【課題】画像処理によらず、測定位置を適切に調整することができるエッチングモニタリング装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るエッチングモニタリング装置は、光源１０から被処理基板Ｓ上に導入される入射スポット光の照射位置を移動させるための微小移動ステージ１６と、被処理基板Ｓ上を入射スポット光の光径以下の間隔で走査した照射位置の各々に対し、CCDラインセンサ１８により取得される検出信号から干渉成分の強度を取得する干渉強度取得部２５と、干渉強度取得部２５により取得された干渉成分の強度に基づき、その強度が最大となる被処理基板Ｓ上の位置を探索し、その位置をエッチング深さの測定位置とするよう照射位置を移動させる測定位置決定部２６と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駅ホーム上でホーム縁に沿って旅客がホームと連射との間に転落した事故が生じた時に、これを高い精度で迅速かつ確実に自動的に検知することができるホーム転落検知システムを提供する。
【解決手段】ホーム転落検知システムは、列車が入線する駅ホームのホーム縁に沿って当該ホーム縁の上方位置に設置され、所定の時間間隔で設定された計測時刻毎に、それぞれ設定された検知エリアに係る検知画像を出力する複数のＭＥＭＳセンサＳＥ１〜ＳＥｎと、複数のＭＥＭＳセンサの各々が出力する検知画像に基づき旅客像に係るデータを記憶するステイタスメモリ４１と、ステイタスメモリに記憶された旅客像に係るデータに基づき旅客像の存在の有無に係るデータを取得し、このデータと判定用データとを比較して一致するか否かを判定し、一致するときに旅客のホーム転落状態が発生したと判定するホーム転落判定部５２とを備える。 （もっと読む）

【課題】死角の無いコブ検査を小型軽量で安価な線条体検査装置により実現する。
【解決手段】割れダイス１５の上部１５ｂは、下部１５ａの上に載置されている。割れダイス１５の丸孔１７には、検査対象の線条体が挿通される。割れダイス１５の上には、ホルダ１９が載置される。ホルダ１９の反射面２１は、反射型フォトインタラプタ２３の投光２５が投光した光を反射する面である。反射光は、受光部２７で受光され、光レベル判定部３３でレベルが判定される。所定以上の長径を有する線条体のコブが丸孔１７を通過しようとすると、ホルダ１９及び割れダイス１５の上部１５ａが弾き飛ばされ、受光部２７の受光レベルが低下する。受光レベルの低下は、光レベル判定部３３で判定され、警報装置３１が所定以上の長径を有するコブを検出したとして警報を発する。 （もっと読む）

【課題】本発明では、正確に測定対象平面を検出すると共に、測定時間の短縮が可能な共焦点顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【解決手段】観察試料８の観察面に光を集束する少なくとも１つの対物レンズ７と、観察試料８と対物レンズ７との距離を所定間隔で変化させるＺレボルバ１６と、観察試料８と対物レンズ７との距離に応じて所定間隔を設定する測定条件情報指示部１９と、設定された所定間隔で上記距離を変化させるようにＺレボルバ１６を駆動制御するＺ駆動制御部２２と、観察面からの反射光を検出する光検出器１２と、上記所定間隔の距離毎に観察面上に光を二次元走査して光検出器１２で検出される検出信号により平面画像を生成し、生成された複数の平面画像を用いて三次元画像を生成するコントローラ２を有する共焦点顕微鏡装置１００により、上記課題の解決を図る。 （もっと読む）

【課題】 同一の測定対象物について、干渉反射光の光強度分布を繰り返し取得することにより、高精度の膜厚測定を行う干渉膜厚計を提供する。
【解決手段】 検出光を生成する光源と、検出光の参照面による反射光及び測定対象物による反射光からなる干渉反射光Ｌ３を生成する干渉光学系と、干渉反射光Ｌ３を分光する分光手段と、分光された干渉反射光Ｌ３を検出し、波長ごとの光強度分布を取得する光強度分布取得手段と、光強度分布に基づく特性曲線について、空間周波数ごとの特性強度分布を求める特性強度分布算出手段と、タイミングを異ならせて取得した２以上の光強度分布からそれぞれ求められた２以上の特性強度分布を合成する特性強度合成手段と、合成後の特性強度分布に含まれる２以上のピークの空間周波数に基づいて、測定対象物の膜厚を算出する膜厚算出手段により構成される。 （もっと読む）

【課題】半導体処理中のオンザフライ自動検出分類（ＡＤＣ）システムおよび方法を提供する。
【解決手段】このシステムの一実施形態において、光源、例えば、レーザ（２１）が検査を受けるウェーハ（２２）の狭い領域を照明する。４つの均等に配置した暗視野検出器、例えば、光電子増倍管またはＣＣＤ（２６〜２９）が、それぞれの視野が重複して検出ゾーンを形成するようにウェーハの縁に載置される。１以上の検出器（２６〜２９）の方向に散乱された光が集光され、アナライザモジュール（３４）に伝送される電気信号に変換される。アナライザモジュール（３４）は、ウェーハにある欠陥を検出し、それらを異なる欠陥タイプに分類するように作用する。任意に、システムは、暗視野検出器も含む。 （もっと読む）

【課題】繰り返しパターンの線幅を測定可能であるとともに、繰り返しパターンの下層部の状態を検出可能な表面検査方法および装置を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ（Ｓ１０４）と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ（Ｓ１０５）と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ（Ｓ１０６）と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅および繰り返しパターンの下層部の状態を求める演算ステップ（Ｓ１０７）とを有し、演算ステップでは、瞳面において線幅との相関が高い線幅感応瞳内位置での階調値から線幅を求めるとともに、線幅変化の影響を受けない線幅不感応瞳内位置での階調値から繰り返しパターンの下層部の状態を求める。 （もっと読む）

【課題】高精度な面形状計測に有利な面形状計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、基準点を通過し被検面で反射し基準点に戻る被検光と参照光との干渉波を検出する検出器を含む計測ヘッドと、計測ヘッドを走査する走査機構と、検出された干渉波に基づき被検面の形状を算出する処理部とを備える。処理部は、検出された干渉波から参照光と被検光との間の光路長差を算出し、被検面の形状のノミナル値と計測ヘッド内の光学部品の光学情報とに基づき、検出器における被検光の被検波面及び参照光の参照波面を光学演算により算出し、算出した被検波面及び参照波面から被検光と参照光との間の波面差を算出し、当該波面差から該波面差による位相誤差を算出し、算出した光路長差を算出した位相誤差に基づき補正し、当該光路長差に基づき基準点と被検面との間の距離を算出し、算出した基準点と被検面との間の距離と基準点の座標とに基づき被検面の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】単一ビームや単針を走査する方法と比べて短時間にパターンを検査することができるパターン形成部材の検査方法及び装置、並びにパターン形成部材を提供する。
【解決手段】被転写材料に転写すべきパターン３とプラズモン共鳴構造体４とを有するパターン形成部材１を準備し、プラズモン共鳴構造体４に光を照射してプラズモン共鳴構造体４のプラズモン共鳴の吸収特性を計測し、吸収特性に基づいてパターン３を検査する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の点群データからその特徴を抽出し、対象物の輪郭に係るデータを自動的かつ短時間に生成する技術を提供する。
【解決手段】測定対象物の二次画像と、この二次元画像を構成する複数の点の三次元座標データとを関連付けた点群データの中から、演算の負担の大きい非面領域に係る点群データ除去する非面領域除去部１０１と、非面領域のデータが除去された後の点群データに対して、面を指定するラベルを付与する面ラベリング部１０２と、ラベルが付与された面から連続した局所領域に基づく局所平面を利用して、対象物の輪郭線を算出する輪郭線算出部１０３と、精度を高めるために点群データの再取得の要求を行う点群データ再取得要求処理部１０６を備えている。 （もっと読む）

【課題】被写体の３次元位置を高速、かつ、安定的に算出する。
【解決手段】少なくとも２つの異なる視点から被写体１５０を撮像する撮像装置１００、１１０で撮像された被写体１５０の各画像の色情報に基づいて各画像を複数の領域に分割する領域分割手段と、各画像上に設定された走査線と、領域分割手段で分割された各画像の領域の境界線と、の交点の近傍の領域に基づいて、交点の特徴量を算出する交点特徴量算出手段と、交点特徴量算出手段で算出された交点の特徴量に基づいて各画像の間の対応点を求める対応付け手段３０００と、対応付け手段で求められた対応点の視点に対する３次元位置を算出する３次元位置算出手段４０００と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、エッジの変形、或いはコントラストの変動等に依らず、高精度にパターンマッチングを行うパターンマッチング方法，画像処理装置、及びコンピュータプログラムの提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、以下に設計データに基づいて形成されたテンプレートを用いて、画像上でパターンマッチングを実行するパターンマッチング方法、或いは装置であって、パターンの輪郭を定義する線分によって、区分けされる内側領域、及び／又は外側領域について、画像の特徴量を求め、当該特徴量が所定の条件を満たした位置をマッチング位置，マッチング位置候補、或いは誤ったマッチング位置と決定するパターンマッチング方法、及び装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】 表面実装部品がはんだ付けされた基板上をレーザ変位計で走査することによりはんだ付けされた表面実装部品の高さを効率良く高精度で測定し、虚報率を抑えながら表面実装部品の電極のはんだ付けを精度良く良否判定する。
【解決手段】 レーザ計測手段で計測された基板表面にはんだ付けされた個々の表面実装部品の変位量の最小高さと最大高さと、あらかじめ指定してデータベースに格納した前記表面実装部品の高さ範囲とはんだ材の厚み範囲とを照合し、前記表面実装部品のはんだ付け状態を論理判定する。 （もっと読む）

【課題】パターン投影三次元計測装置で境界の信頼度を精度よく算出する。
【解決手段】パターン光を対象物体に投影し、対象物体により反射された反射パターン光から対象物体の三次元形状情報を算出するための三次元計測装置であって、明部と暗部とが交互に配置された縞パターン光の反射パターン光を第１の画像データとして撮像し、当該縞パターン光の明部と暗部とが反転した逆縞パターン光の反射パターン光を第２の画像データとして撮像する撮像部と、第１画像データおよび第２の画像データに基づき、明部と暗部との境界位置を決定する決定部と、第１の画像データの第１の輝度勾配と、第２の画像データの第２の輝度勾配との相関から境界位置の正確性を示す信頼度を算出する信頼度算出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】カメラによって前記環境から捕捉した画像から特徴を抽出することによって、環境における３次元（３Ｄ）オブジェクトの３Ｄ姿勢が求められる。
【解決手段】前記特徴を前記環境の３Ｄモデルにマッチングして、対応を求める。前記対応を用いて、前記画像のカメラ基準系および前記環境のワールド基準系を対応する中間カメラ基準系および対応する中間ワールド基準系に変換する。前記中間カメラ基準系および前記中間ワールド基準系に幾何学的制約を適用して、制約付き中間ワールド基準系および制約付きワールド基準系を取得する。次に、前記制約付き中間ワールド基準系および前記制約付きワールド基準系のパラメーターから前記３Ｄ姿勢を求める。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、画像処理による位置決め測定方法の安全かつ簡便化と操作容易化を図り、画像位置決め測定装置の小型化・高精度化を図ったものである。
【解決手段】 顕微鏡、オートフォーカスユニット、門型のステージ計測ユニット６、パソコン、防振台、直動基準スケール、直動基準スケール治具、回転用基準スケール、回転用基準スケール治具で構成される画像位置決め測定装置を用いて、計測したい製品を門型のステージ計測ユニットに載置し、基準スケールと基準スケール治具をステージの上に置き、ステージを動かしながら基準スケール治具で基準スケールとステージの平行出しを行ない、基準スケールに記載されている目盛線のメモリーのピッチ間を画像処理により計測して基準寸法を決め、それに基づきステージの「位置決め精度」、「繰り返し位置決め精度」、「バックラッシュ」、「ＸＹ直交度」、「平行度」などの測定をし、測定項目ごとに画像処理により連動もしくは手動操作で計測を行なう画像位置決め測定方法。 （もっと読む）

【課題】車両等にターゲットなどを設けることなく、低価でかつ簡易な処理プログラムによって非接触で車両等の寸法を高精度に測定できるようにする。
【解決手段】車両の左右側面及び上面を含む外周面全体に渡って複数のレーザ光を間断のない線状となるように照射することによって、この照射箇所を線状光として認識することができるようになる。この線状光を光切断線としてカメラ装置などで検出することによって車両の外形寸法を測定するようにした。また、測定された車両の外形寸法が車両限界内にあるのか否かの判定を行なう。さらに、車両限界の超過箇所を視認可能に表示する。 （もっと読む）

【課題】光を用いて物体までの距離を測定した測定結果において、所定の対象物に関する測定結果を特定することを可能とすること。
【解決手段】物体までの距離を光の照射によって測定点毎に測定する測定装置であって、測定点毎の距離を表す距離情報と、測定点毎の受光量を表す受光量情報と、を取得する光学式距離測定部と、受光量情報において、光量が閾値を超える測定点を、光源方向に対して多くの入射光を反射する反射面を有する対象物に対応する測定点であると判定する対象判定部と、対象判定部によって判定された測定点の距離に基づいて、自装置の基準点を原点とするローカル座標系における対象物の位置を算出し、当該ローカル座標系における位置と、同一の対象物のグローバル座標系における位置とに基づいて、較正を行う較正ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】凹凸形状の測定精度の向上を図ることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状測定装置は、測定対象１の凹凸形状にライン光を照射する投光装置２と、前記投光装置２によって前記凹凸形状に形成される光切断線を撮像する撮像装置３と、前記凹凸形状の上底及び下底の各々で前記光切断線の幅が最小になるように前記投光装置２をその光出射軸方向４に移動させる駆動装置５と、前記撮像装置３によって撮像された、前記凹凸形状の上底で前記光切断線の幅が最小となる画像と、前記凹凸形状の下底で前記光切断線の幅が最小となる画像に基いて、前記凹凸形状の高さ又は深さを算出する処理装置６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ラックやピンホールなどの不良を確実に検出することができる検査方法および検査システムを提供する。
【解決手段】電解質と燃料極とからなるハーフセルＨＣの状態で、アルコール噴射器２により電解質に対してアルコールを噴射し、カメラ３によりアルコールが付着した電解質を撮像し、画像処理部４２によりカメラ３で生成された画像データに対して画像処理を行い、判定部４３により画像処理部４２の処理結果に基づいて電解質に不良が生じているか否かを判定する。これにより、クラックやピンホールなどの不良を確実に検出することができる。 （もっと読む）