【課題】極性マークの位置を正確に把握して極性検査をより容易で正確に実行することのできる３次元形状検査方法を提供する。
【解決手段】３次元形状検査のために、測定対象物としてプリント回路基板のベース基板上に形成された所定の検査対象部品を選定し（Ｓ１１０）、検査対象部品に対する検査領域を設定した後（Ｓ１２０）、検査対象部品の高さ情報に基づいた３次元形状を取得し（Ｓ１３０）、検査対象部品の基準点を検出し（Ｓ１４０）、検査対象部品に形成された極性マークの基準点に対する相対的な位置情報を確認した後（Ｓ１５０）、基準点に対する相対的な位置情報と測定された検査対象部品の高さ情報を用いて極性マークの位置を検出し（Ｓ１６０）、極性マークの基準点に対する相対的な位置情報と検出された極性マークの位置とを比較して検査対象部品の良否を判断する（Ｓ１７０）。 （もっと読む）

【課題】コントラストの高いパターン投影を実現する。
【解決手段】計測装置と照明装置、撮像装置の位置関係を較正するキャリブレーションを行う（Ｓ１０１）。二次元パターン光の投影面内での輝度の不均一補正処理を行い（Ｓ１０２）、低下したピーク輝度を補償するための光源光量の調節を行う（Ｓ１０３）。計測対象物に二次元パターン光を投影し（Ｓ１０４）、反射された二次元パターン光を撮像装置で撮像する（Ｓ１０５）。撮像装置側の影響で生ずる二次元パターン光の輝度変化及びパターンエッジの位置ずれを、取得した二次元パターン画像に対し不均一補正処理を適用して補正する（Ｓ１０６）。補正処理した二次元パターン画像を基に、計測装置は計測対象物のそれぞれの測定点における奥行き方向の距離情報を取得して距離計測処理を行う（Ｓ１０７）。 （もっと読む）

【課題】周期構造の電磁散乱特性の正確な数値計算を迅速に実行する。
【解決手段】構造の電磁散乱特性を計算する体積積分法（ＶＩＭ）の改良型収束は、電場ではなく、ベクトル場の体積積分方程式を数値的に解くことによって達成される。ベクトル場は、基底変換によって電場に関連付けることができ、電場が不連続部を有する材料の境界で連続することができる。ベクトル場の畳み込みは、有限離散畳み込みに従って畳み込み演算子を使用して実行する。可逆畳み込み及び基底変換演算子は、周期構造の材料及び幾何学的特性に従って基底変換を実行することにより、ベクトル場を電場に変換する。ベクトル場について体積積分を解いた後、追加の後処理ステップを使用して、ベクトル場から電場を得ることができる。ベクトル場は、連続的な成分をフィルタリングするために法線ベクトル場を使用することにより、電場の場の成分と電束密度の組合せから構築することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の検出対象物の位置をそれぞれ検出すること。
【解決手段】光学式位置検出装置は、相互に異なる第１の波長域及び第２の波長域に光強度を備えた位置検出光Ｌ２を放出する位置検出用光源部１４０と、第１の波長域の反射率が第２の波長域より高い反射特性を備えた第１検出対象物３１０と、第２の波長域の反射率が第１の波長域より高い反射特性を備えた第２検出対象物３２０と、第１の波長域の検出感度が前記第２の波長域より高い感度特性を備え第１の光検出信号を出力する第１光検出部４１０と、第２の波長域の検出感度が前記第１の波長域より高い感度特性を備え第２の光検出信号を出力する第２光検出部４２０と、位置検出用光源１４０を制御して光強度分布を形成するとともに、第１の光検出信号に基づいて第１検出対象物３１０の位置を検出し、第２の光検出信号に基づいて第２検出対象物３２０の位置を検出する位置検出部４００と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 不変形レーザスペックル映像を用いて二次元の精密な定位を行う方法及び系統を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明において、予め広い同調性を有するレーザ光を定位母板に照射し、該定位母板から散乱された光が干渉して生成した不変形スペックルを記録し、スペックルテーブルを作成し、基準点を定義し、記録された各スペックルを定位する。該スペックルテーブルから、いずれのスペックルに対応する座標位置を獲得することができ、さらに定位物の定位を導くことも距離の測量を適用することもできる。本発明は、キャプチャしたスペックルを数マイクロメーターに制御し、高精度の定位を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】アライメントテスタの校正作業に要するコストを低減できるとともに、アライメントテスタの校正作業を効率的に行うことができるアライメントテスタ校正装置を提供する。
【解決手段】校正ブロック５１・５２・５３と、校正ブロック５１・５２・５３を支持する支持部材４０と、左右方向における支持部材４０の傾斜を調整する傾斜調整機構２０と、第一レーザー６１および第二レーザー６２を照射するレーザー墨出し器６０と、校正ブロック５１・５２・５３が基準位置Ｐ１・Ｐ２・Ｐ３に位置決めされたときに第一レーザー６１を受光する第一受光器７１と、校正ブロック５１・５２・５３が基準位置Ｐ１・Ｐ２・Ｐ３に位置決めされたときに第二レーザー６２を受光する第二受光器７２と、左右方向に沿って支持部材４０を移動させる左右方向スライド機構３２と、上下方向を回動中心の軸方向として支持部材４０を回動させる回動機構３３と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】フォーカス異常とドーズ量異常を区別して検出することが可能な表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ（Ｓ１０４）と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ（Ｓ１０５）と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ（Ｓ１０６）と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅および露光時のフォーカス状態を求める演算ステップ（Ｓ１０７）とを有し、演算ステップでは、瞳面において線幅との相関が高い瞳内位置での階調値から線幅を求めるとともに、フォーカス状態との相関が高い瞳内位置での階調値からフォーカス状態を求める。 （もっと読む）

【課題】計測用の光学系を大型化することなく、マスクの面形状の情報を効率的にかつ高精度に計測する。
【解決手段】レチクルの形状情報を計測する計測装置において、投影光学系ＰＬの物体面側に配置され、複数の位相マーク２０が形成されたパターン面を有するレチクルＲと、投影光学系ＰＬの像面側に配置され、位相マーク２０に対応して複数の周期パターン３９が形成された蛍光膜３５と、位相マーク２０、投影光学系ＰＬ、及び周期パターン３９を通過した照明光ＩＬから生成される検出光ＤＬを検出するＦＯＰ３７及び撮像素子３８と、撮像素子３８の検出信号からそのパターン面の形状情報を求める演算装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】オンライン測定の高精度化を図ることができる膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供すること。
【解決手段】膜厚測定装置１００は，ウエブ２０の厚さをオンライン測定するものである。膜厚測定を行う際には，あらかじめ空気巻き込みの影響が少ない状態である低速搬送中に膜厚を測定し，その測定値をマスタ値とする（Ｓ０２）。そして，生産目標の搬送速度に達した後，高速搬送での計測をするにあたって，オンライン測定での膜厚の計測値とそのマスタ値との差，すなわち変化量を求める（Ｓ０５）。そして，変化量の計算後，高速搬送中に得た膜厚の計測結果を，その変化量を用いて補正する（Ｓ０６）。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの外周端に形成された異形状部の位置を迅速に検出すること。
【解決手段】ある実施の形態における検出方法は、外周端が円弧部と異形状部とで構成されるウェーハを載置した回転ステージ９１１を所定角度毎に断続的に回転させながら、その停止時における撮像カメラ９３の撮像範囲を撮像して撮像範囲内における外周端の位置を撮像データとして取得するとともに、回転ステージ９１１の回転時において撮像カメラ９３の撮像範囲を通過する外周端の位置変化を実測データとして取得する。その後、撮像データの中からウェーハの円弧部上の位置を選択し、円弧部を含む円の円周全周の位置が撮像範囲に位置付けられたときの撮像範囲内における位置変化を回転ステージ９１１の回転角度毎に表した基準データを作成する。そして、実測データを基準データと比較して異形状部の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】篩の編み目、コンクリート、地質、アスファルトの表面状態の品質を分析・評価することができる品質検査方法および品質検査装置に関する。
【解決手段】編み目または表面に微細開孔を有する被測定部材４４が予め決められた大きさのものであるか否かをパーソナルコンピュータ４１に予め記憶されたデータと比較することによって品質を判断することができる。デジタルカメラ４２は被測定部材４４を撮影し、微細開孔の大きさ、分布等により品質を分析することができる。デジタルカメラ４２は、被測定部材４４をデジタルカメラによって撮影し、画像データとしてパーソナルコンピュータ４１に読み込み込まれる。パーソナルコンピュータ４１はデジタルカメラ４２によって予め読み込まれている基準スケールの画像データに被測定部材４４の画像データを重ね１ピクセル毎に比較される。 （もっと読む）

【課題】基板に搭載した各部品の搭載状態を、高さを含めて短時間で検査する。
【解決手段】搬入された基板Ｓａを待機させるインバッファ１２と、該インバッファから搬送される基板を位置決めし、該基板に部品を搭載させるセンタバッファ１０と、該センタバッファで部品が搭載された搭載済み基板Ｓｂを、搬出されるまで待機させるアウトバッファ１４とからなる基板搬送部２を備えていると共に、前記インバッファ及びアウトバッファに、搬送される基板の形状を測定する３次元測定器２０Ａ、２０Ｂがそれぞれ配設されている。 （もっと読む）

【課題】駆動機構による光センサの移動速度の変化に拘わらず変位データを取得し、その後に一定距離間隔の変位データだけ抽出する構成とすることで、測定時間の短縮を図る。
【解決手段】移動機構手段４２により基板１０に対する光センサ３１の位置を速度が変化しながら移動させる。その移動中に、光センサは光学的に基板１０の表面の高さ方向の変位を検出する。Ａ／Ｄ変換手段３２ｂ及び変位算出手段３２ａは、光センサからの変位をクロックでデジタルの変位データに変換して出力する。データ取得部５０は移動機構手段が移動するときの移動量を基に、移動量の所定間隔毎に、前記変位算出手段３２ａからの前記変位データを抽出する。画像生成手段６０は所定間隔毎の変位データを基に、基板の表面上の形状を示す画像データを生成する構成とした。 （もっと読む）

【課題】安価かつ容易に導入可能であり、装置スペースも小さく、初心者でも簡単にグラフェン原子薄膜の枚数を再現性よく確定することが可能なグラフェン又は超薄膜グラファイトの厚さ検出方法および厚さ検出システムを提供する。
【解決手段】単層のグラフェン又はグラフェンを複数層積層した超薄膜グラファイトを設けた基準サンプルとなる基板と計測対象サンプルとなる基板を、所定の色のフィルタを介してそれぞれ撮像し、前記撮像したそれぞれの画像から前記所定の色の輝度値に対する出現頻度特性を求め、その出現頻度特性を基板部分の前記所定の色の輝度値を１００として規格化し、両特性を比較できるようにモニタに表示する。また、上記規格化した所定の色の輝度値対頻度特性における変化の特徴の異同を判断し、計測対象サンプルにおける１層〜ｎ層（任意層）までの各層の存否を判断する。 （もっと読む）

【課題】 鉄塔，鋼橋などの鋼構造物の塗装面の劣化状況を検出し、劣化度判定を行うための塗装劣化診断方法および装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、塗装が施された鋼構造物の表面を撮影した入力画像に対して塗装面の劣化部だけを透過させた変換に変換する劣化部抽出フィルターを構築する工程と、変換画像中の透過部を検出して劣化部プロファイルを生成する工程と、塗装面劣化の発生・成長をシミュレートした仮想塗装面劣化画像を作成する工程と、作成された仮想塗装面劣化画像と劣化基準とから評価用劣化プロファイルを作成し、蓄積してデータベースを形成する工程と、劣化診断対象の入力画像から得られた劣化プロファイルと評価用劣化プロファイルを比較することで劣化度合いを判定する劣化度評価の工程により構成される。 （もっと読む）

【課題】 長さ測定機器全般の精度校正用として、校正寸法を連続的に変化させることを可能にする寸法可変式の端度器を提案すること。
【解決手段】 二つの互いに平行な対向又は背向するゲージ基準面１６，１７と、それら二つのゲージ基準面１６，１７の距離間隔をその平行な状態を維持しながら任意に変更し得る、少なくとも一方のゲージ基準面の可動手段１５と、その際の二つのゲージ基準面１６，１７の距離間隔を随時測定して出力し得る測定手段１４と、その測定手段１４を校正した結果から得られた器差データを記憶する記憶手段と、測定手段１４により得られた測定値を記憶手段に記憶された器差データを用いて補正する器差補正手段とを備えている。 （もっと読む）

本発明は光源、光学素子およびセンサを含む測定システムを較正する方法に関する。光源は光平面を生成するようにされ、光学素子は光平面とセンサとの間に位置する。本方法は、センサ上の少なくとも１つの点から光平面内の少なくとも１つの点への写像を得るために実行される。本方法は、光平面が生成されるように光源をオンにする工程と、光平面内の第１の写像位置に写像較正プロファイルを導入する工程と、を含み、写像較正プロファイルは直線を形成する少なくとも３つの点を含む。本発明はまた、このような較正方法に使用可能な較正物体に関する。
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【課題】簡素な構成でラインセンサの仰角を高精度に計測することができる画像処理によるラインセンサ仰角測定装置を提供する。
【解決手段】ラインセンサ仰角測定装置を、表面に直線状の境界線１１を挟んで黒色部分１２と白色部分１３とが配され、表面が鉛直方向に平行になるように且つ境界線１１が水平方向に平行であって基準面から所定の高さｈに位置するように設置されるターゲット１と、焦点距離ｆ及びターゲット１との水平方向の距離ｄが既知であって、走査線方向が境界線１１に直交するように基準面に設置されて境界線１１を撮像するラインセンサ２と、ラインセンサ２によって撮像した画像を処理して境界線１１の画像上の位置を求めるとともに、得られた境界線１１の画像上の位置に基づいてラインセンサ２の仰角θを算出する画像処理部３とから構成した。 （もっと読む）

航空機の構成要素における複合材料の分析のためのシステムおよび方法である。構造化光測定を使用して対象物の３次元形状が判定され、次いで、レーザ超音波測定を行うときの走査数を最少にするために３次元形状が分析される。 （もっと読む）

サブ開口スティッチングによる非球面被検査物を測定する計測システム。限られた捕捉範囲の波面形状を有する波面測定ゲージが被検査物の部分的に重なり合っているサブ開口測定を収集する。可変光収差器が、波面測定ゲージの捕捉範囲内に測定波面を維持するための限られた数の測定の間で測定波面を再形成する。さまざまな誤差補正項が、可変光収差器の使用に関連する残余誤差を扱うためのスティッチング操作に反映される。 （もっと読む）