【課題】被測定物に対する面方向の分解能や測定位置の変更を容易に行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光源１０と、光源１０からの光を２つの光束に分割して、一方の光束を被測定物Ｔに照射し、他方の光束を参照ミラー４０に照射させると共に、これらから反射された光を合波させるスプリッタ２０と、スプリッタ２０によって合波された光により得られる画像を撮像するＣＣＤ５０と、２つの傾き状態に制御される複数の微小ミラーを有するＤＭＤと、複数の微小ミラーを制御して被測定物Ｔや参照ミラー４０への照射光等を絞り込み、その状態で撮像された画像に基づき、測定点の高さを測定する制御手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速、且つ高精度に測定対象の形状認識情報を得ることができる移動環境認識装置を提供する。
【解決手段】測定対象７に対して円錐走査を行う円錐走査手段１を備えている。円錐走査手段は、移動環境検出器３と、この移動環境検出器で計測した情報を加工する外界認識装置９を備えている。この外界認識装置は、円錐走査手段の測定データに基づいて前記測定対象の傾斜角、傾斜方向及び測定対象中心までの距離を算出する移動環境検出手段と、この移動環境検出手段が算出した前記測定対象の算出データに基づき、各測定対象の面形状を判断する面形状判断手段と、この面形状判断手段が水平面と判断した所定の測定対象の形状を認識する形状認識手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】光学系に可動機構を備えることなく、測定対象物の形状を逐次測定することが可能な光学式プローブを提供する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ光源により出射されたレーザ光を平行光とするコリメータレンズと、コリメータレンズにより平行光とされたレーザ光をライン形状の光に変形する光形状変形手段と、光形状変形手段により変形されたライン形状の光を測定対象物に対して選択的に照射させる光照射手段と、光照射手段により選択的に照射されて測定対象物の表面にて反射されたレーザ光に基づいて測定対象物の画像を撮像する撮像手段と、光照射手段によるライン形状の光の照射を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、光照射手段において、ライン形状の光の一端部から他端部まで所定の範囲ずつ順次光を照射させる。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の計測処理を高速化すること。
【解決手段】スリット状の光線を計測対象物に対する照射位置を変更させながら照射する照射部と、前記光線が照射された前記計測対象物を順次撮像する撮像部と、前記撮像部によって撮像された画像を走査することによって前記画像における前記光線の位置を検出する位置検出部と、前記位置検出部による走査対象の画像よりも以前に前記撮像部によって撮像された画像における前記光線の位置に基づいて前記走査対象の画像における走査領域を決定する走査領域決定部とを３次元形状計測装置へ設ける。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーにより光ビームを走査することで対象物上に光のパターンを投影する三次元形状計測装置において、投影する光のパターンの環境条件等による変化を補償する。
【解決手段】ＭＥＭＳミラー１４で走査されるスリット光が実効的な走査範囲のＡ端を通るタイミングを光ファイバ２０Ａ及び光検出器３６Ａにより検出する。時間間隔計測部３８は、往復走査されるスリット光がＡ端を通過するタイミング同士の時間間隔を計測する。走査角度判定部４０は、計測された時間間隔に対応する走査角度変化パターンを求め、そのパターンからレーザー駆動信号の位相に対応する走査角度を求める。変調パターン信号生成部４２は、求められた走査角度に対応するレーザー発光強度を投影パターンから求める。レーザー駆動回路３２は、求められたレーザー発光強度に従って、レーザー１０の発光を制御する。 （もっと読む）

【課題】安価に測定誤差を校正し高精度且つ高速なコントラスト式のオートフォーカスを実現する。
【解決手段】画像測定装置は、ワークを撮像してその画像情報を転送するカメラと、カメラの合焦位置を制御してこれをＺ軸方向の位置情報として出力する位置制御部と、画像及び位置情報に基づいてワークの画像測定を行う画像測定機とを備える。位置制御部は、カメラの所定の撮像タイミングで位置情報を取得保持し、画像測定機は、合焦軸方向に沿って移動速度及び移動方向の少なくとも一つが異なるように複数回のＡＦサーチを行い、各ＡＦサーチのカメラからの画像情報及び位置制御部からの位置情報に基づき撮像タイミングと位置情報の取得タイミングとのずれ量を求め、このずれ量に基づいてＡＦサーチで求められた合焦位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】軌道輪表面の仕上がりの良否を簡易にかつ自動的に判断可能であり、製造コストが安価であると共に検査処理が簡単でありしかも精度の高い検査が可能な転がり軸受の表面検査装置を提供する。
【解決手段】検査表面に対しレーザ光を照射し、表面で反射したレーザ光を受光するレーザ光送受手段と、受光した光強度に対応する電気信号を出力する光電変換手段と、レーザ光照射部を軌道輪の軸と同軸で回転させる周方向走査手段と、レーザ光送受手段を軌道輪の軸に沿って移動する軸方向走査手段と、周方向走査の各位置において、光電変換手段から出力される電気信号出力の、軸方向における最大値を取得する最大値取得手段と、取得した最大値のうち、ハレーション状態に対応する最大値の個数を計数するハレーション個数計数手段と、ハレーション個数計数手段により計数されたハレーション個数に応じ、軌道輪の良否を判断する判断手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガルバノミラー３５で反射させてガラス管Ｇに照射し、ガラス管Ｇの外周面で反射する反射光及び内周面で反射する反射光をラインセンサ３９で受光し、反射光の受光位置からガラス管Ｇの厚さを検出する。サーボ用レーザ光源４０からのサーボ用レーザ光をガルバノミラー３５で反射させて、ガラス管Ｇにおける測定用レーザ光の照射位置又はその近傍位置にＺ軸方向から照射する。フォトディテクタ４８でガラス管Ｇからのサーボ用レーザ光の反射光を受光し、Ｙ軸方向エラー信号生成回路１１９、Ｙ軸方向サーボ回路１２０及びＹ軸方向ドライブ回路１２１が、モータ３６を駆動制御することにより、測定用レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸と交差するようにガルバノミラー３５のＸ軸線周りの回転をサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】環境変化に左右されない正確な測距値を取得可能なレーザ画像計測装置を得る。
【解決手段】レーザ光の発振時間と反射光の受光時間との時間差に基づき対象物までの距離を導出するために、基準となる変調信号Ｍを生成する基準信号発生部２０と、変調信号Ｍにより変調されたレーザ光を出射するレーザ光送信部３０と、レーザ光を走査して整形された送信ビームＬを出射するレーザ光走査部４０と、反射光を受信信号に変換する受信部５０と、レーザ光走査部４０内のレーザ光走査光学系５から基準固定距離に設置されて送信ビームＬが照射される基準反射板６と、受信信号から基準反射板６および対象物の距離値Ｄｚを導出する信号処理部６０と、を備える。レーザ光走査部４０および受信部５０は、基準反射板６からの反射光を、対象物に対する距離測定と同一の光路で送受信する。信号処理部６０は、基準反射板６の距離変動量ΔＤｚから、対象物の距離値を補正する。 （もっと読む）

【課題】コヒーレント光源を用いて線状パターンの投影を行いつつ、投影面でのスペックルの発生を抑制する
【解決手段】レーザビームＬ５０を、光ビーム走査装置６０によって反射させ、ホログラム記録媒体４５に照射する。ホログラム記録媒体４５には、走査基点Ｂに収束する参照光を用いて線状散乱体の像３５がホログラムとして記録されている。光ビーム走査装置６０は、レーザビームＬ５０を走査基点Ｂで屈曲させてホログラム記録媒体４５に照射する。このとき、レーザビームの屈曲態様を時間的に変化させ、屈曲されたレーザビームＬ６０のホログラム記録媒体４５に対する照射位置を時間的に変化させる。ホログラム記録媒体４５からの回折光Ｌ４５は、ステージ２１０の受光面Ｒ上に線状散乱体の再生像３５を生成する。受光面Ｒに物体を載置すると、ホログラム再生光により線状パターンが投影されるので、その投影像を撮影して物体の三次元形状測定を行う。 （もっと読む）

【課題】複数方向から計測対象物を計測して取得した３次元点群を自動的に合成することの可能な３次元点群の合成方法を提供する。
【解決手段】計測対象物の近傍または表面に配置された個体識別する複数の計測用ターゲットを、３次元計測手段を用いて計測して３次元の点群として取得する３次元計測ステップ(S2)と、点群から計測用ターゲットに該当するターゲット点群を抽出し、いずれの計測用ターゲットに該当するかを判別する個体点群判別ステップ(S3)と、３次元計測手段の位置を変えて複数の方向から３次元計測ステップと個体点群判別ステップとを繰り返した後、個体点群判別ステップにより一方向において判別した各ターゲット点群及び各他方向において判別したターゲット点群の中で同一性状を示すターゲット点群同士を合成する点群合成ステップ(S4)とを備える。 （もっと読む）

【課題】 反射基材の製造工程においてインラインでも評価可能であり、簡易な方法で確実に輝度ムラの発生原因となる基材表面性状を評価することが可能な反射基材の評価装置および反射基材を提供する。
【解決手段】 レーザ変位計３により反射基材の７の表面形状情報を取得する。次に、得られた凹凸情報をフーリエ変換し、反射基材の表面凹凸形状について、周波数と強度との関係を得る。次に、算出された周波数と強度との関係と、あらかじめ設定された基準データとを比較する。所定範囲の周波数領域において、強度が０．６を超える場合には不合格判定を行い、当該判断領域において０．６を超えるデータがなければ合格判定を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、レーザスキャナを用いた形状測定法において、簡単な作業で測定対象近傍のデータのみを取得する方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、レーザスキャナを用いて測定対象の形状を測定する際に、撮像機器を用いて測定対象を撮像し、該撮像された画像を確認しながら、上記測定対象近傍のみが写るように、視野制限窓を上記撮像機器の前面に設置し、上記レーザスキャナのレーザビームを全周囲に走査することで、距離データを取得し、該取得された全周囲のデータから、上記視野制限窓により計測ができなかった非計測領域に基づき、上記計測対象近傍のみの測定データを抽出することを特徴とする。
【効果】本発明によれば、レーザスキャナを用いた形状測定法において、簡単な作業で測定対象近傍のデータのみを取得する方法を提供することが可能である。 （もっと読む）

【課題】円筒状ワークの外径寸法を、迅速かつ正確に取得することが可能な円筒状ワークの寸法測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】測定対象となる円筒状ワークＷの中心軸線と平行に配置された固定軸Ｐと、該固定軸Ｐの径方向に離間して平行に配置され、固定軸Ｐを中心とした円の周方向に回動可能とされた可動軸Ｑと、可動軸Ｐと固定軸Ｑとの対向方向に延びる基準直線ｌ上における円筒状ワークＷによる遮蔽距離を検出する距離センサ５０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーを用いてレーザ光を走査する３次元形状測定装置において、使用開始から長期間が経過してもミラーの回転角度を精度よく取得でき、測定精度を一定に保つことができるようにする。
【解決手段】
回転可能に支持されたミラー１４ａと供給される電気信号に応じてミラー１４ａを回転させて変位させる駆動回路とが一体的に形成された第１ミラー１４を設ける。ミラー１４ａは、それぞれレーザ光を反射可能な第１反射面及び第２反射面を有する。第１反射面に測定装置と測定対象物ＯＢとの距離を測定するためのレーザ光を照射する。第２反射面にミラー１４ａの回転角度を検出するためのレーザ光を照射する。第２反射面からの反射光を受光する受光センサ２６を設ける。受光センサ２６における反射光の受光位置からミラー１４ａの回転角度を計算するミラー角度検出回路４２を設ける。 （もっと読む）

【課題】従来に比べてパターンの照射範囲を容易に設定可能で、高精度で距離計測が可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】形状計測面を撮像する撮像部１１と、撮像部からのタイミング信号にて動作制御され、投光パターン１５を形状計測面に投影する照射部７と、投光パターンの設定を行う投光パターン設定部５１と、投光パターン及び撮像画像により、投光パターンの照射範囲を設定する照射範囲設定部５３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法で測定する装置で格子縞の位置調整が容易に行えるようにする。
【解決手段】格子縞スリットを、平行な縞の配置間隔に相当する距離と、その配置間隔に相当する距離に所定の値を加算させた距離又は減算させた距離だけ、駆動部で原点位置から移動させる。そして、それぞれの移動位置で撮影した複数枚の格子縞の画像と、原点位置で撮影した格子縞の画像とを比較し、その比較結果に基づいて、格子縞スリットを格子縞の１配置間隔分だけ駆動させるのに必要な駆動信号の駆動量を判断する。その判断に基づいて、被測定物の立体形状を測定するのに必要な駆動信号の駆動量を設定する。 （もっと読む）

【課題】移動体にレーザレーダを搭載して地面や壁面に照射し、移動しながら目標物の位置を計測しようとする場合、複数のレーザレーダを用いることは多いが、レーザレーダを単に平行に並べて設置すると、移動速度によって計測点の密度にムラが発生したり、走行に平行な方向と垂直な方向とで計測点の密度差が大きい、という問題があった。
【解決手段】レーザレーダ同士に角度を持たせて設置することにより、計測点の密度のムラや方向による密度差の大きさを軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】被撮像物の材質あるいは背景や周辺環境、さらには、光源の照明方向や明るさに左右されることなく被撮像物のエッジ位置を正確に検出する。
【解決手段】被撮像物ＩＯのエッジを検出するために、制御部３は、被撮像物を実質的に半円形状で囲むように複数設けられた光源ＬＥＤを予め定められた順番で１つずつ点灯させることで、その点灯タイミングに同期して被撮像物を定点からカメラ２で撮像して当該被撮像物の濃淡画像を連続的に取得する。演算処理部４は、この点灯タイミングに同期して連続的に取得したすべての濃淡画像で、画素列毎に各画素の階調を比較して、階調の最大値となる画素と最小値となる画素との差分値を微分処理して画素列毎に微分値分布を算出し、この微分値分布から予め定められた閾値以上の画素位置をエッジ点として検出する。 （もっと読む）

【課題】表面高さ情報および／またはその複雑な表面構造についての情報を、抽出すること。
【解決手段】試験対象物の第１の表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することを含む方法であって、複数のモデルは、試験対象物に対する一連の特性によってパラメータ化される方法。比較される導出可能な情報は、試験対象物の第１の箇所における走査干渉分光信号の形状に関する。 （もっと読む）