【課題】 試料表面の凹凸形状によらず、精度よく探針と試料表面とを近接または接触させることが可能な走査型プローブ顕微鏡及び走査方法を提供すること。
【解決手段】 試料表面Ｓに平行な２方向の走査及び試料表面Ｓの垂直方向の移動を試料表面Ｓに対して相対的に行う探針２と、探針２及び試料表面Ｓの距離に応じて変化する測定量を検出する検出手段４と、探針２が試料表面Ｓに近接または接触した時点における観測データを採取する観測手段６と、２方向の走査及び垂直方向の移動を制御する制御手段５とを備え、探針２を試料表面Ｓに対して相対的に所定距離で接近離間させる接近離間駆動部２４を備え、検出手段４が、接近離間駆動部２４による接近時と離間時とにおける前記測定量の変化率を検出し、該測定量の変化率が、予め設定された閾値を超えるときに、観測手段６が前記観測データを採取する。 （もっと読む）

【課題】 流体から受けるダンピング効果等の影響を極力低減して、試料を高精度に観察すること。
【解決手段】 先鋭化された探針２０を、所定の周波数及び振幅で振動させた状態で試料上を走査されるプローブ２であって、先端に探針２０が設けられ、基端側から先端側に向けて一方向に延出して形成されたカンチレバー２１と、該カンチレバー２１の基端側を、先端側が自由端となるように片持ち状態で固定する本体部２２とを備え、カンチレバー２１が、試料表面に対向する一方の面と該一方の面の逆側に配された他方の面とのうち少なくともどちらかの面に、長手方向に沿って凸状に形成された凸条部２３を有しているプローブ２及び該プローブ２を有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】 超高真空中において試料に応力を印加しながらその表面構造の原子レベルの分解能でのその場観察を行うことができる超高真空走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 この出願の発明の超高真空走査型プローブ顕微鏡は、超高真空状態の真空槽内に、板状試料（２）の一端又は両端を支持する試料ホルダー（３）と、垂直方向の変位がナノスケールで制御され、板状試料（２）に対し応力を印加する応力印加機構（６）、（７）、（８）と、応力が印加された板状試料表面の状態を原子レベルの分解能でその場計測するプローブ（１）を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料に対するより幅広い解析を行うことを可能とすること。
【解決手段】試料５上のＸＹ座標に対応させてＬＳＭ像とＳＰＭ像とをＣＰＵ１８により画像情報メモリ２２ａに記憶し、ＳＰＭ像のＺ座標位置情報ＤｚをＣＰＵ１８により高さ情報メモリ２２ｂに記憶し、ＣＰＵ１８によって高さ情報メモリ２２ｂからＳＰＭ像のＺ座標位置情報Ｄｚを読み出すと共に、画像情報メモリ２２ａに記憶されたＬＳＭ像に含まれる輝度情報Ｄｐを抽出し、これらＺ座標位置情報Ｄｚと輝度情報Ｄｐとを合わせて試料５の三次元画像情報を作成して表示部２３に表示する。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡の試料台の上に試料の被観察部である中心部がプローブの深針に近接するように設置し、試料の両端部を対向する一対の把持具で把持し、対向位置にある一対の把持具が反対方向に移動可能であり、試料の被観察部である中心部が静止状態を保つように試料に歪みを与えることができる走査型プローブ顕微鏡用試料延伸ホルダーおよび該試料延伸ホルダーを用いた試料の表面状態の観察方法を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡に設置された試料１０を延伸させる試料延伸ホルダー１であって、試料１０の両端部を把持する一対の把持具９と、一対の把持具９を移動可能に支持する支持部材４と、対向位置にある一対の把持具９を互いに離間する方向に移動させる移動機構７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】固体撮像素子の各層に形成された画素の形状と各層間の位置ずれ量を正確に測定することができ、光学特性との関係を明らかにすることのできる固体撮像素子を提供すること、また、そのための各層の画素の形状及び各層間の位置ずれ量の測定方法を提供すること。
【解決手段】多層の積層構造を有する固体撮像素子１０の各層には、有効画素領域部１１の周縁の画素部２０に隣接した重ね合わせマーク１４を有効画素領域部外に形成し、各層を形成する毎に重ね合わせマーク１４及びその近傍の表面形状を測定することによって、各層の画素構成要素の形状と層間の位置ずれ量のデータを得ることができるようにし、対応する画素２０の光学特性を計測することにより、光学特性と各層の画素構成要素の形状及び層間の位置ずれ量との関係を非破壊で把握することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】
探針走査機構の各駆動軸の真直誤差を低減して探針位置決め精度を向上させることによって、走査型プローブ顕微鏡の計測精度を向上させる。
【解決手段】
探針を試料表面に近接または接触させて前記試料表面を走査することにより前記試料表面の形状を計測する走査型プローブ顕微鏡において、試料を載置して少なくとも１軸方向に移動可能な試料ステージと、該試料ステージに載置された試料の表面に近接または接触させて前記試料表面を走査する探針と、該探針を３次元方向に駆動する探針駆動手段と、前記探針のたわみを検出するたわみ検出手段と、対物レンズを有して該対物レンズのほぼ光軸上に配置された前記探針及び前記試料を観察する観察手段とを備え、前記探針駆動部を、前記対物レンズの光軸に対して対称に配置された対を成す駆動源を３組備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】 ＸＹ方向へのクロストークを極力なくしてＺ方向への直進性を向上し、高精度に試料の形状情報や物理情報を計測すること。
【解決手段】 探針２ａを有するプローブ２と、該プローブ２を固定すると共に電圧を印加されたときに試料表面Ｂに垂直なＺ方向に伸縮するＺアクチュエータ４と、該Ｚアクチュエータ４に電圧を印加する印加手段５と、該印加手段５の作動を制御する制御手段とを備え、Ｚアクチュエータ４が、Ｚ方向に伸縮自在な圧電体２０と、圧電体２０の内周面又は外周面に少なくとも周方向に３つ以上に分割された状態でそれぞれ電気的に独立して設けられ、接触する領域の範囲で圧電体２０に電圧を印加して伸縮させる複数の分割電極２２とを有し、制御手段が、分割電極２２にそれぞれ接触する圧電体２０の各接触領域の伸縮量がそれぞれ同一となるように、予め決められた電圧印加量の比率で電圧を印加するよう印加手段５を制御する表面情報計測装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 位置決め誤差及び円筒度が算出可能で、円筒度を考慮したころ外形母線形状を正確に測定可能なころ形状測定装置およびころ形状測定方法を提供する。
【解決手段】 被測定ころ４の中心線４ａに対して対称な二つの外形母線とそれぞれ接触するように配置可能な一対の測定子６，６を備える。 （もっと読む）

【課題】 ころの形状にばらつきがある場合でも、適切に評価基準を決定して、信頼性の高い形状評価を行うことができるころ形状評価方法を提供することにある。
【解決手段】 ころ形状評価方法において、実際に測定されたころの形状測定値から評価基準を決定する工程と、評価基準を用いてころの形状を評価する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】低周波環境ノイズに対して感度が低い原子間力顕微鏡を提供する。
【解決手段】試料載台は試料を支持するように構成されている。カンチレバー・マウントは、走査先端を有する機械的カンチレバーを機械的に固定するように構成されている。カンチレバー力検出器は、電気カンチレバー力誤差信号を生成するように構成されている。カンチレバー・フィードバック・システムは、前記電子カンチレバー力誤差信号に応答する方式で前記機械的カンチレバーを電気機械的に駆動するように構成されている。試料載台フィードバック・システムは、前記電子カンチレバー力誤差信号に応答する方式で前記試料載台を電気機械的に変位するように構成されている。前記カンチレバー・フィードバック・システムと前記試料載台フィードバック・システムとは、電子カンチレバー力誤差信号を並列に受け入れるように接続されている。 （もっと読む）

【課題】 金属エレメントの凹部に噛み込んだ異物の検査を自動化し、以て、効率の改善と検査精度の向上を図る。
【解決手段】 無段変速機用ベルトの金属エレメント（３ａ）に形成された一方の凹部（３ｇ）をレール（２０）に乗せ該レールに沿って多数の金属エレメントを順次に搬送する搬送手段と、前記搬送状態にある金属エレメントの他方の凹部に非接触で挿入される検査棒（２６）とを備え、前記金属エレメントの他方の凹部に噛み込んだ異物と前記検査棒との干渉、又は、前記金属エレメントの一方の凹部に噛み込んだ異物による金属エレメントの前記レールからの浮き上がり部分と前記検査棒との干渉によって該異物の存在の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】基板自体のうねりや反り、さらには機械的な精度等による測定誤差等の疑似段差成分を精度良好に除去することができ、これにより高精度な表面段差分布を得ることが可能な表面段差測定方法を提供する。
【解決手段】基板の表面段差分布を測定する表面段差測定方法であり、表面段差分布を測定する測定領域とその周辺領域とを含む領域において表面段差のない平坦部における基板の表面高さを測定することにより、測定領域に関して表面段差の影響を含まない第１の表面段差分布を得る（Ｓ１）。測定領域内の全面において基板の表面高さを測定することにより、測定領域に関して前記表面段差の影響を含む第２の表面段差分布を測定する（Ｓ２）。第２の表面段差分布から第１の表面段差分布を取り除くことにより、測定領域における基板の表面段差分布を得る（Ｓ３）。 （もっと読む）

原子間力顕微鏡、分子力プローブ機器、高分解能プロファイルメータ、および化学的または生物学的検出プローブを含むカンチレバー型機器用のコントローラ。本コントローラは、これら機器におけるカンチレバーの撓みを検出するために広く用いられる光検出器の出力を、高速アナログ／デジタル変換器（ＡＤＣ）により収集する。次いで、得られた出力信号のデジタル表現を、フィールドプログラマブルゲートアレイおよびデジタル信号プロセッサにより、アナログ電子回路を用いずに処理する。アナログ信号処理は本質的にノイズが多いが、デジタル計算は、計測信号にいかなるランダムノイズも加えることがないという点で、本質的に「完全」である。フィールドプログラマブルゲートアレイおよびデジタル信号処理による処理は、コントローラのハードウエアを修正しなくてもプログラム手段により変更できるので、コントローラのフレキシビリティが最大化される。
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【課題】 操作性に優れたテーブル移動機構およびプローブ走査装置を提供する。
【解決手段】 プローブ走査装置１は、原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０を一体的に備える。原子間力顕微鏡１０は試料載置台３０を有する。試料載置台３０は、ＸＹ方向移動機構３０ａおよびＺ方向移動機構３０ｂを含む。ＸＹ方向移動機構３０ａの上部には、試料Ｍを載置するための第３の移動プレート３３０が設けられている。ＸＹ方向移動機構３０ａの側面側からＹ方向に延びるようにＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０が互いに平行に設けられている。使用者がＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０を回転操作することにより、第３の移動プレート３３０がＸ方向およびＹ方向に移動する。第３の移動プレート３３０のＸ方向およびＹ方向への移動時において、Ｘ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０はＸ方向およびＹ方向に移動しない。 （もっと読む）

【課題】 カンチレバーを容易に交換することができ、かつ光学像の十分な鮮明度および解像度を確保することができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 保持機構４００はカンチレバー保持機構４００Ａおよびミラー保持機構４００Ｂから構成されている。カンチレバー保持機構４００Ａは保持機構保持部１１ｃの下部からＺ方向に延びるように設けられている。カンチレバー保持機構４００Ａは、その下端部においてカンチレバー１００を着脱可能に保持する。ミラー保持機構４００Ｂは側壁部１１Ａの内面１１ｘからＸ方向に延びるように設けられている。ミラー保持機構４００Ｂは、先端部においてミラー固定部材４５０を着脱可能に保持する。ミラー固定部材４５０にはミラー２５が固定されている。カンチレバー保持機構４００Ａとミラー保持機構４００Ｂとは互いに分離されている。 （もっと読む）

【課題】 探針部分の振動振幅を微小にすることが可能である一方、カンチレバーの変位をある程度の大きさの振動振幅で検出することができ、かつ微細加工も可能な構成のカンチレバーおよびその利用を提供する。
【解決手段】 一方の端部１１が支持台１２に固定されており、もう一方の端部１３が自由端である片持ち梁構造のレバー部１０と、レバー部１０の自由端１３に力検出部１５と、変位を検出するための変位検出部２０と、を備えており、変位検出部２０は、力検出部１５と共振して振動する構造であり、力検出部１５を振動させた場合、変位検出部２０の振幅が力検出部１５の振幅に比べて大きくなる共振周波数を有するカンチレバー１００によれば、探針部分の振動振幅を微小にすることが可能である一方、カンチレバーの変位をある程度の大きさの振動振幅で検出することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、走査プローブ顕微鏡で狭域の走査をする場合における、広域走査でのスキャナ駆動回路の持つノイズやドリフトが観察像の質を悪くしていることである。
【解決手段】探針と試料との間に作用する物理量を検出する走査形プローブ顕微鏡において、探針と試料を相対的に走査するスキャナと、前記スキャナの走査領域に対応した少なくとも２個のスキャナ駆動回路と、前記少なくとも２個のスキャナ駆動回路を切り替える切替手段と、を備えた走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡および光学顕微鏡を有するコンパクト化された顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 顕微鏡装置１は、原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０を備える。光学顕微鏡２０の電動ズーム鏡筒２３は、試料載置台３０の側方においてＺ軸方向に延びるように配置され、光軸変換ミラーは電動ズーム鏡筒２３の上端部に配置されている。光学顕微鏡２０のレンズ格納部２１は、光軸変換部２２に取り付けられ、光軸変換部２２は、電動ズーム鏡筒２３の上端部に取り付けられている。電動ズーム鏡筒２３の下端部にＣＣＤカメラ２４が設けられている。試料Ｍからの反射光はミラーにより反射され、レンズ格納部２１のレンズを通して光軸変換部２２の光軸変換ミラーにより反射される。光軸変換ミラーによる反射光は、電動ズーム鏡筒２３を通してＣＣＤカメラ２４に取り込まれる。 （もっと読む）

【課題】 外部電磁場の影響を受けることなく正確な変位検出を行うことのできる変位検出器を提供すること。
【解決手段】 ２枚の平行板ばね２２１、２２２を有するエデンばね２２と、一端がエデンばね２２に取り付けられ他端に先端球２３２を有する測定子２３と、エデンばね２２の撓みを光学的に検出する変位検出光学系２４とが設けられる。エデンばね２２には、反射ミラー２２６が設けられる。被測定面Ｗに接触された先端球２３２が上下方向に変位されると、エデンばね２２が撓められ、反射ミラー２２６の向きが変化され、変位検出光学系２４によって検出される反射光も変化される。この反射光の変化から、先端球２３２の変位が検出される。変位検出は、エデンばね２２の撓みという力学的現象と、反射ミラー２２６による光の反射という光学的現象とに基づいて行われるため、外部電磁場の影響を受けない。 （もっと読む）