【課題】受光素子が指向性を有している場合でも、検出範囲を広く設定することのできる光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置において、受光部１３は、受光素子１３０と、受光素子１３０に対する反射光Ｌ３の入射角度範囲を狭める入射角変換部１４とを備え、入射角変換部１４は、入射部１４８、第１反射面１４１、第２反射面１４２、および第３反射面１４３を備えた入射角変換用導光路１４０を有している。このため、対象物体Ｏｂで反射した検出光Ｌ２（反射光Ｌ３）は、入射部１４８から入射した後、第１反射面１４１と第２反射面１４２との間で反射を繰り返しながらＸＹ平面に沿って第１反射面１４１と第２反射面１４２との間で進行し、その後、第３反射面１４３でＺ軸方向に反射して、受光素子１３０の受光面１３１に入射する。このため、受光面１３１に対する入射角度が狭い。 （もっと読む）

【課題】広い範囲にわたって対象物体の三次元的な位置を光学的に検出することのできる光学式位置検出装置、光学式位置検出システム、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、第１光源モジュール１２６および第２光源モジュール１２７によって、検出光Ｌ２の放射角度範囲において強度が変化する光強度分布を形成した際の受光部１３の受光強度に基づいて対象物体ＯｂのＸＹ座標を検出する。第１光源モジュール１２６および第２光源モジュール１２７は、Ｚ軸方向で離間しており、検出光Ｌ２の放射角度範囲において強度が一定の光強度分布を形成した際の受光部１３の受光強度に基づいてＺ軸方向における対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】対象物体が検出用光源を配置した領域の外側に位置しても内側に位置しても対象物体の位置を検出できる光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、検出用光源部１２が検出光Ｌ２を射出した際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出部３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を検出する。検出空間１０Ｒからみたときに、光検出部３０は、複数の検出用光源部１２より内側に位置するとともに、複数の検出用光源部１２は各々、第１の発光素子１２Ａ１〜１２Ｄ１と第２の発光素子１２Ａ２〜１２Ｄ２とを備えている。従って、第１の発光素子１２Ａ１〜１２Ｄ１が点灯した際の光検出部３０での受光強度と第２の発光素子１２Ａ２〜１２Ｄ２が点灯した際の光検出部３０での受光強度との比較結果に基づいて対象物体Ｏｂが検出用光源部１２より外側に位置しても内側に位置しても対象物体Ｏｂの位置を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】プローブを交換する事無く種々の測定精度を得ることができる形状測定装置を提供すること。
【解決手段】第１のライン光を測定物に照射する第１光学系と、第１光学系の少なくとも一部の光学素子を有し、第１のライン光よりも長い第２のライン光を測定物に照射する第２光学系とを有する光照射部と、前記測定物による前記第１のライン光の散乱光を検出する第１の検出部と、前記測定物による前記第２のライン光の散乱光を検出する第２の検出部と、を備える形状測定装置である。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の外観検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、照明装置２２、カメラ２３及び画像処理装置２４等を備え、まず照明装置２２から錠剤に対し照射される光の光量を段階的に変更し、当該錠剤を透過する透過光をカメラ２３により撮像することにより、複数通りの輝度画像データを取得する。そして、当該複数通りの輝度画像データにおける各座標毎の輝度値をそれぞれ合算して、錠剤の表面に係る三次元データを作成する。これに基づき、錠剤の外観形状が検査される。 （もっと読む）

【課題】常に、受光量が最大値を示すピーク画素からの受光信号を利用する構成に比べて、検出可能な対象物の制約を抑制することが可能な技術を提供する。
【解決手段】変位センサシステムは、受光信号に基づき指定された少なくとも１つの領域について、当該領域内において受光量がピークを示す画素であるピーク画素が複数存在する場合、当該複数のピーク画素の中からいずれかを、選択画素として選択するピーク選択部と、上記少なくとも１つの領域について、ピーク選択部で選択された選択画素からの受光信号に基づき投受光感度を設定する感度設定部と、各領域内の走査線の受光信号を、当該領域に対応する投受光感度下で前記受光処理部に取り出させ、その取り出された受光信号に応じた検出処理を実行する受光制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】記録紙の種類を詳細に判別することのできる小型の光学センサを低コストで提供する。
【解決手段】第１の偏光方向の直線偏光の光を、記録媒体に照射する光照射系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において正反射された光を検出する正反射光検出系と、前記光照射系より照射された光のうち、前記記録媒体において拡散反射された光を検出する前記第１の偏光方向に直交する第２の偏光方向の光を透過する光学素子を備えた拡散反射光検出系と、を有する測定系を複数有していることを特徴とする光学センサを提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置であって、光の波長による、計測対象物の変位を計測する精度の変動を抑えた共焦点計測装置を提供する。
【解決手段】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置である。共焦点計測装置１００は、白色ＬＥＤ２１と、白色ＬＥＤ２１から出射する光に、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズ１と、回折レンズ１より計測対象物２００側に配置され、回折レンズ１で色収差を生じさせた光を計測対象物２００に集光する対物レンズ２と、対物レンズ２で集光した光のうち、計測対象物２００において合焦する光を通過させるピンホールと、ピンホールを通過した光の波長を測定する波長測定部とを備えている。回折レンズ１の焦点距離は、回折レンズ１から対物レンズ２までの距離と、対物レンズ２の焦点距離との差より大きい。 （もっと読む）

【課題】改良されたレベルセンサを提供する。
【解決手段】レベルセンサはリソグラフィ装置において基板表面高さを測定する。レベルセンサには、検出用の放射を基板に発する光源と、基板から反射された放射を測定するための検出器ユニットと、が設けられている。光源は、リソグラフィ装置において基板を処理するために使用されるレジストが反応する波長域の検出用放射を発する。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 シリンドリカルレンズ５９が、ガラス管Ｇに出射されるレーザ光をＹ軸線方向に集光させて、ガラス管ＧにＸ軸線方向に延びたライン状のレーザ光を照射する。Ｙ軸方向サーボ回路１１９は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸方向エラー信号生成回路１１８によって検出されたＹ軸方向エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に照射されるようにガルバノミラー５６を回転駆動するモータ５７をサーボ制御する。また、Ｙ軸周り角度サーボ回路１２２は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸周り角度エラー信号生成回路１２１によって検出されたＹ軸周り角度エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に垂直に照射されるようにガルバノミラー５４を回転駆動するモータ５５をサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小型な構成で対象物の位置を検出することができる光学式検出装置、表示システム及び情報処理システム等を提供すること。
【解決手段】光学式検出装置１００は、照射光ＬＴを出射する照射部ＥＵと、照射光ＬＴが検出エリアＲＤＥＴに存在する対象物ＯＢに反射されることによる反射光ＬＲを受光する受光部ＲＵと、受光部ＲＵの受光結果に基づいて対象物ＯＢの位置情報を検出する検出部１１０とを含む。照射部ＥＵは、照射部ＥＵの一端から検出エリアＲＤＥＴに対して出射される第１の照射光と、照射部ＥＵの他端から検出エリアＲＤＥＴに対して出射される第２の照射光と、照射部ＥＵの一端と他端との中間部から検出エリアＲＤＥＴに対して出射される第３の照射光とがそれぞれに交差し、且つ、第１、第２、及び第３の照射光のそれぞれの強度が異なるように、照射光ＬＴを出射する。 （もっと読む）

【課題】受光素子に対する電気ノイズに対する影響を阻止することにより、誤検出の発生を防止することのできる光学式位置検出装置、および当該光学式位置検出装置を備えた入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置において、受光部１３は、検出光が放射状に出射された検出対象空間に位置する対象物体で反射した検出光を受光する。受光部１３には、受光素子１３０の受光面１３１を部分的に覆うシールド部材１４が設けられている。シールド部材１４において、入射部１４０は、受光面１３１に対する法線方向から一方側および反対側に傾くに伴って幅広になっている。従って、受光素子１３０での受光強度は、受光面１３１に対する法線方向から入射した検出光と、受光面１３１に対する法線方向から傾いた斜め方向から入射した検出光とにおいて差が小さい。 （もっと読む）

【課題】広い範囲にわたって対象物体の三次元的な位置を光学的に検出することのできる光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、光源部１２が検出光Ｌ２をＸＹ面に沿って放射状に出射した際、第１受光部１３は、検出対象空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂで反射された検出光Ｌ２を受光し、第１受光部１３での受光強度に基づいて対象物体ＯｂのＸＹ座標データを検出する。第１受光部１３に対してＺ軸方向で離間する位置には第２受光部１４が設けられ、かかる第２受光部１４も、対象物体Ｏｂで反射された検出光Ｌ２を受光する。その際、第１受光部１３での受光強度と、第２受光部１４での受光強度との差や比等の比較結果は、対象物体ＯｂのＺ軸方向の位置によって変化するので、かかる比較結果に基づいて対象物体ＯｂのＺ軸方向の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】検出光が対象物体以外の物体で反射して受光部に入射することに起因する検出誤差の発生を防止することのできる位置検出装置、該位置検出装置を備えた入力機能付き表示システム、および位置検出方法を提供すること。
【解決手段】位置検出装置１０において、位置検出の際、受光部１３は、対象物体Ｏｂで反射した検出光Ｌ２を受光するとともに、検出光Ｌ２が対象物体以外の物体Ｓｂで反射した検出光（迷光Ｌ５）も受光する。ここで、迷光Ｌ５の強度は、検出光Ｌ２の強度に比例する。そこで、検出対象空間１０Ｒを介さずに受光部１３に入射する補償光Ｌ４を出射する補償用光源部１４を設け、検出光Ｌ２の強度を増大させたときには、補償光Ｌ４の強度を低減し、検出光Ｌ２の強度を低減させたときには、補償光Ｌ４の強度を増大させる。 （もっと読む）

【課題】受光部に対する電気ノイズに対する影響を阻止することにより、誤検出の発生を防止することのできる光学式位置検出装置、および当該光学式位置検出装置を備えた入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、制御用ＩＣ７０が第１駆動ライン１２５Ａおよび第２駆動ライン１２５Ｂを介して光源部１２に高周波数の駆動パルスを順次供給すると、光源部１２からは検出光Ｌ２が放射状に出射される。その際、受光部１３は、検出光Ｌ２が出射された検出対象空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂで反射した検出光Ｌ２を受光する。光学式位置検出装置１０には、受光部１３を複数の光源１２０、駆動ライン（第１駆動ライン１２５Ａ、第２駆動ライン１２５Ｂ）、および制御用ＩＣ７０から電気的にシールドするシールド部材１６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】広い範囲にわたって対象物体の位置を光学的に検出することのできる光学式位置検出装置、およびかかる光学式位置検出装置を備えた入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、光源部１２は、検出光Ｌ２を放射状に出射するとともに、検出光Ｌ２の放射角度範囲において一方側から他方側に向かって強度が変化する光強度分布を形成し、受光部１３は、光強度分布が形成された検出対象空間１０Ｒに位置する対象物体Ｏｂで反射した検出光Ｌ２を受光する。光源部１２では、フレキシブル配線基板１８１を利用して、発光素子１２０が位置する角度方向には発光素子１２０と受光部１３との間に遮光部１８５が設けられており、発光素子１２０の間に透光部１８６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】計測対象物体の形状を高速かつ高精度に計測する装置を提供する。
【解決手段】計測対象物体２１の形状を計測する装置であって、光源用基板３２と、該光源用基板３２上に配置された複数の格子投影用ＬＥＤ３３とを有する格子投影用光源３１と、１次元格子が描かれた格子面を含む、光源用基板３２に平行に配置された格子プレート３４とを有する格子投影部３０と、１次元格子が投影された計測対象物体２１を撮影する撮影部１１と、撮影された画像に対して位相解析処理を施して、計測対象物体２１の形状を求める解析制御装置１２とを備え、複数の格子投影用ＬＥＤ３２の各々の光軸が、光源用基板３２の法線に対して、計測対象物体２１側に傾斜していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の検出対象物の位置をそれぞれ検出することができる光学式の位置検出システムを提供する。
【解決手段】光学式の位置検出システム１０００は、第１検出対象物３１と第２検出対象物３２とに向けて光を射出する光射出部２０と、波長の異なる第１検出対象物３１からの第１反射光４１を受光する第１受光部５１と第２検出対象物３２からの第２反射光４２を受光する第２受光部５２を有し、前記第１検出対象物３１は前記第１反射光４１を反射する第１反射フィルター６１を有し、前記第２検出対象物３２は前記第２反射光４２を反射する第２反射フィルター６２を有する。 （もっと読む）

【課題】検査に適切な明るさやコントラストの画像を取得し、膜厚むら検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された基板を一方向に移動させながら、基板に形成された皮膜の膜厚むらを検査する装置及び方法であって、皮膜の厚みを検出する膜厚検出部を備え、光源部は、撮像部側に配置された反射照明部３ａと、基板を挟んで撮像部に対向する位置に配置された透過照明部３ｂを備え、撮像部４は基板との相対角度を調節する撮像部角度調整手段を備え、反射照明部は反射照明部と基板との相対角度を調節する反射照明角度調整手段を備え、透過照明部は透過照明部と基板との相対角度を調節する透過照明角度調整手段を備え、膜厚検出部からの膜厚情報に基づき、反射照明角度調節手段及び透過照明角度調整手段を制御し、反射照明の光量及び透過照明の光量を調節する制御部を備えたことを特徴とする膜厚むら検査装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】 透光性板状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガラス板Ｇの表面及び裏面で反射させて、反射光をラインセンサ５５に導いてガラス板Ｇの厚さを測定する。測定用レーザ光は、Ｙ軸線回りに回転可能なガルバノミラー４５及びＸ軸線周りに回転可能なガルバノミラー５１を介してガラス板Ｇに照射される。サーボ用レーザ光も、ガルバノミラー４５，５１を介してガラス板Ｇに照射され、反射光はガルバノミラー４５，５１を介して４分割フォトディテクタ６６に導かれる。４分割フォトディテクタ６６により、ガラス板Ｇの表面のＸ軸及びＹ軸線回りの傾きが検出され、この傾きに応じてガルバノミラー４５，５１を駆動するサーボ制御により、測定用レーザ光をガラス板Ｇに対して常に一定方向から入射させる。 （もっと読む）