモリにロードして実行するようになっている。制御部５は、上述したように搬送部３の駆動部３２、昇降装置４が電気的に接続されており、これらの駆動を制御する。また、上部検出器２１、下部検出器２２及び光学式計測装置６も電気的に接続されており、得られた放射線の検出結果、高さの計測結果は、この制御部５に送信され、各検査対象物Ｓ毎に対応づけて記憶される。そして、この制御部５は、光学式計測装置６が計測した検査対象物Ｓの高さに応じて昇降装置４の駆動を制御し、上部検出器２１を検査対象物Ｓに接近させる。したがって、この上部検出器２１は、光学式計測装置６が計測した検査対象物Ｓの高さに応じて検査対象物Ｓに接近可能な構成となる。
【００４１】
上記のように構成される放射線検出装置１は、制御部５の制御により、搬送部３の駆動部３２を駆動して各ローラ３３を回転駆動させると、トレイ３４に載置された検査対象物Ｓは、トレイ３４と共に搬送方向下流側に向かって搬送される。そして、トレイ３４が光学式計測装置６まで搬送されると、この光学式計測装置６にて、検査対象物Ｓの高さ寸法が計測される。光学式計測装置６では、光照射部６１により検査対象物Ｓに向けて光が照射され、この光を受光する受光部６２から検査対象物Ｓが存在しない位置の高さ出力と、検査対象物Ｓが存在する位置の高さ出力とが制御部５に送信される。制御部５では、検査対象物Ｓが存在しない位置の高さ出力と検査対象物Ｓが存在する位置の高さ出力との差から、検査対象物Ｓの高さを演算し、これにより、このときの最大寸法が検査対象物Ｓの高さ寸法として計測される。
【００４２】
そして、制御部５は、この検査対象物Ｓの高さ寸法に基づいて昇降装置４の駆動を制御し、上部検出器２１を検査対象物Ｓに接近させる。そして、トレイ３４が上部検出器２１、下部検出器２２の位置まで搬送されると、上部検出器２１、下部検出器２２により検査対象物Ｓから発生する放射線が検出され、検出結果が制御部５に送信され、記憶される。上部検出器２１、下部検出器２２による放射線の検出が終了すると、トレイ３４がさらに下流側に搬送され、検査対象物Ｓが上部検出器２１、下部検出器２２の位置から離間し、放射線検出装置１による放射線の検出が終了する。したがって、光学式計測装置６によって検査対象物Ｓの鉛直方向高さを計測し、この検査対象物Ｓの高さに応じて上部検出器２１を検査対象物Ｓにできる限り近接させてから、上部検出器２１、下部検出器２２により検査対象物Ｓから発生する放射線の検出が実行されることから、検査対象物Ｓ表面から発生する放射線の正確な強度を検出することができる。
【００４３】
ところで、例えば、図１に示すように、検査対象物Ｓに細い突起部があった場合、光学式計測装置６の光照射部６１から照射された光がこの突起部を回り込んでしまい、この結果、突起部があるにもかかわらず受光部６２に光が受光されてしまうおそれがある。言い換えれば、光学式計測装置６にて、検査対象物Ｓの正確な高さを計測することができないおそれがある。そして、検査対象物Ｓの突起部が認識されないまま、上記のように上部検出器２１を検査対象物Ｓにできる限り接近させてしまうと、この検査対象物Ｓの突起部と上部検出器２１とが接触してしまい、この上部検出器２１が損傷してしまうおそれがある。
【００４４】
そこで、この放射線検出装置１が備える検出器保護装置１００は、上部検出器２１の移動方向、すなわち、検査対象物Ｓの高さ方向における検査対象物Ｓの規制位置にて、この検査対象物Ｓに接触して検査対象物Ｓを検知可能な検知手段としての検知部７を備え、この検知部７が検査対象物Ｓを検知した際に、検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避することで、上部検出器２１の損傷を防止している。すなわち、仮に光学式計測装置６にて、検査対象物Ｓの正確な高さが計測できなかったとしても、検査対象物Ｓと上部検出器２１とが接触する前に、この接触式の検知部７が検査対象物Ｓを検知することで、上部検出器２１の保護するための系が光学式計測装置６と接触式の検知部７とにより多重的に構成されることになる。
【００４５】
具体的には、検知部７は、回転部としてのフラップ７１と、回転検知部としてのリミットスイッチ７２を備える。フラップ７１は、搬送部３による検査対象物Ｓの搬送方向に対して光学式計測装置６と検出器２との間に設けられる。フラップ７１は、矩形板状に形成され、一端部が回転軸７４を介して一対のブラケット７３ａ、７３ｂに軸支されている。ブラケット７３ａ、７３ｂは、上部検出器２１に設けられる。さらに言えば、このブラケット７３ａ、７３ｂは、搬送方向に対して上部検出器２１の上流側の面に設けられる。そして、ブラケット７３ａ、７３ｂは、トレイ搬送ローラ群３１と同様に、幅方向に左右一対で設けられる。ブラケット７３ａ、７３ｂは、幅方向に沿って右搬送ローラ群３１ａ側にブラケット７３ａが、左搬送ローラ群３１ｂ側にブラケット７３ｂが設けられる。そして、回転軸７４は、ブラケット７３ａ、７３ｂにより幅方向に沿って水平に支持されている。したがって、フラップ７１は、上部検出器２１の上流側にて、この上部検出器２１の移動に伴って、上部検出器２１と共に検査対象物Ｓに接近可能となる。また、フラップ７１の回転中心は、幅方向に沿って水平な回転軸線をなしている。
【００４６】
矩形板状に形成されたフラップ７１は、一辺を基端部として、この基端部にて、回転軸７４により回転可能に軸支されている。フラップ７１は、回転軸７４周りに回転自在に取り付けられている。このフラップ７１は、検査対象物Ｓが接触していない状態において、自重により先端部が鉛直方向下側を向くように設置されている。そして、フラップ７１は、この状態において、先端位置が上部検出器２１の移動方向（高さ方向）における検査対象物Ｓの規制位置に位置するように、回転軸７４の回転中心から先端までの長さ（回転半径）が設定されている。一方、フラップ７１の幅方向の長さは、少なくともトレイ３４の幅方向長さ以上に設定され、すなわち、フラップ７１は、少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続している。
【００４７】
ここで、上部検出器２１の移動方向における検査対象物Ｓの規制位置とは、検査対象物Ｓを上部検出器２１に接触させないための限界の表面位置であり、上部検出器２１からの相対的な距離で定まる位置である。つまり、フラップ７１は、上述したように上部検出器２１と共に移動することから、フラップ７１の先端位置、言い換えれば、上部検出器２１の移動方向における検査対象物Ｓの規制位置も、上部検出器２１の移動に伴って変化する。フラップ７１の先端部は、鉛直方向下側を向いた状態で、上部検出器２１の下面よりも鉛直方向下側に突出している。上述したように、上部検出器２１が放射線を検出する際の上部検出器２１と検査対象物Ｓ表面との好ましい間隔は数ｍｍ程度に設定されることから、このフラップ７１の先端部の突出量は、この間隔よりも若干短い量に設定される。したがって、搬送部３により搬送される検査対象物Ｓは、このフラップ７１の先端の下側を通過していれば、上部検出器２１に接触することはない。
【００４８】
そして、リミットスイッチ７２は、搬送方向に対してフラップ７１の下流側にこのフラップ７１と接するように設けられている。リミットスイッチ７２は、制御部５に電気的に接続されており、フラップ７１が回転軸７４周りに搬送方向下流側に回転すると、フラップ７１がこのリミットスイッチ７２に接触し、リミットスイッチ７２は、ＯＮ信号を生成し制御部５に出力する。したがって、検知部７は、上部検出器２１の移動方向における検査対象物Ｓの規制位置にて、検査対象物Ｓに接触して検査対象物Ｓを検知可能な構成となる。そして、回避手段として兼用される制御部５は、検知部７により検査対象物Ｓが検知された際に、搬送部３を制御し当該検査対象物Ｓの搬送を停止して、検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避する。
【００４９】
上記のように構成される放射線検出装置１では、最大高さ位置が規制位置よりも高い位置にある検査対象物Ｓが搬送されてきた場合、この検査対象物Ｓによりフラップ７１が押し上げられて回転する。そして、フラップ７１が押し上げられて回転しリミットスイッチ７２に接触すると、図３の概略回路構成図に示すように、リミットスイッチ７２からのＯＮ信号が制御部５のシーケンサ５３に入力され、このシーケンサ５３は、搬送部３の駆動部３２の駆動回路に停止信号を出力する。したがって、回避手段として兼用される制御部５は、検知部７によって、表面位置が規制位置より高い検査対象物Ｓを検知した際に、搬送部３を制御して当該検査対象物Ｓの搬送を停止することで、検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避することができる。
【００５０】
これにより、仮に光学式計測装置６にて、検査対象物Ｓの正確な高さを計測することができなかったとしても、接触式の検知部７が検査対象物Ｓを検知した際に、制御部５が搬送部３を制御して当該検査対象物Ｓの搬送を停止することから、検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を確実に回避することができる。つまり、光学式計測装置６が計測する検査対象物Ｓの高さに応じて上部検出器２１を検査対象物Ｓにできる限り近づけて放射線を検出することができると共に、光学系により構成されたこの光学式計測装置６とは異なる形式の接触式の検知部７により、多重的に検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避することができる。この結果、上部検出器２１が損傷することを確実に防止することができる。つまり、光学式計測装置６では、計測漏れしてしまう小さくて細い突起部を有する検査対象物Ｓであっても、フラップ７１がこの検査対象物Ｓに物理的に接触して検知可能な検知部７であれば、見逃すことなく検知することができる。
【００５１】
また、フラップ７１の幅方向の長さは、少なくともトレイ３４の幅方向長さ以上に設定され、すなわち、フラップ７１は、少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続していることから、幅方向に対して検査対象物Ｓが通過しうる範囲を１枚のフラップ７１と１つのリミットスイッチ７２で全てカバーできるので、表面位置が規制位置より高い検査対象物Ｓを検知漏れすることがなく、その上で部品点数も比較的少なくて済む。
【００５２】
以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置１によれば、搬送部３により搬送される検査対象物Ｓに接近又は離間する方向に移動して検査対象物Ｓの性状を検出可能であると共に、光学式計測装置６が計測した前記移動方向に沿った検査対象物Ｓの長さに応じて検査対象物Ｓに接近可能な検出器２の上部検出器２１を備える放射線検出装置１において、搬送部３による検査対象物Ｓの搬送方向に対して上部検出器２１より上流側でこの上部検出器２１と共に検査対象物Ｓに接近可能であり、前記移動方向における検査対象物Ｓの規制位置にて検査対象物Ｓに接触して検査対象物Ｓを検知可能な検知部７と、検知部７が検査対象物Ｓを検知した際に検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避する制御部５とを備える。
【００５３】
したがって、検知部７により、表面位置が規制位置より高い検査対象物Ｓに物理的に接触して当該検査対象物Ｓを検知することから、仮に光学式計測装置６が検査対象物Ｓの正確な高さが計測できなかったとしても、接触式の検知部７が規制位置にて検査対象物Ｓを検知した際に制御部５により検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避するので、検査対象物Ｓが上部検出器２１に衝突することを防止することができ、この上部検出器２１が損傷することを防止することができる。
【００５４】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置１によれば、検知部７は、先端部が検査対象物Ｓの規制位置に設定されると共に、基端部を回転中心として回転可能なフラップ７１と、フラップ７１の回転に応じて検査対象物Ｓを検知するリミットスイッチ７２とを有する。したがって、表面位置が規制位置より高い検査対象物Ｓがフラップ７１に接触した際に、フラップ７１が回転しこのフラップ７１の回転をリミットスイッチ７２が検知することで、検知部７にて、検査対象物Ｓに物理的に接触して当該検査対象物Ｓを検知することができる。この結果、光学式計測装置６では、計測漏れしてしまう小さくて細い突起部を有する検査対象物Ｓであっても、この検査対象物Ｓに物理的に接触して検知する検知部７であれば、見逃すことなく検知することができる。
【００５５】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置１によれば、搬送部３は、検査対象物Ｓを載置可能なトレイ３４を有し、フラップ７１は、板状に形成され、回転中心が幅方向に沿って水平な回転軸線をなすと共に、幅方向の長さが少なくともトレイ３４の幅方向の長さ以上の長さに設定される。したがって、フラップ７１は少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続していることから、幅方向に対して検査対象物Ｓが通過しうる範囲を１枚のフラップ７１と１つのリミットスイッチ７２で全てカバーできるので、表面位置が規制位置より高い検査対象物Ｓを検知漏れすることがなく、その上で部品点数も比較的少なくて済むことから、製造コストも抑制することができる。
【００５６】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置１によれば、回避手段は、検知手段が物体を検知した際に搬送手段を制御して物体の搬送を停止する。したがって、回避手段として兼用される制御部５により、検知部７が検査対象物Ｓを検知した際に、搬送部３を制御し当該検査対象物Ｓの搬送を停止することから、確実に検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避することができる。
【００５７】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置１によれば、上部検出器２１は、検査対象物Ｓから発生する放射線を検出する。したがって、上述したように検知部７と制御部５とにより、検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を確実に回避することができることから、上部検出器２１を検査対象物Ｓと衝突しない範囲で可能な限り検査対象物Ｓに近づけた後に検査対象物Ｓから発生する放射線を検出することができるので、より正確な放射線を検出することができる。
【００５８】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置１によれば、光学式計測装置６は、検査対象物Ｓに対して複数の光を照射する光照射部６１と、光照射部６１から照射された光のうち、検査対象物Ｓに遮られずに透過した光を受光する受光部６２と、受光部６２が受光した光の情報に基づいて前記移動方向に沿った検査対象物Ｓの長さを計測する制御部５を有する。したがって、光照射部６１により検査対象物Ｓに向けて光が照射され、この光を受光する受光部６２から検査対象物Ｓが存在しない位置の高さ出力と、検査対象物Ｓが存在する位置の高さ出力とが制御部５に送信される。そして、制御部５では、検査対象物Ｓが存在しない位置の高さ出力と検査対象物Ｓが存在する位置の高さ出力との差から、検査対象物Ｓの高さを演算し、これにより、このときの最大寸法が検査対象物Ｓの高さ寸法として計測される。
【実施例２】
【００５９】
図４は、本発明の実施例２に係る放射線検出装置の概略構成図、図５は、本発明の実施例２に係る放射線検出装置の接触式計測装置の動作を示す概略構成図、図６は、本発明の実施例２に係る放射線検出装置の概略斜視構成図、図７は、本発明の実施例２に係る放射線検出装置の要部の概略回路構成図、図８は、本発明の実施例２に係る放射線検出装置が実行する放射線検出方法の処理手順を示すフローチャート、図９は、本発明の実施例２に係る放射線検出装置の変形例の概略斜視構成図である。実施例２に係る放射線検出装置は、実施例１に係る放射線検出装置と略同様の構成であるが、検知手段を備えない一方で、計測手段として接触式の高さ計測装置を備える点で実施例１に係る放射線検出装置とは異なる。その他、上述した実施例と共通する構成、作用、効果については、重複した説明はできるだけ省略するとともに、同一の符号を付す。
【００６０】
具体的には、図４、図５、図６に示すように、この放射線検出装置２０１に適用される高さ計測手段としての接触式計測装置２０７は、回転手段としてのフラップ２７１と、回転角度計測手段としてのロータリ式のエンコーダ２７２を備え、算出手段として制御部５を兼用している。フラップ２７１は、搬送部３による検査対象物Ｓの搬送方向に対して検出器２より上流側に設けられる。フラップ２７１は、矩形板状に形成され、一端部が回転軸２７４を介して一対の支柱２７３ａ、２７３ｂに軸支されている。支柱２７３ａ、２７３ｂは、検出器２より上流側に検査対象物Ｓの高さ方向に沿って設けられる。さらに言えば、この支柱２７３ａ、２７３ｂは、トレイ搬送ローラ群３１と同様に、幅方向に左右一対で設けられる。支柱２７３ａ、２７３ｂは、幅方向に沿って右搬送ローラ群３１ａ側に支柱２７３ａが、左搬送ローラ群３１ｂ側に支柱２７３ｂが設けられる。そして、回転軸２７４は、支柱２７３ａ、２７３ｂにより幅方向に沿って水平に支持されている。したがって、フラップ２７１の回転中心は、幅方向に沿って水平な回転軸線をなす。
【００６１】
矩形板状に形成されたフラップ２７１は、一辺を基端部として、この基端部にて、回転軸２７４により回転可能に軸支されている。フラップ２７１は、回転軸２７４周りに回転自在に取り付けられている。このフラップ２７１は、検査対象物Ｓが接触していない状態において、自重により先端部が鉛直方向下側を向くように設置されている。そして、フラップ２７１は、この状態において、先端位置がトレイ３４の近傍に位置するように、回転軸２７４の回転軸線から先端までの長さ（回転半径）が設定されている。言い換えれば、フラップ２７１の回転軸線から先端までの長さは、搬送部３によって搬送される最小の検査対象物Ｓがこのフラップ２７１に接触することができる長さに設定されている。一方、フラップ２７１の幅方向の長さは、少なくともトレイ３４の幅方向長さ以上に設定され、すなわち、フラップ２７１は、少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続している。なお、以下の説明では、自重により先端部が鉛直方向下側を向いている状態におけるフラップ２７１の位置をフラップ２７１の基準位置（図４中に実線で示す）として説明する。つまり、フラップ２７１の基準位置は、先端が鉛直方向下側となって鉛直方向に沿う位置である。
【００６２】
エンコーダ２７２は、回転軸２７４の一端部に設けられており、フラップ２７１の回転角度θを計測可能な種々のロータリ式のエンコーダを用いることができる。そして、このエンコーダ２７２は、制御部５に電気的に接続されており、計測したフラップ２７１の回転角度θに関する信号を制御部５に出力することができる。搬送部３によって検査対象物Ｓがフラップ２７１まで搬送されてくると、この検査対象物Ｓはフラップ２７１に接触する。この状態でさらに検査対象物Ｓが下流側に搬送されると、フラップ２７１が押し上げられ、このフラップ２７１は、回転軸２７４周りに搬送方向下流側に向かって回転する。エンコーダ２７２は、このときのフラップ２７１の基準位置に対する回転角度θを計測する。
【００６３】
そして、制御部５は、図５に示すように、このエンコーダ２７２が計測したフラップ２７１の回転角度θに基づいて、幾何学的に検査対象物Ｓの高さを算出することができる。すなわち、トレイ３４の載置面から検査対象物Ｓの上側表面までの最大高さをＨmax、トレイ３４の載置面からフラップ２７１の回転軸線までの高さをＨ、フラップ２７１の回転軸線から先端までの長さ（回転半径）をＲ、検査対象物Ｓの通過時の回転角度θの最大値をθmaxとすると、最大高さＨmaxは、例えば、次式（１）で示す数式により算出することができる。
Ｈmax＝Ｈ−Ｒ・ｃｏｓθmax ・・・（１）
Ｈmax；トレイ３４の載置面から検査対象物Ｓの上側表面までの最大高さ
Ｈ；トレイ３４の載置面からフラップ２７１の回転軸線までの高さ
Ｒ；フラップ２７１の回転軸線から先端までの長さ（回転半径）
θmax；検査対象物Ｓの通過時の回転角度θの最大値
【００６４】
ここで、エンコーダ２７２は、図７の概略回路構成図に示すように、計測したフラップ２７１の回転角度θに関する信号として、角度変位量に応じたパルス信号を制御部５のカウンタ２５４に入力する。そして、カウンタ２５４は、このパルス信号のパルス数を、例えば、１パルスにつき０．１°というようにカウントすることで、回転角度θが算出され、この回転角度θが制御部５のシーケンサ２５５に入力され、このシーケンサ２５５により例えば、式（１）に基づいて検査対象物Ｓの最大高さＨmaxが演算される。このシーケンサ２５５は、昇降装置４の駆動回路に高さ信号を出力する。したがって、制御部５は、この検査対象物Ｓの最大高さＨmaxに基づいて昇降装置４を駆動して、上部検出器２１を移動し、検査対象物Ｓに接触しない範囲でこの検査対象物Ｓに接近させることができる。
【００６５】
次に、図８を参照して、上記のように構成される放射線検出装置２０１による高さ計測方法を含む放射線検出方法の処理手順を説明する。まず、搬送開始工程として、制御部５の制御により、搬送部３の駆動部３２を駆動して各ローラ３３を回転駆動させると、トレイ３４に載置された検査対象物Ｓは、トレイ３４と共に搬送方向下流側に向かって搬送される（Ｓ１００）。そして、トレイ３４が接触式計測装置２０７まで搬送されると、フラップ回転工程として、トレイ３４上の検査対象物Ｓがフラップ２７１に接触しながらこのフラップ２７１を回転させる（Ｓ１０２）。そして、このとき、回転角度計測工程として、エンコーダ２７２によりフラップ２７１の回転角度θが計測される（Ｓ１０４）。
【００６６】
次に、高さ算出工程として、制御部５により回転角度θに基づいて検査対象物Ｓの最大高さＨmaxを算出する（Ｓ１０６）。そして、上部検出器移動工程として、制御部５により検査対象物Ｓの最大高さＨmaxに基づいて昇降装置４を駆動して上部検出器２１を移動し検査対象物Ｓに接触しない範囲でこの検査対象物Ｓに接近させ（Ｓ１０８）、トレイ３４が上部検出器２１、下部検出器２２の位置まで搬送されると、放射線検出工程として、上部検出器２１、下部検出器２２により検査対象物Ｓから発生する放射線が検出され、この検出結果を制御部５に記憶して終了する（Ｓ１１０）。
【００６７】
この間、検査対象物Ｓがフラップ２７１に接触するとフラップ２７１は回転し、エンコーダ２７２によってこのフラップ２７１の回転角度θを計測することで、接触式計測装置２０７にて、フラップ２７１が検査対象物Ｓに物理的に接触して当該検査対象物Ｓの高さを計測することができる。この結果、例えば、光学式計測装置６では、計測漏れしてしまう小さくて細い突起部を有する検査対象物Ｓであっても、接触式計測装置２０７のフラップ２７１がこの検査対象物Ｓに物理的に接触して高さを計測するので、計測漏れが発生することを防止することができ、よって、検査対象物Ｓの高さを確実に計測することができる。
【００６８】
また、上記のようにフラップ２７１の回転角度θに基づいて検査対象物Ｓの高さを計測する場合、例えば、光学式計測装置６などと比べて、比較的高い分解能を得ることができる。例えば、フラップ２７１の回転軸線から先端までの長さ（回転半径）Ｒが３００ｍｍで、エンコーダ２７２により０．１°単位で回転角度θを計測可能である場合、接触式計測装置２０７において計測可能な高さ分解能は０．５μｍ以下となる。
【００６９】
そして、接触式計測装置２０７により検査対象物Ｓの正確な高さを計測することができることから、検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避し、上部検出器２１が損傷することを防止した上で、上部検出器２１をできる限り検査対象物Ｓに接近させてから放射線の検出を行うことができるので、より正確に放射線を検出することができる。
【００７０】
また、フラップ２７１の幅方向の長さは、少なくともトレイ３４の幅方向長さ以上に設定され、すなわち、フラップ２７１は、少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続していることから、幅方向に対して検査対象物Ｓが通過しうる範囲を１枚のフラップ２７１と１つのエンコーダ２７２で全てカバーできるので、部品点数も比較的少なくて済む。
【００７１】
以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置２０１によれば、搬送部３により搬送される検査対象物Ｓに接近又は離間する方向に移動して検査対象物Ｓの性状を検出可能であると共に、接触式計測装置２０７が計測した前記移動方向に沿った検査対象物Ｓの長さに応じて検査対象物Ｓに接近可能な検出器２の上部検出器２１を備えた放射線検出装置２０１において、接触式計測装置２０７は、相対的に移動する検査対象物Ｓに先端部が接触可能であると共に、基端部を回転中心として回転可能なフラップ２７１と、フラップ２７１の回転角度θを計測可能なエンコーダ２７２と、計測された回転角度θに基づいて検査対象物Ｓの高さを算出する制御部５とを備える。
【００７２】
したがって、回転角度計測工程（Ｓ１０４）にて、検査対象物Ｓが接触することで回転されるフラップ２７１の回転角度θをエンコーダ２７２によって計測し、高さ算出工程（Ｓ１０６）にて、制御部５によりこの回転角度θに基づいて検査対象物Ｓの高さを計測することから、フラップ２７１がこの検査対象物Ｓに物理的に接触して高さを計測するので、計測漏れが発生することを防止することができ、よって、検査対象物Ｓの高さを確実に計測することができる。このため、正確に計測された物体の高さに応じて、検出手段を前記物体に接近させることができるので、検査対象物Ｓが上部検出器２１に衝突することを防止することができ、この上部検出器２１が損傷することを防止することができる。
【００７３】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置２０１によれば、検査対象物Ｓを載置可能なトレイ３４を有しこの検査対象物Ｓを搬送可能な搬送部３を備え、フラップ２７１は、板状に形成され、回転中心が幅方向に沿って水平な回転軸線をなす。したがって、フラップ２７１は水平な回転軸線周りに回転することができるので、回転角度θに基づいて簡易な演算により検査対象物Ｓの高さを計測することができる。
【００７４】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置２０１によれば、フラップ２７１は、幅方向の長さが少なくともトレイ３４の幅方向の長さ以上の長さに設定される。したがって、フラップ２７１は少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続していることから、幅方向に対して検査対象物Ｓが通過しうる範囲を１枚のフラップ２７１と１つのエンコーダ２７２で全てカバーできるので、部品点数が比較的少なくて済むことから、製造コストも抑制することができる。
【００７５】
なお、上述した本発明の実施例に係る検出装置は、上述した実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された範囲で種々の変更が可能である。以上の説明では、検出装置は、物体から発生する放射線を検出する放射線検出装置に適用した場合で説明したが、これに限らず、物体の性状を検出する種々の装置に適用可能である。
【００７６】
また、以上で説明した実施例１と実施例２とを適宜組み合わせてもよい。例えば、実施例１の放射線検出装置１において、計測手段としての光学式計測装置６に代えて、実施例２の放射線検出装置２０１に適用した高さ計測手段としての接触式計測装置２０７を用いてもよい。この場合、回転角検出手段として例えば、いわゆるレゾルバなどを用いることで放射線に弱い半導体を極力用いずに放射線検出装置を構成することができる。また、回転角度検出手段は、エンコーダやレゾルバに限らず、種々の検出手段を用いることができる。
【００７７】
また、以上の実施例１の説明では、検知手段としての検知部７とほぼ同様な構成の第２検知手段をフラップの回転軸線方向が鉛直方向となるように設けることで、検査対象物Ｓのトレイ３４幅方向に対するはみ出しを検知するようにしてもよい。この場合、第２検知手段が検査対象物Ｓのトレイ３４幅方向に対するはみ出しを検知した際に、制御部５により搬送手段の駆動を停止することで、検査対象物Ｓがフレームに接触するなどの不具合も防止することができる。
【００７８】
また、以上の実施例２の説明では、接触式計測装置２０７は、検査対象物Ｓの最大高さＨmaxのみを計測するものとして説明したが、搬送手段による検査対象物Ｓの搬送速度と回転角度θとに基づいて、検査対象物Ｓの高さを搬送方向に沿った複数箇所で計測するようにしてもよい。また、回転角度θに対して閾値を設定し、計測された回転角度θが当該閾値を上回った場合に、最大高さ位置が実施例１で説明した規制位置よりも高い位置にある検査対象物Ｓが搬送されてきたものと判断し、搬送手段による搬送を停止するようにしてもよい。
【００７９】
また、以上の説明では、フラップ７１、２７１は、少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続しているものとして説明したが、これに限らず、幅方向に沿って複数設けてもよい。例えば、図９に示す接触式計測装置２０７Ａのように、回転手段として、幅方向に沿って２つのフラップ２７１ａ、２７１ｂを設け、回転角度計測手段として、２つのフラップ２７１ａ、２７１ｂに対応して２つのエンコーダ２７２ａ、２７２ｂを設け、算出手段としての制御部５は、エンコーダ２７２ａ、２７２ｂが計測したそれぞれの回転角度θに基づいて検査対象物Ｓの高さを算出するようにしてもよい。この場合、幅方向に沿った複数箇所で検査対象物Ｓの高さを計測することができる。そして、例えば、幅方向に沿った複数箇所の検査対象物Ｓの高さに基づいて、検査対象物Ｓの幅方向に沿った凹凸を検出し、この凹凸が規定よりも大きかった場合に、検査対象物Ｓを積みなおして、再度、検出手段により検査対象物Ｓの性状を検出することで、検出装置全体としての精度をさらに向上することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明に係る検出装置は、物体の性状を検出する種々の装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の実施例１に係る放射線検出装置の概略構成図である。
【図２】本発明の実施例１に係る放射線検出装置の概略斜視構成図である。
【図３】本発明の実施例１に係る放射線検出装置の要部の概略回路構成図である。
【図４】本発明の実施例２に係る放射線検出装置の概略構成図である。
【図５】本発明の実施例２に係る放射線検出装置の接触式計測装置の動作を示す概略構成図である。
【図６】本発明の実施例２に係る放射線検出装置の概略斜視構成図である。
【図７】本発明の実施例２に係る放射線検出装置の要部の概略回路構成図である。
【図８】本発明の実施例２に係る放射線検出装置が実行する放射線検出方法の処理手順を示すフローチャートである。
【図９】本発明の実施例２に係る放射線検出装置の変形例の概略部分斜視図である。
【符号の説明】
【００８２】
１、２０１ 放射線検出装置（検出装置）
２ 検出器
３ 搬送部（搬送手段）
４ 昇降装置
５ 制御部（回避手段、計測部、算出手段）
６ 光学式計測装置（計測手段）
７ 検知部（検知手段）
２１ 上部検出器（検出手段）
２２ 下部検出器
３１ トレイ搬送ローラ群
３２ 駆動部
３３ ローラ
３４ トレイ（搬送面）
４１ 電動シリンダ
６１ 光照射部
６２ 受光部
７１ フラップ（回転部）
７２ リミットスイッチ（回転検知部）
１００ 検出器保護装置
２０７、２０７Ａ 接触式計測装置（計測手段）
２７１、２７１ａ、２７１ｂ フラップ（回転手段）
２７２、２７２ａ、２７２ｂ エンコーダ（回転角度計測手段）
Ｓ 検査対象物（物体）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出装置に関し、特に、物体から発生する放射線を検出する検出器に適用して好適な検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、物体の性状を検出するための検出装置として、例えば、原子力発電所等の放射性物質を取り扱う施設から搬出される廃棄物等の放射能の汚染度合いを検査するための放射線検出装置が知られている。このような放射線検出装置は、例えば、前記廃棄物等の検査対象物を搬送する搬送部としてのベルトコンベアと、検出器としての放射線センサとを備えており、ベルトコンベアによって検出位置にまで搬送される検査対象物から発生する放射線を、この放射線センサによって連続的に検出する。そして、このような従来の放射線検出装置では、まず、検査対象物の高さを計測し、当該計測された高さに応じて放射線センサを検査対象物にできる限り近接させて放射線を検出することで、検査対象物表面から発生する放射線のより正確な強度を測定するものがある。
【０００３】
そして、このような検査対象物の高さなどの形態情報を計測する従来の形態計測装置として、例えば、特許文献１に記載されている形態計測装置は、搬送過程にある検査対象物に対して異なる方向から複数のライン光を照射する光照射部と、光照射部から照射されたライン光のうち、検査対象物に遮られずに透過したライン光を受光する受光部と、受光部において受光したライン光の情報に基づいて、検査対象物の概略形態を認識する形態認識部とを備えている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２４７９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１に記載された形態計測装置では、例えば、検査対象物に細い突起部があった場合に、光照射部から照射された光がこの突起部を回り込んでしまい、この結果、突起部があるにもかかわらず受光部に光が受光されてしまうことがあった。言い換えれば、検査対象物の正確な高さなどを計測することができないことがあった。また、計測精度が光軸ピッチに依存してしまうことで極めて細い突起部が計測されないおそれもある。そして、検査対象物の突起部が認識されないまま、上記のように放射線センサを検査対象物にできる限り接近させてしまうと、この検査対象物の突起部と放射線センサとが接触してしまい、放射線センサが損傷してしまうおそれがある。
【０００６】
そこで本発明は、検出手段の損傷を確実に防止することができる検出装置を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するための請求項１の発明の検出装置は、搬送手段により搬送される物体に接近又は離間する方向に移動して該物体の性状を検出可能であると共に、計測手段が計測した前記移動方向に沿った前記物体の長さに応じて前記物体に接近可能な検出手段を備える検出装置において、前記搬送手段による前記物体の搬送方向に対して前記検出手段より上流側で前記検出手段と共に前記物体に接近可能であり、前記移動方向における該物体の規制位置にて該物体に接触して該物体を検知可能な検知手段と、前記検知手段が前記物体を検知した際に前記物体と前記検出手段との接触を回避する回避手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明の検出装置では、前記検知手段は、先端部が前記物体の規制位置に設定されると共に、基端部を回転中心として回転可能な回転部と、前記回転部の回転に応じて前記物体を検知する回転検知部とを有することを特徴とする。
【０００９】
請求項３の発明の検出装置では、前記搬送手段は、前記物体を載置可能な搬送面を有し、前記回転部は、板状に形成され、前記回転中心が前記搬送方向に対して水平に直交する幅方向に沿って水平な回転軸線をなすと共に、前記幅方向の長さが少なくとも前記搬送面の前記幅方向の長さ以上の長さに設定されることを特徴とする。
【００１０】
請求項４の発明の検出装置では、前記回避手段は、前記検知手段が前記物体を検知した際に前記搬送手段を制御して前記物体の搬送を停止することを特徴とする。
【００１１】
請求項５の発明の検出装置では、前記計測手段は、前記物体に対して複数の光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射された光のうち、前記物体に遮られずに透過した光を受光する受光部と、前記受光部が受光した光の情報に基づいて前記移動方向に沿った前記物体の長さを計測する計測部とを有することを特徴とする。
【００１２】
請求項６の発明の検出装置では、前記計測手段は、前記搬送手段により搬送される前記物体に先端部が接触可能であると共に、基端部を回転中心として回転可能な回転手段と、前記回転手段の回転角度を計測可能な回転角度計測手段と、前記回転角度に基づいて前記物体の高さを算出する算出手段とを有することを特徴とする。
【００１３】
上記の目的を達成するための請求項７の発明の検出装置は、搬送手段により搬送される物体に接近又は離間する方向に移動して該物体の性状を検出可能であると共に、計測手段が計測した前記移動方向に沿った前記物体の長さに応じて前記物体に接近可能な検出手段を備える検出装置において、前記計測手段は、前記物体に先端部が接触可能であると共に、基端部を回転中心として回転可能な回転手段と、前記回転手段の回転角度を計測可能な回転角度計測手段と、前記回転角度に基づいて前記物体の高さを算出する算出手段とを有することを特徴とする。
【００１４】
請求項８の発明の検出装置では、前記搬送手段は、前記物体を載置可能な搬送面を有し、前記回転手段は、板状に形成され、前記回転中心が前記搬送方向に対して水平に直交する幅方向に沿って水平な回転軸線をなすことを特徴とする。
【００１５】
請求項９の発明の検出装置では、前記回転手段は、前記幅方向の長さが少なくとも前記搬送面の前記幅方向の長さ以上の長さに設定されることを特徴とする。
【００１６】
請求項１０の発明の検出装置では、前記回転手段は、前記幅方向に沿って複数設けられ、前記回転角度計測手段は、複数の前記回転手段に対応して複数設けられ、前記算出手段は、前記回転角度計測手段が計測したそれぞれの前記回転角度に基づいて前記物体の高さを算出することを特徴とする。
【００１７】
請求項１１の発明の検出装置では、前記検出手段は、前記物体から発生する放射線を検出することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１の発明の検出装置によれば、検知手段により、表面位置が規制位置より高い物体に物理的に接触して当該物体を検知することから、仮に計測手段が物体の正確な高さを計測できなかったとしても、検知手段が物体を検知した際に回避手段により物体と検出手段との接触を回避するので、物体が検出手段に衝突することを防止することができ、この検出手段が損傷することを防止することができる。
【００１９】
請求項２の発明の検出装置によれば、表面位置が規制位置より高い物体が回転部に接触した際に、回転部が回転しこの回転部の回転を回転検知部が検知することで、検知手段にて、物体に物理的に接触して当該物体を検知することができる。この結果、計測手段では、計測漏れしてしまう物体であっても、この物体に物理的に接触して検知する検知手段であれば、見逃すことなく検知することができる。
【００２０】
請求項３の発明の検出装置によれば、回転部は少なくとも搬送面の幅方向端部間で連続していることから、幅方向に対して物体が通過しうる範囲を１枚の回転部と１つの回転検知部で全てカバーできるので、表面位置が規制位置より高い物体を検知漏れすることがなく、その上で部品点数も比較的少なくて済むことから、製造コストも抑制することができる。
【００２１】
請求項４の発明の検出装置によれば、回避手段により、検知手段が物体を検知した際に、搬送手段を制御し当該物体の搬送を停止することから、確実に物体と検出器との接触を回避することができる。
【００２２】
請求項５の発明の検出装置によれば、光照射部により物体に向けて光が照射され、この光を受光する受光部から物体が存在しない位置の高さ出力と、物体が存在する位置の高さ出力とが計測部に送信される。そして、計測部では、物体が存在しない位置の高さ出力と物体が存在する位置の高さ出力との差から、物体の高さを演算し、これにより、このときの最大寸法が物体の高さ寸法として計測される。
【００２３】
請求項６の発明の検出装置によれば、物体が接触することで回転される回転手段の回転角度を回転角度計測手段によって計測し、算出手段によりこの回転角度に基づいて物体の高さを計測することから、回転手段がこの物体に物理的に接触して高さを計測するので、計測漏れが発生することを防止することができ、よって、物体の高さを確実に計測することができる。
【００２４】
請求項７の発明の検出装置によれば、物体が接触することで回転される回転手段の回転角度を回転角度計測手段によって計測し、算出手段によりこの回転角度に基づいて物体の高さを計測することから、回転手段がこの物体に物理的に接触して高さを計測するので、計測漏れが発生することを防止することができ、よって、物体の高さを確実に計測することができる。このため、正確に計測された物体の高さに応じて、検出手段を前記物体に接近させることができるので、物体が検出手段に衝突することを防止することができ、この検出手段が損傷することを防止することができる。
【００２５】
請求項８の発明の検出装置によれば、回転手段は水平な回転軸線周りに回転することができるので、回転角度に基づいて簡易な演算により物体の高さを計測することができる。
【００２６】
請求項９の発明の検出装置によれば、回転手段は少なくとも搬送面の幅方向端部間で連続していることから、幅方向に対して物体が通過しうる範囲を１枚の回転手段と１つの回転角度計測手段で全てカバーできるので、物体の高さを計測漏れすることがなく、また、部品点数が比較的少なくて済むことから、製造コストも抑制することができる。
【００２７】
請求項１０の発明の検出装置によれば、幅方向に沿って複数の回転手段を設け、複数の回転手段に対応して複数の回転角度計測手段を設け、算出手段により、複数の回転角度計測手段が計測したそれぞれの回転角度に基づいて物体の高さを算出することから、幅方向に沿った複数箇所で物体の高さを計測することができる。
【００２８】
請求項１１の発明の検出装置によれば、物体と検出手段との接触を確実に回避した上で、検出手段を物体と衝突しない範囲で可能な限り物体に近づけた後に物体から発生する放射線を検出することができるので、より正確な放射線を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に、本発明に係る検出装置の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施例における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、或いは実質的に同一のものが含まれる。
【実施例１】
【００３０】
図１は、本発明の実施例１に係る放射線検出装置の概略構成図、図２は、本発明の実施例１に係る放射線検出装置の概略斜視構成図、図３は、本発明の実施例１に係る放射線検出装置の要部の概略回路構成図である。
【００３１】
図１、図２に示すように、本実施例にかかる検出装置は、物体として検査対象物Ｓから発生する放射線を検出する放射線検出装置１に適用した場合で説明するが、これに限らず、検査対象物Ｓを搬送して性状を検出する種々の検出装置として適用可能である。ここでは、検査対象物Ｓは放射能汚染を受けた恐れのある物体であり、放射線検出装置１は、この検査対象物Ｓから発生する放射線を検出して、その放射線強度を測定するものである。
【００３２】
この放射線検出装置１は、検出手段としての検出器２と、搬送手段としての搬送部３と、移動手段として昇降装置４と、制御手段としての制御部５と、計測手段としての光学式計測装置６と、検出器保護装置１００とを備える。
【００３３】
搬送部３は、搬送方向（水平方向）に沿って複数設けられるローラ３３により構成されるトレイ搬送ローラ群３１と、このローラ３３を例えばチェーン駆動により回転駆動する駆動部３２と、検査対象物Ｓを載置可能な搬送面としてトレイ３４を有する。トレイ搬送ローラ群３１は、搬送方向に対して水平に直交する幅方向に左右一対で設けられる。すなわち、トレイ搬送ローラ群３１は、搬送方向下流側に向かって右側に設けられる右搬送ローラ群３１ａと、左側に設けられる左搬送ローラ群３１ｂとを有する。そして、トレイ３４は、フレームと、フレームにはめ込まれたメッシュ状の部材とにより矩形平板上に形成されると共に、幅方向両端のフレームがそれぞれ右搬送ローラ群３１ａと、左搬送ローラ群３１ｂとに載置される。トレイ３４のメッシュ状の部分は、光が透過できる構成となっている。したがって、駆動部３２によりトレイ搬送ローラ群３１の右搬送ローラ群３１ａ、左搬送ローラ群３１ｂを構成する各ローラ３３を駆動することで、トレイ３４は搬送方向に移動し、これにより、このトレイ３４に載置されている検査対象物Ｓが所定の速度で水平に搬送される。搬送部３の駆動部３２は、制御部５に電気的に接続されており、この制御部５により駆動が制御されている。
【００３４】
検出器２は、搬送部３による検査対象物Ｓの搬送経路上に設けられており、検査対象物Ｓの性状として、搬送部３により搬送される検査対象物Ｓから発生する放射線を検出するものである。この検出器２は、検査対象物Ｓの鉛直方向上側表面から発生する放射線を検出する上部検出器２１と、下側表面から発生する放射線を検出する下部検出器２２とを有する。上部検出器２１は、トレイ搬送ローラ群３１の上方にて、トレイ３４が通過する高さより上側に設けられる一方、下部検出器２２は、トレイ搬送ローラ群３１の下方にて、トレイ３４が通過する高さより下側に設けられる。そして、この上部検出器２１と下部検出器２２は、互いに対向して向き合うように設けられる。
【００３５】
この検出器２の上部検出器２１と下部検出器２２とは、検査対象物Ｓに面する側にシンチレータが配置されている。シンチレータとしては、プラスチックシンチレータやＮａＩシンチレータが用いられ、検査対象物Ｓから放射される放射線（β線やγ線）を検出する。シンチレータは、例えば、幅方向に３つ並べた状態で設けられている。上部検出器２１、下部検出器２２は、ともに制御部５に電気的に接続されており、それぞれ得られた検出結果をこの制御部５に送信するように構成されている。
【００３６】
ところで、これらの放射線（β線およびγ線）のうち、γ線は、放射された後に、進行方向にある蔽妨害物の密度の指数関数に比例して減衰する性質がある一方、空気中を伝搬することによる減衰は微小である。これに対してβ線は、空気中での伝搬においても減衰する。このため、検査対象物Ｓ表面の放射線汚染をβ線を用いて計測するためには、仮に得られた検出結果を減衰量に応じて補正するとしても、上部検出器２１、下部検出器２２と検査対象物Ｓ表面との間隔は狭ければ狭いほど好ましく、より正確な放射線の検出が可能となる。上部検出器２１、下部検出器２２と検査対象物Ｓ表面との間隔は、例えば数ｍｍ程度に設定されることが好ましい。
【００３７】
ここで、検査対象物Ｓは、トレイ３４に載置されて搬送されることから、検査対象物Ｓの鉛直方向下側表面の位置は常にほぼ一定である。このため、下部検出器２２は、トレイ３４が通過する高さより下側にて、右搬送ローラ群３１ａ、左搬送ローラ群３１ｂのフレームなどに固定して配設される。一方、検査対象物Ｓの鉛直方向上側表面の位置は必ずしも一定ではない。このため、より正確な放射線の検出を行うためには、検査対象物Ｓの鉛直方向上側表面の位置、言い換えれば、検査対象物Ｓの鉛直方向高さを計測し、この検査対象物Ｓの高さに応じて上部検出器２１を検査対象物Ｓにできる限り近接させることが好ましい。このため、この放射線検出装置１は、検査対象物Ｓの高さを計測する光学式計測装置６と、計測された検査対象物Ｓの高さに応じて、上部検出器２１を検査対象物Ｓに接近させるための昇降装置４を備えている。ここで、昇降装置４による上部検出器２１の移動方向は、検査対象物Ｓの高さ方向であり、言い換えれば、鉛直方向である。また、この上部検出器２１の移動方向は、上述した搬送方向と幅方向とにそれぞれ直交する方向である。
【００３８】
昇降装置４は、上部検出器２１に連結された電動シリンダ４１を備え、この電動シリンダ４１が駆動することで、上部検出器２１が検査対象物Ｓに対して接近又は離間することができる。すなわち、上部検出器２１は、昇降装置４の電動シリンダ４１が駆動することで、図１、図２に示すように、移動方向（高さ方向）に移動することができる。昇降装置４は、制御部５に電気的に接続されており、この制御部５により駆動が制御されている。
【００３９】
光学式計測装置６は、搬送部３による検査対象物Ｓの搬送方向に対して検出器２より上流側に設けられる。光学式計測装置６は、光学式の高さセンサであり、光照射部６１と、受光部６２とを備え、計測部として制御部５が兼用される。光照射部６１は、検査対象物Ｓの高さ方向に沿った支柱６３ａに設けられる複数の光源(例えば、光軸ピッチ＝２．７ｍｍ)から検査対象物Ｓに対して複数の光を照射する。受光部６２は、光照射部６１から照射された光のうち、検査対象物Ｓに遮られずに透過した光を受光する。受光部６２は、検査対象物Ｓの高さ方向に沿った支柱６３ｂに、受光素子であるＣＣＤを検査対象物Ｓの高さ方向に沿って配置して構成されるラインセンサ（ＣＣＤカメラ）を有し、このラインセンサは、受光した光の強度に基づいて電気信号に変換し、制御部５に出力する。制御部５は、受光部６２が受光した光の情報に基づいて、上部検出器２１の移動方向に沿った検査対象物Ｓの長さ、すなわち、検査対象物Ｓの高さを計測する。
【００４０】
制御部５は、マイクロコンピュータを中心として構成され、放射線検出装置１の各部の動作を制御すると共に検出結果や計測結果等の各種の演算等を行う。制御部５には、記憶部と演算部が設けられており、記憶部は、ハードディスク装置や光磁気ディスク装置、フラッシュメモリ等の不揮発性のメモリや、ＣＤ−ＲＯＭ等の読出しのみ可能な記憶媒体、ＲＡＭ等の揮発性のメモリ、あるいはこれらの組合せにより実現することができる。演算部は、メモリ及びＣＰＵ（中央演算装置）などによって構成され、種々のプログラムをメモリにロードして実行するようになっている。制御部５は、上述したように搬送部３の駆動部３２、昇降装置４が電気的に接続されており、これらの駆動を制御する。また、上部検出器２１、下部検出器２２及び光学式計測装置６も電気的に接続されており、得られた放射線の検出結果、高さの計測結果は、この制御部５に送信され、各検査対象物Ｓ毎に対応づけて記憶される。そして、この制御部５は、光学式計測装置６が計測した検査対象物Ｓの高さに応じて昇降装置４の駆動を制御し、上部検出器２１を検査対象物Ｓに接近させる。したがって、この上部検出器２１は、光学式計測装置６が計測した検査対象物Ｓの高さに応じて検査対象物Ｓに接近可能な構成となる。
【００４１】
上記のように構成される放射線検出装置１は、制御部５の制御により、搬送部３の駆動部３２を駆動して各ローラ３３を回転駆動させると、トレイ３４に載置された検査対象物Ｓは、トレイ３４と共に搬送方向下流側に向かって搬送される。そして、トレイ３４が光学式計測装置６まで搬送されると、この光学式計測装置６にて、検査対象物Ｓの高さ寸法が計測される。光学式計測装置６では、光照射部６１により検査対象物Ｓに向けて光が照射され、この光を受光する受光部６２から検査対象物Ｓが存在しない位置の高さ出力と、検査対象物Ｓが存在する位置の高さ出力とが制御部５に送信される。制御部５では、検査対象物Ｓが存在しない位置の高さ出力と検査対象物Ｓが存在する位置の高さ出力との差から、検査対象物Ｓの高さを演算し、これにより、このときの最大寸法が検査対象物Ｓの高さ寸法として計測される。
【００４２】
そして、制御部５は、この検査対象物Ｓの高さ寸法に基づいて昇降装置４の駆動を制御し、上部検出器２１を検査対象物Ｓに接近させる。そして、トレイ３４が上部検出器２１、下部検出器２２の位置まで搬送されると、上部検出器２１、下部検出器２２により検査対象物Ｓから発生する放射線が検出され、検出結果が制御部５に送信され、記憶される。上部検出器２１、下部検出器２２による放射線の検出が終了すると、トレイ３４がさらに下流側に搬送され、検査対象物Ｓが上部検出器２１、下部検出器２２の位置から離間し、放射線検出装置１による放射線の検出が終了する。したがって、光学式計測装置６によって検査対象物Ｓの鉛直方向高さを計測し、この検査対象物Ｓの高さに応じて上部検出器２１を検査対象物Ｓにできる限り近接させてから、上部検出器２１、下部検出器２２により検査対象物Ｓから発生する放射線の検出が実行されることから、検査対象物Ｓ表面から発生する放射線の正確な強度を検出することができる。
【００４３】
ところで、例えば、図１に示すように、検査対象物Ｓに細い突起部があった場合、光学式計測装置６の光照射部６１から照射された光がこの突起部を回り込んでしまい、この結果、突起部があるにもかかわらず受光部６２に光が受光されてしまうおそれがある。言い換えれば、光学式計測装置６にて、検査対象物Ｓの正確な高さを計測することができないおそれがある。そして、検査対象物Ｓの突起部が認識されないまま、上記のように上部検出器２１を検査対象物Ｓにできる限り接近させてしまうと、この検査対象物Ｓの突起部と上部検出器２１とが接触してしまい、この上部検出器２１が損傷してしまうおそれがある。
【００４４】
そこで、この放射線検出装置１が備える検出器保護装置１００は、上部検出器２１の移動方向、すなわち、検査対象物Ｓの高さ方向における検査対象物Ｓの規制位置にて、この検査対象物Ｓに接触して検査対象物Ｓを検知可能な検知手段としての検知部７を備え、この検知部７が検査対象物Ｓを検知した際に、検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避することで、上部検出器２１の損傷を防止している。すなわち、仮に光学式計測装置６にて、検査対象物Ｓの正確な高さが計測できなかったとしても、検査対象物Ｓと上部検出器２１とが接触する前に、この接触式の検知部７が検査対象物Ｓを検知することで、上部検出器２１の保護するための系が光学式計測装置６と接触式の検知部７とにより多重的に構成されることになる。
【００４５】
具体的には、検知部７は、回転部としてのフラップ７１と、回転検知部としてのリミットスイッチ７２を備える。フラップ７１は、搬送部３による検査対象物Ｓの搬送方向に対して光学式計測装置６と検出器２との間に設けられる。フラップ７１は、矩形板状に形成され、一端部が回転軸７４を介して一対のブラケット７３ａ、７３ｂに軸支されている。ブラケット７３ａ、７３ｂは、上部検出器２１に設けられる。さらに言えば、このブラケット７３ａ、７３ｂは、搬送方向に対して上部検出器２１の上流側の面に設けられる。そして、ブラケット７３ａ、７３ｂは、トレイ搬送ローラ群３１と同様に、幅方向に左右一対で設けられる。ブラケット７３ａ、７３ｂは、幅方向に沿って右搬送ローラ群３１ａ側にブラケット７３ａが、左搬送ローラ群３１ｂ側にブラケット７３ｂが設けられる。そして、回転軸７４は、ブラケット７３ａ、７３ｂにより幅方向に沿って水平に支持されている。したがって、フラップ７１は、上部検出器２１の上流側にて、この上部検出器２１の移動に伴って、上部検出器２１と共に検査対象物Ｓに接近可能となる。また、フラップ７１の回転中心は、幅方向に沿って水平な回転軸線をなしている。
【００４６】
矩形板状に形成されたフラップ７１は、一辺を基端部として、この基端部にて、回転軸７４により回転可能に軸支されている。フラップ７１は、回転軸７４周りに回転自在に取り付けられている。このフラップ７１は、検査対象物Ｓが接触していない状態において、自重により先端部が鉛直方向下側を向くように設置されている。そして、フラップ７１は、この状態において、先端位置が上部検出器２１の移動方向（高さ方向）における検査対象物Ｓの規制位置に位置するように、回転軸７４の回転中心から先端までの長さ（回転半径）が設定されている。一方、フラップ７１の幅方向の長さは、少なくともトレイ３４の幅方向長さ以上に設定され、すなわち、フラップ７１は、少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続している。
【００４７】
ここで、上部検出器２１の移動方向における検査対象物Ｓの規制位置とは、検査対象物Ｓを上部検出器２１に接触させないための限界の表面位置であり、上部検出器２１からの相対的な距離で定まる位置である。つまり、フラップ７１は、上述したように上部検出器２１と共に移動することから、フラップ７１の先端位置、言い換えれば、上部検出器２１の移動方向における検査対象物Ｓの規制位置も、上部検出器２１の移動に伴って変化する。フラップ７１の先端部は、鉛直方向下側を向いた状態で、上部検出器２１の下面よりも鉛直方向下側に突出している。上述したように、上部検出器２１が放射線を検出する際の上部検出器２１と検査対象物Ｓ表面との好ましい間隔は数ｍｍ程度に設定されることから、このフラップ７１の先端部の突出量は、この間隔よりも若干短い量に設定される。したがって、搬送部３により搬送される検査対象物Ｓは、このフラップ７１の先端の下側を通過していれば、上部検出器２１に接触することはない。
【００４８】
そして、リミットスイッチ７２は、搬送方向に対してフラップ７１の下流側にこのフラップ７１と接するように設けられている。リミットスイッチ７２は、制御部５に電気的に接続されており、フラップ７１が回転軸７４周りに搬送方向下流側に回転すると、フラップ７１がこのリミットスイッチ７２に接触し、リミットスイッチ７２は、ＯＮ信号を生成し制御部５に出力する。したがって、検知部７は、上部検出器２１の移動方向における検査対象物Ｓの規制位置にて、検査対象物Ｓに接触して検査対象物Ｓを検知可能な構成となる。そして、回避手段として兼用される制御部５は、検知部７により検査対象物Ｓが検知された際に、搬送部３を制御し当該検査対象物Ｓの搬送を停止して、検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避する。
【００４９】
上記のように構成される放射線検出装置１では、最大高さ位置が規制位置よりも高い位置にある検査対象物Ｓが搬送されてきた場合、この検査対象物Ｓによりフラップ７１が押し上げられて回転する。そして、フラップ７１が押し上げられて回転しリミットスイッチ７２に接触すると、図３の概略回路構成図に示すように、リミットスイッチ７２からのＯＮ信号が制御部５のシーケンサ５３に入力され、このシーケンサ５３は、搬送部３の駆動部３２の駆動回路に停止信号を出力する。したがって、回避手段として兼用される制御部５は、検知部７によって、表面位置が規制位置より高い検査対象物Ｓを検知した際に、搬送部３を制御して当該検査対象物Ｓの搬送を停止することで、検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避することができる。
【００５０】
これにより、仮に光学式計測装置６にて、検査対象物Ｓの正確な高さを計測することができなかったとしても、接触式の検知部７が検査対象物Ｓを検知した際に、制御部５が搬送部３を制御して当該検査対象物Ｓの搬送を停止することから、検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を確実に回避することができる。つまり、光学式計測装置６が計測する検査対象物Ｓの高さに応じて上部検出器２１を検査対象物Ｓにできる限り近づけて放射線を検出することができると共に、光学系により構成されたこの光学式計測装置６とは異なる形式の接触式の検知部７により、多重的に検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避することができる。この結果、上部検出器２１が損傷することを確実に防止することができる。つまり、光学式計測装置６では、計測漏れしてしまう小さくて細い突起部を有する検査対象物Ｓであっても、フラップ７１がこの検査対象物Ｓに物理的に接触して検知可能な検知部７であれば、見逃すことなく検知することができる。
【００５１】
また、フラップ７１の幅方向の長さは、少なくともトレイ３４の幅方向長さ以上に設定され、すなわち、フラップ７１は、少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続していることから、幅方向に対して検査対象物Ｓが通過しうる範囲を１枚のフラップ７１と１つのリミットスイッチ７２で全てカバーできるので、表面位置が規制位置より高い検査対象物Ｓを検知漏れすることがなく、その上で部品点数も比較的少なくて済む。
【００５２】
以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置１によれば、搬送部３により搬送される検査対象物Ｓに接近又は離間する方向に移動して検査対象物Ｓの性状を検出可能であると共に、光学式計測装置６が計測した前記移動方向に沿った検査対象物Ｓの長さに応じて検査対象物Ｓに接近可能な検出器２の上部検出器２１を備える放射線検出装置１において、搬送部３による検査対象物Ｓの搬送方向に対して上部検出器２１より上流側でこの上部検出器２１と共に検査対象物Ｓに接近可能であり、前記移動方向における検査対象物Ｓの規制位置にて検査対象物Ｓに接触して検査対象物Ｓを検知可能な検知部７と、検知部７が検査対象物Ｓを検知した際に検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避する制御部５とを備える。
【００５３】
したがって、検知部７により、表面位置が規制位置より高い検査対象物Ｓに物理的に接触して当該検査対象物Ｓを検知することから、仮に光学式計測装置６が検査対象物Ｓの正確な高さが計測できなかったとしても、接触式の検知部７が規制位置にて検査対象物Ｓを検知した際に制御部５により検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避するので、検査対象物Ｓが上部検出器２１に衝突することを防止することができ、この上部検出器２１が損傷することを防止することができる。
【００５４】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置１によれば、検知部７は、先端部が検査対象物Ｓの規制位置に設定されると共に、基端部を回転中心として回転可能なフラップ７１と、フラップ７１の回転に応じて検査対象物Ｓを検知するリミットスイッチ７２とを有する。したがって、表面位置が規制位置より高い検査対象物Ｓがフラップ７１に接触した際に、フラップ７１が回転しこのフラップ７１の回転をリミットスイッチ７２が検知することで、検知部７にて、検査対象物Ｓに物理的に接触して当該検査対象物Ｓを検知することができる。この結果、光学式計測装置６では、計測漏れしてしまう小さくて細い突起部を有する検査対象物Ｓであっても、この検査対象物Ｓに物理的に接触して検知する検知部７であれば、見逃すことなく検知することができる。
【００５５】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置１によれば、搬送部３は、検査対象物Ｓを載置可能なトレイ３４を有し、フラップ７１は、板状に形成され、回転中心が幅方向に沿って水平な回転軸線をなすと共に、幅方向の長さが少なくともトレイ３４の幅方向の長さ以上の長さに設定される。したがって、フラップ７１は少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続していることから、幅方向に対して検査対象物Ｓが通過しうる範囲を１枚のフラップ７１と１つのリミットスイッチ７２で全てカバーできるので、表面位置が規制位置より高い検査対象物Ｓを検知漏れすることがなく、その上で部品点数も比較的少なくて済むことから、製造コストも抑制することができる。
【００５６】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置１によれば、回避手段は、検知手段が物体を検知した際に搬送手段を制御して物体の搬送を停止する。したがって、回避手段として兼用される制御部５により、検知部７が検査対象物Ｓを検知した際に、搬送部３を制御し当該検査対象物Ｓの搬送を停止することから、確実に検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避することができる。
【００５７】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置１によれば、上部検出器２１は、検査対象物Ｓから発生する放射線を検出する。したがって、上述したように検知部７と制御部５とにより、検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を確実に回避することができることから、上部検出器２１を検査対象物Ｓと衝突しない範囲で可能な限り検査対象物Ｓに近づけた後に検査対象物Ｓから発生する放射線を検出することができるので、より正確な放射線を検出することができる。
【００５８】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置１によれば、光学式計測装置６は、検査対象物Ｓに対して複数の光を照射する光照射部６１と、光照射部６１から照射された光のうち、検査対象物Ｓに遮られずに透過した光を受光する受光部６２と、受光部６２が受光した光の情報に基づいて前記移動方向に沿った検査対象物Ｓの長さを計測する制御部５を有する。したがって、光照射部６１により検査対象物Ｓに向けて光が照射され、この光を受光する受光部６２から検査対象物Ｓが存在しない位置の高さ出力と、検査対象物Ｓが存在する位置の高さ出力とが制御部５に送信される。そして、制御部５では、検査対象物Ｓが存在しない位置の高さ出力と検査対象物Ｓが存在する位置の高さ出力との差から、検査対象物Ｓの高さを演算し、これにより、このときの最大寸法が検査対象物Ｓの高さ寸法として計測される。
【実施例２】
【００５９】
図４は、本発明の実施例２に係る放射線検出装置の概略構成図、図５は、本発明の実施例２に係る放射線検出装置の接触式計測装置の動作を示す概略構成図、図６は、本発明の実施例２に係る放射線検出装置の概略斜視構成図、図７は、本発明の実施例２に係る放射線検出装置の要部の概略回路構成図、図８は、本発明の実施例２に係る放射線検出装置が実行する放射線検出方法の処理手順を示すフローチャート、図９は、本発明の実施例２に係る放射線検出装置の変形例の概略斜視構成図である。実施例２に係る放射線検出装置は、実施例１に係る放射線検出装置と略同様の構成であるが、検知手段を備えない一方で、計測手段として接触式の高さ計測装置を備える点で実施例１に係る放射線検出装置とは異なる。その他、上述した実施例と共通する構成、作用、効果については、重複した説明はできるだけ省略するとともに、同一の符号を付す。
【００６０】
具体的には、図４、図５、図６に示すように、この放射線検出装置２０１に適用される高さ計測手段としての接触式計測装置２０７は、回転手段としてのフラップ２７１と、回転角度計測手段としてのロータリ式のエンコーダ２７２を備え、算出手段として制御部５を兼用している。フラップ２７１は、搬送部３による検査対象物Ｓの搬送方向に対して検出器２より上流側に設けられる。フラップ２７１は、矩形板状に形成され、一端部が回転軸２７４を介して一対の支柱２７３ａ、２７３ｂに軸支されている。支柱２７３ａ、２７３ｂは、検出器２より上流側に検査対象物Ｓの高さ方向に沿って設けられる。さらに言えば、この支柱２７３ａ、２７３ｂは、トレイ搬送ローラ群３１と同様に、幅方向に左右一対で設けられる。支柱２７３ａ、２７３ｂは、幅方向に沿って右搬送ローラ群３１ａ側に支柱２７３ａが、左搬送ローラ群３１ｂ側に支柱２７３ｂが設けられる。そして、回転軸２７４は、支柱２７３ａ、２７３ｂにより幅方向に沿って水平に支持されている。したがって、フラップ２７１の回転中心は、幅方向に沿って水平な回転軸線をなす。
【００６１】
矩形板状に形成されたフラップ２７１は、一辺を基端部として、この基端部にて、回転軸２７４により回転可能に軸支されている。フラップ２７１は、回転軸２７４周りに回転自在に取り付けられている。このフラップ２７１は、検査対象物Ｓが接触していない状態において、自重により先端部が鉛直方向下側を向くように設置されている。そして、フラップ２７１は、この状態において、先端位置がトレイ３４の近傍に位置するように、回転軸２７４の回転軸線から先端までの長さ（回転半径）が設定されている。言い換えれば、フラップ２７１の回転軸線から先端までの長さは、搬送部３によって搬送される最小の検査対象物Ｓがこのフラップ２７１に接触することができる長さに設定されている。一方、フラップ２７１の幅方向の長さは、少なくともトレイ３４の幅方向長さ以上に設定され、すなわち、フラップ２７１は、少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続している。なお、以下の説明では、自重により先端部が鉛直方向下側を向いている状態におけるフラップ２７１の位置をフラップ２７１の基準位置（図４中に実線で示す）として説明する。つまり、フラップ２７１の基準位置は、先端が鉛直方向下側となって鉛直方向に沿う位置である。
【００６２】
エンコーダ２７２は、回転軸２７４の一端部に設けられており、フラップ２７１の回転角度θを計測可能な種々のロータリ式のエンコーダを用いることができる。そして、このエンコーダ２７２は、制御部５に電気的に接続されており、計測したフラップ２７１の回転角度θに関する信号を制御部５に出力することができる。搬送部３によって検査対象物Ｓがフラップ２７１まで搬送されてくると、この検査対象物Ｓはフラップ２７１に接触する。この状態でさらに検査対象物Ｓが下流側に搬送されると、フラップ２７１が押し上げられ、このフラップ２７１は、回転軸２７４周りに搬送方向下流側に向かって回転する。エンコーダ２７２は、このときのフラップ２７１の基準位置に対する回転角度θを計測する。
【００６３】
そして、制御部５は、図５に示すように、このエンコーダ２７２が計測したフラップ２７１の回転角度θに基づいて、幾何学的に検査対象物Ｓの高さを算出することができる。すなわち、トレイ３４の載置面から検査対象物Ｓの上側表面までの最大高さをＨmax、トレイ３４の載置面からフラップ２７１の回転軸線までの高さをＨ、フラップ２７１の回転軸線から先端までの長さ（回転半径）をＲ、検査対象物Ｓの通過時の回転角度θの最大値をθmaxとすると、最大高さＨmaxは、例えば、次式（１）で示す数式により算出することができる。
Ｈmax＝Ｈ−Ｒ・ｃｏｓθmax ・・・（１）
Ｈmax；トレイ３４の載置面から検査対象物Ｓの上側表面までの最大高さ
Ｈ；トレイ３４の載置面からフラップ２７１の回転軸線までの高さ
Ｒ；フラップ２７１の回転軸線から先端までの長さ（回転半径）
θmax；検査対象物Ｓの通過時の回転角度θの最大値
【００６４】
ここで、エンコーダ２７２は、図７の概略回路構成図に示すように、計測したフラップ２７１の回転角度θに関する信号として、角度変位量に応じたパルス信号を制御部５のカウンタ２５４に入力する。そして、カウンタ２５４は、このパルス信号のパルス数を、例えば、１パルスにつき０．１°というようにカウントすることで、回転角度θが算出され、この回転角度θが制御部５のシーケンサ２５５に入力され、このシーケンサ２５５により例えば、式（１）に基づいて検査対象物Ｓの最大高さＨmaxが演算される。このシーケンサ２５５は、昇降装置４の駆動回路に高さ信号を出力する。したがって、制御部５は、この検査対象物Ｓの最大高さＨmaxに基づいて昇降装置４を駆動して、上部検出器２１を移動し、検査対象物Ｓに接触しない範囲でこの検査対象物Ｓに接近させることができる。
【００６５】
次に、図８を参照して、上記のように構成される放射線検出装置２０１による高さ計測方法を含む放射線検出方法の処理手順を説明する。まず、搬送開始工程として、制御部５の制御により、搬送部３の駆動部３２を駆動して各ローラ３３を回転駆動させると、トレイ３４に載置された検査対象物Ｓは、トレイ３４と共に搬送方向下流側に向かって搬送される（Ｓ１００）。そして、トレイ３４が接触式計測装置２０７まで搬送されると、フラップ回転工程として、トレイ３４上の検査対象物Ｓがフラップ２７１に接触しながらこのフラップ２７１を回転させる（Ｓ１０２）。そして、このとき、回転角度計測工程として、エンコーダ２７２によりフラップ２７１の回転角度θが計測される（Ｓ１０４）。
【００６６】
次に、高さ算出工程として、制御部５により回転角度θに基づいて検査対象物Ｓの最大高さＨmaxを算出する（Ｓ１０６）。そして、上部検出器移動工程として、制御部５により検査対象物Ｓの最大高さＨmaxに基づいて昇降装置４を駆動して上部検出器２１を移動し検査対象物Ｓに接触しない範囲でこの検査対象物Ｓに接近させ（Ｓ１０８）、トレイ３４が上部検出器２１、下部検出器２２の位置まで搬送されると、放射線検出工程として、上部検出器２１、下部検出器２２により検査対象物Ｓから発生する放射線が検出され、この検出結果を制御部５に記憶して終了する（Ｓ１１０）。
【００６７】
この間、検査対象物Ｓがフラップ２７１に接触するとフラップ２７１は回転し、エンコーダ２７２によってこのフラップ２７１の回転角度θを計測することで、接触式計測装置２０７にて、フラップ２７１が検査対象物Ｓに物理的に接触して当該検査対象物Ｓの高さを計測することができる。この結果、例えば、光学式計測装置６では、計測漏れしてしまう小さくて細い突起部を有する検査対象物Ｓであっても、接触式計測装置２０７のフラップ２７１がこの検査対象物Ｓに物理的に接触して高さを計測するので、計測漏れが発生することを防止することができ、よって、検査対象物Ｓの高さを確実に計測することができる。
【００６８】
また、上記のようにフラップ２７１の回転角度θに基づいて検査対象物Ｓの高さを計測する場合、例えば、光学式計測装置６などと比べて、比較的高い分解能を得ることができる。例えば、フラップ２７１の回転軸線から先端までの長さ（回転半径）Ｒが３００ｍｍで、エンコーダ２７２により０．１°単位で回転角度θを計測可能である場合、接触式計測装置２０７において計測可能な高さ分解能は０．５μｍ以下となる。
【００６９】
そして、接触式計測装置２０７により検査対象物Ｓの正確な高さを計測することができることから、検査対象物Ｓと上部検出器２１との接触を回避し、上部検出器２１が損傷することを防止した上で、上部検出器２１をできる限り検査対象物Ｓに接近させてから放射線の検出を行うことができるので、より正確に放射線を検出することができる。
【００７０】
また、フラップ２７１の幅方向の長さは、少なくともトレイ３４の幅方向長さ以上に設定され、すなわち、フラップ２７１は、少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続していることから、幅方向に対して検査対象物Ｓが通過しうる範囲を１枚のフラップ２７１と１つのエンコーダ２７２で全てカバーできるので、部品点数も比較的少なくて済む。
【００７１】
以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置２０１によれば、搬送部３により搬送される検査対象物Ｓに接近又は離間する方向に移動して検査対象物Ｓの性状を検出可能であると共に、接触式計測装置２０７が計測した前記移動方向に沿った検査対象物Ｓの長さに応じて検査対象物Ｓに接近可能な検出器２の上部検出器２１を備えた放射線検出装置２０１において、接触式計測装置２０７は、相対的に移動する検査対象物Ｓに先端部が接触可能であると共に、基端部を回転中心として回転可能なフラップ２７１と、フラップ２７１の回転角度θを計測可能なエンコーダ２７２と、計測された回転角度θに基づいて検査対象物Ｓの高さを算出する制御部５とを備える。
【００７２】
したがって、回転角度計測工程（Ｓ１０４）にて、検査対象物Ｓが接触することで回転されるフラップ２７１の回転角度θをエンコーダ２７２によって計測し、高さ算出工程（Ｓ１０６）にて、制御部５によりこの回転角度θに基づいて検査対象物Ｓの高さを計測することから、フラップ２７１がこの検査対象物Ｓに物理的に接触して高さを計測するので、計測漏れが発生することを防止することができ、よって、検査対象物Ｓの高さを確実に計測することができる。このため、正確に計測された物体の高さに応じて、検出手段を前記物体に接近させることができるので、検査対象物Ｓが上部検出器２１に衝突することを防止することができ、この上部検出器２１が損傷することを防止することができる。
【００７３】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置２０１によれば、検査対象物Ｓを載置可能なトレイ３４を有しこの検査対象物Ｓを搬送可能な搬送部３を備え、フラップ２７１は、板状に形成され、回転中心が幅方向に沿って水平な回転軸線をなす。したがって、フラップ２７１は水平な回転軸線周りに回転することができるので、回転角度θに基づいて簡易な演算により検査対象物Ｓの高さを計測することができる。
【００７４】
また、以上で説明した本発明の実施例に係る放射線検出装置２０１によれば、フラップ２７１は、幅方向の長さが少なくともトレイ３４の幅方向の長さ以上の長さに設定される。したがって、フラップ２７１は少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続していることから、幅方向に対して検査対象物Ｓが通過しうる範囲を１枚のフラップ２７１と１つのエンコーダ２７２で全てカバーできるので、部品点数が比較的少なくて済むことから、製造コストも抑制することができる。
【００７５】
なお、上述した本発明の実施例に係る検出装置は、上述した実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された範囲で種々の変更が可能である。以上の説明では、検出装置は、物体から発生する放射線を検出する放射線検出装置に適用した場合で説明したが、これに限らず、物体の性状を検出する種々の装置に適用可能である。
【００７６】
また、以上で説明した実施例１と実施例２とを適宜組み合わせてもよい。例えば、実施例１の放射線検出装置１において、計測手段としての光学式計測装置６に代えて、実施例２の放射線検出装置２０１に適用した高さ計測手段としての接触式計測装置２０７を用いてもよい。この場合、回転角検出手段として例えば、いわゆるレゾルバなどを用いることで放射線に弱い半導体を極力用いずに放射線検出装置を構成することができる。また、回転角度検出手段は、エンコーダやレゾルバに限らず、種々の検出手段を用いることができる。
【００７７】
また、以上の実施例１の説明では、検知手段としての検知部７とほぼ同様な構成の第２検知手段をフラップの回転軸線方向が鉛直方向となるように設けることで、検査対象物Ｓのトレイ３４幅方向に対するはみ出しを検知するようにしてもよい。この場合、第２検知手段が検査対象物Ｓのトレイ３４幅方向に対するはみ出しを検知した際に、制御部５により搬送手段の駆動を停止することで、検査対象物Ｓがフレームに接触するなどの不具合も防止することができる。
【００７８】
また、以上の実施例２の説明では、接触式計測装置２０７は、検査対象物Ｓの最大高さＨmaxのみを計測するものとして説明したが、搬送手段による検査対象物Ｓの搬送速度と回転角度θとに基づいて、検査対象物Ｓの高さを搬送方向に沿った複数箇所で計測するようにしてもよい。また、回転角度θに対して閾値を設定し、計測された回転角度θが当該閾値を上回った場合に、最大高さ位置が実施例１で説明した規制位置よりも高い位置にある検査対象物Ｓが搬送されてきたものと判断し、搬送手段による搬送を停止するようにしてもよい。
【００７９】
また、以上の説明では、フラップ７１、２７１は、少なくともトレイ３４の幅方向端部間で連続しているものとして説明したが、これに限らず、幅方向に沿って複数設けてもよい。例えば、図９に示す接触式計測装置２０７Ａのように、回転手段として、幅方向に沿って２つのフラップ２７１ａ、２７１ｂを設け、回転角度計測手段として、２つのフラップ２７１ａ、２７１ｂに対応して２つのエンコーダ２７２ａ、２７２ｂを設け、算出手段としての制御部５は、エンコーダ２７２ａ、２７２ｂが計測したそれぞれの回転角度θに基づいて検査対象物Ｓの高さを算出するようにしてもよい。この場合、幅方向に沿った複数箇所で検査対象物Ｓの高さを計測することができる。そして、例えば、幅方向に沿った複数箇所の検査対象物Ｓの高さに基づいて、検査対象物Ｓの幅方向に沿った凹凸を検出し、この凹凸が規定よりも大きかった場合に、検査対象物Ｓを積みなおして、再度、検出手段により検査対象物Ｓの性状を検出することで、検出装置全体としての精度をさらに向上することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明に係る検出装置は、物体の性状を検出する種々の装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の実施例１に係る放射線検出装置の概略構成図である。
【図２】本発明の実施例１に係る放射線検出装置の概略斜視構成図である。
【図３】本発明の実施例１に係る放射線検出装置の要部の概略回路構成図である。
【図４】本発明の実施例２に係る放射線検出装置の概略構成図である。
【図５】本発明の実施例２に係る放射線検出装置の接触式計測装置の動作を示す概略構成図である。
【図６】本発明の実施例２に係る放射線検出装置の概略斜視構成図である。
【図７】本発明の実施例２に係る放射線検出装置の要部の概略回路構成図である。
【図８】本発明の実施例２に係る放射線検出装置が実行する放射線検出方法の処理手順を示すフローチャートである。
【図９】本発明の実施例２に係る放射線検出装置の変形例の概略部分斜視図である。
【符号の説明】
【００８２】
１、２０１ 放射線検出装置（検出装置）
２ 検出器
３ 搬送部（搬送手段）
４ 昇降装置
５ 制御部（回避手段、計測部、算出手段）
６ 光学式計測装置（計測手段）
７ 検知部（検知手段）
２１ 上部検出器（検出手段）
２２ 下部検出器
３１ トレイ搬送ローラ群
３２ 駆動部
３３ ローラ
３４ トレイ（搬送面）
４１ 電動シリンダ
６１ 光照射部
６２ 受光部
７１ フラップ（回転部）
７２ リミットスイッチ（回転検知部）
１００ 検出器保護装置
２０７、２０７Ａ 接触式計測装置（計測手段）
２７１、２７１ａ、２７１ｂ フラップ（回転手段）
２７２、２７２ａ、２７２ｂ エンコーダ（回転角度計測手段）
Ｓ 検査対象物（物体）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送手段により搬送される物体に接近又は離間する方向に移動して該物体の性状を検出可能であると共に、計測手段が計測した前記移動方向に沿った前記物体の長さに応じて前記物体に接近可能な検出手段を備える検出装置において、
前記搬送手段による前記物体の搬送方向に対して前記検出手段より上流側で前記検出手段と共に前記物体に接近可能であり、前記移動方向における該物体の規制位置にて該物体に接触して該物体を検知可能な検知手段と、
前記検知手段が前記物体を検知した際に前記物体と前記検出手段との接触を回避する回避手段とを備えることを特徴とする、
検出装置。
【請求項２】
前記検知手段は、先端部が前記物体の規制位置に設定されると共に、基端部を回転中心として回転可能な回転部と、前記回転部の回転に応じて前記物体を検知する回転検知部とを有することを特徴とする、
請求項１に記載の検出装置。
【請求項３】
前記搬送手段は、前記物体を載置可能な搬送面を有し、
前記回転部は、板状に形成され、前記回転中心が前記搬送方向に対して水平に直交する幅方向に沿って水平な回転軸線をなすと共に、前記幅方向の長さが少なくとも前記搬送面の前記幅方向の長さ以上の長さに設定されることを特徴とする、
請求項２に記載の検出装置。
【請求項４】
前記回避手段は、前記検知手段が前記物体を検知した際に前記搬送手段を制御して前記物体の搬送を停止することを特徴とする、
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項５】
前記計測手段は、前記物体に対して複数の光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射された光のうち、前記物体に遮られずに透過した光を受光する受光部と、前記受光部が受光した光の情報に基づいて前記移動方向に沿った前記物体の長さを計測する計測部とを有することを特徴とする、
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項６】
前記計測手段は、前記搬送手段により搬送される前記物体に先端部が接触可能であると共に、基端部を回転中心として回転可能な回転手段と、前記回転手段の回転角度を計測可能な回転角度計測手段と、前記回転角度に基づいて前記物体の高さを算出する算出手段とを有することを特徴とする、
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項７】
搬送手段により搬送される物体に接近又は離間する方向に移動して該物体の性状を検出可能であると共に、計測手段が計測した前記移動方向に沿った前記物体の長さに応じて前記物体に接近可能な検出手段を備える検出装置において、
前記計測手段は、前記物体に先端部が接触可能であると共に、基端部を回転中心として回転可能な回転手段と、前記回転手段の回転角度を計測可能な回転角度計測手段と、前記回転角度に基づいて前記物体の高さを算出する算出手段とを有することを特徴とする、
検出装置。
【請求項８】
前記搬送手段は、前記物体を載置可能な搬送面を有し、
前記回転手段は、板状に形成され、前記回転中心が前記搬送方向に対して水平に直交する幅方向に沿って水平な回転軸線をなすことを特徴とする、
請求項７に記載の検出装置。
【請求項９】
前記回転手段は、前記幅方向の長さが少なくとも前記搬送面の前記幅方向の長さ以上の長さに設定されることを特徴とする、
請求項８に記載の検出装置。
【請求項１０】
前記回転手段は、前記幅方向に沿って複数設けられ、
前記回転角度計測手段は、複数の前記回転手段に対応して複数設けられ、
前記算出手段は、前記回転角度計測手段が計測したそれぞれの前記回転角度に基づいて前記物体の高さを算出することを特徴とする、
請求項８に記載の検出装置。
【請求項１１】
前記検出手段は、前記物体から発生する放射線を検出することを特徴とする、
請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項１】
搬送手段により搬送される物体に接近又は離間する方向に移動して該物体の性状を検出可能であると共に、計測手段が計測した前記移動方向に沿った前記物体の長さに応じて前記物体に接近可能な検出手段を備える検出装置において、
前記搬送手段による前記物体の搬送方向に対して前記検出手段より上流側で前記検出手段と共に前記物体に接近可能であり、前記移動方向における該物体の規制位置にて該物体に接触して該物体を検知可能な検知手段と、
前記検知手段が前記物体を検知した際に前記物体と前記検出手段との接触を回避する回避手段とを備えることを特徴とする、
検出装置。
【請求項２】
前記検知手段は、先端部が前記物体の規制位置に設定されると共に、基端部を回転中心として回転可能な回転部と、前記回転部の回転に応じて前記物体を検知する回転検知部とを有することを特徴とする、
請求項１に記載の検出装置。
【請求項３】
前記搬送手段は、前記物体を載置可能な搬送面を有し、
前記回転部は、板状に形成され、前記回転中心が前記搬送方向に対して水平に直交する幅方向に沿って水平な回転軸線をなすと共に、前記幅方向の長さが少なくとも前記搬送面の前記幅方向の長さ以上の長さに設定されることを特徴とする、
請求項２に記載の検出装置。
【請求項４】
前記回避手段は、前記検知手段が前記物体を検知した際に前記搬送手段を制御して前記物体の搬送を停止することを特徴とする、
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項５】
前記計測手段は、前記物体に対して複数の光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射された光のうち、前記物体に遮られずに透過した光を受光する受光部と、前記受光部が受光した光の情報に基づいて前記移動方向に沿った前記物体の長さを計測する計測部とを有することを特徴とする、
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項６】
前記計測手段は、前記搬送手段により搬送される前記物体に先端部が接触可能であると共に、基端部を回転中心として回転可能な回転手段と、前記回転手段の回転角度を計測可能な回転角度計測手段と、前記回転角度に基づいて前記物体の高さを算出する算出手段とを有することを特徴とする、
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項７】
搬送手段により搬送される物体に接近又は離間する方向に移動して該物体の性状を検出可能であると共に、計測手段が計測した前記移動方向に沿った前記物体の長さに応じて前記物体に接近可能な検出手段を備える検出装置において、
前記計測手段は、前記物体に先端部が接触可能であると共に、基端部を回転中心として回転可能な回転手段と、前記回転手段の回転角度を計測可能な回転角度計測手段と、前記回転角度に基づいて前記物体の高さを算出する算出手段とを有することを特徴とする、
検出装置。
【請求項８】
前記搬送手段は、前記物体を載置可能な搬送面を有し、
前記回転手段は、板状に形成され、前記回転中心が前記搬送方向に対して水平に直交する幅方向に沿って水平な回転軸線をなすことを特徴とする、
請求項７に記載の検出装置。
【請求項９】
前記回転手段は、前記幅方向の長さが少なくとも前記搬送面の前記幅方向の長さ以上の長さに設定されることを特徴とする、
請求項８に記載の検出装置。
【請求項１０】
前記回転手段は、前記幅方向に沿って複数設けられ、
前記回転角度計測手段は、複数の前記回転手段に対応して複数設けられ、
前記算出手段は、前記回転角度計測手段が計測したそれぞれの前記回転角度に基づいて前記物体の高さを算出することを特徴とする、
請求項８に記載の検出装置。
【請求項１１】
前記検出手段は、前記物体から発生する放射線を検出することを特徴とする、
請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の検出装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００８−２９２２８４（Ｐ２００８−２９２２８４Ａ）
【公開日】平成２０年１２月４日（２００８．１２．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１３７８８４（Ｐ２００７−１３７８８４）
【出願日】平成１９年５月２４日（２００７．５．２４）
【出願人】（０００００６２０８）三菱重工業株式会社 (10,378)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１２月４日（２００８．１２．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年５月２４日（２００７．５．２４）
【出願人】（０００００６２０８）三菱重工業株式会社 (10,378)
【Ｆターム（参考）】
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