【課題】担持体および基板のそれぞれに形成されたアライメントマークの両方に同時に撮像手段のピントを合わせることができない場合であっても、担持体と基板との位置合わせを高精度に行う。
【解決手段】透明なブランケットを介してＣＣＤカメラで撮像された画像ＩＭから、基板側のアライメントパターンＡＰ１およびブランケット側のアライメントパターンＡＰ２それぞれの重心位置Ｇ1mおよびＧ2mを画像処理により求める。ブランケット側のアライメントパターンＡＰ２については、ピントが合った状態で撮像された画像からエッジ抽出を伴う処理により重心Ｇ2mの位置を特定する。ピントが合わず輪郭がぼやけた状態で撮像された基板側のアライメントパターンＡＰ１については、高い空間周波数成分を除去して低周波成分を抽出し、その結果から重心Ｇ1mの位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の測定精度をより改善できる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の３次元測定装置は、測定対象物を固定するワークステージと、光源、光源から照射された光を透過させる格子及び格子の格子イメージを測定対象物に結像させる投影レンズを含み、測定対象物に対して格子イメージを第１方向にＮ回入射した後、測定対象物に格子イメージを第２方向にＮ’回入射する投影部と（Ｎ及びＮ’は２以上の自然数）、結像レンズ及びカメラを含み、測定対象物によって反射される第１方向反射イメージ及び第２方向反射イメージを受信するイメージ取り込み装置と、イメージ取り込み装置に受信された第１方向反射イメージ及び第２方向反射イメージを用いて測定対象物の影領域を補償して測定対象物の３次元状態を算出する制御部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】波長差に起因する計測誤差を低減して高精度な位置検出を行う位置検出装置を提供する。
【解決手段】基準マークＳＭを利用して被検出体ＷＭの位置を検出する位置検出装置であって、第１の波長帯域を有する計測光を用いて被検出体ＷＭを照明する第１の照明光学系５と、第２の波長帯域を有する基準光を用いて基準マークＳＭを照明する第２の照明光学系１３と、被検出体ＷＭからの光束および基準マークＳＭからの光束を検出する検出光学系１０と、検出光学系１０で検出された光束に基づいて被検出体ＷＭの位置を検出する位置検出部４８とを有し、基準光の第２の波長帯域は、計測光の第１の波長帯域の上限と下限との間に設定されている。 （もっと読む）

【課題】リアルタイムコンテキスト生成機能を含むマシンビジョンシステムプログラム編集環境を提供する。
【解決手段】編集に現実的なコンテキストを生成するために、パートプログラムのすべての先行命令の実行を必要とせずに、前に保存されたデータを使用する代理データ動作が、特定の命令セットの実行に取って代わる。代理データは、パートプログラムに記録される動作の実際の実行中に保存し得る。実行の編集モードは、そのデータを代理と置換して、そのデータを生成するであろう動作を実行する。コンテキスト生成で大量の時間節約を達成し得、それにより、編集は動作コンテキスト内で行うことができ、動作コンテキストは略リアルタイムで正確性のために繰り返しリフレッシュし得る。これは、マシンビジョンシステムの固有のユーザインタフェースを使用して、比較的未熟なユーザによる都合のよいプログラム変更をサポートする。 （もっと読む）

【課題】解体対象を固定している固定部材の位置の検出精度を高めること。
【解決手段】解体対象を撮像した撮像画像から、前記解体対象を固定している固定部材の画像として予め決められている固定部材画像を検出する固定部材画像検出部と、前記固定部材画像検出部により検出された前記固定部材画像の位置を示す位置情報を算出する位置情報取得部と、前記解体対象を固定している複数の前記固定部材の予め決められた位置関係を示す配置パターンと前記位置情報とに基づき、前記固定部材画像検出部によって検出された前記固定部材画像が前記配置パターンに含まれる前記複数の固定部材に対応するか否かを判定する配置パターン対応確認部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクとの隙間を高精度に制御することのできる有機ＥＬデバイス製造装置を提供する。
【解決手段】真空処理室内に設けられたシャドウマスクと、基板を載置する基板ホルダーと、基板とシャドウマスクとの間を、接近させ又は離間させる基板密着手段と、基板ホルダーの四隅に設けられた距離計測機構とを備え、距離計測機構は、基板ホルダーを貫通するように設けられた距離計測用空間と、基板ホルダーの表面上に設けられた透明ガラス板と、距離計測用空間に配置された距離計測部とを備え、距離計測部は、光を発射し反射光を受光して距離を計測する距離計と、距離計を真空処理室内の雰囲気から隔離する距離計筐体と、距離計筐体の一部に設けられた透明ガラス窓とを備え、距離計が、透明ガラス窓を介して透明ガラス板とシャドウマスクとの間の距離を計測するよう、有機ＥＬデバイス製造装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】熱源の大きさが赤外線カメラ1画素の検出範囲よりはるかに小さな場合であっても、赤外線カメラの画素数を増やすことなくカメラから熱源までの位置角度を精度良く求める。
【解決手段】検出範囲の最も赤外線カメラから遠くにあり、1画素の検出範囲よりもはるかに小さな熱源であっても、赤外線カメラのレンズの焦点をずらし、３画素に赤外線が入射させ３画素が出力するデータの大小を比較することにより精度の高い熱源の角度検出を行う。 （もっと読む）

【課題】生地などのシート体の縁部を正確に検出することができる。
【解決手段】当接部材２０と、当接部材２０に面当接しているシート体Ｗへ向けて検出光を投光する投光部２と、投光部２が投光した検出光を受光する受光部３と、受光部３の受光量を基にシート体Ｗを検出する検出部３５とを備え、投光部２は、シート体Ｗとその縁部Ｗａから外れた外領域とにわたって検出光を投光できるように並設された複数の投光口２ａを有し、受光部３は投光口２ａに個別に対応する受光口３ａを有し、検出部３５は受光口３ａに個別に対応する判断部を有している。 （もっと読む）

【課題】管端部の加工部について、寸法精度と加工面の状態とを共に自動的に検査することができ、しかもインライン化が可能なよう検査装置全体のコンパクト化を可能にした、管端検査装置を提供する。
【解決手段】端部を加工した管２の管端加工部を検査する管端検査装置である。管端加工部の形状を計測するレーザ変位計４２と、管端加工部の表面を撮影する撮像装置６２と、レーザ変位計４２及び撮像装置６２を管端加工部の周方向に沿って移動させることにより、レーザ変位計４２のレーザビームスポット及び撮像装置６２の焦点を管端加工部の周方向に沿って周回させる回転テーブル（周回手段）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】廉価な測定装置を使用するとともに、測定方向が異なる種々の被検査部位を、同一方向から容易且つ正確に測定することを可能にする。
【解決手段】フレーム部材用検査装置１０は、フレーム部材１２に設けられる被検査部位の位置を測定し、前記測定された位置の精度を検査する。この検査装置１０は、フレーム部材１２を所定の姿勢に保持する保持機構５０と、前記フレーム部材１２の被検査部位に直接装着されるとともに、前記被検査部位に対応し且つ前記フレーム部材１２の横方向に向かう計測孔部８６が設けられる検査治具５２と、前記計測孔部８６を測定して算出される該計測孔部８６の位置情報に基づいて、前記被検査部位の位置精度を検出する測定機構５６Ｌ、５６Ｒとを備えている。 （もっと読む）

【課題】刻印試験を短時間で行うこと。
【解決手段】刻印装置１は、鋼片製品を固定する製品固定部２と、刻印試験を行うための鋼片製品と同種の鋼片試料を固定する試料固定部３と、製品固定部２および試料固定部３にそれぞれ固定された鋼片製品および鋼片試料に刻印ピン４ｂを押圧することによって鋼片製品および鋼片試料の表面に刻印を付与する刻印付与部４と、を備える。このような構成によれば、刻印試験を行う際、製造ラインに製品が搬送されてくるまで待機する必要がなくなるので、刻印試験を短時間で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 遮光位置のずれを低減する技術の提供。
【解決手段】 原版を光で照明する照明系、前記原版のパターンの像を基板に投影する投影系を有する光学系を備える露光装置で、前記光学系の光路上の前記投影系の物体面と共役な面かその近傍に配置され、前記像が前記基板上に投影される領域の外縁の一部を円弧状に規定する円弧状部を有する遮光板と、前記光学系の光路に沿った回転軸まわりに前記遮光板を回転駆動する回転駆動部と、前記回転軸と交わる方向に前記遮光板をシフトするシフト駆動部と、前記回転駆動部により前記遮光板を回転駆動させ、前記光学系により前記像を前記基板に投影する際の基準となる基準軸と前記回転軸との相対位置の情報を取得する取得部と、前記基板の周辺部に対して前記像を投影する場合、取得した前記相対位置に関する情報に基づき、前記遮光板が所定の位置になるように前記回転駆動部と前記シフト駆動部を制御する制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図れる導膜製造装置、製造した電気機械変換素子、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１のアライメント調整工程では着弾位置２５１をカメラ２０５で捕捉し着弾位置２５１がカメラ２０５の撮影撮影基準位置２５２に一致するように基板又は液滴吐出ヘッド２０１を相対的に移動する。第２のアライメント調整工程ではレーザレッドによってレーザ光を照射して照射跡を形成し照射跡をカメラ２０５で捕捉し照射跡がカメラ２０５の撮影撮影基準位置２５２に一致するように基板又はレーザヘッドを相対的に移動する。第３のアライメント調整工程では基板上に予め形成されているアライメントマークを撮像手段２０５で撮影したアライメントマークの形状に基づいて基板の向きを検知して基板の向きの調整を行いアライメントマークを撮像手段２０５の撮影基準位置に一致するように基板を移動することで基板の組付け位置の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】熟練者でなくても容易迅速にタービン組立静止部品の位置を計測する装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、タービンの回転中心に沿ってレーザー光２１を出射するレーザー光源部１と、レーザー光の光軸に対して４５度の傾斜角度で配置され、上記出射レーザー光の一部を９０度の角度で反射してタービンの静止部品１１に照射する反射鏡兼透過鏡３３と、この鏡を透過したレーザー光を受光する第１の受光器３４と、上記静止部品に照射されて反射し上記反射鏡兼透過鏡を透過したレーザー光を受光する第２の受光器３５と、上記反射鏡兼透過鏡と第１の受光器と第２の受光器とを収容する筺体３１と、受信信号を演算してレーザー光源部から静止部品までの回転中心に沿う距離と上記回転中心から静止部品表面までの距離を演算する制御演算装置２とを備え、上記筺体がタービンの回転中心周りに回転自在に構成されている。 （もっと読む）

【課題】被測定対象に施される遮熱コーティングの膜厚を効率良く正確に測定することが可能な膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】膜厚測定装置１は、タービン翼１１に形成された遮熱コーティング膜の膜厚を測定するＥＣＴセンサ４と、遮熱コーティング膜の膜厚を測定する地点であるタービン翼１１上の測定地点を記憶している記憶手段９と、タービン翼１１の形状を測定するレーザ変位計５と、レーザ変位計５によって測定された測定されたタービン翼１１の形状と、記憶手段９に記憶されているタービン翼１１上の測定地点に基づいて、ＥＣＴセンサ４による実際の膜厚測定に適した実測定地点を算出する測定位置算出手段８と、測定位置算出手段８によって算出された実測定地点に基づいて、ＥＣＴセンサ４を駆動して、ＥＣＴセンサ４の測定位置を調整するアーム駆動手段６とを備える。 （もっと読む）

【課題】原板が有する凹凸パターンを容易にかつ高い位置精度で基板上の転写液層にインプリントすることのできる技術を提供する。
【解決手段】原板Ｍの凹凸パターンＰ面が基板Ｓ上に塗布された転写液層ＵＶＲに接触した状態で、原板Ｍおよび基板Ｓのそれぞれに形成されたアライメントマークＡＬを、１つの認識手段により、両アライメントマークＡＬが重なる方向から同時に撮像して得られた１つの画像から両アライメントマークＡＬの位置を別々に認識処理することで原板Ｍと基板Ｓとのアライメントを行う。そのため、撮像された原板Ｍおよび基板Ｓのアライメントマーク画像に相対的な位置誤差が生じるおそれがなく、振動や異なる走査タイミングに起因する位置誤差が生じることを防止できる。 （もっと読む）

【課題】誤差の影響を受けにくいが大きな空間を占有しない、改善された精密測定システムを提供する。
【解決手段】本体の動きを検出するシステムであって、本体と、基準フレームに対して実質的に静止して取り付けられた第１回折格子４０，４２と、本体に取り付けられた第２回折格子５０，５２と、第１および第２回折格子で回折された一つ以上の放射ビームを受け取り、基準フレームに対する本体の動きを検出するように構成された検出器６０，６１，６２，６３と、を備え、検出器６０，６１，６２，６３が本体に結合され、本体に対して移動可能である。 （もっと読む）

【課題】１つの実施形態は、例えば、基板の表面の位置の計測精度を向上できる位置制御システム、露光装置、及び露光方法を提供することを目的とする。
【解決手段】１つの実施形態によれば、面位置計測部と制御部とを有する位置制御システムが提供される。面位置計測部は、基板の表面の高さ方向の位置を計測する。制御部は、面位置計測部による計測結果に基づいて、光学系と基板の表面との相対的な位置を制御する。面位置計測部は、複数のフォーカスセンサ４１−１〜４１−３と駆動部４２とを有する。駆動部は、基板の表面に対する複数のフォーカスセンサの基板面内方向の位置を独立して駆動する。 （もっと読む）