【課題】被測定物に対する面方向の分解能や測定位置の変更を容易に行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光源１０と、光源１０からの光を２つの光束に分割して、一方の光束を被測定物Ｔに照射し、他方の光束を参照ミラー４０に照射させると共に、これらから反射された光を合波させるスプリッタ２０と、スプリッタ２０によって合波された光により得られる画像を撮像するＣＣＤ５０と、２つの傾き状態に制御される複数の微小ミラーを有するＤＭＤと、複数の微小ミラーを制御して被測定物Ｔや参照ミラー４０への照射光等を絞り込み、その状態で撮像された画像に基づき、測定点の高さを測定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】操舵角計測装置を改善することにより、ステアリングホイールの操舵角を作業効率を向上しつつ精度よく計測し得る操舵角計測装置に関する。
【解決手段】ステアリングホイール３とともに回転する反射面５を有する反射部材４と、前記反射面５との距離に基づいた信号を出力する第１の変位計７ａ及び第２の変位計７ｂからなるレーザ変位計７とを含む車両のステアリングホイール３の操舵角計測装置１である。前記反射面５は、前記第１の変位計７ａとの距離を一定とする等距離面と、第１継ぎ面とが交互にかつ階段状に接続される階段状面Ｋからなる第１の反射面と、前記第２の変位計７ｂとの距離が漸減する傾斜面と、第２継ぎ面とが交互に接続される鋸歯状面からなる第２の反射面とからなる。しかも、前記傾斜面と、前記等距離面とは、位相が揃えられている。 （もっと読む）

【課題】光軸方向に交差する方向に配列した複数の発光素子から光軸方向と配列方向とによって規定される仮想面に沿って光を出射した場合でも、発光素子の配列方向で光強度が急激に変化しない光源装置、光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０に用いた光源部１２（光源装置）では、複数の発光素子１２０を発光素子１２０の光軸に交差する方向に配列したため、光軸方向と配列方向とによって規定されるＸＹ面（仮想面）に沿う広い範囲にわたって検出光Ｌ２を十分な強度をもって出射することができる。複数の発光素子１２０の光軸方向の出射側には、レンズフィルム１９０（シート状光学部材）が配置されており、かかるレンズフィルム１９０は、ＸＹ面内方向における発光素子１２０からの出射光Ｌ１の発散角を拡大させるパワーを備え、Ｚ軸方向には光を拡散させるパワーを有していない。 （もっと読む）

【課題】３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】３次元形状測定装置は、光を発生する光源ユニットおよび光源ユニットから発生された光を格子パターンを有する格子パターン光に変更する格子ユニットを含み、格子パターン光を所定方向から測定対象物に照射する照明部、および格子ユニットを格子パターンの延長方向および格子パターンの配置方向に対して所定の傾斜方向に移送させる格子移送ユニットを含む。よって、製造コストを低減して、３次元形状測定装置は容易に管理することができる。 （もっと読む）

【課題】トロリ線以外の構造物の影響を無くしトロリ線の偏位量を正確に測定する。
【解決手段】トロリ線測定装置は、トロリ線に向けて光を投光し、その反射光を受光することによってトロリ線の外形を測定する。このトロリ線の外形を測定する際に、剛体電車線区間では剛体部やイヤー部からのノイズが多く正確に測定することが困難である。そこで、このトロリ線測定装置は、剛体電車線区間でトロリ線及びその近傍の電車線設備（剛体部及びイヤー部）の画像を撮影し、撮影された画像に基づいて電車線設備の偏位を測定し、その測定結果をトロリ線の外形の測定に反映させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 シリンドリカルレンズ５９が、ガラス管Ｇに出射されるレーザ光をＹ軸線方向に集光させて、ガラス管ＧにＸ軸線方向に延びたライン状のレーザ光を照射する。Ｙ軸方向サーボ回路１１９は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸方向エラー信号生成回路１１８によって検出されたＹ軸方向エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に照射されるようにガルバノミラー５６を回転駆動するモータ５７をサーボ制御する。また、Ｙ軸周り角度サーボ回路１２２は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸周り角度エラー信号生成回路１２１によって検出されたＹ軸周り角度エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に垂直に照射されるようにガルバノミラー５４を回転駆動するモータ５５をサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】検出用発光素子と受光素子との位置関係を適正化することにより、対象物体の位置を広い領域にわたって検出することのできる光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、Ｘ軸方向で離間する第１発光受光部１５Ａと第２発光受光部１５Ｂとを順次排他的に駆動した際の駆動結果と、Ｙ軸方向で離間する第３発光受光部１５Ｃと第４発光受光部１５Ｄとを順次駆動した際の駆動結果とに基づいて、対象物体ＯｂのＸ座標およびＹ座標を検出する。複数の発光受光部１５のいずれにおいても、検出用発光素子１２と受光素子３０とが隣り合う位置に配置され、対象物体Ｏｂで反射して第１受光素子３０Ａに到達する光は、対象物体Ｏｂにおいて第１検出用発光素子１２Ａおよび第１受光素子３０Ａが位置する側に向けて反射した光である。このため、第１受光素子３０Ａの受光強度は、対象物体Ｏｂの位置によって単調に変化する。 （もっと読む）

【課題】対象物を光ストライプで照射し、対象物表面から反射した光を検出することで、対象物の表面上の複数の点からデータを捕捉するための走査プローブを提供する。
【解決手段】走査プローブは、（ａ）光ストライプを生成および発するためのストライプ生成手段１４、（ｂ）対象物表面から反射した光ストライプを検出するための画素の配列を有する画像センサを備えるカメラ１６、（ｃ）カメラ１６によって検出された強度に応じて、フレームの取得中に光ストライプの強度を調節するための手段を備える。ストライプ長を修正する手段、処理手段のための隔離された区分室、およびスキャナのための取り付け可能なダストカバーを有するスキャナにも関する。 （もっと読む）

【課題】低コストで複数の被測定物を測定することができる３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】３次元形状測定装置は、非線形媒質３０を有し、該非線形媒質３０に照射された第１偏光状態の複数の反射チャープ光１０２、１０４、１０６をポンプ光が照射された期間で切り出すシャッタ部を備え、非線形媒質３０は、シャッタリング光が照射された期間に照射された反射チャープ光１０２、１０４、１０６の偏光状態を第２偏光状態に変化させるものであり、シャッタ部は、非線形媒質３０によって偏光状態が変わった反射チャープ光１０２、１０４、１０６を抽出することで、所定のタイミングで反射チャープ光１０２、１０４、１０６を切り出し、複数の照射装置は、非線形媒質３０におけるポンプ光の非線形効果の有効範囲１００内に反射チャープ光１０２、１０４、１０６を集光させる。 （もっと読む）

【課題】軌道輪表面の仕上がりの良否を簡易にかつ自動的に判断可能であり、製造コストが安価であると共に検査処理が簡単でありしかも精度の高い検査が可能な転がり軸受の表面検査装置を提供する。
【解決手段】検査表面に対しレーザ光を照射し、表面で反射したレーザ光を受光するレーザ光送受手段と、受光した光強度に対応する電気信号を出力する光電変換手段と、レーザ光照射部を軌道輪の軸と同軸で回転させる周方向走査手段と、レーザ光送受手段を軌道輪の軸に沿って移動する軸方向走査手段と、周方向走査の各位置において、光電変換手段から出力される電気信号出力の、軸方向における最大値を取得する最大値取得手段と、取得した最大値のうち、ハレーション状態に対応する最大値の個数を計数するハレーション個数計数手段と、ハレーション個数計数手段により計数されたハレーション個数に応じ、軌道輪の良否を判断する判断手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の相対的な位置情報を短時間で精度良く検出することができる光学センサを提供する。
【解決手段】 面発光レーザアレイを含む光源１１、非平行透明部材１２、コリメートレンズ１３、対物レンズ１４、及び処理装置などを備えている。面発光レーザアレイの複数の発光部から射出された複数の光束は、Ｚ軸方向に関して互いに異なる位置に集光される。そして、処理装置は、面発光レーザアレイの複数の発光部に一定の電圧を印加するとともに、発光部毎にセルフミキシング信号をプリンタ制御装置に出力する。プリンタ制御装置は、各発光部のセルフミキシング信号に基づいて、Ｚ軸方向に関する記録紙との距離を求める。 （もっと読む）

【課題】参照用光源から出射された参照光が検出光出射空間に漏れてしまうことを防止しつつ、光検出器での参照用光源の検出強度を適正なレベルに抑えることができる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、対象物体により反射した検出光Ｌ３の一部を光検出器３０により受光した結果、および検出対象空間１０Ｒを介さずに光検出器３０に入射した参照光Ｌｒの強度に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。光検出器３０と、参照光Ｌｒを出射する参照用光源１２Ｒとは、受光ユニット３５を構成しており、参照用光源１２Ｒから出射された参照光Ｌｒが検出対象空間１０Ｒに漏れることを回避する。受光ユニット３５では、参照用光源１２Ｒから出射された参照光Ｌｒを、強度を低下させた状態で光検出器３０に入射させるため、光検出器３０での参照光Ｌｒの検出強度のレベルを低く抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】複層塗膜の内部構造及び内部欠陥を、非接触非破壊且つ簡便に測定、解析することができる複層塗膜の非接触非破壊評価方法及びそれを用いた装置を提供すること。
【解決手段】本評価方法は、光源１からの光を参照光と複層塗膜４への入射光とに分岐する分岐ステップと、前記参照光の光学距離を調整する調整ステップと、前記複層塗膜からの反射光と前記参照光とを干渉せしめる干渉ステップと、前記複層塗膜からの前記反射光を含む干渉光を検出して前記干渉光の強度信号を出力する検出ステップと、前記強度信号を解析する解析ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】温度が変化しても安定した検出精度を得ることができる光学式検出装置、表示装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学式検出装置は、照射光を出射する照射部ＥＵと、照射光が対象物に反射することによる反射光を少なくとも受光する受光素子ＰＤと、受光素子ＰＤからの受光検出信号を増幅する増幅部１００と、増幅部１００が出力する信号に基づいて、対象物の位置特定情報を検出する検出部２００と、位置特定情報に基づいて対象物の位置を判定する判定部３００と、温度を検出する温度検出部ＴＳＵと、温度検出部ＴＳＵの検出結果に基づいて、増幅部１００が有する回路素子の回路定数ＣＮＴを設定する処理を行う制御部４００とを含む。 （もっと読む）

【課題】安定した検出精度を得ることができる光学式検出装置、表示装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学式検出装置は、検出用光源部ＬＳ１、ＬＳ２と調整用光源部ＬＳＤとを有する照射部ＥＵと、照射部ＥＵからの照射光が対象物に反射することによる反射光を少なくとも受光する受光素子ＰＤと、受光素子ＰＤからの受光検出信号を増幅する増幅部１００と、増幅部１００が出力する信号に基づいて、対象物の位置特定情報を検出する検出部２００と、位置特定情報に基づいて対象物の位置を判定する判定部３００と、調整用光源部ＬＳＤの発光時における受光素子ＰＤの受光結果に基づいて、増幅部１００が有する回路素子の回路定数ＣＮＴを設定する処理を行う制御部４００とを含む。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば、試料に熱ダメージを与えることなく、短時間で高精度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
試料の表面におけるある一方向について照明強度分布が実質的に均一な照明光を、前記試料の表面に照射し、前記試料の表面からの散乱光のうち互いに異なる複数の方向に出射する複数の散乱光成分を検出して対応する複数の散乱光検出信号を得、前記複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の存在を判定し、前記処理により欠陥と判定された箇所各々について対応する複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の寸法を判定し、前記欠陥と判定された箇所各々について前記試料表面上における位置及び欠陥寸法を表示する欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】 真空チャンバー内に配置される計測装置において計測光学系等を好適に使用することを目的とする。
【解決手段】 真空チャンバー内に配置される計測装置であって、
真空チャンバーの内部に配置され、基板の位置または高さを計測する計測光学系と、
計測光学系の少なくとも一部を密封して覆うカバーと、カバー内に気体を供給および排出するための配管と、
配管を介してカバー内に供給または排出される気体の量を制御することによってカバー内の圧力を制御する圧力制御手段と、
を備え、カバーには透明板が設けられ、
圧力制御手段は、カバー内の圧力変動を抑え、かつ、カバー内外に所定の圧力差が生じるように気体の量を制御し、
計測光学系は、圧力差によって透明板が変形することによって生じる収差を補正するように構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

本明細書で開示される主題は、モバイル機器から遠隔の物体までの距離を測定すること、または遠隔の物体のサイズを測定することに関する。
（もっと読む）

【課題】測定対象の幅方向に対して広範囲で欠陥を検出する。
【解決手段】第１のミラー群１２に入射されたレーザ光の波面は、分割されて反射され、光学フィルム１０の幅方向に配列された状態で光学フィルム１０に照射される。光学フィルム１０に照射されたそれぞれのレーザ光の波面は、光学フィルム１０を介して第２のミラー群１３で反射され、光学フィルム１０を介して、第１のミラー群１２に対して入射される。第１のミラー群１２に入射されたレーザ光は、再び１つの波面が揃い、ウェッジプレート４に入射される。そして、ウェッジプレート４の第１の面Ｓ１で反射されるとともに、第２の面Ｓ２で反射されることにより２つの波面に分割される。２つの波面が干渉することにより、撮像部７において干渉縞が撮像され、撮像された干渉縞の画像データに対して、解析部８による解析が行われる。 （もっと読む）

単一の撮像経路を使用して三次元画像情報を生成するための方法と装置を開示する。当該方法は、当該方法は、前記単一の撮像経路の第１および第２のそれぞれの部位を通して第１および第２の画像を選択的に受信するステップを有し、前記第１の部位が、前記視野内の第１の透視点を有しており、前記第２の部位が、前記視野内の第２の透視点を有しており、前記第１および第２の画像が協働して、前記視野内の物体の三次元空間属性を表現するように働くことができるものである。当該方法は、また、前記第１および第２の画像を受信しつつ、前記撮像経路の前記第１および第２の部位の範囲を変化させて前記第１および第２の透視点の位置を変化させるステップを有し、前記透視点の位置の変化により、前記三次元空間属性の前記表現に対応する変化がもたらされるものである。当該方法は、さらに、前記第１および第２の部位の範囲を変化させるときに、前記第１および第２の画像の各々に関係する画像強度が概して一定の画像強度レベルに維持されるように、前記撮像経路の前記第１および第２の部位を通過する透過の変化を補償するステップを有する。 （もっと読む）