【課題】被写体にパターン光を照射することにより取得した画像を用いて、被写体の３次元形状を正確に計測する。
【解決手段】プロジェクタ４から所定方向に偏光されたパターン光を出射して被写体に照射する。被写体におけるパターン光の反射光は、フィルタ部１４，１５により所定方向に直交する方向に偏光されて、第１および第２のカメラ２，３に入射する。これにより、第１および第２のカメラ２，３が基準画像および参照画像を取得し、演算部５が画素の対応付けを行うことにより、被写体の３次元形状を計測する。 （もっと読む）

【課題】 筆跡を表示する対象物の高さによらず、指示具でその対象物に筆跡を表示することができる筆跡表示システムを提供する。
【解決手段】 本筆跡表示システムは、互いの位置関係が既知の４つ以上の光源ａ１，ａ２，ａ３，ａ４をもつ光源セットおよびペン先が物体６上にあることを伝達するための光源ｂを設置した筆跡表示ペン２と、光源を撮像するカメラ３０と、撮像した画像から求めた筆跡表示ペン２の位置と角度および筆跡表示ペン２のペン先が物体６上にあるときの高さに基づいて筆跡表示ペン２の筆跡表示位置を演算する演算装置４と、演算した筆跡表示位置を筆跡表示ペン２の筆跡として物体６に表示する表示装置５とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像データと電気信号とを同期させた状態の動画データを解析することにより、実際のワークの異常と生産設備の動作状態との関連性を明確にし、異常の解析を十分にすることができる動画データ解析プログラムを提供する。
【解決手段】モニタ１１２を有するコンピュータ２１に読み出し可能に設けられ、高速度撮像手段３４が撮像した画像データと、電気信号の電圧変化を表示するグラフとが同期されて１つの動画として構成された動画データを、モニタ１１２上で再生させる再生手段１２２と、再生された動画データ内の画像データにおける、指定された２点間の距離を測定する距離測定手段１１６と、再生された動画データ内の画像データにおける、指定された２線が交わる角度を測定する角度測定手段１１７とをコンピュータ２１に実現させる。 （もっと読む）

【課題】熱交換器のコアのフィン検査方法を提供する。
【解決手段】撮像手段が、フィンとチューブを具備する熱交換器のコアを撮像して、画像処理装置に、撮像データを入力して記憶させるステップと、前記撮像データにおいて、前記コア全体が撮像されている第１の領域を設定するとともに、全ての前記チューブの少なくとも一部が撮像されている第２の領域を設定して前記チューブの位置情報を特定するステップと、前記特定された前記チューブの位置情報に基づいて隣り合うチューブ間にフィン検出用の第３領域を設定するステップと、前記第３領域内において動的２値化処理及びノイズ除去処理をしてフィンの画像を求め、該フィンの画像からチューブ長手方向に亘るフィンのエッジ位置情報を特定するステップと、前記フィンのエッジ位置情報に基づいてピッチ間隔の統計処理を行い、フィン不良を判別するステップからなるフィン検査方法。 （もっと読む）

【課題】マスク全体の光学画像及び参照画像を用いてマスクの欠陥検査を行うことが可能なマスク検査装置及びマスク検査方法を提供する。
【解決手段】マスク１０１の光学画像が検査ストライプ単位で取得され、予備検査部１２０に入力される。参照画像生成部１１８によりマスク１０１の参照画像が検査ストライプ単位で生成され、予備検査部１２０に入力される。予備検査部１２０により検査ストライプ単位の光学画像及び参照画像を用いて予備検査が行われる。検査ストライプ単位の光学画像及び参照画像はフラッシュメモリ１２２に逐次格納される。マスク１０１全体の光学画像及び参照画像が格納された後、欠陥検査部１２４によりこのマスク全体の光学画像及び参照画像を用いてマスク１０１のパターン欠陥検査が実行される。 （もっと読む）

【課題】はんだフィレットの高さの計測精度を向上し、信頼度の高い検査を実現する。
【解決手段】同軸落射照明用の赤外光および赤、緑、青の各色彩光を基板に照射しながら、赤外光および可視光を分離して受光する機能を有するカメラにより基板上のフィレット１０２を撮像する。つぎに、生成された画像において、各照明光の正反射光像領域が連なっている方向に沿う計測ラインＬを設定し、このラインＬ上で、各正反射光像領域および暗領域の境界点Ａ１〜Ａ６を検出する。つぎに、各正反射光領域の境界点Ａ１〜Ａ５に、それぞれ対応する照射角度範囲の境界を表す角度から求めた傾斜角度を適用し、各点Ａ１〜Ａ５の座標Ｄ１〜Ｄ５に各傾斜角度を対応づけて、ラインＬ上の傾斜角度の変化を表す近似曲線を設定する。そして、点Ａ１から点Ａ６までに相当する範囲を対象に近似曲線を積分し、この演算により得た計測値をはんだの濡れ上がり高さとして特定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイクロ波透過部材の寿命を正確に検知することができるプラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の検査方法を提供する。
【解決手段】マイクロ波により励起させたプラズマを用いてプロセスガスからプラズマ生成物を生成し、被処理物の処理を行うプラズマ処理装置であって、前記プラズマが励起される領域にマイクロ波を導入するためのマイクロ波透過部材と、前記マイクロ波透過部材の厚み寸法を直接検出する厚み検出手段と、を備えることを特徴とするプラズマ処理装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】従来の縞パターン投影法とフーリエ変換法による三次元計測方法に、新たな処理フローを加えることにより、感光体表面に発生する膜厚むら、きず、突起、異物及び色むら等の全種の欠陥を検出する表面検査装置、それを用いた欠陥検出方法、プログラム及び記録媒体を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、対象物上に縞パターンを投影する手段と、対象物の表面を撮像する手段と、対象物の画像データからフーリエ変換法により対象物の三次元形状データを算出する手段と、画像データの高周波成分に基づいて欠陥検出を行う手段と、低周波成分に基づいて欠陥検出を行う手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】眼鏡をかけている人物の顔の３次元モデルの生成時においても、裸眼の人物の顔の３次元モデル生成と同様に、一回の画像撮影と１つの画像列入力から、顔の３次元モデルの生成を可能にする。
【解決手段】複数枚のデジタル画像データを入力する画像入力部１１と、前記入力画像内の眼鏡フレーム部分の画素値を除去する眼鏡除去部１２と、前記入力画像列から裸眼の顔の３次元モデルを生成する裸眼の顔モデル生成部１３と、前記入力画像列から眼鏡の３次元モデルを生成する眼鏡モデル生成部１４と、前記裸眼の顔の３次元モデルと前記眼鏡の３次元モデルの相対３次元位置を計算する相対位置計算部１５と、前記裸眼の顔の３次元モデルの座標系と前記眼鏡の３次元モデルの座標系を、前記相対３次元位置情報をもとに統合するモデル統合部１６と、前記統合結果をデジタルデータとして出力する出力部１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 特定のカメラの撮影範囲外にある対象物であっても別のカメラを介することによりその対象物の位置を計測することができる位置計測システムを提供する。
【解決手段】 位置計測システムは、位置関係の分かっている３つ以上の基本標識を有する標識セット１と、標識セット１を撮像するカメラ１０と、カメラ１０に取り付けられる位置関係の分かっている４つ以上の基本標識を有する標識セット２と、標識セット２を撮像するカメラ２０と、カメラ１０で撮像した標識セット１の画像から標識セット１の位置を演算し、カメラ２０で撮像した標識セット２の画像からカメラ１０の位置と角度を演算し、このカメラ１０の位置と角度に基づいて、カメラ１０のカメラ座標１５を基準とした標識セット１の位置をカメラ２０のカメラ座標２５を基準とした位置として演算する演算部３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】対応点の探索に要する計算量を大幅に減らし、短時間でかつ高精度に、かつトラブルの発生も含めて、対応点の３次元位置を計測することを可能とする。
【解決手段】対象物を異なる視点から見た複数の画像を取り込む。その画像の１つを基準画像、それ以外を参照画像とする。基準画像および参照画像から、カメラパラメータおよび基準点から計算されるエピポーラ線に沿って、所定幅Ｗの１次元の画素データ列を切り出す。この切り出した１次元の画素データ列から位相限定相関関数を計算することによって相関ピークの位置Ｐｈ（ｘ，ｙ）を求め、この相関ピークの位置Ｐｈ（ｘ，ｙ）から位置ずれ量ｄを求め、この位置ずれ量ｄから基準点ｐに対応する対応点ｑを探索する。この対応点の探索過程において、相関ピークの値Ｐｈが予め定められている下限値Ｐｈｔｈに満たない場合、異常である旨を通知すると同時に、以降の３次元位置の計測を中止する。 （もっと読む）

【課題】大型のガラス基板の目視検査を容易にする検査装置の提供
【解決手段】この検査装置１００は、検査ステージ１０２と、検査ステージ１０２に対してガラス基板１０を相対的に動かす駆動機構１４１を備えている。さらに、この検査装置１００は、駆動機構１４１がガラス基板１０を動かす方向に対して幅方向外側からガラス基板１０を見た像を、検査ステージ１０２から確認できるように映す観察部１０８を備えている。この検査装置１００によれば、ガラス基盤１０の目視検査が容易になる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光照射時点や最大変形時におけるミラーの平面度を確認することができるミラーの動的平面度の検査装置を提供する。
【解決手段】パルス状レーザ光９を出力するレーザ発振器８と、レーザ光９の光軸上に４５度の角度で配置され、入射するレーザ光９の５０％を透過、残り５０％を反射するビームスプリッタ１２と、ビームスプリッタ１２を透過したレーザ光９の光軸上に垂直に配置され、入射するレーザ光９を反射する基準ミラー１３と、基準ミラー１３で反射後、ビームスプリッタ１２で反射されたレーザ光９ｔｒの光軸上に配置され、ミラー１で反射後、ビームスプリッタ１２を透過したレーザ光９ｒｔとを受光する受光装置１６に接続され、受光されたレーザ光９ｔｒとレーザ光９ｒｔによる干渉縞からミラー１の表面形状を数値化する画像処理装置１７と、ミラー１の現在位置情報に基づいてレーザ発振器８と受光装置１６を動作させる制御装置４とからなる。 （もっと読む）

【課題】正確に奥行値を設定することができるようにする。
【解決手段】焦点情報抽出部３１は、入力画像の画素毎に、注目画素に対応する周辺画素の輝度信号より高周波成分を焦点情報として抽出する。領域統合部３２は、注目画素毎に、注目画素の焦点情報を、その周辺の画素の焦点情報に合わせる様に統合焦点情報を生成する。暗部処理部３３は、注目画素の焦点情報を、注目画素周辺の焦点情報よりも大きな値の平均値に置き換えて暗部焦点情報を生成する。照明成分抽出部３５は、入力画像の注目画素毎の輝度信号を周辺画素の輝度信号に合わせるようにすることにより照明成分を抽出する。奥行生成部３４は、統合焦点情報と暗部焦点情報とを、照明成分に基づく係数により積和演算して各画素単位の奥行値を求め、正規化し、正規化した奥行値をトーンカーブにより制御する。本発明は、画像処理装置に適用することができる。 （もっと読む）

計測システムの照明サブシステム、計測システム、および計測測定のために試験片を照明するための方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】明るさが大きく変動する環境下における３次元形状計測に際しての各カメラによる撮影画像を、撮影部位の明るさが互いに同等となる撮影画像として取得できる。
【解決手段】アーム３に設けられ、明るさ調整用のマーカ６と、第１カメラ５１、第２カメラ５２のそれぞれの撮影画像よりマーカ６付近の撮影部位を検出するマウス９を含む撮影部位検出部と、この撮影部位検出部で検出された第１カメラ５１、第２カメラ５２による撮影部位の平均明るさＡ１，Ａ２をそれぞれ求めるとともに、撮影部位それぞれの平均明るさＡ１，Ａ２の差を演算する明るさ比較処理部７２と、この明るさ比較処理部７２によって求められた第１カメラ５１、第２カメラ５２による撮影部位それぞれの平均明るさＡ１，Ａ２の差が少なくなるように、第１カメラ５１、第２カメラ５２のシャッター速度を調整する調整部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】追従部の摺動抵抗が可動部の位置精度へ与える影響を小さくすることができる同期移動装置を提供すること。
【解決手段】架台２にビーム支持体５１を介して支持されたＸ軸ビーム５２に移動可能に設けられた可動部であるＸスライダ５３と、Ｘ軸ビーム５２に回転自在に支持された送りねじ軸５４１と、これに螺合されたナット部材５４２と、Ｘスライダ５３およびナット部材５４２を連結するフローティングユニット７と、架台２に移動可能に設けられてフローティングユニット７に接続された追従部である追従スライダ８２とを備える。フローティングユニット７は、Ｘスライダ５３に固定された第１の部材７１と、ナット部材５４２に固定された第２の部材７２と、これらに介在して設けられ送りねじ軸５４１の振れ運動を吸収する中間部材７３とを有し、追従スライダ８２は第２の部材７２にワイヤ８３により接続されている。 （もっと読む）

【課題】より高速で精度の高い位置決めが可能なマッチング方法等を提供する。
【解決手段】抽出された輪郭上に、複数の基点を設定すると共に、各基点に対して、基点を通りかつ輪郭と略直交する所定長さの対応点探索ラインを割り当てた登録画像のパターンモデルを構築する工程と、サーチ対象画像を取得すると共に、該サーチ対象画像中に含まれる登録画像に対応する初期位置を取得し、該初期位置に従って、パターンモデルの対応点探索ラインをサーチ対象画像上に重ねるように配置する工程と、サーチ対象画像上の対応点探索ラインに沿った位置におけるエッジ強度及びエッジ角度を用いて、各対応点探索ラインについて、各基点と対応するサーチ対象画像上の対応点を求める工程と、各々基点と基点の対応点との関係を評価値とし、該評価値の累積値が最小又は最大となるように、与えられた初期位置の精度よりも高い精度で精密位置決めを行う工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】
光学的な表面を有する基板の検査方法において、特に、原器あるいはマスターから複製される基板の適切な表面検査方法が開発されていないため、高密度化する記録媒体や光学素子の量産化が遅れている。
【解決手段】
原器あるいはマスターとそれから複製される基板とをそれぞれ反射ミラーとするような構成のマイケルソン型干渉計あるいは、マッハツェンダー型干渉計を構築することにより、原器あるいはマスターから反射する位相情報を含む光と、検査対象から反射する光とが干渉し干渉縞を観測する。干渉縞を解析することにより、原器あるいはマスターの表面が有する特定の光学的構造と、検査対象の表面構造との差異を観測することができ、検査対象の表面状態を検知することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの光軸に沿って、被検物を移動することなく、被検物の形状を測定できるようにする。
【解決手段】MLA１２は、対物レンズ１１の瞳面又は結像面に配置され、撮像素子１３は、MLA１２の背後に設置され、被検物像を撮像する。ズーム用レンズ駆動装置５１は、ズーム用レンズＺＬの移動によって被検物の像の大きさを拡大又は縮小し、合焦レンズ駆動装置５２は、合焦レンズＦoＬの移動によって被検物に焦点を合わせる。演算処理回路３４は、撮像素子１３の出力から複数の測定画像を生成し、MLA１２に配列された複数のＭＬの各々に対応する撮像素子１３の撮像領域を構成する画素のうち、対物レンズ１１の主光線と交わる位置にある画素から得られる基準画像を補正情報として用いて、被検物の形状を測定する。本発明は、被検物の３次元の形状を計測する形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）