【課題】測定対象物の位置を高精度に測定する測定装置を低コストで提供する。
【解決手段】変調部によって第１周波数で変調された基準光からデジタル基準信号を取得し、前記第１周波数で変調された光が照射された測定対象物から反射された測定光からデジタル測定信号を取得し、前記デジタル基準信号と前記デジタル測定信号とを処理して前記測定対象物の位置を測定する装置は、前記デジタル測定信号に前記デジタル基準信号と同期したサイン信号又はコサイン信号を乗算して、第２周波数および高調波の成分を有する信号をそれぞれ出力する第１および第２同期検波部と、前記第１又は第２同期検波部から出力された信号をデシメーション周波数でフィルタリングして前記高調波の成分を減衰させる第１および第２デシメーションフィルタと、前記第１および第２デシメーションフィルタから出力された信号に基づいて前記測定対象物の位置を演算する演算部とを備える。 （もっと読む）

【課題】スキャナを用いた形状測定システムにおいて、いわゆる手振れによる測定誤差を低減することをその目的とする。
【解決手段】形状測定システム１は、多関節アームの先端に取り付けられ、測定対象Ａに対し手動で移動可能であり、測定対象Ａに対しレーザ光を照射しその反射光を、光センサ６１の複数の受光ラインで順次検出するスキャナ２１と、スキャナ２１の手振れ情報を光センサ６１の受光ライン毎に取得する加速度センサ４２と、各受光ラインのスキャナ２１の手振れ情報に基づいて、受光ライン毎に画像の位置情報を補正する手振れ補正部８０と、スキャナ２１の画像情報と手振れ補正部８０で補正された画像の位置情報に基づいて、測定対象Ａの画像を生成する画像生成部１００と、を有する。 （もっと読む）

【課題】迅速に欠陥レビューを行うことができる欠陥レビュー装置及び欠陥レビュー方法を提供する。
【解決手段】電子ビーム３１を試料８の表面に照射し、試料８の表面の観察領域内で電子ビーム３１を走査させる電子鏡筒１と、電子ビーム３１の光軸周りに相互に９０°の角度を開けて配置された４つの電子検出器９ａ〜９ｄと、電子検出器９ａ〜９ｄの検出信号に基づいて、観察領域をそれぞれ異なる方向から写した複数の画像データを生成する信号処理部１１とを備えた欠陥レビュー装置１００において、観察領域のパターンがラインアンドスペースパターンである場合には、欠陥検査部１２によってラインパターンに平行であって電子ビーム３１を挟んで対抗する２方向からの画像データの差分をとった差分画像に基づいて、欠陥の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面の凹凸状態をパワースペクトルの全座標点データを用いて定量的に評価することができる表面評価装置を提供する。
【解決手段】ワーク表面の凹凸データに基づいてワーク表面を評価する表面評価装置１０において、前記ワーク表面の凹凸データをフーリエ変換してパワースペクトルを求める手段と、当該パワースペクトルを相互相関関数を用いて数値化する手段と、当該数値化された値の最大値を用いて前記ワーク表面の評価を行う手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】テーブル等の移動に伴う誤差を排除することができ、被測定物の形状を高精度に測定可能な手段を提供する。
【解決手段】形状測定装置ＬＭＳは、被測定物Ｗと第１、第２プローブ光とを相体移動させるワーク移動ユニット１０及びミラーユニット３０と、被測定物Ｗの測定面に照射位置が所定間隔離れた第１,第２プローブ光を照射するとともに、反射光の位置に応じた第１，第２受光信号を出力する光学入ニット２０と、これらの作動を制御する制御ユニット５０とを備える。制御ユニット５０は、測定面の測定部位を測定ラインに沿って前記所定間隔と同程度離間した位置に順次移動させ、各測定部位ごとに第１、第２プローブ光の照射位置の傾斜角度を算出させ、算出された複数の測定部位の傾斜角度情報に基づいて測定ラインに沿った測定面の形状を導出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】撮像装置の光軸方向に対して高低差がある検査対象の欠陥の寸法を正確に測定する。
【解決手段】平面座標取得部３０２は、画像データに含まれる検査対象の欠陥を示す画素の平面座標を取得する。空間座標変換部３０５は、平面座標取得部３０２が取得した平面座標を、仮想空間に配置された検査対象の外観を表す３次元モデルの表面と平面座標が示す点に対応する仮想空間上の直線との交点を示す空間座標に変換する。仮想寸法算出部３０７は、空間座標変換部３０５が変換した複数の空間座標を用いて仮想空間における前記欠陥の寸法を算出する。 （もっと読む）

【課題】適切な平滑化スプライン曲面を高速、かつ短時間で算出する。
【解決手段】３次元スキャナーからなるデータ値計測装置１と、サンプリング測度演算器４、平滑化演算器５および画像処理器６をそなえる計算機２と、処理した画像を表示する出力装置３を有する平面形状測定装置を用いて、被検体表面の平面形状を測定するに際し、平滑化演算器において、座標系（ｘ，ｙ）上に任意に分布するｍ個のサンプリング点と、各サンプリング点に対応した誤差を含むデータ値から曲面を求めるために平滑化スプライン法を用いるものとし、その際、ハット行列において逆行列計算の必要がない汎関数を極小化する曲面ｆ（ｘ，ｙ）を回帰曲面とする。 （もっと読む）

【課題】精度の高い測定結果を得る。
【解決手段】広帯域スペクトルを有する光源からの光を被測定対象と参照面とに導きその光路長差により干渉光強度分布画像を生成する光学系と、干渉光強度分布画像を撮像する撮像手段と、光路長差を変化させる光路長差変更手段と、干渉光強度分布画像から各測定位置における光軸方向の位置を求める演算手段とを備える。演算手段は、複数の信号発生手段と、その出力信号に重み付けをして出力する重み付け手段と、周期信号を加算して検出信号として出力する第１の信号加算手段と、直流信号と検出信号とを加算する第２の信号加算手段と、干渉強度列から第２の信号加算手段の出力を減算して誤差信号を出力する信号減算手段と、誤差信号から重み付け手段の重みを調整する適応アルゴリズム部とを有する適応信号処理ブロックと、検出信号のピーク位置を検出するピーク検出ブロックとを有する。 （もっと読む）

【課題】第１表面に対向する第２表面による反射像の影響を受けずに被評価物体の表面形状を精度よく評価することができるようにする。
【解決手段】評価装置は、評価対象である板ガラスなどの被評価物体３の表面３ａに映し出されたストライプパターン１を、ＣＣＤカメラ２によって撮像するように構成されている。ストライプパターン１は、光源の発光面に設けられている。また、被評価物体３の裏面３ｂには、屈折率が被評価物体３の屈折率に近い反射抑制層２０が、裏面３ｂに接するように配置されている。ＣＣＤカメラ２によって撮像された画像は、演算装置としてのコンピュータ４に取り込まれ、コンピュータ４によって画像解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】高精度な面形状計測に有利な面形状計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、基準点を通過し被検面で反射し基準点に戻る被検光と参照光との干渉波を検出する検出器を含む計測ヘッドと、計測ヘッドを走査する走査機構と、検出された干渉波に基づき被検面の形状を算出する処理部とを備える。処理部は、検出された干渉波から参照光と被検光との間の光路長差を算出し、被検面の形状のノミナル値と計測ヘッド内の光学部品の光学情報とに基づき、検出器における被検光の被検波面及び参照光の参照波面を光学演算により算出し、算出した被検波面及び参照波面から被検光と参照光との間の波面差を算出し、当該波面差から該波面差による位相誤差を算出し、算出した光路長差を算出した位相誤差に基づき補正し、当該光路長差に基づき基準点と被検面との間の距離を算出し、算出した基準点と被検面との間の距離と基準点の座標とに基づき被検面の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】塗工パターンの幅方向および搬送方向の測定の同時性を実現し、光軸方向の距離変動の影響も無くすことができる塗工パターンの測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】 シートに塗工された塗工パターンの形状測定方法において、
1）シートの搬送方向に直交して水平ラインの撮影方向に複数のカメラを並べ、前記シートを前記複数のカメラで撮影する工程、
2）撮影した映像の水平走査信号または垂直走査信号の少なくとも一方を水平走査に同期させ前記複数のカメラの水平走査信号を順次切り替えて画像処理手段に取り込む工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スリットレーザ光等を、回転体状の測定対象に照射し、測定対象からの反射光を撮影した二次元画像に基づいて、回転体状かつ表面が高い反射率を有する測定対象の欠陥を高精度に検出する欠陥検査装置を実現することを目的とする。
【解決手段】本発明は、回転または直線移動する測定対象にスリット光を照射する光源と、前記測定対象からの反射光を受光してその二次元画像を出力する受光部と、前記二次元画像に基づいて、前記反射光がそのスリット幅に相当する領域以外の領域に現れるか否かによって、前記測定対象の欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】対象物の反射率の影響などを低減して精度の高い検出ができる処理装置、光学式検出装置、表示装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】処理装置１００は、第１、第２の光源部ＬＳ１、ＬＳ２からの照射光ＬＴ１、ＬＴ２が対象物ＯＢに反射されることによる反射光ＬＲ１、ＬＲ２を受光する受光部ＲＵの受光結果に基づいて、第１、第２の光源部ＬＳ１、ＬＳ２の発光制御を行う制御部１１０と、発光制御を行うための発光電流制御情報に基づいて、第１、第２の光源部ＬＳ１、ＬＳ２に対する対象物ＯＢの位置関係を判定する判定部１２０とを含む。判定部１２０は、対象物ＯＢが検出領域に存在しない第１の期間での発光電流制御情報である第１期間用発光電流制御情報ＬＣＮｉｎｉｔと、対象物ＯＢが検出領域に存在する第２の期間での発光電流制御情報である第２期間用発光電流制御情報ＬＣＮｄｅｔとに基づいて、対象物ＯＢの位置関係を判定する。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法で立体形状を測定して行う被検査物の検査が低ノイズで効率良く行えるようにする。
【解決手段】通常状態で撮影を行う（ステップＳ１１）と共に、位相シフト法で立体形状を測定するために、格子縞を投光させた状態で撮影を行う（ステップＳ１２）。撮影して得た二次元画像から、被測定物の検査領域を特定する（ステップＳ１４）。そして、格子縞が投光された二次元画像から、特定した検査領域について立体形状を測定して、立体形状検査を行う（ステップＳ１５）。 （もっと読む）

【課題】自公転する回転台の上に置かれた被測定物の形状を精度良く測定することができる形状計測装置を提供する。
【解決手段】形状計測装置１は、回転台と、変位計測器３と、被測定物検出器４と、演算処理部５とを備え、演算処理部５は、高さ変位から、被測定物通過情報に基づいて、被測定物の高さ変位を抽出する被測定物変位抽出部６と、被測定物通過情報と、変位計測器３による被測定物上の計測点の軌道と、被測定物通過情報に基づく経過時間とに基づいて、変位計測器３による被測定物上の計測点を表す座標値を供給する座標供給部７と、被測定物変位抽出部６により抽出された被測定物の高さ変位と、座標供給部７により供給される座標値とを対応付けて記録する座標変位記録部８と、座標変位記録部９によって記録された被測定物の高さ変位から、回転台の機構に起因する回転台変位を分離して被測定物の形状を演算する形状演算部９とを含む。 （もっと読む）

【課題】計測点の位置の違いによる法線算出の誤差を可及的に小さくし、計測対象物の３次元形状を精度良く算出するための技術を提供する。
【解決手段】形状計測装置は、カメラ１で撮像を行うことにより得られた画像から、計測対象物４の表面上の複数の注目点について特徴量を算出し、記憶装置６２に予め記憶されているデータを参照して特徴量の値から法線の向きを算出し、その算出結果から計測対象物４の表面の３次元形状を復元する。ここで、記憶装置６２は、カメラ１の視野内に設定された複数の基準位置のそれぞれについて作成された複数のデータを記憶しており、注目点の位置に応じて参照するデータが切り替えられる。 （もっと読む）

【課題】画像中のオブジェクトの位置および回転角度の検出時間を削減する。
【解決手段】参照オブジェクトモデルを用いた投票により画像からオブジェクトを検出するオブジェクト検出装置において、オブジェクトモデルの代表点を中心としてオブジェクトモデルを所定の角度ずつ回転して得られる回転オブジェクトモデルそれぞれの特徴点の座標値を参照オブジェクトモデルとして記憶する記憶部２０と、画像の輪郭を抽出する輪郭抽出部３３と、記憶部２０から読み出した前記参照オブジェクトモデルの座標値と、前記画像の輪郭における点の座標値と、に基づき算出した座標値に対して投票を行ってその積算値である投票数を算出する投票数算出部３６と、算出した座標値から、投票数が所定の閾値を超える算出した座標値を抽出する位置抽出部３７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】風景画像認識技術を用いながらも、効率的な自車位置検出が可能な自車位置検出システムを提供する。
【解決手段】車両からの風景を撮影した撮影画像から画像特徴点を抽出することによって生成された画像特徴点データに対応撮影画像の撮影位置を関係付けた参照データ群を格納している参照データベースベース９２と、道路形状情報から推定自車位置における道路形状を判断し、当該道路形状と類似する道路形状が続く類似道路形状範囲を算定する道路形状評価部と、実撮影画像から抽出された画像特徴点からなるマッチング用データのマッチング相手としての参照データを参照データベースベース９２から抽出する際に類似道路形状範囲を用いて参照データを決定する抽出参照データ決定部と、マッチングした参照データに関係付けられた撮影位置に基づいて自車位置を決定する自車位置決定部が備えられている。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの広い演算器が不要な干渉型光ファイバーセンサーシステムを提供する。
【解決手段】物理量を検知するセンシングファイバー１１ａおよびリファレンスファイバーを有する干渉計と、前記物理量の測定信号３を含む干渉光３２ａを、電気信号に変換するＯ／Ｅ変換器３３と、前記電気信号から、正弦波成分および余弦波成分を抽出するＡＭ復調器５１ａ、５１ｂと、該正弦波成分および該余弦波成分を用いて逆正接演算を行い、前記測定信号を含む信号を出力する逆正接演算器５３と、前記逆正接演算器から出力された信号の所定時間毎の差分を算出し、該差分信号を出力する差分器６１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面に存在するソーマークなどの線状の凹凸について、短時間かつ容易に検査が可能であり、検査に対する振動の影響を低減できる技術を提供する。
【解決手段】半導体ウェハＷの表面の全域に光源装置２によって斜め方向から光を照射し、ＣＣＤカメラ４で半導体ウェハＷ全体を撮影する。これにより、半導体ウェハＷの各ポイントからの前記照射光の反射光または散乱光の強度を検出する。取得された光の２次元的な強度分布に基づいて、半導体ウェハＷの表面に生成されたソーマークなどの凹凸を検出し、またはその大きさを測定する。 （もっと読む）