【課題】計算の繰り返しをできるだけ排除して時間の無駄を排除しながら、より正確な分析結果を求めることが出来、しかも、その解を求めるための操作過程においてオペレータが使いやすい分光エリプソメータを提供する。
【解決手段】各フィッティングデータの実測データに対する一致度を選択可能に一覧表示し、選択された一致度に対応するフィッティングデータと実測データとを同一グラフ上に比較可能に表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】撮像条件、照明条件、周期性パターンの設計条件などの影響をできる限り排除した欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】周期性パターンを有する被検査体のスジ状ムラを検出するための欠陥検査方法であって、被検査体に光源からの照射で生じる回折光の強度分布の取得を複数の照明角度で行い、各照明角度における回折光の強度分布を検査画像として取得された被検査体への照明角度が異なる複数枚の検査画像に対し、照明角度の異なる複数の検査画像を比較し、被検査体への照射角度に応じて位置が変化するスジ状ムラと変化しないスジ状ムラとを抽出し、変化するスジ状ムラを検査の際に欠陥としない擬似欠陥とし、変化しないスジ状ムラを検査の際に欠陥として選別されたスジ状ムラに対し、それぞれの最大輝度とパターンピッチ正規化面積に基づいて欠陥規模の評価を行う欠陥検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成により低コストで導入することが可能であって、腹囲や胸囲などの身体測定を行うことが可能な身体測定装置の提供。
【解決手段】被測定者の身体表面までの距離を測定する距離計２と、被測定者の身体表面の測定位置を決定するために被測定者を撮像するカメラ３と、距離計２およびカメラ３を高さ調節可能に支持するホルダ４と、ホルダ４を被測定者の周囲で走行させるためのレール５と、ホルダ４をレール５上で走行させながら距離計２により被測定者の身体表面までの距離を測定し、身体表面の測定位置の周長を算出する手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】ロールカリバー形状調整のための各カリバーロールのカリバー部分の相対位置関係を高精度に検出すること。
【解決手段】複数のカリバーロールを組み合わせて形成される圧延空間であるロールカリバーの全カリバーを含む圧延方向断面形状を取得する照明光源７，光ファイバ８，投光レンズ６，撮影レンズ９，撮像部１０および画像入力部１２と、取得された圧延方向断面形状をもとに各カリバーロールを識別する画像処理部１３およびロール識別部１４と、識別された各カリバーロールのカリバー部分の形状プロフィールを求め、各形状プロフィール内で圧延に寄与する有効カリバー曲線をそれぞれ抽出し、各有効カリバー曲線を描くための中心位置を算出する演算部１５と、算出された各中心位置をもとに各カリバーロールの相対位置を算出して出力する表示部１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】タイヤのトレッドパターンが変形した状態でのトレッド部の溝部の形状を測定する上で有利なタイヤ形状の測定方法を提供する。
【解決手段】予めトレッド部２Ａの溝部２Ｃの表面２０２に沿って特定パターン５０を形成する。透明な材料で形成された平板状の板体１４の第１の面１４Ａにトレッド部２Ａの外周面２Ｂを当接させ、第１、第２の撮像装置１８Ａ，１８Ｂによって第１の面１４Ａと反対側に位置する第２の面１４Ｂから板体１４を介して特定パターン５０を撮像することで取得した第１、第２の画像データＤ１，Ｄ２を演算処理することにより特定パターン５０の３次元形状を得て溝部２Ｃの形状および／または表面歪を測定する。 （もっと読む）

【課題】リフロー後のハンダの三次元形状を正確に測定することは難しい。
【解決手段】走査ヘッド１６は、基板１の検査面に投光する落射照明源と、基板１からの反射光を検知するラインセンサ３４を有し、このラインセンサ３４の走査により被検査体の検査面全体の画像を取得する。画像メモリ４４は、走査ヘッド１６により取得された基板１の検査面全体の画像を検査画像として格納する。ハンダ情報記憶部４５は、検査面上のハンダの撮像画像の明度とハンダ面の傾斜角度の相関関係を示す相関マップ６４を記憶する。傾斜角度算出部６１は、相関マップ６４を参照することにより、画像メモリ４４に格納された検査画像４１のハンダ撮像領域の明度から検査面上のハンダ面の傾斜角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】 計測対象物体の位置及び姿勢の計測を、安定性と精度とを両立して行う為の技術を提供すること。
【解決手段】 センサ計測値入力部１５０は位置姿勢センサ１４０から撮像装置１３０の位置及び姿勢の計測値を取得する。画像入力部１６０は撮像装置１３０による撮像画像を取得する。指標検出部１１０は撮像画像に含まれている指標の画像座標を検出する。位置姿勢補正部１２０は、撮像画像に含まれている指標の現実空間中の位置を計測値に基づいて撮像画像上に投影した位置を推定画像座標として求める。そして、画像座標と推定画像座標との誤差から成る行列と、投影の為に用いた関数を用いて計算される画像ヤコビアンから成る行列と、計測値の補正量と、からなる連立方程式の逆問題を解くことで補正量を求める際には、正則化処理を伴う行列演算を利用する。 （もっと読む）

【課題】クリームはんだ印刷の３次元自動検査において陰面（オクルージョン）のない３次元画像の獲得を実現する。
【解決手段】基板面の上方において第１のカラーイメージセンサカメラおよび第２のカラーイメージセンサカメラが対向し、基板の同一領域を斜めの視軸（ビューイングアングル）で見下ろして撮像する両眼視システムと、基板を直上方向から照明する第３色相光光源と、第１カメラよりも低い位置にあって第１カメラと同じ方向から基板を照明する第１色相光光源と、第２カメラよりも低い位置にあって第２カメラと同じ方向から基板を照明する第２色相光源によって３次元撮像幾何光学配置を構成することにより、陰面（オクルージョン）のないクリームはんだ印刷品質の自動的な３次元画像検査ができるようにした。 （もっと読む）

【課題】量産部品の完成検査は、従来、目視によることを基本とし、検査員の育成・配備や検査時間が多大であると同時に、判別に対する個人差や誤認或いは見落としが避けられないため、判別検査を自動的に処理する画像処理システムを提供する。
【解決手段】被検査部品の各面に対応してカメラを設置し、照明板、コントロ−ラ、パ−ソナルコンピュ−タ−及びこれらをコントロ−ルするコンソ−ル並びにコントロ−ルマウスによって画像処理システムを構成し、適合の見本とする部品の各撮像面について、カメラの角度、照明の色調及び照明の明るさをプログラミングしたモデル画像による計測値９をメモリ−する。同時に、これを基準にして曖昧さの領域について上限レベル及び下限レベルを設定する。以上にもとづいて、被検査部品の画像をモデル画像及びその計測値９と対比し、被検査部品の適合又は不適合を自動的に判別する。 （もっと読む）

【課題】 一度セッティングするだけで全ての歯についての偏心度を測定できるようにし、測定精度を向上させるとともに、測定作業を容易にし、測定時間を大幅に短縮して、測定効率の向上を図る。
【解決手段】 外周２に基本中心軸を中心にして複数の歯３を加工し、基本中心軸が中心となるように孔４を加工してなる歯付回転体１の基本中心軸に対する孔４の孔中心軸の偏心度を測定する歯付回転体の偏心度測定方法において、歯付回転体１を、孔中心軸を中心に回転させ、回転する歯付回転体１の直径方向外側に設けられた光源２１から歯３に向けて光を照射するとともに歯３からの反射光を受光して光源２１と歯３の外周との距離を計測し、各歯３毎の距離の最短値である個別ピーク値を検出するとともに、検出された全ての歯３の個別ピーク値のうちの最大値と最小値との差を求める。 （もっと読む）

【課題】
光学系ユニットに設置した被検体の第１測定面と第２測定面間のレーリーリミット以下の傾き角θを検出し測定する。
【解決手段】
レーザ光源１からの光束を投光用コリメータレンズ３で平行光束とし、２つの被検体４、７に向かわせる。両被検体４、７の測定面５、８で反射した光束を往路に戻し、コリメータレンズ３から一次結像面６にスポットとして集光する。この集光位置は、被検体計測面５、８間に生じているレーリーリミット以下の傾き角θに応じた角θＡで決められる位置ｐ１、ｐ２となる。これを任意倍率の受光用レンズ１０でＣＣＤなどの受光部６に結像することなく投影する。この投影されるとき２つのスポットにθＢの角度を持たせてスポットの重なり部分に干渉縞を発生させる。この干渉縞本数を計数することで被検体計測面５、８間の傾き角θを求める。


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【課題】
従来技術による中空形状の測定方法は、物体の中空形状を一度に得ることができず、物体や光源を回転させる必要があり、装置が複雑になるだけでなく、精度面での問題もあった。
【解決手段】
本発明に係る測定装置は、中空筒状の軸方向である第１の方向に光を送光する送光部と、前記第１の方向と略直交する方向に前記光の方向を変換する変換部と、前記変換部で方向が変換された光のうち前記被測定物の内側で反射した光を検出する検出部と、前記検出部の検出結果に基づいて、所定基準位置からのずれを求めることにより前記被測定物の内側形状を測定する形状測定部と、前記被測定物の内側の全周に亘る前記ずれの偏りを小さくする位置調整部とを設けた。 （もっと読む）

方法は、試験対象物をモデル化するための異なるモデルパラメータに対応した複数のモデル信号の各々と、試験対象物の位置に対して得られた走査干渉法信号とを比較することを有する。各モデル信号に対して、比較することは、走査干渉法信号とモデル信号の間の相関関数を算出し、走査干渉法信号とモデル信号の間の表面高さオフセットを特定すること、および、特定した表面高さオフセットに基づいて、共通の表面高さに対する、走査干渉法信号とモデル信号の間の類似点を表わす高さオフセット補正済メリット値を算出することを有する。本方法は、異なるモデル信号に対する各々のメリット値に基づいて、試験対象物の位置での試験対象物パラメータを判定することをさらに有する。
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【課題】所定の空間内に配置されている物品の位置を、高い精度で個別に把握できる物品位置管理システムを提供する。
【解決手段】可視光通信タグ２が、ＬＥＤによって、メモリに記憶されている識別番号と荷物１の属性データとを送信すると、可視光通信機器３は、２次元イメージセンサにより受信された信号情報に基づき、可視光通信タグ２の位置を、２次元イメージセンサが捉えた画像に重畳して表示するための画像データを生成する。また、受信信号より可視光通信タグ２が送信した被変調信号を復調し、画像データにおける各可視光通信タグ２の位置に、復調された信号に基づき対応する識別番号を付して表示器に表示させる。 （もっと読む）

【課題】予めパターンが形成された基板の全面に塗布された塗布膜の膜厚を十分な精度で測定できる膜厚測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ガラス基板等からなる基板１上にブラックマトリクス２とカラーフィルタ（３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ）パターンとからなるパターン４と非パターン領域に膜厚測定用パターン５を形成し、処理基板１０を作製する。さらに、スリットコート方式等により処理基板１０上に塗布膜６を形成し膜厚測定用基板１０ａを作製し、分光干渉法で膜厚測定用パターン５上の塗布膜６の膜厚測定を行う。 （もっと読む）

【課題】被測定試料のパターン検査を高速に実行できるパターン検査装置を提供すること。
【解決手段】被測定試料のパターンに対応した測定データを生成する測定データ生成部と、被測定試料の設計データに基づいてイメージデータを生成し、イメージデータ上の図形の有無を検出するイメージデータ生成部と、イメージデータ上の図形の有無の情報を格納する図形有無情報格納部と、測定データとイメージデータを比較する比較処理部と、を備える、パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自動的に最適なカットオフフィルタ処理を選択することが出来る光学式３次元計測装置及びフィルタ処理方法を提供することを課題とする。
【解決手段】操作者が観察試料３００を計測するための観察条件を表示部５００で見ながら指示部６００を用いて入力する。光学式３次元計測装置１０００ではフィルタ処理部が観察条件に基づいて、最適なフィルタ処理を自動的に選択し、実行する。 （もっと読む）

【課題】透明板状体の表面反射像と裏面反射像が重なることなく、良好に分離して透明板状体の面形状を精度良く算出する。
【解決手段】形状測定装置１０は、照明光学系１２の配置位置を透明板状体Ｇの面に射影した位置と、撮像デバイス１４の配置位置を透明板状体Ｇの面に射影した位置とを結ぶ方向を第１の方向というとき、ストライプパターン画像の、透明板状体Ｇの表面反射の像と裏面反射の像とが、第１の方向に位置ずれして少なくとも一部で分離されるように、照明光学系１２は、ストライプパターン画像の直線状の暗部の線の延在方向が、第１の方向に一致するように照射する。ストライプパターン画像の一部をマスクすることで、表裏反射像を分離する。 （もっと読む）

【課題】
光学機器で使用される平行光束の平行度を測定し、平行光束の精度を向上する。
【解決手段】
光学ユニット１を被検体とし、この光学ユニットからの光を複数のピンホール６を持つピンホール板５経由で受光部７に投影する。その像をピンホール画像として制御ユニット８から表示部９に伝え表示する。この時、被検体からピンホール数に応じて分割抽出され、受光部７に向かった光束がみな平行な光束であれば表示部の決められた１つの表示原点に重畳してピンホール画像が表示される。平行性に不具合がある光束は表示原点から外れて表示される。この表示される表示原点とピンホール画像を画面で確認し、測定しながら光学ユニット１とピンホール板５の位置関係を調整し最適位置を求める。



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【課題】光走査装置のビームスポット形状等の結像状態を連続的に計測することができる方法と装置を提供する。
【解決手段】被走査面上を主走査方向に繰り返し移動する光走査装置１００からの走査光ビームＢによるビームスポットの特性を連続的に測定する走査光ビームスポット測定方法であって、開口幅が一定で主走査方向に対して角度をなしているスリット１ａを主走査方向に走査光ビームＢの移動速度に比較して遅い速度で移動させ、スリット１ａの移動中にスリット１ａを通過する光量のピーク値を主走査位置に応じて連続的に取得し、そのピーク値を主走査位置に応じて重畳表示する。 （もっと読む）