【課題】 薄膜の表面状態の特性を的確に評価することのできる薄膜特性評価装置及び薄膜特性評価方法を提供すること。
【解決手段】 複数の結晶を含む薄膜の表面において、前記複数の結晶の各々の頂点及び隣りの結晶との境界の位置を示す情報に基いて、前記各結晶の前記境界を前記薄膜の表面と平行であり且つ前記結晶の底面を含む平面である基準平面、に投影させて得られる図形の重心を求める重心計算部と、前記重心と前記頂点とを結ぶ重心−頂点直線が、前記重心を含み前記基準平面に垂直な直線である垂直線と成す角度である結晶傾斜角を算出する結晶傾斜角計算部と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 チャック装置の芯ずれを自動的に補正してワークの真の外径位置を得ることができるワーク計測装置、およびワーク計測方法を提供する。
【解決手段】 このワーク計測装置は、軸心回りに回転自在であってワークＷを支持可能なチャック装置１と、このチャック装置１に支持されたワークＷの外径位置を計測する計測器２とを備える。チャック装置１に断面が真円であるマスタワークＭＷを支持させた際の計測器２の計測値を記憶するマスタワーク外径記憶手段１４と、チャック装置１に計測対象ワークＷを支持させた際の計測値を記憶するワーク計測値記憶手段１５とを設ける。この計測対象ワークＷの計測値をマスタワーク外径記憶手段１４に記憶された計測値で補正するワーク計測値補正手段１７を設ける。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡を用いて試料裏面から観察を行いながら試料と探針の位置合わせを行うことが困難であったという点である。
【解決手段】 試料に対向する探針と、前記試料を置載面に置載する試料ステージと、前記試料ステージを前記置載面方向に走査すると共に、高さを変化させるスキャナと、を有し、前記探針と前記試料との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡において、前記試料ステージの少なくとも試料を置載する部分が光を透過し、前記試料ステージの置載面の裏面から前記試料を写すミラーと、前記ミラーからの像を受ける光学顕微鏡と、前記試料と前記探針を相対的に位置合わせする位置合手段と、を備え、前記光学顕微鏡の像に基づいて前記試料と前記探針の位置合わせを行う走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 本体部を確実に固定して、カンチレバーの振動状態に影響を与えないこと。
【解決手段】 先端に探針３を有すると共に基端側が平板状の本体部４に片持ち状態に支持されたカンチレバー５を、着脱自在に固定するものであって、本体部４を所定位置に位置決めした状態で載置する載置部１１を有するベース部材１２と、本体部４を載置部１１に載置した状態で該本体部４の表面４ａに少なくとも接触可能とされ、カンチレバー５の長手方向（軸線Ａ方向）に略直交する方向に延びた押さえ部材１３と、該押さえ部材１３の両端をベース部材１２に向けて所定の圧力で押圧し、押さえ部材１３を介して本体部４を載置部１１に固定すると共に、押圧を解いて押さえ部材１３を本体部４の表面４ａから離間可能な押圧手段１４とを備え、押さえ部材１３が、樹脂性材料から形成されているカンチレバーホルダ２を提供する。 （もっと読む）

【課題】 正確なエネルギー散逸像を得ることのできる原子間力顕微鏡及び原子間力顕微鏡を用いたエネルギー散逸像の形成方法を提供すること。
【解決手段】 原子間力顕微鏡は、試料２１と接触するための探針２０を有するカンチレバー１と、カンチレバー１に振動を加えるための加振手段と、設定された振幅設定値に基づいて加振手段を制御するための加振制御手段と、カンチレバー１の振動の振幅を検出する振幅検出手段１７と、カンチレバー１の振動に基づくエネルギーの散逸像を形成する像作成手段１９とを具備し、当該振幅設定値と振幅検出手段により検出された振幅検出値との差異に基づく差異情報を加振手段にフィードバックすることにより、カンチレバー１が共振状態となるように加振手段がカンチレバー１を振動させるとともに、当該差異情報に基づいて像作成手段１９がエネルギーの散逸像を形成する。 （もっと読む）

【解決課題】 軽装備な検出機構とすることにより、高精度に３次元的な形状を計測することができるようにする。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡１０は、ＸＹ試料ステージ１４と、一端が走査機構２２に片持ち支持され、開放された他端には探針２４が固設されているカンチレバー１６と、カンチレバー１６をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の各々へ移動させる圧電素子１８Ｘ、圧電素子１８Ｙ、圧電素子１８Ｚを備えた走査機構２２と、走査制御回路２０とを備えている。また、カンチレバー１６の片持ち支持されている側には、発振器２６からの高周波信号により駆動されてカンチレバー１６を加振する加振用圧電素子２８が固設され、また、カンチレバー１６には、自己検知型のセンサである歪み抵抗素子３０が埋め込まれている。 （もっと読む）

【課題】 漏れ光の影響を受けることなく、試料の電気的物性を高精度に測定すること。
【解決手段】 先端に探針２を有するカンチレバー３と、該カンチレバー３を支持する支持部４と、カンチレバー３の変位量に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗素子５とを有する自己検知型プローブ６と、ピエゾ抵抗素子５を流れる電流値を検出してカンチレバー３の変位量を検出する検出手段と、試料を載置する試料台と探針２とを、ＸＹ方向及びＺ方向に相対移動させる移動手段と、探針２と試料表面との距離が一定になるように移動手段を制御すると共に試料Ｓの表面形状を測定する制御手段と、探針２と試料表面との間に所定の電圧を印加する印加手段と、印加された電圧に起因する電気物性情報を測定する測定手段とを備え、探針２が、カンチレバー３の基端側まで延びると共に測定手段に電気的接続可能な導電膜２８に電気的に接続されている走査型プローブ顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】 静止時のクリープ現象の発生を解消し、高速走査と高精度位置決めの両立を可能にし、動的位置決め精度を確保することができる、高速かつ高精度で、スムーズな走査移動等を行うことができる機械式の移動装置を提供する。
【解決手段】 この移動装置は、走査ステージ２１１を移動させる方向に対して平行に設けられた２組の駆動軸機構（２０５Ａ，２０６Ａ−１，２０５Ｂ，２０６Ｂ−１等）と、これらの２組の駆動軸機構のそれぞれに設けられた位置検出機構（２１３Ａ，２１３Ｂ）と、２組の駆動軸機構の動作を制御するコントローラ３３等とから成り、コントローラ等は、少なくとも走査ステージの静止時に、２組の駆動軸機構のそれぞれの駆動位置の偏差ｄを維持するように２組の駆動軸機構を駆動制御するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 観察対象や観察目的に応じてスキャナを交換する必要が無く、高い分解能を保ったまま、微小領域から広域までの観察を行うことのできる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 探針１３をＸ−Ｙ−Ｚ軸方向に移動させる探針側スキャナ１０と試料１２をＸ−Ｙ−Ｚ軸方向に移動させる試料側スキャナ１１の２つのスキャナを設ける。探針側スキャナ１０として最大走査範囲の小さいスキャナ、試料側スキャナ１１として最大走査範囲の大きいスキャナを使用し、観察対象や観察目的に応じて両者を切り替えて使用する。あるいは、探針側スキャナ１０で微小領域の走査を行うと共に、試料側スキャナ１１によって観察視野を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 試料を大気暴露させることなく、試料の設置から測定まで制御された環境下で試料の形状情報や物性情報を計測できる装置を提供すること。
【解決手段】 先端に微小な探針を有するカンチレバー６と、カンチレバー６を保持するためのプレート２と、試料７を設置するための試料固定台４と、筺体３などからなる気密性が保たれるロードロック室１と、カンチレバー６の変位を検出する変位検出機構８と、試料７を移動させる試料移動機構である微動機構１８、ＸＹ粗動機構１９、Ｚ粗動機構２０が設けられた密封容器１７と、密封容器１７を真空排気する真空排気機構２１とガス導入機構２２と、密封容器１７にロードロック室１を取付けるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ等のインライン自動検査工程でたとえ試料が帯電していたとしても、短時間で最適にかつ正確に除電することにより、探針の接近を中断することなく、安定した動作で測定・検査を行うことができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】
この走査型プローブ顕微鏡は、カンチレバー２１の先端に設けられた探針２０を試料１２に対して接近させ、探針２０と試料１２の間の作用に基づき試料表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡であり、予め登録した情報に基づき指定される試料の測定位置を測定する測定部（１１，２０，２１，２４，３１，３２，３３，３４等）と、予め登録した情報に基づき試料の測定位置をスポット的に除電する除電部４０１，３０２とを有するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 大きな凹面および凸面形状をした試料表面に対し、カンチレバーやカンチレバーを保持する部材などの干渉がなく、また、探針表面の接触位置が変わることなく、表面粗さ測定誤差が極力少なくなるようにして、精度よく測定ができる表面情報計測装置を提供すること。
【解決手段】 大きな凹面および凸面形状をした試料５ａまたは５ｂ表面に対して、先端に探針（プローブ）を有するカンチレバー１３を用いて試料形状を測定する表面計測装置において、試料５ａ（５ｂ）側に試料移動ステージとカンチレバー１３側に微動機構回転ステージ１８とを備えて、大きな凹面５ｂおよび凸面５ａ形状の試料表面の位置に関わらず、探針表面状態およびカンチレバーたわみに係わる、探針が受ける原子間力の方向が変わらないように調整して、試料表面形状を測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 従来の表面粗さ測定装置では、評価すべき表面粗さに関する規格に適合するかを解析することができるが、その表面粗さに関する規格以外の他の表面粗さに関する規格に適合するかを評価しようとすると、その表面粗さに関する規格に適合するかの評価試験を最初から行う必要があった。
【解決手段】 表面粗さ測定データ紙に印刷された触針の変化量のグラフを読み取る読取手段と、読取手段により読み取られた触針の変化量のグラフを測定データとして記憶する第１記憶手段と、第１記憶手段に記憶された測定データを所定の数値データに変換する数値データ変換手段と、数値データ変換手段により変換された数値データから表面粗さの解析データを算出する算出手段と、算出手段により算出された解析データを記憶する第２記憶手段と、該第２記憶手段に記憶されている解析データを出力する出力手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 左旋回検出スイッチ及び右旋回検出スイッチを備える作業用走行車において、構造の簡略化を図ると共に、配線の分散を回避する。
【解決手段】 フロントアクスルケース２０の左右両側にキングピンケース２６を備えると共に、該キングピンケース２６に、前輪２の切れ角に基づいて機体の旋回を検出する旋回検出スイッチ１８、１９を設けた作業用走行車において、機体の左旋回を検出する左旋回検出スイッチ１８と、機体の右旋回を検出する右旋回検出スイッチ１９とを設けるにあたり、左旋回検出スイッチ１８及び右旋回検出スイッチ１９を、左右いずれか一方のキングピンケース２６に並設する。 （もっと読む）

【課題】作業性が良好でかつ省スペース化を図るために、手動でバンドブレーキなどの被押圧部品の移動量を計測することができる計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、ケース１ａに固定的に配置される本体部３０と、本体部３０に所定方向に移動可能に支持され、バンドブレーキの係合部などの被押圧部品を押圧する押圧部４０と、本体部３０および押圧部４０に連結され、本体部３０に対して押圧部４０を所定方向に移動させる操作部５０と、本体部３０に対する押圧部４０の所定方向の移動量を計測する計測部６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 原子間力顕微鏡において、カンチレバーの自励振動の停止を防止でき、カンチレバーの探針が測定対象物と接触することを防止できるカンチレバー制御装置の提供。
【解決手段】 原子間力顕微鏡において、探針１２を有するカンチレバー１０と、カンチレバー１０を自励振動させるアクチュエータ２０と、カンチレバー１０の振動速度を検出する振動速度検出器３０と、カンチレバー１０の振動変位を算出する変位算出器３２と、アクチュエータ２０を駆動するための信号を生成する制御器４０とから、カンチレバー制御装置１を構成し、フィードバック制御信号Ｓを（Ｋ−Ｇ・ｘ²）・ｄｘ／ｄｔとする。ただし、ｘはカンチレバー１０の振動変位、ｄｘ／ｄｔはカンチレバー１０の振動速度、Ｋ、Ｇはともに正値のフィードバックゲインである。 （もっと読む）

【課題】段取り作業の効率化を図ると共に、測定精度を向上させることにある。
【解決手段】モータ１により水平回転駆動される回転テーブル２上にその中心軸に直交する回転平面上で互いに直交するＸ方向及びＹ方向に移動可能な移動調整テーブル４を載せ、その上に被測定物１０を支持する複数個のジャッキ３が搭載テーブルを載せて構成された回転部と、複数のアームを鉛直方向に移動可能に、且つ水平方向に移動可能にそれぞれ支持し、これら各アームの先端部に被測定物の面や円弧面を計測する測定器８を取付けて構成された測定器移動部と、回転テーブル２の回転軸線上で互いに交差するスリット状の複数のレーザ光を照射するレーザ発生器９と、被測定物の予定角度位置での面の高さや円弧面における半径方向の長さの測定値がそれぞれ取込まれ、被測定物の傾き量や回転テーブルの中心に対する被測定物の中心の偏心量を求める演算処理部２０と備える。 （もっと読む）

【課題】 原子間力顕微鏡のＡＣモード使用時において、試料の解析精度を向上させることができる原子間力顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 略板形状を成すベース部３４から延設されたカンチレバー３５の先端側に探針３６が形成され、前記ベース部３４は、取付手段３０によって振動体２６が設けられた台座部２８に取り付けられており、前記振動体２６によって前記カンチレバー３５を共振振動させることで、前記探針３６が上下動しながら試料１４を走査し、該探針３６が前記試料１４に接触することで生じる前記カンチレバー３５の上下振動の変化を検出器２１によって検出することで、前記試料１４を解析する原子間力顕微鏡１３において、前記振動体２６の振動によって前記ベース部３４に発生する共振振動を抑制するベース部振動抑制手段を、前記ベース部３４および前記取付手段３０の少なくともいずれかに設ける。 （もっと読む）

【課題】この発明の目的は、画像処理を用いないで照射光の影響を受けないで済み、しかも被検査物に余分な負荷をかけないで正確な平坦度の測定ができるようにした端子の平坦度測定方法を提供することにある。
【解決手段】ワーク台に搭載した、側面に多数の金属端子を設けた非検査物における金属端子の平坦度を測定するに当たり、
金属端子と同数のスイッチング機能を備えたコンタクトプローブを、駆動機構により金属端子に向けて前進させ、
コンタクトプローブを金属端子に接触させてそのスイッチング機能を作動させ、
基準面から金属端子にコンタクトプローブが接触してスイッチング機能が作動した位置までの距離を測定するようにしたことを特徴とする端子の平坦度測定方法。 （もっと読む）

【課題】 原器を被測定物の形状の種類分用意することなく、また、形状が異なる度に補正のための測定を行うことなく、衝となる測定機と機上形状測定機の機差を補償する。
【解決手段】 任意の設計式にて面形状を定義できる被測定物である被測定原器１７を、衝となる外部形状測定機１２にて測定して形状を明らかにする工程と、超精密加工用旋盤１に設置された形状測定機３にて被測定原器１７を測定して形状を明らかにする工程と、外部形状測定機１２により明らかにされた形状と形状測定機３により明らかにされた形状との誤差を求める工程と、誤差に基づいて加工機上に設置された形状測定機３の測定結果に補正を与える工程とを行う。 （もっと読む）