【課題】コンパクトな構成にて、回折光学素子の劣化を検出可能な情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、波長８３０ｎｍ程度のレーザ光を出射するレーザ光源１１１と、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１１３と、１／４波長板１１４と、ＤＯＥ１１６と、ＰＤ１１７を備えている。ＤＯＥ１１６は、レーザ光を所定のドットパターンにて目標領域に照射する。ＰＤ１１７は、ＤＯＥ１１６によって回折および反射されたレーザ光の一部を受光する。 （もっと読む）

【課題】回転中の工具と被加工物間の間隙を直接測定する手法を確立する。
【解決手段】回転工具とそれに対向配置した被加工物との間の間隙を超える幅を有するパルス化レーザ光を発生して、発生レーザ光の光軸を被加工平面に対して傾斜させて間隙に照射する。パルス化レーザ光は、回転工具の１回転又は整数回転当たり１パルスの発振パルス周期を有し、該発振パルスオン期間の間に回転工具の同一角度範囲に照射する。間隙に照射されて該間隙により遮蔽されずに回折した光を受光センサーにより検出して、間隙長さを測定する。 （もっと読む）

【課題】透明な板状部材でも、モアレパターンが得られる歪み検出装置の提供。
【解決手段】板状の透明な検査対象物１６，１７を搭載し得る透明な定盤２を有し、定盤の上下に第１及び第２の基準格子ユニット３，５が対称的に配置されており、各基準格子ユニット３，５は、面発光ユニット３ａ，５ａ及び該面発光ユニットの発光面３ｃ，５ｃに配置された面格子３ｂ，５ｂをそれぞれ有し、第１の基準格子ユニット３と対向する位置に、第１の基準格子ユニット３の面格子３ｂの検査対象物１６，１７からの反射像と、第２の基準格子ユニット５の面格子５ｂの、定盤２及び検査対象物１６，１７を透過して来た像を重ね合わせた重畳画像データＤＡＴを取得する面格子画像取得手段７を設け、該重畳画像データＤＡＴに基づいて、モアレ縞が発生しているか否かを判定して検査対象物１６，１７の歪みや反りの存在を判定する。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサカメラのライン周期と比べてＰＷＭ周期が十分に短くなくても、所望の光量を各ライン周期に供給することができ、撮像された画像における明暗差が出るのを防ぐことができる光照射装置を提供する。
【解決手段】検査対象Ｗに光を照射する光照射機構１と、所定のＰＷＭ周期で点灯期間及び消灯期間を交互に繰り返すＰＷＭ制御により、前記光照射機構を所定の明るさに制御するＰＷＭ制御部２と、を備え、ラインセンサカメラの各ライン周期に含まれる前記点灯期間が、１期間分又は数期間分であり、前記ＰＷＭ周期が、前記ライン周期と同期しているとともに、受光素子が１ライン周期に撮像する１画素のアスペクト比が大きくなるほど、１ライン周期に含まれる前記点灯期間の数が多くなるように設定した。 （もっと読む）

【課題】ゴーストのない高精度な光干渉観測を可能にする。
【解決手段】第１の台形プリズム１３１、第１の直角プリズム１３２、第２の直角プリズム１３３、第３の直角プリズム１３４、第２の台形プリズム１３５、第４の直角プリズム１３６を貼り合わせて一体化した構造のプリズムユニットを用いる。上記第１の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第１の直角プリズムの斜面に貼り合わされ、上記第２の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第４の直角プリズムの斜面に貼り合わされている。また、上記第２の直角プリズム及び第３の直角プリズムは、各斜面の一方の面に偏光ビームスプリッタ膜が形成され、上記偏光ビームスプリッタ膜を挟んで各斜面が貼り合わされている。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置では検出倍率を上げて微細欠陥検出感度を向上させるため、焦点深
度が浅くなり、環境変動によって結像位置がずれ、欠陥検出感度が不安定になる課題があ
る。
【解決手段】被検査基板を搭載して所定方向に走査するＸＹステージと、被検査基板上の
欠陥を斜めから照明し、その欠陥を上方に配した検出光学系で検出する方式で、この結像
状態を最良の状態に保つために、温度及び気圧の変化に対して、結像位置変化を補正する
機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】効率的に検出精度を向上させることができる光学式検出装置、表示装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学式検出装置は、照射光を出射する照射部ＥＵと、照射光が対象物に反射することによる反射光を少なくとも受光する受光素子ＰＤと、受光素子ＰＤの受光検出信号を増幅する増幅部１００と、増幅部１００が出力する信号に基づいて、対象物の位置特定情報を出力する検出部２００と、位置特定情報に基づいて対象物の位置を判定する判定部３００と、増幅部１００の出力ノードＮ１と検出部２００の入力ノードＮ２との間に設けられる結合キャパシターＣＡとを含む。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の点群データからその特徴を抽出し、対象物の輪郭に係るデータを自動的かつ短時間に生成する技術を提供する。
【解決手段】測定対象物の二次画像と、この二次元画像を構成する複数の点の三次元座標データとを関連付けた点群データの中から、演算の負担の大きい非面領域に係る点群データ除去する非面領域除去部１０１と、非面領域のデータが除去された後の点群データに対して、面を指定するラベルを付与する面ラベリング部１０２と、ラベルが付与された面から連続した局所領域に基づく局所平面を利用して、対象物の輪郭線を算出する輪郭線算出部１０６を備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置に応じて効率良く位置検出ができる光学式位置検出装置、電子機器及び表示装置等を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置は、Ｘ−Ｙ平面に沿って設定される検出エリアＲＤＥＴに照射光ＬＴを出射する光出射部ＥＵと、検出エリアＲＤＥＴにおいて照射光ＬＴが対象物ＯＢに反射したことによる反射光ＬＲを受光する受光部ＲＵと、受光部ＲＵの受光結果に基づいて、対象物ＯＢの位置情報を検出する検出部５０とを含む。光学式位置検出装置は、Ｘ−Ｙ平面に直交するＺ軸での対象物ＯＢのＺ座標位置に応じて、対象物ＯＢの位置情報の検出精度を異ならせる。 （もっと読む）

【課題】対象物体で反射した光を受光して対象物体の位置を検出する際、対象物体に反射率が異なる箇所が存在していても、対象物体の位置を高い精度で検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、複数の検出用光源１２を順次点灯させて検出光Ｌ２を出射させ、検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂにより反射した検出光Ｌ３の一部を光検出器３０により受光する。検出用光源１２Ａ〜１２Ｄにおいて、第１発光素子１２Ａ₁〜１２Ｄ₁と第２発光素子１２Ａ₂〜１２Ｄ₂とは、互いに異なる帯域にピークを有する第１検出光Ｌ２ａ₁〜Ｌ２ｄ₁、および第２検出光Ｌ２ａ₂〜Ｌ２ｄ₂を異なるタイミングで出射する。そして、光検出器３０での第１検出光Ｌ２ａ₁〜Ｌ２ｄ₁の検出強度と第２検出光Ｌ２ａ₂〜Ｌ２ｄ₂の検出強度との差に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置に応じて効率良く位置検出ができる光学式位置検出装置、電子機器及び表示装置等を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置は、Ｘ−Ｙ平面に沿って設定される検出エリアＲＤＥＴに照射光ＬＴを出射する光出射部ＥＵと、検出エリアＲＤＥＴにおいて照射光ＬＴが対象物ＯＢに反射したことによる反射光ＬＲを受光する受光部ＲＵと、受光部ＲＵの受光結果に基づいて、対象物ＯＢの位置情報を検出する検出部５０とを含む。光出射部ＥＵは、検出エリアＲＤＥＴを設定する対象面２０からの対象物ＯＢの距離が短いと判断された場合には、第１の強度分布パターンＰＩＤ１の照射光ＬＴと第２の強度分布パターンＰＩＤ２の照射光ＬＴとを出射し、対象面２０からの対象物ＯＢの距離が長いと判断された場合には、第３の強度分布パターンＰＩＤ３の照射光ＬＴを出射する。 （もっと読む）

【課題】検出用光源から出射された検出光の一部が対象物体で反射せずに光検出器に入射
することに起因する検出誤差を解消することのできる光学式位置検出装置を提供すること
。
【解決手段】光学式位置検出装置１０は、検出光Ｌ２を出射する複数の検出用光源１２、
および対象物体Ｏｂで反射した検出光を受光する光検出器３０に加えて、検出空間１０Ｒ
を経由せずに光検出器３０に入射する参照光Ｌｒを出射する参照用光源１２Ｒを有する。
検出空間１０Ｒに対象物体Ｏｂが存在する状態で、複数の検出用光源１２の一部を点灯さ
せる第１検出用光源点灯動作、他の一部を点灯させる第２検出用光源点灯動作、および参
照用光源点灯動作を行うとともに、検出空間１０Ｒに対象物体Ｏｂが存在しない状態でも
第１検出用光源点灯動作、第２検出用光源点灯動作および参照用光源点灯動作を行なう。 （もっと読む）

【課題】対象物の反射率の影響などを低減して精度の高い検出ができる処理装置、光学式検出装置、表示装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】処理装置１００は、第１、第２の光源部ＬＳ１、ＬＳ２からの照射光ＬＴ１、ＬＴ２が対象物ＯＢに反射されることによる反射光ＬＲ１、ＬＲ２を受光する受光部ＲＵの受光結果に基づいて、第１、第２の光源部ＬＳ１、ＬＳ２の発光制御を行う制御部１１０と、発光制御を行うための発光電流制御情報に基づいて、第１、第２の光源部ＬＳ１、ＬＳ２に対する対象物ＯＢの位置関係を判定する判定部１２０とを含む。判定部１２０は、対象物ＯＢが検出領域に存在しない第１の期間での発光電流制御情報である第１期間用発光電流制御情報ＬＣＮｉｎｉｔと、対象物ＯＢが検出領域に存在する第２の期間での発光電流制御情報である第２期間用発光電流制御情報ＬＣＮｄｅｔとに基づいて、対象物ＯＢの位置関係を判定する。 （もっと読む）

【課題】対象物体で反射した光を受光して対象物体の位置を検出する際、対象物体に反射率が異なる箇所が存在していても、対象物体の位置を高い精度で検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、複数の検出用光源１２を順次点灯させて検出光Ｌ２を出射させ、検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂにより反射した検出光Ｌ３の一部を光検出器３０により受光する。光検出器３０としては、互いに異なる波長帯域に感度ピークをもつ第１光検出器３１および第２光検出器３２が用いられており、第１光検出器３１での検出光の検出強度と第２光検出器３２での検出光の検出強度との差に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】対象物体で反射した光を光検出器で検出する方式を採用した場合において、検出空間の全体にわたって対象物体の位置を高い精度で検出することのできる光学式位置検出装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、複数の検出用光源１２を順次点灯させて検出光Ｌ２を出射させ、検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂにより反射した光Ｌ３の一部を光検出器３０により受光した結果に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。Ｚ軸方向からみたとき、光検出器３０に近い位置にある検出用光源１２Ｂ、１２Ｄから出射された検出光Ｌ２ｂ、Ｌ２ｄは、検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｃに比して導光板１３から検出空間１０Ｒに到達するまでの減衰度合いが大である。従って、対象物体Ｏｂと光検出器３０との距離に起因する減衰度合いの差は、検出空間１０ＲにおけるＹ軸方向の一方側Ｙ１と他方側Ｙ２とにおける強度差によって相殺される。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、洗浄による飛散水や湯気の発生あるいは素子の汚れ等によって光量が不足した場合であっても、車形データを作成することができる車形検出装置及びこの装置を備えた洗車機を提供するものである。
【解決手段】発光部５ａにおける隣接する２つの発光素子Ｌａ・Ｌａ+1を同時に発光させ、その一方の発光素子Ｌａと水平に対向する１つの受光素子Ｒａで受光する第１の光軸Ｂｄと、同じく２つの発光素子Ｌａ・Ｌａ+1を同時に発光させ、その他方の発光素子Ｌａ+1のと水平に対向する１つの受光素子Ｒａ+1で受光する第２の光軸Ｂｅとを形成し、各素子毎に各光軸で車体検出する強光検出モードを実行可能にした。 （もっと読む）

【課題】照明光の連続性を確保し、被測定物の視認性や人の作業効率に影響を与えることなく、高精度かつ確実に被測定物の３次元形状を導出する。
【解決手段】３次元形状測定装置１１０は、被測定物１０２に特定色の光を投射する投光源１５０と、被測定物で反射された反射光のうち特定色の反射光を受光し投影像を形成する受光素子１６０と、２値化された制御信号を生成する信号生成部１７０と、被測定物に照明光を照射する複数の照明装置１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃのうち特定色を含む照明光を照射する照明装置１２０ａを、制御信号が第１状態を示す間消灯する照明制御部１６２と、制御信号が第１状態を示す間に、受光素子に投影像を形成させる投影像形成制御部１７２と、受光素子で形成された投影像に基づいて被測定物の３次元形状を導出する３次元形状導出部１７６とを備える。 （もっと読む）

【課題】被写体までの正確な距離を検出することができない場合においても被写体の実寸法を測定することができる電子機器を提供する。
【解決手段】被写体の周囲の一部の領域を少なくとも含む領域に対してスケール画像を投影する投影部１４と、前記投影部により前記スケール画像を投影した状態で前記被写体を撮像する撮像部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来に比べてパターンの照射範囲を容易に設定可能で、高精度で距離計測が可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】形状計測面を撮像する撮像部１１と、撮像部からのタイミング信号にて動作制御され、投光パターン１５を形状計測面に投影する照射部７と、投光パターンの設定を行う投光パターン設定部５１と、投光パターン及び撮像画像により、投光パターンの照射範囲を設定する照射範囲設定部５３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】少ない数の検出用光源部によって、対象物体の２次元座標を広い範囲にわたって
検出することのできる光学式位置検出装置および当該光学式位置検出装置を備えた位置検
出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、第１検出用光源部１２Ａおよび第２検出用光
源部１２ＢがＹ方向の一方側Ｙ１から他方側Ｙ２に向けて検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂを出射し
、検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂが出射される検出空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂで反射した
検出光Ｌ２ａ、Ｌ２ｂの一部を光検出部３０で受光する。第１検出用光源部１２Ａおよび
第２検出用光源部１２Ｂは、Ｘ軸方向で離間し、Ｙ軸方向で同一位置にある。このため、
第１検出用光源部１２Ａおよび第２検出用光源部１２Ｂを順次点灯させた際の結果、およ
び第１検出用光源部１２Ａおよび第２検出用光源部１２Ｂを同時点灯させた際の結果から
対象物体ＯｂのＸＹ座標を検出することができる。 （もっと読む）