【課題】検出光が対象物体で反射した光を受光した結果に基づいて対象物体の傾きを検出
することのできる光学式センサー装置を提供すること。
【解決手段】光学式センサー装置１０において、検出用光源１２が検出光Ｌ２を出射した
際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を検出
する。光源駆動部１４は、複数の検出用光源１２を第１出射強度をもって順次点灯させる
第１モード、および複数の検出用光源１２を第１出射強度よりも大の第２出射強度をもっ
て順次点灯させる第２モードを行ない、その間、光検出器３０は、対象物体Ｏｂで反射し
た検出光Ｌ３を受光する。従って、監視部５０は、対象物体Ｏｂの異なる範囲で反射した
検出光Ｌ３の２つの受光結果を用いて対象物体Ｏｂの傾きを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】卵の気室位置が鈍端中央からどの程度ずれているかといった、ワクチン製造に係る卵へのウイルス接種や卵の漿尿液採取に必要な、精度の高い気室位置の情報を得る。
【解決手段】検査ユニット８ａの集光部２を卵５に密着させ、光源１１，１３から可視光を順次照射する。光源１１，１３から照射された光の一部は卵５の内部へ入射し、集光部２と卵５が接触する範囲の内側から放射されるので、集光部２と卵５が接触する範囲の内側から放射された光を光電変換部１で受光して受光電圧に変換する。判定演算部は、それぞれの受光電圧の値から気室６の位置の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 検出物までの距離、位置を検出する物体検出装置の提供
【解決手段】 投光素子ＬＥ（ｓ，ｔ）が検知光を投光しているとする。このときに、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ）、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋１）、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋２）、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋３）を、順次、作動させる。例えば、投光素子ＬＥ（ｓ，ｔ）が検知光を投光しているときに、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋３）が反射光を受光したとすると、物体が位置ｃ４付近にあると判断できる。投光素子ＬＥ（ｓ，ｔ）から投光方向ｌ１に向かって投光された検知光が、位置ｃ４付近に存在する物体によって反射され、その反射光が受光方向ｒ４に向かって進行し、受光素子ＲＥ（ｓ，ｔ＋３）によって受光されたと考えられるからである。
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【課題】アイセーフ波長のレーザ光を用いて低コストかつ高精度に距離を測定する。
【解決手段】レーザ光源２４からのアイセーフ波長のレーザ光は、ポリゴンミラー２１により走査されつつ測定対象に照射される。測定対象からの光はＧＬＶ３２へと導かれ、ＧＬＶ３２からの回折光が光検出器３５にて受光される。光検出器３５は単一のフォトダイオードを備える。ＧＬＶ３２からは可干渉性の強い光のみが光検出器３５へと導かれるため、レーザ光に由来する光のみが光検出器３５にて検出される。ＧＬＶ３２において回折光を出射する領域を移動することにより、レーザ光に由来する光の入射位置が求められる。これにより、背景光の影響を受けることなく精度よく距離を測定することができる。また、単一のフォトダイオードを用いることにより、アイセーフ波長の光を低コストにて検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 回路パターンからの散乱光の影響を抑えた方向から照明光の照射を行うことで、基板の端部近傍の欠陥検査をより正確に行うことができる検査装置を提供する。
【解決手段】 表面に回路パターンが形成されたウェハ１０の端部近傍に対して、複数の方向から照明光の照射が可能な照明部３０と、前記照明光が照射されたウェハ１０の端部近傍の前記回路パターンからの散乱光を検出する撮像部４０と、撮像部４０を用いて検出された前記回路パターンからの散乱光に基づき、ウェハ１０の端部近傍の検査を行う検査部８０と、各種制御を行う制御部６０とを有し、制御部６０は検査時に前記回路パターンに対して照明部３０により照射する照明光の照射方向を照射可能な複数の方向から選択する。 （もっと読む）

【課題】 微小な凹凸に加えて周期と変動量の大きな凹凸が存在する測定対象物の表面粗さも検出できるようにする。
【解決手段】 測定対象物ＯＢの表面上を接触しながら移動するスライダ４４に対物レンズ３０５を配置するとともに、スライダ４４をプローブ４０によって光学ヘッド本体３０に弾性的に支持する。レーザ光源３０１からのレーザ光を対物レンズ３０５により集光させて測定対象物ＯＢの表面に照射し、測定対象物ＯＢの表面からの反射光をフォトディテクタ３０８で受光して、フォーカスエラー信号を生成する。フォーカスエラー信号を用いてレーザ光の焦点位置から測定対象物ＯＢの表面位置までの距離に応じて変化する距離を計算して、前記計算した距離に、スライダ４４の光学ヘッド本体３０に対する相対位置の変動量を加味して測定対象物ＯＢの表面の基準面に対する凹凸の大きさを計算する。 （もっと読む）

【課題】その配置位置を容易に特定できるノード装置を提供する。
【解決手段】ホスト装置が発行する命令を表す電波を受信する受信部と、前記命令に応答して光を、前記ホスト装置に結合された撮像装置に送る発光部と、前記発光部を制御する制御部と、取得した物理状態を表す情報を出力するセンサと、前記情報を表す電波を前記ホスト装置に送信する送信部とを備える。 （もっと読む）

【課題】２つの空間に位置する対象物体の各々の位置を検出することのできる光学式位置検出装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０には、Ｚ軸方向の一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に向けて第１検出光Ｌ１を出射する第１位置検出用光源１２１と、Ｚ軸方向の他方側Ｚ２から一方側Ｚ１に向けて第２検出光Ｌ２を出射する第２位置検出用光源１２２とが配置されている。このため、第１位置検出用光源１２１がＺ軸方向の他方側Ｚ２に向けて第１検出光Ｌ１を出射した際、第１空間１０Ｒ１に位置する対象物体Ｏｂで反射した第１検出光Ｌ１は光検出器３０の第１受光素子３１で受光される。また、第２位置検出用光源１２２がＺ軸方向の一方側Ｚ１に向けて第２検出光Ｌ２を出射した際、第２空間１０Ｒ２に位置する対象物体Ｏｂ２で反射した第２検出光Ｌ２は光検出器３０の第２受光素子３２で受光される。 （もっと読む）

【課題】簡素な回路構成で第１光源と第２光源とを交互に点灯させることのできる光学式位置検出装置、およびかかる光学式位置検出装置を備えた位置検出機能付き表示装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０の位置検出用光源装置１１では、発光素子１２Ａ（第１光源）と発光素子１２Ｂ（第２光源）とが直列に電気的接続されて光源対１２１を構成しており、かかる光源対１２１の両端には定電圧が印加されている。光源駆動回路１４は、発光素子１２Ａと発光素子１２Ｂとの電気的接続個所にパルス信号Ｖ１を印加する。このため、パルス信号Ｖ１に連動して、発光素子１２Ａに印加される電圧、および発光素子１２Ｂに印加される電圧が変化するので、１つの信号Ｖ１（パルス信号）のみで発光素子１２Ａと発光素子１２Ｂとを交互に点灯させることができる。 （もっと読む）

【課題】エッジ検出動作（装置の稼動）を中断することなく、貼り合わせウエハの製造プロセス全体にわたって必要とされるエッジ検出精度を確保することが可能なウエハアライメント装置を提供する。
【解決手段】このウエハアライメント装置１００は、シリコンウエハ１１１とウエハ支持ガラス基板１１２とを含む貼り合わせウエハ１１０のエッジを検出するとともに、開始端２１ａが貼り合わせウエハ１１０の中心側に設定されたラインセンサ２１と、ラインセンサ２１に対向する光源２２と、貼り合わせウエハ１１０のエッジの検出時に、ラインセンサ２１を貼り合わせウエハ１１０の中心側からエッジ側に向かって走査するとともに、所定の場合に、シリコンウエハ１１１のエッジ検出と、ウエハ支持ガラス基板１１２のエッジ検出とを切り替えるように制御するコントローラ４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】表面に透明薄膜が形成された基板等の試料において、透明薄膜の上面の微小な異物、キズ等の欠陥を高感度且つ高速に検査することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の欠陥検査装置によると、照明光学系は、試料の表面の法線に対して所定の入射角を有する検査用照明光を試料表面に照射し、試料表面にスリット状のビームスポットを生成する。試料の表面に対して所定の傾斜角にて傾斜した光軸を有する斜方検出系と試料の表面の法線に沿った光軸を有する上方検出系によって、ビームスポットからの光を検出する。斜方検出系と上方検出系の出力によって、試料の表面の透明薄膜上の欠陥を検出する。検査用照明光の入射角は、試料の表面の透明薄膜下面にて反射した反射光が透明薄膜上面にて全反射するときの入射角より僅かに小さい角度である。 （もっと読む）

【課題】トナーパターンのトナー濃度や位置を、より高精度に検出できる反射型光学センサを提供する。
【解決手段】発光部Ｅ１〜Ｅ９を配列した照明系と、受光部Ｄ１〜Ｄ９を配列された受光系と、共に平凸形状の照射用マイクロレンズアレイＬＥ１〜ＬＥ９および受光用マイクロレンズアレイＬＤ１〜ＬＤ９とを有し、照射用マイクロレンズの光軸は、対応する発光部Ｅ１〜Ｅ９の中心を通り発光部に垂直な発光部軸に平行で、この発光部軸に対して受光系側へ所定距離ずれ、各受光用マイクロレンズＬＤ１〜ＬＤ９の光軸は、対応する受光部の中心を通り受光部に垂直な受光部軸に対して平行で、受光部軸に対して、照明系に近づく側もしくは遠ざかる側にずれており、照射用マイクロレンズと受光用マイクロレンズとは、レンズ面積、レンズ面曲率半径、レンズ肉厚が、何れも互いに異なり、受光用マイクロレンズのレンズ面積が照射用マイクロレンズのレンズ面積より大きい。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出に適した画像を取得することを目的とする。
【解決手段】被検査物の検査対象領域に照明光を照射し、検査対象領域の基準画像を基準となる基準撮像条件に従って取得し、基準画像をクラスタリング処理して複数のクラスタに分割し、各クラスタが所定の条件に合致するかを判定し、各クラスタが所定の条件に合致しない場合に、所定の条件に合致しないクラスタの撮像条件を変更し、所定の条件に合致しないクラスタの画像を変更された撮像条件に従って取得し、全てのクラスタが所定の条件に合致するまで撮像条件の変更及びクラスタの画像の取得を繰り返し、全てのクラスタが所定の条件に合致すると判定された場合に、所定の条件に合致した各クラスタの画像を合成して検査対象領域の合成画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の半導体チップ接合傾きを効率的かつ正確に測定する装置及び方法を提供すること。
【解決手段】基板に半導体チップを実装した半導体装置の接合部傾き測定装置であって、該半導体装置を測定のために搭載する検査ステージ部と、該半導体装置に可視光線を照射するための照明部と、該基板と該半導体チップの接合部を側面から撮像するためのカメラと、端面検出部と配置計測部とを含む画像計測部と、を含み、該端面検出部は該カメラにより撮像された入力画像から半導体チップ側面部分および該基板のレジスト面に反射された該半導体チップ側面部分の反射画像を画像処理にて検出し、該配置計測部は該端面検出部により検出された該半導体チップ側面部分及び該半導体チップ側面部分の反射画像をもとに該半導体チップ側面部分の下端部の該基板レジスト面に対する傾きを測定する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成にて目標領域の情報を精度よく取得できる情報取得装置およびこれを搭載する物体検出装置を提供する。
【解決手段】情報取得装置１は、波長８３０ｎｍ程度のレーザ光を出射するレーザ光源１１１と、レーザ光を前記目標領域に向けて投射する投射光学系１０と、前記目標領域からの反射光を受光して信号を出力するＣＭＯＳイメージセンサ１２５とを有する。レーザ光が出射されたときにＣＭＯＳイメージセンサ１２５から出力される第１の撮像データから、レーザ光が出射されていないときにＣＭＯＳイメージセンサ１２５から出力される第２の撮像データが減算され、減算結果が、メモリ２５に記憶される。３次元距離演算部２１ｃは、メモリ２５に記憶された減算結果に基づいて、３次元距離情報を演算し取得する。 （もっと読む）

【課題】小型で広い範囲の曲率を精度よく測定できる曲率測定装置を提供する。
【解決手段】被検査体３を載置台５に載置し、レーザ発光器１０により発光されたビーム光をポリゴンミラー２２で等角速度走査し、ｆθレンズ５０を介して、被検査体３表面を走査する。被検査体３表面から反射されたレーザ光をシリンドリカルレンズ６０で集光し、載置台５の一点から等距離で、互いの距離が一定である位置に配置され、被検査体３から反射されるビーム光を検出する２つのビーム光検出センサ（第１及び第２レーザ光検出センサ３０，３２）でレーザ光を検出した時間差及び２つのビーム光検出センサ３０，３２の間の距離ｄ２、被検査体３表面からの距離Ｌに基づいて、被検査体３の表面の曲率を算出する。 （もっと読む）

【課題】受光信号に基づく認識形状と対象物の実形状との相違により、対象物の変位測定の精度が低下することを抑制することが可能な二次元変位センサを提供する。
【解決手段】二次元変位センサ１は、ユーザが、認識形状Ｍ２が表示された前記表示部の表示画面内で対象物の対象領域を指定可能な指定部３７と、その対象領域に対応する二次元撮像部１５の撮像面上の領域内の画素からの受光信号に基づいて対象物の変位測定を行う変位測定部３３と、を備え、二次元撮像部からの受光信号に基づき、認識形状のうち、対象物において測定方向に直交する方向に沿った直線部分に相当する直線領域Ｎを抽出し、表示画面内において直線領域を、認識形状の他の領域と区別可能に表示させる。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＯＳセンサーによる撮像時に、投影照明と回転シャッタとの同期を取る。
【解決手段】画像形成装置は照明組立体を有し、照明組立体は、複数の放射源と投影光学系を有し、放射源から視覚野の異なるそれぞれの領域の上へ放射を投影するように構成される。画像形成組立体は、画像センサ上に視覚野の光学的画像を形成するように構成された、画像センサと対物光学系を有し、画像センサは、多重のグループ内に配置されたセンサ要素の１配列を有し、画像センサは、視覚野の電子画像を形成するため、回転シャッタによりトリガーされて、連続するそれぞれの露出期間において、視覚野の異なるそれぞれの区域からの放射を獲得する。制御装置は、照明組立体が視覚野の異なるそれぞれの区域を前記回転シャッタと同期して照明するために、放射源をパルスモードで順次活性化するように接続される。 （もっと読む）

【課題】コントローラの位置や向きが取りうる範囲を簡易に推定するのに好適な領域推定装置、領域推定方法、ならびに、プログラムを提供する。
【解決手段】センサーバーは、無指向に赤外線を発光する少なくとも２つの無指向性発光部２０１を所定の間隔で備え、その外側に所定の距離だけ離れた位置に、指向性を持って赤外線を発光する指向性発光部２０４を少なくとも１つずつ備える。コントローラ２０２は、赤外線を検知するセンサを備え、検知された赤外線の光源と、検知された赤外線の位置とから、センサーバーに対するコントローラ２０２の配置される位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】近接する物体の検出精度の向上を図ることが出来る電子機器を実現する。
【解決手段】検出距離チューニングプログラム２００ａによるチューニング処理は、本コンピュータ１０の前にユーザが実際に存在している状態で実行される。このチューニング処理では、検出距離チューニングプログラム２００ａは、近接センサ２５から放出される光の強度を変化させながら近接センサ２５の出力信号を監視する。そして、検出距離チューニングプログラム２００ａは、この監視結果に基づいて、放出される光の強度を、現在のコンピュータ１０とユーザとの間の距離に適した値に調整する。 （もっと読む）