【課題】加工部位の正確な実切込み量を加工中に測定し、これを用いて加工工程を制御する工作機械を提供する。
【解決手段】円筒の加工部を備えた工作物Ｗを回転支持して砥石車７を半径方向に切込む加工方法において、加工部表面の測定開始点を含む直径である開始直径Ｄ_０を測定し、測定開始点が加工作用部を通過した後に、測定開始点を含む直径である終了直径Ｄ_１を測定する。測定開始点が加工された時の実切込み量Ｕを式Ｕ＝｜Ｄ_０−Ｄ_１｜を用いて演算し、加工部の回転方向の位置に対応する実切込み量Ｕの相互差から加工部の振れを演算し、振れを除去するような砥石車７の切込み制御を行う。 （もっと読む）

【課題】レールの凹凸をレール長手方向に連続測定するレール凹凸測定装置を提供する。
【解決手段】測定レール（Ｒ１）上を走行可能な測定車両（１０）と、測定車両（１０）の進行距離を測定する距離センサ（３１）と、測定車両（１０）に取り付けられると共に測定レールの長手方向に不均等な間隔で順に直列に配置された第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）からなる変位センサ群（２０）を有し、第１、第２および第３の変位センサ（２１、２２、２３）のうち少なくとも１つの変位センサは位置について変更可能である。 （もっと読む）

【課題】高速、かつ少ない振動およびエラーで部品表面の多数の座標ポイント取得できるようにする。
【解決手段】基準表面に対して可動サポートを位置決めするための１つ以上のアクチュエータとを含む測定システムであって、前記可動サポートが、サポートコネクタと、前記可動サポートと取り外し可能に接続された、前記基準表面に位置決めされたワークピースの表面の走査経路にある複数のポイントを測定するための走査プローブと、前記サポートコネクタと相互作用するように配置された、モジュラ回転取り付け具を前記可動サポートに接続させるための第１のコネクタ９０、およびプローブコネクタと相互作用するように配置された、前記走査プローブを前記モジュラ回転取り付け具に接続させるための第２のコネクタ４０を備えるモジュラ回転取り付け具と、前記第２のコネクタを前記第１のコネクタに対して回転させるためのアクチュエータ５８とを有す。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で高精度に被測定物体の表面形状を測定する表面形状測定装置及び露光装置を提供する。
【解決手段】表面形状測定装置は、光源からの白色光をモスアイ形状の反射防止部を有するプリズムを用いて基板と参照面に８０度以上の入射角で入射させ、白色干渉光を得る。波長選択が可能な光学フィルターを用いて白色干渉光を複数の単一光による干渉光に分解する。その複数の干渉光に対して高速フーリエ変換を行いパワースペクトル分布を求め、スペクトルのピーク位置情報を用いて基板の表面形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】触針式段差計を用いて表面形状を測定する際に、表面形状における段差部での応答性の良さと雑音の小ささを両立させることができる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】カットオフ周波数７０Ｈｚの低域通過フィルタを備え、探針を試料に対して予定のｘ方向に一定の速度で掃引する際に変位センサで得られた測定電圧に基づき横軸ｘ方向の距離と縦軸ｚ方向の変位量とから成る応答性の良いデータを出力する検出回路と、ｄｚ／ｄｘ又はｄｚ／ｄｔの値に基づき、段差でのデータを立上り領域データ部分と、平坦部領域データ部分と、立下り領域データ部分とに分け、平坦部領域データ部分をさらに１３Ｈｚ程度のソフトの低域通過フィルタで処理し、そして処理した平坦部領域データ部分を立上り領域データ部分及び立下り領域データ部分とに結合して段差形状データを得るコンピュータ装置とを有して成る。 （もっと読む）

【課題】小型乗用作業機用に使用できる安価なステアリングセンサはまだ一般には普及していない。ステアリングセンサは従来自動車の走行安定制御用として開発されてきたが、精密複雑でまだまだ高価なものであるのが現状である。加えて使用環境的には極めて条件の良い自動車用とは異なり屋外環境で使用する小型の作業機械には耐環境性からみても使用は難しい。しかし簡素で安価な作業機械でも近年安全装置の必要性が言われており、特に乗用作業機械においては走行安全制御装置実現の為に作業機械用ステアリングセンサの開発が必要になっている。
【解決手段】ラック＆ピニオン式操舵機構を搭載する小型乗用作業機械で、ラックの直線動作に着目し、ラックに連動する連動体をラックに連結し、その連動体に当接又は近接又は連動するスイッチ又は位置センサ又は変位センサを配設した。
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【課題】検出手段の損傷を確実に防止することができる検出装置を提供する。
【解決手段】搬送手段３により搬送される物体Ｓに接近又は離間する方向に移動して該物体Ｓの性状を検出可能であると共に、計測手段６が計測した移動方向に沿った物体Ｓの長さに応じて物体Ｓに接近可能な検出手段２１と、搬送手段３による物体Ｓの搬送方向に対して検出手段２１より上流側で検出手段２１と共に物体Ｓに接近可能であり、前記移動方向における物体Ｓの規制位置にてこの物体Ｓに接触して物体Ｓを検知可能な検知手段７と、検知手段７が物体Ｓを検知した際に物体Ｓと検出手段２１との接触を回避する回避手段５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は高精度な形状測定を行う微細形状測定装置を提供することにある。
【解決手段】固定端１４ｂに保持された状態でワーク４０をなぞるスタイラス３４を自由端１４ａに持つ可撓性カンチレバー１４と、該固定端１４ｂを上下動する駆動手段２０と、該ワーク４０に対する位置及び姿勢が変化しない基準部材２２と、該基準部材２２とスタイラス３４との上下方向の相対変位を測定し、自由端変位情報を出力する自由端変位計２４と、該基準部材２２と固定端１４ｂとの上下方向の相対変位を測定し、固定端変位情報を出力する固定端変位計２６と、該自由端変位情報及び固定端変位情報に基づきカンチレバー１４の上下方向のたわみ量を求める演算手段２８とを備え、該たわみ量が所定値となるように該固定端１４ｂを上下させつつ該ワーク４０を走査して得られた、該自由端変位情報に基づき、該ワーク４０の形状を把握することを特徴とする微細形状測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】振動の発生を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０は、顕微鏡連結部材４０に取り付けられる。顕微鏡連結部材４０は、弾性部材５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄを介してベース筐体部５０により保持される。顕微鏡連結部材４０に、おもりＷが取り付けられる。おもりＷの取り付け位置は、顕微鏡装置の各構成要素の重量、設置位置等を考慮して、各構成要素に発生する振動を確実に減衰できるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】広範囲に渡る試料の観察を容易に行うことができるとともに、迅速かつ正確な観察を行うことが可能な顕微鏡システム、観察方法および観察プログラムを提供する。
【解決手段】試料上の走査単位領域および観察対象領域を設定する。ＣＰＵは観察対象領域内の走査単位領域の個数および位置を設定し、各走査単位領域の形状情報を取得する（ステップＳ２１）。ＣＰＵは、取得した形状情報に基づいて全ての走査単位領域の上面視画像を表示装置に表示させる（ステップＳ２２）。複数の走査単位領域の上面視画像を使用者が手動で連結する場合、ＣＰＵは選択された上面視画像に対するオフセット処理を行う（ステップＳ２７）。オフセット処理は、隣接する走査単位領域の上面視画像の重複領域の画像のピクセルの階調がほぼ等しくなるように一方の上面視画像のピクセルの階調をオフセットすることにより行われる。 （もっと読む）

【課題】 表面の凹凸による輪郭が明瞭でない検査対象物であっても、感度の調整具合を適切に判断することができる走査型プローブ顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 カンチレバーに取り付けられた探針を検査対象物上で往復走査させる走査制御部２４と、カンチレバーに作用する押圧力の目標値に対する偏差に基づいて探針の高さを制御する高さ制御部２６と、探針の走査位置情報及び高さ情報に基づいて走査線上の表面形状を検出する表面形状検出部２７ａと、走査位置情報及び偏差に基づいて走査線上の偏差分布を求める偏差分布検出部２７ｂと、往復走査の往路及び復路においてそれぞれ得られた表面形状を重ねて２次元表示するとともに、往路及び復路においてそれぞれ得られた偏差分布を重ねて２次元表示する表示制御部２９と、ユーザが指定するオフセット量に基づいて往路及び復路における走査位置情報をオフセットさせるオフセット調整部２８により構成される。 （もっと読む）

【課題】対象物の所望の位置を容易かつ迅速に観察することができる顕微鏡システム、顕微鏡システムを用いた観察方法および観察プログラムを提供する。
【解決手段】顕微鏡システムにおいて、使用者は、原子間力顕微鏡の試料載置台上に試料を載置し（ステップＳ１）、光学顕微鏡による試料の観察を行う（ステップＳ２）。使用者は、光学顕微鏡による試料の観察時に光学顕微鏡の倍率の調整を行う（ステップＳ２ａ）。また、使用者は、光学顕微鏡による試料の観察時に原子間力顕微鏡による試料の観察対象領域の探索も行う（ステップＳ２ｂ）。続いて、使用者は、ステップＳ２ｂにおいて探索した観察対象領域の中から、さらに原子間力顕微鏡による試料の観察対象領域を指定する（ステップＳ３）。その後、使用者は、ステップＳ３において指定した観察対象領域について原子間力顕微鏡による試料の観察を行う（ステップＳ４）。 （もっと読む）

【課題】 退避位置から適切な位置まで検査対象物及び探針を互いに接近させる際の操作性を向上させた走査型プローブ顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物が載置される載置台１１と、カンチレバーに取り付けられた探針を載置台１１上の検査対象物へ押圧しながら走査させ、検査対象物の表面形状を示す形状データを生成するプローブ顕微鏡５と、検査対象物を撮影し、カンチレバーの後方から見た顕微鏡画像を生成する光学顕微鏡１３とからなる走査型プローブ顕微鏡装置であって、載置台１１及びカンチレバーを相対的に移動させ、検査対象物及び探針を互いに接近させるアプローチ制御部１１２と、検査対象物及びカンチレバーを撮影し、カンチレバーの側方から見たサイドビュー画像を生成するサイドビューカメラ制御部１４０と、顕微鏡画像及びサイドビュー画像を画像処理し、モニター３１上に表示する画像処理部３０により構成される。 （もっと読む）

【課題】測定誤差の少ない圧電体薄膜の変位量を得ることができる圧電体薄膜の評価装置を提供する。
【解決手段】圧電体薄膜３１の評価装置１１は、圧電体薄膜３１の測定面に接触させる試料固定治具２０の上方に備えられたプローブ１３と、プローブ１３にレーザー光３４を照射する光源１６と、プローブ１３のたわみによって変位した反射光レーザー３５を受光する位置検出素子１７と、位置検出素子１７によって受光した反射光レーザー３５のずれ量から変位量を算出する位置検出信号処理回路１８と、圧電体薄膜３１を固定する試料固定治具２０とを有する。圧電体薄膜３１は、試料固定治具２０によって、電界方向に対して交差する方向の測定面とプローブ１３（探針３３）とが直接接触することができる上面になるように固定される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながらも、３６０°を超える範囲の回転角の検出にも適用可能な回転角検出装置を提供する。
【解決手段】ステアリングシャフトＳにウォームホイール１０を外嵌しておき、このウォームホイール１０、ウォームギア１１および案内ねじ軸１２により、ステアリングシャフトＳの回転に応じてウォームギア１１を直動させる送りねじ機構を構成した。そして、ウォームギア１１をその軸心方向から挟み込む態様で２つのカンチレバー１３，１４を設けた。また、これらカンチレバー１３，１４に歪みゲージ素子１６，１７をそれぞれ貼着した。 （もっと読む）

【課題】ワークの評価範囲の設定及び触針の評価範囲の開始位置への移動及び終了位置での移動停止が容易に且つ正確に行える表面粗さ／形状測定装置の実現。
【解決手段】触針28を有し、触針の変位信号を出力する測定子22と、測定子移動機構24とを備える表面粗さ／形状測定装置であって、オペレータの指示する評価範囲設定情報の入力部42,44と、評価範囲設定情報が入力された時の触針の被測定物の表面との初期接触位置Piから触針を接触させた状態で移動させて評価範囲設定情報に基づいて測定開始位置Psを決定する測定開始点検出部52と、触針を移動させ評価範囲設定情報に基づいて測定終了位置Peを決定する測定終了点検出部54と、評価範囲設定情報に基づいて評価範囲を決定する評価範囲決定部56とを備える。 （もっと読む）

【課題】カンチレバーに対して垂直方向に高い探針を備える計測プローブ及びこのような探針を容易に形成することができる計測プローブの製造方法を提供すること。
【解決手段】計測プローブ１は、導電性ポリマーを含むカンチレバー２と、カンチレバー２の固定端２ａが接続されてカンチレバー２を片持ち支持する基部３とを備えている。カンチレバー２は、固定端２ａが基部３に接続される一方、自由端２ｂがカンチレバー２の軸線方向及び面内方向に対して垂直方向のそれぞれに対して先鋭に形成されている。カンチレバー２の固定端２ａと自由端２ｂとの間には湾曲部（曲げ部）２Ａが配されており、固定端２ａ側の面内方向に対して自由端２ｂ側が垂直方向に曲げられて探針５となっている。 （もっと読む）

【課題】 アスペクト比の高い凹凸を有する試料の表面形状を感度良く観察することが可能であるとともに、試料の電気特性を検出することが可能であるプローブを提供する。
【解決手段】 プローブ２０は、先端部２１ａが先鋭化されるとともに基端部２１ｂが略棒状に形成され、導電性を有し、試料上を走査される探針２１と、探針２１が先端部２２ａに突出して設けられるとともに、探針２１と電気的に接続される配線２９が配設されたカンチレバー２２と、カンチレバー２２の基端部２２ｂを、先端部２２ａが自由端となるように片持ち状態で固定する本体部２３とを備えている。探針２１の基端部２１ｂの断面形状は、中空部３０を有する略Ｃ形で、プローブ２２の中心軸２２ｄに対して略線対称となっている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、ワークの相対向する測定面間の相対関係を簡単に及び高精度に得ることのできる相対関係測定方法を提供することにある。
【解決手段】 治具14に保持されているトレース方向位置合わせ用ゲージ18、凹凸方向位置合わせ用ゲージ20の表側基準面20a及びワーク22の表側測定面22aの表面形状データを測定機28で取得する表面測定工程(S10)と、ワーク回転工程(S12)後の該ゲージ18、該ゲージ20の裏側基準面20b及びワーク22の裏側測定面22bを該測定機28で該測定トレース線に沿って走査し裏面形状データを取得する裏面測定工程(S14)と、トレース方向位置合わせ用ゲージ情報の持つ各特徴点情報に基づき該形状データのトレース方向の位置合わせを行い、また該ゲージ20の持つ平行及び寸法情報に基づき該形状データの凹凸検出方向の位置合わせを行うデータ間位置合わせ工程と、を備えたことを特徴とする相対関係測定方法。 （もっと読む）

【課題】 真円度、真直度、直径、円筒度等の深穴精度の測定を行うことのできる深穴測定装置および深穴測定方法を提供する。
【解決手段】 本発明の深穴測定装置は、上記の課題を解決するために、被測定物である深穴の内部に設置された測定装置の回転の中心軸から被加工物の内壁までの半径方向の距離を測定する変位検出手段を回転可能に構成すると共に、この変位検出手段を含めた測定装置本体の回転角度、傾きを検出する。さらに、変位検出手段からの検出信号を用いて被測定物である深穴の真円度、真直度、直径、円筒度等の深穴形状精度を一度に演算して出力する手段を有する。 （もっと読む）