【課題】データ量を低減するよう変換された距離画像の画像ファイルを容易に逆変換できるようにする。
【解決手段】距離画像復号化部３５が、符号化された距離画像の画像ファイルを復号化する。距離画像逆変換部３４が、復号化された距離画像の画像ファイルに付与された変換に関する情報を取得し、この情報に基づいて、画像ファイルに含まれる距離値を逆変換する。逆変換された距離画像はモニタ２０に表示される。 （もっと読む）

【課題】距離画像の画像ファイルのデータ量を効率よく低減撮影者が所望とする量子化方式により距離値Ｘｉ，Ｙｉ，Ｚｉを変換することができることとなる。できるようにする。
【解決手段】撮像部２１Ａ，２１Ｂが、被写体を撮像することにより、被写体の３次元形状を表す奥行き情報および位置情報を含む距離値を算出するための基準画像および参照画像を取得する。距離画像生成部３１が、基準画像および参照画像から距離値を算出する。距離画像変換部３２が、所定範囲にある奥行き情報について、所定範囲外にある奥行き情報よりも大きい量子化数により量子化し、距離画像符号化部３３が量子化された位置情報を含む距離値を各画素の画素値とする距離画像を符号化し、圧縮／伸長処理部２４が符号化された距離画像の画像ファイルを生成する。 （もっと読む）

【課題】ホールの形成について高精度に検査するパターン検査装置およびパターン検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】パターン検査装置１は、被検査物を撮像して多値画像を取得する撮像部２と、当該被検査物の理想状態を表すマスター画像を記憶する記憶部３５と、撮像部２によって取得した画像からホールの画像を消去したホール消去画像を取得するホール消去画像取得部３２と、撮像部２によって取得した画像からホールの位置データを取得する位置取得部３３と、位置データが取得されたホールを覆う領域のデータを禁止データとして生成する禁止データ生成部３４と、禁止データが生成される領域以外の領域について、ホール消去画像とマスター画像とを比較してホールの形成を判定する判定部３６を備える。 （もっと読む）

【課題】基板上のパターンの欠陥を検出する際に被検査画像を２値化して検査用の処理済画像を生成するための閾値を高精度に求める。
【解決手段】欠陥検出装置では、撮像部により基板の被検査画像が取得され、被検査画像にエッジ抽出フィルタを適用した上で２値化することによりエッジが抽出される。そして、被検査画像からエッジが除去されたエッジ除去済画像の濃度ヒストグラムに基づいて、被検査画像を２値化して検査用の処理済画像を生成するための検査用閾値が求められる。濃度ヒストグラムでは、エッジが除去されることにより、配線パターンに対応する濃度分布と基板本体に対応する濃度分布との間の濃度帯において画素の頻度が０となり、２つの濃度分布が明確に分離される。このため、基板本体に対応する濃度分布の最大濃度を検査用閾値とすることにより検査用閾値を高精度に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】 エッジ強調処理が施された画像データからサブピクセル精度で特徴位置を検出する。
【解決手段】 連続的に撮像した各フレーム中、フレーム番号ｎの画像データに対して、フレーム番号（ｎ−１）に対応するテンプレートを適用し、フレーム番号ｎのフレーム暫定特徴点位置を検出する。この撮像対象は、長方形の４個の各頂点に特徴位置を有する図形が描写されたプレートである。つぎに、フレーム暫定特徴点位置に基づいて、フレーム番号ｎの画像上の特徴位置に対応するテンプレートを生成する。その後にフレーム番号ｎの画像データにフレーム番号ｎに対応するテンプレートを適用して、フレーム番号ｎのフレーム特徴点位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】任意の固定物体や移動物体をランドマークとしてカメラパラメータを推定することが可能なカメラパラメータ推定装置を提供する。
【解決手段】カメラパラメータ推定装置１は、第一画像からランドマークの座標を参照画像座標として抽出する第一ランドマーク抽出手段１０と、第二画像からランドマークの座標を観測画像座標として抽出する第二ランドマーク抽出手段１１と、第一カメラのカメラパラメータである既知カメラパラメータに基づいて、ランドマークの三次元座標を推定する位置推定手段１３と、その三次元座標を第二画像内に投影変換しランドマークを対応付けるランドマーク対応付け手段１２と、位置推定手段１３により推定された三次元座標に基づいて、第二カメラのカメラパラメータを算出するパラメータ推定手段１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ステレオマッチング処理を行い、外界の環境の変化と、ワイパや付着物等によるノイズとを的確に判別して物体を検出することができる物体検出装置を提供する。
【解決手段】物体検出装置１は、基準画像Ｔ_Oと比較画像Ｔ_Cとを出力するステレオ撮像手段２と、ステレオマッチング処理を行うステレオマッチング手段７と、基準画像Ｔ_O上に物体Ｏを検出する物体検出手段１０と、前回フレームでの基準画像Ｔ_O上の物体Ｏの距離Ｚ等とに基づいて、今回フレームにおける当該物体Ｏの予測領域Ｒ_Oest、Ｒ_Cestを基準画像Ｔ_Oと比較画像Ｔ_Cに設定する予測領域設定手段１１と、予測領域の輝度値の平均値ｐ１ij_ave、ｐ２ij_aveの差の絶対値が所定の閾値Δｐth以上である場合には基準画像Ｔ_O上の予測領域Ｒ_Oestに検出された物体Ｏの情報または物体Ｏが検出されなかったという情報にノイズが含まれている旨の情報を対応付ける判断手段１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】サブピクセルサイズのひび割れ幅を検量する微細ひび割れ幅検量方法を提供するを提供する。
【解決手段】実測色濃度分布データを、色濃度分布データベースに蓄積された色濃度分布データと照合し、最も近似した色濃度分布データを選出する。色濃度分布データ中には、明るい背景画像と、暗いひび割れ画像とが異なる色濃度ピークとして存在する。これを利用し、選出された色濃度分布データが固有する微細なひび割れ幅のデータから、実測色濃度分布データに記録された微細なひび割れ幅を取得する。 （もっと読む）

【課題】互いに同一であるべき画素同士のグレイレベル差を所定の検出閾値と比べて画素同士の違いを検出する欠陥検査において、グレイレベル差を検出し又は検出閾値を決定する際に、検査画像に含まれるノイズ成分による影響を低減する。
【解決手段】同一の単位パターン５１〜５５が繰り返し現れる検査画像６１内のある検査画素７１に欠陥が存在するか否かを判定する際に、この検査画素７１、及びこの検査画素が含まれる単位パターン５１と異なる他の複数の単位パターン５２〜５５内においてこの検査画素７１にそれぞれ対応する画素７２〜７５のうちの少なくとも３つの画素の画素値のうちのいずれかを基準画素値として選択して、この基準画素値と検査画素７１の画素値とを比較することにより、この検査画素７１が欠陥候補か否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】高精度な欠陥解析を行う。
【解決手段】回路パターンが形成されたウェーハの欠陥解析領域を複数の格子に分割する領域分割部１２と、前記格子毎に前記回路パターンの設計データに基づくパターン特徴量を抽出するパターン特徴量抽出部１３と、前記パターン特徴量に基づいて前記複数の格子を複数のグループに分類する領域分類部１４と、前記欠陥解析領域において検出された欠陥情報と前記欠陥解析領域とを照合する欠陥座標照合部１５と、前記グループ毎の欠陥サイズ分布を算出する欠陥サイズ分布算出部１６と、前記グループ毎の前記欠陥サイズ分布と所定の推定分布との差分を算出する分布比較部１７と、前記差分が所定の閾値以下のグループに対応する前記欠陥情報を出力する領域抽出部１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】距離の測定精度を向上させる。
【解決手段】距離計は、半導体レーザ１に発振波長が増加する第１の発振期間と発振波長が減少する第２の発振期間とを交互に繰り返させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１の出力を電気信号に変換するフォトダイオード２の出力に含まれる干渉波形を数える計数装置７とを有する。計数装置７は、計数期間中の干渉波形の周期を測定し、測定結果から計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成し、度数分布の周波数成分を解析し、周波数解析結果から干渉波形の周期の分布の代表値を求め、度数分布から、代表値の０．５倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと、代表値の１．５倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて計数結果を補正する。 （もっと読む）

【課題】パターン認識の所要時間が短い検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、被検査物を撮影して画像として出力する画像入力部と、上記画像入力部から出力される良品の上記被検査物の良品画像を登録する登録手段および上記画像入力部から出力される検査対象の上記被検査物の検査画像と上記良品画像との差分画像を用いて上記検査対象の被検査物を検査する検査手段を有する判定部と、を備える検査装置において、上記判定部は、上記良品画像の被検査物の複数の部分の画像を抽出して参照画像として登録する参照画像登録手段と、上記参照画像と最も相関性の大きい上記検査画像の被検査物の複数の部分を特定するパターン認識手段と、上記特定された検査画像の被検査物の複数の部分の座標に基づいて位置合わされた上記検査画像と上記良品画像との上記差分画像から欠陥を判断する欠陥判断手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ１０の概要および欠陥を速やかに認識することが可能な観察装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る観察装置は、ウェハ１０を部分的に撮像可能な撮像部を備え、撮像部の撮像領域をウェハ１０の周方向に相対移動させながらウェハ１０（アペックス部１３）の部分を複数撮像して得られた、当該複数の撮像領域におけるウェハ１０の部分画像Ｃを用いてウェハ１０の表面観察を行う観察装置であって、撮像部により撮像されたウェハ１０の複数の部分画像Ｃをそれぞれ、撮像領域を変えずにデータ圧縮する処理をしてから相対移動方向へ並べるように互いに連結して、ウェハ１０のアペックス部１３を周方向へ連続的に視認できる連結画像Ｂにする画像連結部と、画像連結部により連結された連結画像Ｂを表示する画像表示部とを有している。 （もっと読む）

【課題】低コントラストの障害物を検出でき、且つノイズとなる不要なエッジ点の検出を防止することができる障害物検出装置を提供する。
【解決手段】遠赤外線撮像装置１Ｒ，１Ｌが撮像して得た画像に基づいて障害物を検出する障害物検出装置３に、撮像して得た画像を構成する各画素の画素値に基づいて各画素のエッジ強度を算出する手段と、複数の所定画像部分毎にエッジ強度の度数分布を算出する手段と、障害物の輪郭に相当する所定数のエッジ点を検出するための閾値を、前記度数分布に基づいて前記所定画像部分毎に選択する閾値選択手段と、前記所定画像部分を構成する画素の画素値及び該所定画像部分で選択された閾値を比較することにより、該閾値以上の画素値を有するエッジ点を検出するエッジ点検出手段とを備え、前記エッジ点検出手段が検出したエッジ点に基づいて障害物を検出する処理を実行する制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】検出対象に含まれる円形状を検出する。
【解決手段】画像情報から抽出したエッジ上に指定した複数の画素を中心としかつエッジの半径と同じ半径の仮想円を求めて当該仮想円を構成する画素について投票パラメータ空間に投票し、又は画像情報から抽出したエッジ上に指定した複数の画素を通る法線についてエッジから当該エッジの半径と同じ長さ位置を端点として求めて当該端点の画素について投票パラメータ空間に投票し、投票数が十分に大きい画素の位置をエッジの中心位置として判定し、補助投票空間の投票数データのうち、最大値投票数データ及び極大値投票数データを抑制空間に取り込んで検出対象円の中心位置を抽出するようにしたことにより、検出対象の円形状を一段と高速度で検出することができる。 （もっと読む）

【課題】撮像対象領域の設定を正確かつ効率良く行うとともに、必要以上の撮像が行われるのを防止できるようにする。
【解決手段】ワークＷの表面の凹凸欠陥を検査するのに先立ち、毎時の撮像対象領域を定めながら、その領域を撮像するのに必要なカメラ１の位置および撮像方向を設定する。この設定処理では、ワークの表面形状を三角平面の集合体として表したＣＡＤデータを用いて被検査面全体の法線方向ヒストグラムを作成し、そのヒストグラムから撮像中心点の法線方向に対する角度差が所定の許容値以内になる平面を抽出することにより、検査可能範囲を認識する。また、検査に必要な強度の反射光の進行方向のばらつきを示す角度を特定し、その角度に基づく値を許容値として設定することにより、検査可能範囲の認識精度を確保する。 （もっと読む）

【課題】２次元距離測定装置の測定情報を用いて物体の形状を認識するのに好適な物体認識装置及び物体認識方法を提供する。
【解決手段】物体認識装置２００を、センシングプロセッサ１１０と、２次元距離測定装置１１２と、２次元距離測定装置１１２を回転駆動するモータ１１６と、モータ１１６の回転角度位置を検出するエンコーダ１１８とを含んだ構成とし、２次元距離測定装置１１２を、測距センサ１１２ａと、モータ１１２ｃと、モータ１１２ｃの回転角度位置を検出するエンコーダ１１２ｄとを含んだ構成とした。そして、測距センサ１１２ａを水平方向の軸まわりに回転させながら距離を測定すると共に２次元距離測定装置１１２を垂直方向の軸まわりに回転させることで複数の測定平面における距離を測定し、当該測定した距離情報に基づき各測定点の勾配及び勾配の出現頻度を算出し、当該出現頻度に基づき測定範囲内に存在する物体の形状を認識する。 （もっと読む）

【課題】外観検査において感度を高く設定すると虚報も多く検出してしまうため、高感度で検査することができないという問題があった。そのため、全体の欠陥捕捉率を高く維持しながら虚報を抑制することにより実質感度を向上する技術が必要であった。
【解決手段】
検出欠陥の画像をもとに画像特徴量を算出し、検出欠陥の位置座標をもとに座標特徴量を算出し、画像特徴量と座標特徴量のいずれかに対するしきい値処理からなる決定木に従って虚報判定を行う構成とする
【効果】上記画像特徴量と座標特徴量を利用し、決定木に従って虚報判定を行うことにより、実欠陥と虚報の識別を精度よく行うことができるため、虚報を抑制しつつ高感度に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】 撮像装置により撮影された画像情報に基づいて行う撮像装置又は物体の位置及び姿勢の計測を安定化させること。
【解決手段】 撮像装置１００で撮影した画像を画像取得部１１０で取得し、そのときの姿勢をセンサ計測値取得部１２０で取得し、直線検出１３０が撮影画像から直線を検出する。センサ計測値、検出した直線の３次元空間における方程式に基づき、位置姿勢計測部１５０が、撮像装置１００の位置姿勢、又は、観察対象物体１０の位置姿勢を算出する。 （もっと読む）

【課題】コストがかかることがなく、姿勢角または走行する平面を検出する。
【解決手段】距離演算部２８は、受光装置２０で受光された反射光に基づいて、床面上の複数の点までの距離Ｌｍ_（ｉ）を演算する。姿勢検出部３０は、受光装置２０の各受光素子の出力から演算された各々の距離Ｌｍ_（ｉ）と、複数の候補姿勢角θ´の各々の場合における距離計測装置１２から床面までの理論上の各々の距離Ｌｒ_（θ´）とに基づいて、姿勢角θを検出する。 （もっと読む）