【課題】従来は、白黒の標線マークをビデオカメラで撮像しているので、撮像素子間の補間計算まで行って測定分解能を高めることはできなかった。
【解決手段】標線マークＭ１には、Ｘ座標＝０を挟んで±πの範囲内に連続した黒色濃度分布が、上下対称に印刷されている。その対称軸は、標線Ｇ１と一致している。ビデオカメラ６で標線マークＭ１を撮影し、コンピュータ８により標線位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】より簡単に測定精度を向上させる。
【解決手段】測定部２１は、被検物１２にパタン光を投光し、被検物１２において反射したパタン光の観察画像を撮像する。撮像画像の撮像は、投光されるパタン光の焦点面Ｓと被検物１２との相対的な位置を変化させながら行われる。合焦測度算出部２３は、観察画像上のパタン光の像であるパタンについて、パタンの位置を示すパタン位置情報を生成するとともに、合焦測度を算出する。パタン移動角度算出部２４は、各パタンの焦点面Ｓごとの合焦測度およびパタン位置情報に基づいて、各パタンについて、パタン光の主光線のＣＣＤ４１への入射角度を、被検物１２の形状の測定結果の信頼度を示すパラメータとして算出する。本発明は、３次元形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】反射型波面整形手段を備えた波面測定光学系のアライメント調整を、自動化して高精度かつ短時間で行うことができるようにする。
【解決手段】撮像面２１Ｃ上において、ピンホールミラー１５Ａからの反射光からなる第１のスポット像と平面反射ミラー１７からの反射光からなる第２のスポット像とが互いに重なるようにピンホールミラー１５Ａの位置調整を行った後に、ピンホールミラー１５Ａを測定光軸Ｃ_１に沿って順次移動し、移動毎に撮像された画像の輝度積分値と移動位置と関係に基づき、ピンホールミラー１５Ａの最適位置を求める。その後、ピンホールミラー１５Ａからの反射光からなる光像が撮像面２１Ａの中心部に移動するように、ピンホールミラー１５Ａの傾きを調整する。 （もっと読む）

【課題】スポット特性測定を行う際の被検光学系の位置調整を、自動化して高精度かつ短時間で行うことができるようにする。
【解決手段】測定装置に対する被検光学系の位置を順次移動させ、移動毎に光ビームの画像を撮像し、画像全体の輝度積分値と画像内の各領域別の輝度積分値を求める。求められた画像全体の輝度積分値が第１の閾値以上となるか否かを判定する第１判定処理と、求められた各領域別の輝度積分値の大小を比較し、最大の輝度積分値と最小の輝度積分値との差が第２の閾値以上となるか否かを判定する第２判定処理とを行い、判定結果に応じて、散乱光パターンに基づく第１の移動処理と輝度積分値に基づく第２の移動処理とを行う。 （もっと読む）

【課題】比較的演算能力の低い素子でも移動式光切断法による形状測定において高速な光切断線抽出処理を実現でき，また，外乱の影響による光切断線の誤抽出を回避できること。
【解決手段】移動体から出射するシート光の光源を点滅させ，カメラの撮像タイミングをその光源の点滅に同期させ，複数回の光源点滅に応じて得られる複数の撮影画像のデータについて，複数の光源点灯時撮影画像が積算され，複数の光源消灯時撮影画像が減算された積算差分画像データを算出し（Ｓ１〜Ｓ１０），その積算差分画像データについて，過去の光切断線の抽出位置に応じて設定した抽出対象領域から光切断線の像を抽出し（Ｓ１２），その抽出ができなかった場合に，他の画像領域について光切断線の像を抽出する（Ｓ１４）。 （もっと読む）

【課題】温度補償するFBGセンサ用のひずみ計測装置及びその計測方法を提供する。
【解決手段】FBGセンサ１を配置する光ファイバ２と、FBGセンサ１のブラッグ波長範囲を含む広帯域の光源３と、反射光を分離する光サーキュレータ４と、反射光を処理する処理手段５とを備え、
処理手段５は、ひずみと温度変化の両方で生じた、反射光におけるブラッグ波長のシフト量の時間履歴データを取得し、時間履歴データからブラッグ波長の長時間の移動平均量を算出して温度変化に相当するブラッグ波長の変化量を求め、更に反射光のブラッグ波長の時間履歴から前記温度変化に相当するブラッグ波長の変化量を減算し、
温度変化に相当するブラッグ波長の変化量のみを計測するためのFBGセンサ１を用いることなく、ひずみと温度変化の両方を計測するFBGセンサ１により、温度補償されたひずみを計測するように構成される。 （もっと読む）

【課題】補修する管体に設けられた枝管の位置、サイズ及び方向を正確に把握して、補修作業の効率を向上させることが可能な位置計測装置を提供する。
【解決手段】３次元復元データ２０に基づいて管体の断面形状を計測する断面形状計測手段２１と、断面形状計測手段２１により計測された断面形状を展開して１次元の展開データを得る１次元展開手段２２と、１次元の展開データを管体内面形状測定装置１００が移動する移動量により積分して２次元の展開データを得る２次元展開手段２３と、２次元の展開データの隙間を連結するデータ連結手段２４と、２次元の展開データにより得られた展開図を画像処理する画像処理手段２５と、輪郭画像から枝管取付部形状に相当する白部分の近似円及び近似円の中心を求めて枝管の開口位置、枝管の内径寸法、及び枝管の開口方向を演算する演算手段２６とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】干渉縞の発生を大幅に抑制することができる光学系、パターン検査装置、パターンの検査方法、パターンを有する物品の製造方法を提供する。
【解決手段】入射する光を複数のビームに分割するインテグレータユニットと、前記インテグレータユニットを光軸の回りに回動させる第１の駆動手段と、前記インテグレータユニットの出射側に設けられ、互いに光路長が異なる複数の凹部を有する回転位相板と、前記回転位相板を回転させる第２の駆動手段と、を備えたことを特徴とする光学系が提供される。 （もっと読む）

【課題】 サーボ信号に基づく評価値を用いて光ディスクの光透過層の表面の評価を行う際に、サーボ残差とデータ復号エラーの発生量との相関関係が低いために評価の精度が低いという課題を解決する。
【解決手段】 フォーカスまたはトラッキングのサーボ信号を検出し、検出された前記サーボ信号とその検出時間から前記サーボ信号の推移を検出し、前記サーボ信号の推移から得られたピークのうち、所定の閾値を超えた部分について、前記所定の閾値からのピーク高さをその継続時間と線速度との積で算出される距離で積分し、積分によって得られた積分値を合計して評価値を算出し、該評価値とデータ復号エラーの発生量との相関関係に基づいて、前記光ディスクの光透過層の表面の凹凸を評価する。 （もっと読む）

本発明は、離散的な超立方体の制約された平面の長さに沿う和変換を使用して、物体空間と関連付けられる焦点スタックをそのプレノプティック関数から計算し、それにより、計算時間をかなり減らすことができる方法に関する。また、本発明は、得られた焦点スタックの分解能を高めるための方法に関する。更に、本発明は、３次元シーンの表面の各位置でそれぞれ深度および波面の複素振幅の係数および位相をリアルタイムに回収するための２つの方法、ならびに、前述した方法を実行するようにされたシステムに関する。
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【課題】中空糸膜モジュールの欠陥検査方法では、検査精度を高めるためには、画像の分解能をあげなければならない。しかし、画像の分解能を上げると、画像データ量が増える。すると画像撮影のために時間がかかり、検査時間が増大するという課題があった。
【解決手段】比較的低い分解能で中空糸膜モジュールの端面の映像を撮り、画像補間によって情報量を増やす。その上で２値化した画像データを用いて欠陥検査を行う。このようにすることで、撮影時間を短くすることができ、またデータ補間と２値化によって、誤検出や過検出といったことのない精度よい欠陥検出をすることができる。 （もっと読む）

【課題】傾斜した測定面を有する被測定物を良好に測定できる光学式変位測定器を提供。
【解決手段】対物レンズ１７０の焦点位置を測定面９０１に一致させる焦点合わせ手段２２０を備える。焦点合わせ手段は、測定面から反射された反射光を２つに分割し、その第１反射光、第２反射光の結像点の前および後にそれぞれ配置された第１，第２受光素子アレイ２３７Ａ，２３７Ｂと、第１，第２受光素子アレイのそれぞれにおいて予め定めたエリア内の複数の画素で受光される受光信号のうち最も明るい画素からｎ（整数）番目までの画素の受光信号を除外して残りの画素の受光信号の合計値を求める受光信号演算手段（焦点位置検出回路２３２）とを備える。これらの受光信号合計値が等しくなるように、フォーカシングレンズ１３０の位置を制御して対物レンズの焦点位置を測定面に一致させる。 （もっと読む）

【課題】ノイズの影響を精度良く排除することができる三次元形状計測装置および三次元形状計測方法を提供する。
【解決手段】演算部４によって、走査位置Ｂ・Ｃにおける計測点ｂ・ｃよりも前に取得した計測点の集合たる積算計測点群Ｐを算出する積算計測点群演算工程と、演算部４によって、計測点ｂ・ｃと照射部２の先端位置２ｂ・２ｃの三次元座標と受光部３の先端位置３ｂ・３ｃの三次元座標とから計測対象物７が存在しない空白領域Ｓｂ・Ｓｃを求め計測点ｂ・ｃに対する空白領域Ｓｂ・Ｓｃを設定する空白領域設定工程と、演算部４によって、計測点ｂ・ｃよりも前に取得した計測点（例えば、計測点ａ）に対する空白領域の合計たる積算空白領域Ｓを算出する積算空白領域演算工程と、演算部４によって、計測点ｂ・ｃが積算空白領域Ｓに含まれるか否かに応じて計測点ｂ・ｃがノイズであるか否かを判定するノイズ判定工程と、を備える三次元形状計測方法とする。 （もっと読む）

方法は、試験対象物をモデル化するための異なるモデルパラメータに対応した複数のモデル信号の各々と、試験対象物の位置に対して得られた走査干渉法信号とを比較することを有する。各モデル信号に対して、比較することは、走査干渉法信号とモデル信号の間の相関関数を算出し、走査干渉法信号とモデル信号の間の表面高さオフセットを特定すること、および、特定した表面高さオフセットに基づいて、共通の表面高さに対する、走査干渉法信号とモデル信号の間の類似点を表わす高さオフセット補正済メリット値を算出することを有する。本方法は、異なるモデル信号に対する各々のメリット値に基づいて、試験対象物の位置での試験対象物パラメータを判定することをさらに有する。
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基板内の堆積インクを測定するシステム及び方法が提供される。本発明は、光を、基板上の堆積インクを透過させるように構成された光源と、ＣＣＤセンサアレイを有するカメラとを含み、前記カメラは、前記堆積インクを透過する光の量を測定するように構成される。多数の他の態様が提供される。
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【課題】
原点位置を再現性良く設定可能な絶対位置の計測装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】
第一の光源及びこれより干渉性の低い第二の光源を用いて被計測物の絶対位置を計測する計測装置であって、第一の光源及び第二の光源から得られる干渉信号の位相が一致する点、又は、第二の光源から得られる干渉信号の強度が最大となる点、を計測する計測部と、計測部により計測された点を原点位置として設定する原点設定部と、第一の光源から得られる干渉信号の原点位置における位相を記憶する位相記憶部と、原点位置の位置情報の消滅後に計測部により計測された計測結果と、第一の光源から得られる干渉信号と、位相記憶部に記憶された位相とを用いて原点位置を求め、原点を再設定する原点再設定部と、再設定された原点位置を基準として第一の光源からの光により生成される干渉信号を用いて被計測物の絶対位置を求める位置算出部と、を有する。 （もっと読む）

【目的】欠陥がセンサの画素領域の境界を跨る場合でも欠陥検出を行なうことが可能な検査装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のパターン検査装置１００は、パターンが形成されたフォトマスク１０１を載置するＸＹθテーブル１０２と、ＸＹθテーブル１０２と相対的に移動し、フォトマスク１０１の光学画像を撮像するラインセンサ１０５と、ラインセンサ１０５により撮像された第１の画素データと、第１の画素データの位置に対応する位置での第１の参照データとを比較する比較部５２と、第１の画素データとは撮像位置がサブ画素単位ずれた位置でラインセンサ１０５により撮像された第２の画素データと、第２の画素データの位置に対応する位置での第２の参照データとを比較する比較部５４と、を備えたことを特徴とする。本発明の一態様によれば、欠陥の見落としを回避或いは低減することができる。 （もっと読む）

【課題】一つの情景中の全ての画素から実質的に同時に深度情報を得る、改善された測距カメラを提供する。
【解決手段】情景中の被写体までの距離を示す画像を生成する装置であって、第１変調関数を有し、放射波を情景に向かわせる変調された放射波源と、検知変調器を含み、第２変調関数を有するとともに、検知アレイを有し、該アレイが複数の検知要素を含んでおり、情景内で複数の平行な間隔を有するセグメントから反射された放射を検知するとともに、上記検知された放射波に応じて、上記情景の領域までの距離に応答する信号を発生させる検知器と、間隔を有する複数のセグメントの少なくともいくつかを含むとともに上記装置から被写体までの距離を示す強度分布を有する画像を形成するプロセッサと、を含み、複数の間隔を有するセグメントの各々が上記装置に関して距離限界を有しており、該距離限界が上記検知変調器により決定され、複数の間隔を有するセグメントの少なくとも一つが少なくとも一つの他の間隔を有するセグメントの限界と異なる距離限界を有している。 （もっと読む）

【目的】擬似欠陥を低減させるパターン検査を行う装置および方法を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のパターン検査装置１００は、パターン形成された被検査試料における光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、前記光学画像データと前記光学画像データに対応する参照画像データとを入力し、前記光学画像データの複数の画素値と前記参照画像データの複数の画素値との関係を基に、前記光学画像データの画素値レベルと前記参照画像データの画素値レベルとの少なくとも一方を調整するレベル調整回路１４０と、画素値レベルが調整された前記光学画像データと前記参照画像データとを比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被測定物の表面の粗さや反射率などの光学的な反射特性の変化を受けにくく、且つ、小型化が容易な高精度な厚さ測定が可能な距離測定装置を用いた厚さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】一対の距離測定装置と、距離測定装置の出力から厚さを演算する厚さ演算部７とを備え、距離測定装置は、被測定物の表面にレーザビームを投光する光源部２と、該被測定物に投光された前記レーザビームを撮像するカメラ３と、光源部と前記カメラとを所定の位置に設定する支持部材４と、撮像された前記レーザビームの画像の位置の変化から被測定物との間の距離を求める距離演算部５とを備え、距離演算部は、レーザビームの画像から被測定物が移動する軸方向のプロファイルを求め、該プロファイルの重心位置を求めて、カメラと被測定物との間の距離を求めるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）