【課題】外光の存在下においても投影装置からの光出力を増加させることなく対象物の３次元形状を計測することを可能にする。
【解決手段】投影装置１からスリット光が物体Ｏｂに投影され、物体Ｏｂの表面に形成されるパターンが投影装置２により撮像される。制御回路部３は、投影装置１から光パターンを投影する照射期間と投影しない非照射期間とを設ける。撮像装置２は、電荷の集積と保持とが可能な感光部を備え、画像生成部４は、照射期間に対応する感光部からの受光出力と非照射期間に対応する感光部からの受光出力との差分である反射強度値を画素値とする反射強度画像を生成する。目的画素抽出部５は、反射強度画像において光パターンに対応する画素の位置を抽出する。位置演算部６では、目的画素抽出部５で抽出した画素の位置を用いて対象物の３次元位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】対象物体に動きがある場合であっても測定精度の低下を抑止すること。
【解決手段】投影装置がそれぞれ異なる第一〜第三模様を物体に対して投影する状態で繰り返し遷移し、撮像装置が第一〜第三模様が投影された物体の画像をそれぞれ生成し、立体形状測定装置が各画像において、各ピクセルの輝度値の時間変化を表す波形の位相をピクセル毎に算出し、異なる撮像装置によって撮像された各画像において、各ピクセルの輝度値及び位相に基づいて、物体の三次元空間上の同一点が撮像された画像平面上のピクセルの対応付けを行い、各対応点の画像上の座標に基づいて物体の立体形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】 空間的に離間した複数の撮影点で同じ対象物を被写体として撮影して撮影点間の相対位置を判定することができる携帯端末を提供する。
【解決手段】 被写体を撮影して静止画像を生成するカメラ１６と、カメラ１６の光軸の向き及び光軸を中心とする傾きを検出する姿勢検出部３２と、静止画像から特徴点を抽出する特徴点抽出部２４ａと、静止画像内の特徴点に対応する被写体上の点及び当該静止画像の撮影が行われた撮影点間の距離を測定する距離測定部２５と、第１撮影点で撮影された第１画像内の特徴点について測定された距離、第２撮影点で撮影された第２画像内の上記特徴点について測定された距離、並びに、第１撮影点及び第２撮影点でのカメラ１６の向き及び傾きの各検出結果に基づいて、第１撮影点に対する第２撮影点の相対位置を判定する位置判定部２６により構成される。 （もっと読む）

【課題】計測物体の変位分布を高速に計測するとともに小型化が可能な変位分布計測方法、装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】本発明による変位分布計測装置（１）は、所定の波長の光を照射するレーザ光源（１１）と、照射された光を物体光と参照光とに分離するビームスプリッタ（１４）と、参照光の位相を所定量だけシフトさせるミラー付きＰＺＴステージ（２０）と、位相シフトされた参照光を複数に分岐するペリクルビームスプリッタ（１７，１８）と、計測物体（２３）により散乱された物体光と、分岐された参照光との干渉縞を撮影するＣＣＤセンサ（１５，１６）とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】エッチングや印刷のムラによりメッシュ幅の太さの変化に影響されずに正確な欠陥抽出を行うことが可能なメッシュ検査装置を提供する。
【解決手段】メッシュ検査装置１の処理部３は、ラインセンサ５からメッシュシート１０のメッシュが画像に写る分解能で画像を入力し、前処理として光源である白色ＬＥＤ照明７によるシェーディングの補正を行い、前処理した画像を平滑化し、欠陥を誤検出しない程度に画像をぼかす。平滑化した画像内でしきい値により欠陥を抽出し、抽出した欠陥の重心を中心に例えば１２８×１２８画素を平滑化前の画像からトリミングする。トリミングした画像のＦＦＴ画像でメッシュの空間周波数に相当する領域を０に置き換えてメッシュ周波数を除去した後、ＩＦＦＴ処理を施し、得られた画像から欠陥の輝度、形状、面積の判定を行い、結果を出力する。 （もっと読む）

【課題】
周期構造物の構造を早くかつ正確に把握する方法を提供する。
【解決手段】
仮想周期構造物を設定して、前記設定された仮想周期構造物を多数の層に分けて、リープマン−シュウィンガー積分方程式をＭ次内挿法で離散化させて前記仮想周期構造物に対する反射率または透過率に対する物理量を計算する工程を含む、周期構造物分析方法に対するもので、Ｍ次内挿法を用いてより早い時間内により正確な非破壊検査ができる。 （もっと読む）

【課題】縦振動を引き起こしている状況下でも、凹凸形状を精度高く読取ることができるようにする。
【解決手段】凹凸形状が施され且つ該凹凸形状の凹凸方向に沿った振動を起こしている刻印面から、凹凸形状を抽出するための画像処理方法であって、刻印面に対して一方向に走査することで、凹凸形状の高さデータを有する２次元形状データを取得する走査ステップと、高さデータの変化度合いを求めるために、２次元形状データを微分する微分ステップと、微分ステップの結果を基に、２次元形状データから高さデータの変化度合いが急峻なものを除去するスパイク除去ステップと、スパイク除去ステップの結果を積分して振動波形を推定する積分ステップと、２次元形状データから、積分ステップで推定した振動波形を減じることで凹凸形状に相当する刻印波形を算出する凹凸検出ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】広いダイナミックレンジを有する出力信号を提供する。
【解決手段】検出された出力信号は、それから分析されて欠陥が試料上に存在するか決定される。例えば、ターゲットダイからの強度値は、レファレンスダイの対応する部分からの強度値と比較され、大きな強度差は欠陥として定義される。具体的な実施形態において、試料上の欠陥を検出する検査システムが開示される。前記システムは、入射ビームを試料表面に向けて導くビーム発生器、および前記入射ビームに応答して前記試料表面から来るビームを検出するよう配置された検出器を含む。前記検出器は、前記検出されたビームを検出し、前記検出されたビームに基づいて信号を発生するセンサおよび前記センサに結合された非線形要素を有する。前記非線形要素は、前記検出された信号に基づいて非線形検出信号を発生する。さらに、前記非線形要素に結合された第１アナログディジタル変換器（ＡＤＣ）を含む。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の測定範囲が撮像領域と比較して極小・広大の何れの場合であってもその測定対象物の表面上の位置を測定可能な位置測定装置及び位置測定方法を提供する。
【解決手段】ワーク２６よりも小さい寸法の撮像領域３０を有する撮像素子５０を、ワーク２６の表面３２上を相対的に移動させながら、ワーク２６の表面３２を撮像する。撮像領域３０内の画像Ｉ（ｔ）からワーク２６の表面３２上の模様（例えば、丸型溝８２）を抽出し、抽出された前記模様の、撮像領域３０内の画像Ｉ（ｔ＋１）中での変位量を検出し、検出された前記変位量及び前記寸法に基づいてワーク２６の表面３２上の位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】高次局所自己相関特徴を用いて異常の有無と共にその位置を高い精度で検出できる高速かつ汎用的な異常領域検出装置を提供すること。
【解決手段】異常領域検出装置は、画像データから画素毎に高次局所自己相関によって特徴データを抽出する手段、画素毎に、その画素を含む所定の範囲の画素群について特徴データを加算する手段、正常領域を示す部分空間に対する特徴データの異常さを示す指標を計算する手段、指標に基づき異常判定する手段、異常と判定した画素位置を出力する手段とを備える。変位幅の異なる複数の高次局所自己相関特徴データを抽出してもよい。更に、特徴データから主成分分析手法により主成分ベクトルに基づく正常領域を示す部分空間を求める手段を備えていてもよい。画素対応に異常判定が可能であり、異常領域の位置を正確に検出可能である。 （もっと読む）

【課題】少ない数の入力画像により高精度に画像検査を行うことができ、かつデータ処理の負担を低減することのできる画像検査装置を提供する。
【解決手段】基準空間の算出に利用する基準画像を複数の分割基準画像に分割する第１分割部１０４と、分割基準画像それぞれのマハラノビス距離に基づいて、画像検査の対象となる被検査画像の良否判定に利用する閾値を決定する閾値決定部１１０と、被検査画像を、複数の分割被検査画像に分割する第２分割部１２４と、分割被検査画像それぞれのマハラノビス距離に基づいて、代表値を決定する代表値決定部１２８と、代表値が閾値よりも大きい場合に、被検査画像に異常があると判定する良否判定部１３０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】形状測定装置および形状測定方法を提供すること。
【解決手段】測定対象基板を支持するワークステージと、光源、格子イメージを生成するために光源から発生された光を透過及び遮光させる格子部および前記測定対象基板の測定対象物に前記格子イメージを結像させる投影レンズ部を含むパターン投影部と、前記測定対象基板の測定対象物で反射される格子イメージを撮像する撮像部と、ワークステージ、パターン投影部および撮像部を制御し、前記格子イメージの信頼性指数と測定対象物に対する格子イメージの位相を算出して、前記位相と前記信頼性指数を利用して測定対象物を検査する制御部と、を含む。したがって、測定精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】長尺でロール状の多孔質電極基材の連続移送時において、多種類の外観欠陥を高精度で且つ効率的に自動的に連続検査が可能な外観欠陥の自動検査方法とその検査結果及び欠陥位置を直ちに確定できる多孔質電極基材の巻体を提供する。
【解決手段】多孔質電極基材(1) の表面に検査光を照射し、その透過光、正反射光及び散乱光を撮像し、それらの撮像データを画像処理部(4) にて解析し、その欠陥の種類、存在位置を記録媒体に記録しつつ連続して巻き取る。巻き取られた巻体に、前記外観欠陥自動検査による検査結果を記録した記録媒体が添付される。 （もっと読む）

【課題】被測定物の場所によって面の反射状態が異なる場合にも反射光を受光して面の位置が測定できる方法を提供する。
【解決手段】被測定物の形状を測定する形状測定方法にかかわる。投光器から被測定物に光を照射し、被測定物から反射される反射光を受光器が受光するときの光の輝度を推定した受光推定輝度を演算するステップＳ１の受光輝度推定工程と、被測定物に光を照射し、光が照射された場所を検出するステップＳ１１の照射場所検出工程と、被測定物に光を照射する場所を移動するステップＳ３の移動工程と、を有し、ステップＳ１１の照射場所検出工程は、受光器が受光する光の輝度に応じた信号を出力し、前記信号を用いて光が照射された場所を検出するステップＳ５の光検出工程と、受光推定輝度を用いて、受光器が受光する光の輝度を調整するステップＳ４の受光調整工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】撮像対象との距離を表す距離画像を生成する際に、撮像対象の光反射やその光沢などの外乱、測定原理等に起因する距離の誤差の低減を実現する。
【解決手段】撮像対象との距離を計測するための画像を撮像する第１の撮像手段１１０と、第１の撮像手段１１０で撮像された画像に基づくデータを用いて撮像対象までの距離を算出する距離算出手段１３０と、偏光成分を計測するための画像を撮像する第２の撮像手段１２２と、第２の撮像手段１２２で撮像された画像に基づくデータを用いて偏光状態の解析処理を行う偏光解析手段１４０と、距離算出手段１３０で算出された距離に係る距離情報１０３及び偏光解析手段１４０で解析処理された偏光状態に係る偏光解析情報１０５に基づいて、撮像対象の距離画像１０６を生成する距離画像生成手段１５０を備える。 （もっと読む）

【課題】 ２波長露光など、誤計測要因が発生する状態において高精度な像面計測、ベストフォーカス計測、アライメント原点補正を可能にする。
【解決手段】 ２波長露光において、露光時と同様に2波長発振状態にてTTLキャリブレーション計測を行い、特に、露光領域内の軸外パターンでのフォーカス検出を行う際には、レンズ開口の法線方向（サジタル方向）パターンを用いてフォーカス位置を検出することで倍率色収差による像のにじみの影響を無くしたものである。さらに、単一波長露光時と２波長露光時のそれぞれにおいて最適なキャリブレーション計測チャートを選択する。
また、二波長露光における倍率色収差の影響のみに限定するものではなく、distやコマ、テレセン度などフォーカスにより像シフトが起こり計測誤差が発生する場合でも同様な構成手法により誤差量を減らすことが出来る。 （もっと読む）

【課題】車両が進入可能であれば狭い細道であっても、かつ路面に凹凸があっても、地点間の距離などを精度よく測定することができる測定装置および測定システムを提供する。
【解決手段】測定装置５は、タイヤＴを支持するホイールＷとホイールハブＷＨとの間に、回転中心を合わせて配置された回転体５１と、本体フレームＦに固定された光学的検出器５２とを備えている。回転体５１は、ホイールＷとホイールハブＷＨの取付面との間に装着される円盤部５１１と、円盤部５１１から本体フレームＦに向かって延びてホイールハブＷＨの外周面を包囲する円筒部５１２とから形成されている。円筒部５１１の周囲面には、光を透過する光透過部である長孔５１３が設けられている。光学的検出器５２としては、本体フレームＦに取付金具５２３により固定された発光部として機能する発光素子５２１と受光部として機能する受光素子５２２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】正確な計測結果を得ることが可能な光学式変位計を提供する。
【解決手段】時点ｔ２１，ｔ２２，ｔ２３において、Ｘ方向における光の走査位置が位置Ｐ１２に一致し、時点ｔ２１ａ〜ｔ２１ｂの期間、時点ｔ２２ａ〜ｔ２２ｂの期間、時点ｔ２３ａ〜ｔ２３ｂの期間に露光が行われる。この場合、露光の開始時点と終了時点との中間の時点で、投光方向が所定の方向と一致する。すなわち、時点ｔ２１ａ〜ｔ２１の期間の長さと時点ｔ２１〜ｔ２１ｂの期間の長さとが等しく調整され、時点ｔ２２ａ〜ｔ２２の期間の長さと時点ｔ２２〜ｔ２２ｂの期間の長さとが等しく調整され、時点ｔ２３ａ〜ｔ２３の期間の長さと時点ｔ２３〜ｔ２３ｂの期間の長さとが等しく調整される。 （もっと読む）

【課題】溶液中の薄膜の拡散状態を好適に検査することの出来る薄膜検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の薄膜検査方法は、溶液中における薄膜材料の拡散状態を検査する薄膜検査方法であって、基板上に蛍光粒子を含む薄膜材料を用いて薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記基板を溶液に浸漬する溶液浸漬工程と、溶液中の前記基板に対して垂直に前記蛍光粒子に対する励起光を照射する励起光照射工程と、励起光を照射したまま基板近傍の画像を取得する画像取得工程と、前記画像から蛍光粒子の輝度分布を取得する輝度分布取得工程と、前記輝度分布より溶液に拡散した薄膜材料の拡散度を算出する算出工程と、を備える。本発明によれば、薄膜材料に蛍光粒子を混合することから、薄膜材料の拡散に伴う蛍光粒子の拡散を励起光を用いて追跡観察することが出来る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、バンドパスされて一定の波長帯域内に入射される光の場合、波長帯域内で積分する方式を利用し、薄膜層により反射される光の反射度分布曲線をモデリングすることで、実際の測定により得られる反射度分布曲線に実質的に近接する反射度分布曲線を数学的にモデリングすることのできる反射度分布曲線のモデリング方法及びこれを利用する厚さ測定方法、ならびに厚さ測定反射計を提供する。
【解決手段】本発明は、反射度分布曲線のモデリング方法およびこれを利用する厚さ測定方法、ならびに厚さ測定反射系に関するものであって、本発明による反射度分布曲線のモデリング方法は、一定の厚さの薄膜層に対して光の波長の変化に伴う薄膜層の反射度分布をモデリングする反射度分布曲線のモデリング方法であって、光の波長の変化に伴う上記薄膜層の反射度分布を示す反射度分布曲線を用意する反射度分布曲線用意ステップと、白色光を特定波長に対してバンドパスし、上記の特定の波長を中心に一定の波長帯域で光の強度分布を示す強度分布曲線を用意し、上記の強度分布曲線を上記の波長帯域内で積分して上記特定波長の入力強度として設定する入力強度設定ステップと、上記反射度分布曲線と上記強度分布曲線を結合した複合強度分布曲線を上記波長帯域内で積分して上記特定波長の出力強度として設定する出力強度設定ステップと、上記特定波長の出力強度を上記特定波長の入力強度で割った値を、上記特定波長に対する上記薄膜層の積分反射度として設定する積分反射度設定ステップと、上記特定波長を変化させながら、上記入力強度の設定ステップ、上記出力強度の設定ステップ、および上記積分反射度の設定ステップを繰り返して、波長の変化に伴う上記積分反射度分布を示す積分反射度分布曲線を生成する積分反射度分布曲線の生成ステップと、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）