【課題】被接合部材の目違いが生じたとしても、接合不良の発生を防止可能な摩擦撹拌接合装置を提供する。
【解決手段】被接合部材Ｗ１同士を接合する摩擦撹拌接合装置１であって、被接合部材Ｗ１同士の接合を行なう工具１１を保持する工具保持部１２と、工具１１による接合方向の前方に設けられ、被接合部材Ｗ１の接合箇所の表面を押圧する押圧手段１３と、押圧手段１３と工具１１との間における被接合部材Ｗ１同士の目違いを検出する目違い検出手段１７とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、所定の特徴パターンの変形を考慮しつつ測定精度の向上と情報処理量の低減とを図ることができるひずみ測定装置およびひずみ測定方法を提供する。
【解決手段】本発明のひずみ測定装置Ｓａおよび該方法では、試験体ＳＭに外力を作用させる前後における試験体ＳＭの外力作用前画像Ａおよび外力作用後画像Ｂから、パターンのマッチングによって仮伸縮率が求められ、この求めた仮伸縮率を用いて外力作用前画像Ａまたは外力作用後画像Ｂにおけるパターンが変形され、この変形されたパターンに基づいて、試験体ＳＭの外力作用後画像Ｂから、パターンのマッチングによって伸縮率が求められる。 （もっと読む）

【課題】 コンクリートの破壊や、含水率の調整等をしなくとも、鉄筋の腐食状態を計測可能とする。
【解決手段】 コンクリート内部の鉄筋腐食計測方法は、コンクリートの表面のひずみを計測するひずみ計測工程と、ひずみ計測工程による計測結果に基づいて、コンクリート内部の鉄筋の腐食状態を推測する腐食状態推測工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、微小な曲げ変化を検出することが可能な光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサ１０は、コア１１及びコア１１の外周に設けられたクラッド１２から構成された光ファイバの、少なくともコア１１に光ファイバの光軸に非対称に、伝送する光の漏洩源となる欠陥１３がフェトム秒レーザで形成されている、光の漏洩が光ファイバセンサ１０の曲げ方向に依存する。 （もっと読む）

【課題】 膜状の測定対象物の膜厚の時間変化を精度良く測定することが可能な膜厚測定装置、及び膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】 第１波長λ_１の測定光成分、及び第２波長λ_２の測定光成分を含む測定光を測定対象物１５へと供給する測定光源２８と、測定対象物１５の上面からの反射光及び下面からの反射光の干渉光について、第１波長λ_１の干渉光成分、及び第２波長λ_２の干渉光成分に分解する分光光学系３０と、第１、第２干渉光成分のそれぞれの各時点での強度を検出する光検出器３１、３２と、膜厚解析部４０とを有して膜厚測定装置１Ａを構成する。膜厚解析部４０は、第１干渉光成分の検出強度の時間変化での第１位相と、第２干渉光成分の検出強度の時間変化での第２位相との位相差に基づいて、測定対象物１５の膜厚の時間変化を求める。 （もっと読む）

【課題】表面からの反射光の受光位置と裏面からの反射光の受光位置とを判別することが困難な場合であっても光透過性物体の厚さを測定することが可能な厚さ測定装置及び厚さ測定方法を提供する。
【解決手段】厚さ測定装置１は、投光部２と、配置面１１Ａ上に光透過性物体９が無い場合における配置面反射光Ｌ２３と、配置面上に光透過性物体が在る場合における裏面反射光Ｌ２２とをそれぞれ受光可能な受光部１３と、受光部における反射光の受光位置Ｘ３及び裏面反射光の受光位置Ｘ２間の距離ΔＸ２と、光透過性物体の厚さｄ１とにおける相関関係に基づき光透過性物体の厚さを測定する測定部８と、を備える。 （もっと読む）

媒体の減衰及び他の光学的特性を利用して、センサーとターゲット面との間の該媒体の厚さを測定する。本明細書には、種々の画像形成状況において、これらの厚さ測定値を取得して、ターゲット面の３次元画像を得るために使用可能な種々の媒体、ハードウェアの配列、及び処理技術が開示されている。これには、内面／凹面並びに外面／凸面を撮像するための一般的な技術、並びに、外耳道、人間の歯列などの画像形成へのこれらの技術の具体的な適用が含まれる。
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本願発明は印刷及び三次元構造、例えば包装の形成中の折り目（２）の間の見当合わせを制御するための方法及び装置に関する。本願発明はまた、包装がそこから形成される材料ウェブ（１）の繰り返される切り出し又は穿孔のためのユニットを制御するための方法及び／又は装置の使用に関する。制御において、集束された、高密度光ビーム、例えばレーザー線（４）が、関連する折り目（２）に対して２分する方向に置かれる。折り目（２）の位置又は折り目（２）は、投影されたレーザー線（４）の偏向の感知により決定される。レーザー線（４）からの分散された光は、見当合わせマーク（３）の位置を見当合わせするために使用されることができる。もし見当合わせマーク（３）及び折り目（２）の間の距離が予め定められた値以上に異なっている場合には、折り目ツール及び／又は印刷機が自動的に調節される。
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【課題】測定対象物の立体形状測定を高速に且つ精度良く測定することができ、その上断面形状測定が簡易に行える立体形状測定方法及び外観検査装置を提供することにある。
【解決手段】演算処理装置９は、カメラ３の撮像によって得られる画像データから測定対象物１の切削面の輪郭線を抽出するとともに、該輪郭線と当該測定対象物１の三次元形状データを前記切削面に対応して切断して得られる切断面の輪郭線とを比較して前記画像データから抽出できなかった輪郭線を抽出して該輪郭線を測定プローブ４による物理的形状測定の対象部位とする処理を行い、測定プローブ４による物理的形状測定結果と画像データによる形状測定結果三次元形状データとを比較して外観検査を行う。 （もっと読む）

【課題】切断された試料の表面情報を用いて試料内部を立体的に観察する。
【解決手段】対物レンズ１、リング照明２等を有する光学系によって、まず切断前の試料Ｗの表面を撮像し、次いで、切削装置２５によって試料Ｗを所定の高さで切断し、切断面Ｓを含む切断後の試料Ｗの表面を撮像する。切断前および切断後の試料Ｗの表面情報を比較して、差がゼロまたはゼロに近い領域の表面情報を背景部として除去し、残りを切断面の輝度値分布を表わす表面情報として制御装置１０に記憶する。光学系のピント調整によって得られる距離情報を切断前後で比較してもよい。 （もっと読む）

【課題】膜厚を正確に測定する。
【解決手段】 同種の層Ｒ₁，Ｒ₂を積層して基材Ｋ上で最も表面側に形成された膜Ｍ₂の厚さを測定する膜厚測定装置１は、層Ｒ₁，Ｒ₂のうち、基材Ｋ上で最も表面側に位置する最表層Ｒ₂より基材Ｋ側に形成された下地層Ｒ₁の厚さに基づいて膜Ｍ₂の厚さ範囲を算出する演算処理部３１と、反射分光法を用いて厚さ範囲内で膜Ｍ₂の厚さを測定する測定部３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 耐環境性に優れ、ひずみ伝達率が安定的に高く、外部要因である磁界、電界、温度の影響を受けない溶接型光ひずみゲージを提供する。
【解決手段】 この溶接型光ひずみゲージ１は、両端が開口された極小径の金属シースチューブ３と、この金属シースチューブ３にライン状に溶接６された薄板状のフランジ板２と、金属シースチューブ３の内空に挿通され且つ接着剤５によって固着されたファイバブラッググレーティング部（ＦＢＧ）４ａを含む光ファイバ４から構成されている。
この溶接型光ファイバ１は、被測定対象物７上において、フランジ部２ａ、２ｂをスポット溶接することにより、確実に固着される。ＦＢＧ４ａは、光ファイバに書き込まれたグレーティングのピッチがひずみや温度によって変化する。その変化に応じてグレーティングからブラッグ反射する光のピーク波長が変化することを利用してひずみ等を計測する。 （もっと読む）

真空処理エンクロージャ（１）内に置かれたシリコンウェーハ（３）の厚さを、光学装置（５０）を用い窓（４）を通して測定あるいはモニタリングする。光学装置（５）は、狭いバンド幅を維持しながらもある波長範囲にわたってチューニング可能なレーザを有する。光学装置（５）は、また反射光を受ける検出器をも有する。波長の変化が干渉効果を生ずるので、これを利用してかつ検出器の出力を精査することによって厚さその他の各種パラメータを得ることができる。
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【課題】 振動に対する敏感さを低下させた光学系の評価装置を提供する。
【解決手段】 光学系１の光軸評価装置Ａは、表示領域を有する表示器８と、光学系１から基準面上に投影された像を、表示領域上の基準位置に常に表示させる投影像捕捉装置３とを備える。投影像捕捉装置３は、光学系から基準面に投影された像を撮像する光学検出器５と、この撮像画像を、表示領域上の基準位置に表示させる捕捉制御器７とを備える。さらに、捕捉制御器７は、低倍率の撮像画像を受けて、光学系１を光学検出器５に対して相対的に調整可能に位置決めする位置決め部７０であって、投影像が、第１の検出領域上の特定領域内に位置するように動作する、位置決め部７０と、高倍率の撮像画像を受けて、表示器８の表示領域の基準位置に投影像の画像を表示させることにより、投影像の表示領域上における揺れを抑制する投影像揺れ抑制部７２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 基板のプリント状態を精密に検査することができる基板検査装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、プリントヘッドによってプリントされた基板のプリント状態を検査する基板検査装置に関し、プリント前の前記基板及びプリント後の前記基板を撮影するカメラユニットと；前記カメラユニットによってプリント前の前記基板を撮影した第１映像及びプリント後の前記基板を撮影した第２映像を受信し相互比較して前記基板のプリント状態の良否を判断する制御部とを含む。 （もっと読む）

【課題】極めて安価且つ簡易な構成で、シート体に形成された切り欠き部を確実に検出することができる検出装置を提供する。
【解決手段】検出部６０ａ、６０ｂを構成するレーザダイオード３９から出力されたレーザビームＬＢは、フイルム湾曲ローラ５８によって検出部６０ａ、６０ｂ側に湾曲され拡開されたハーフカット部２７ａ、２７ｂに照射されると、その反射光の一部が光量検出センサ４５に導入されて検出される。一方、ハーフカット部２７ａ、２７ｂ以外の感光性シートフイルム１２に照射されたレーザビームＬＢは、光量検出センサ４５の受光域外に反射されるため、光量検出センサ４５によって検出されることがない。 （もっと読む）

【課題】多くの空間を必要とせず、測定点の選択が容易でより正確な測定方法を提供する。
【解決手段】リングモールド（４）上でガラスパネル（６）を曲げる工程でガラスパネル（６）の撓みを測定する方法であり、ガラスパネルの測定点で撓みを測定し、測定データが曲げ工程の進行状況、特にガラスパネル（６）の加熱又は曲げ工程の不完全さを制御するために適用される方法であり、リングモールド（４）に対して不動の参照面（５ａ、５ｂ）が設定され、距離ゲージ（７、７０）が、参照面（５ａ、５ｂ）と該距離ゲージ間の距離を測定するために使用され、距離ゲージ（７、７０）が、ガラスパネル（６）の測定点と該距離ゲージ間の距離を測定するために利用され、及びガラスパネル（６）の撓みが、参照面（５ａ、５ｂ）と距離ゲージ（７、７０）間の距離を、該ガラスパネル（６）の測定点と該距離ゲージ（７、７０）間の距離と比較することにより測定される。 （もっと読む）

物体の空間的特性を決定するための方法には、２つ以上の界面を含む測定物体からの走査低コヒーレンス干渉信号を得ることが含まれる。走査低コヒーレンス干渉信号には、２つ以上の重なり合う低コヒーレンス干渉信号（それぞれ個々の界面に起因する）が含まれる。低コヒーレンス干渉信号に基づいて、少なくとも１つの界面の空間的特性が決定される。場合によって、決定は、低コヒーレンス干渉信号のサブセットに基づき、信号の全体に基づくのではない。あるいはまたは加えて、決定は、低コヒーレンス干渉信号を得るために用いられる干渉計の機器応答を示す場合があるテンプレートに基づくことができる。
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