【課題】 操作性に優れたテーブル移動機構およびプローブ走査装置を提供する。
【解決手段】 プローブ走査装置１は、原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０を一体的に備える。原子間力顕微鏡１０は試料載置台３０を有する。試料載置台３０は、ＸＹ方向移動機構３０ａおよびＺ方向移動機構３０ｂを含む。ＸＹ方向移動機構３０ａの上部には、試料Ｍを載置するための第３の移動プレート３３０が設けられている。ＸＹ方向移動機構３０ａの側面側からＹ方向に延びるようにＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０が互いに平行に設けられている。使用者がＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０を回転操作することにより、第３の移動プレート３３０がＸ方向およびＹ方向に移動する。第３の移動プレート３３０のＸ方向およびＹ方向への移動時において、Ｘ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０はＸ方向およびＹ方向に移動しない。 （もっと読む）

【課題】 断面曲線から粗さ曲線や３次元表示の粗さ形状を抽出する過程で、演算回数を少なくし、処理時間を短縮すると共にエンド効果を無くする。
【解決手段】 断面曲線のデータを間引き率Dでダウンサンプリングして断面曲線の間引きデータを得てから、間引きデータにカットオフ波長λ'_c =λ_c/Dのガウシアンフィルタを適用してカットオフ波長λ_c以上の長波長成分を抽出し、断面曲線からカットオフ波長λ_c以上の長波長成分を減算して粗さ曲線を得る。 （もっと読む）

【課題】微生物を検出する方法において、微生物を迅速に、正確に、検出し、検体中の微生物の個数を計測する生物計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】顕微鏡蛍光原子間力微生物検出手段１６をもちいて、蛍光染色を必要としない顕微鏡観察手段３で観察した箇所と同じ箇所を観察できる機構をもつ原子間力顕微鏡観察手段５を用いて微生物の外形や表面形状を詳細に観察データを処理できるようにしたことと、蛍光染色を施し、蛍光観察手段１２により観察した箇所と同じ位置を観察できる機構をもつ原子間力顕微鏡観察手段５を用いて計測しその計測データを処理できるようにして微生物を検出できるようにしたことにより、検体中の微生物を迅速に正確に検出し、微生物の個数を精度よく計測する微生物計測装置が得られる。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、走査プローブ顕微鏡で狭域の走査をする場合における、広域走査でのスキャナ駆動回路の持つノイズやドリフトが観察像の質を悪くしていることである。
【解決手段】探針と試料との間に作用する物理量を検出する走査形プローブ顕微鏡において、探針と試料を相対的に走査するスキャナと、前記スキャナの走査領域に対応した少なくとも２個のスキャナ駆動回路と、前記少なくとも２個のスキャナ駆動回路を切り替える切替手段と、を備えた走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 探針の高さ方向の位置制御で試料表面に形成された凹凸による段差の高さを制限して走査時間を短縮し、試料表面における穴等の形・大きさ・寸法・位置等の情報を得る走査型プローブ顕微鏡の探針走査方法を提供する。
【解決手段】 この探針走査方法は、試料１１の表面１１ａをなぞって探針１５を走査し、表面の凹凸形状等の情報を得る走査型プローブ顕微鏡の探針走査方法であって、試料表面での探針の走査範囲での探針の高さ位置の制御で、探針の最低位置を、最高の高さ位置を基準にして当該最高の高さ位置よりも低い任意の下限位置に制限する方法である。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光源とカンチレバーにおける反射部の相対的な位置関係に基づく検出精度の低下を防止できる走査型プローブ顕微鏡及びカンチレバーを得る。
【解決手段】 半導体レーザの光源を構成する発光部５２の半導体層５６から材質的、構造的に連続してカンチレバー５０のレバー部６８を形成し、更に、レバー部６８の先端に材質的、構造的に連続して探針部７４と反射部７０を形成する。これにより、反射部７０と発光部５２の相対的な位置関係が変化することがない。このため、反射部７０と発光部５２の相対的な位置関係に基づく検出精度の低下を防止できる。 （もっと読む）

【課題】コンクリート等の構造体における地震等災害後の損傷位置や損傷程度を簡便に検知すること。

【解決手段】
構造体を構成するコンクリートに、少なくともひずみセンサと増幅回路、アナログ/デジタルコンバータ、整流・検波・変復調回路部、通信制御部を有する装置を埋設もしくは接着する。外部のリーダーから発せられた電磁波のエネルギによって該装置の電子回路を動作させ、ひずみの測定を行い、その結果をリーダーに電磁波を用いて送信する。
【効果】ひずみ測定が結線なしで非接触で行えるので、構造体の設計や施工に大きな影響を与えることなく、損傷の程度を把握する事が可能である。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡および光学顕微鏡を有するコンパクト化された顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 顕微鏡装置１は、原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０を備える。光学顕微鏡２０の電動ズーム鏡筒２３は、試料載置台３０の側方においてＺ軸方向に延びるように配置され、光軸変換ミラーは電動ズーム鏡筒２３の上端部に配置されている。光学顕微鏡２０のレンズ格納部２１は、光軸変換部２２に取り付けられ、光軸変換部２２は、電動ズーム鏡筒２３の上端部に取り付けられている。電動ズーム鏡筒２３の下端部にＣＣＤカメラ２４が設けられている。試料Ｍからの反射光はミラーにより反射され、レンズ格納部２１のレンズを通して光軸変換部２２の光軸変換ミラーにより反射される。光軸変換ミラーによる反射光は、電動ズーム鏡筒２３を通してＣＣＤカメラ２４に取り込まれる。 （もっと読む）

【課題】搬送ローラーのローラー取り付け位置や、搬送ローラーに取り付けたローラーの径を、工程毎に異ならせることにより、基板についた傷の位置から工程を特定して、傷の原因を容易に除去可能にする平面基板搬送方法及び装置を提供する。
【解決手段】フラット表示パネル用の平面基板４を搬送ローラー１で搬送するに際し、平面基板４の搬送経路を複数の仮想ブロックに分割し、分割した仮想ブロックの搬送経路毎に異なる位置および／または異なる径Ｄのローラー３を取付けた搬送ローラー１を配置するとともに、同一仮想ブロック内の搬送経路には同じ位置に同じ径Ｄのローラー３を取付けた搬送ローラー１を配置し、平面基板搬送後に基板４の搬送ローラー接触面の傷Ｆを検査し、傷Ｆの位置または傷Ｆの間隔π×Ｄから傷Ｆの原因となった搬送ローラー１が配置された仮想ブロックの搬送経路を特定する。 （もっと読む）

本発明の方法および装置は、プローブ分子を使用する標的分析物の検出および／または同定に関する。本発明の種々の態様において、プローブまたは分析物は1つ以上のカンチレバーに結合される。プローブが分析物に結合すると、カンチレバーが偏向し、検出ユニットによって検出される。カンチレバーを元の位置に戻すために対抗力を適用することができる。対抗力は磁気的、電気的または放射性のものであってもよい。検出ユニットおよび対抗力を発生する機序は、コンピュータなどの情報処理制御ユニットに機能的に接続してもよい。コンピュータは、偏向力と対抗力の均衡をとることによって、カンチレバーを一定の位置に維持するフィードバックループを調節することができる。試料中の分析物の濃度は、カンチレバーを一定の位置に維持するのに必要な対抗力の大きさから求めることができる。 （もっと読む）

タイヤ転がり面の粗さを決定する方法であって、表面上を転動中のタイヤの少なくとも１点の運動を表す第１の信号（Ｓａ）を提供する段階と；タイヤの前記転がり面の粗さを示す出力（ＯＵ_Ｌ）を提供するため第１の信号を処理する段階とを含む。

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ベース端及びプローブ端を有する内部ＣＭＭアームと、複数の伝達手段を介して内部ＣＭＭアームを駆動する外骨格とを備える、外骨格を有するＣＭＭアームの装置が提供される。１つ又は複数の接触プローブ、光学プローブ、及び工具が、プローブ端に取り付けられる。外骨格を有するＣＭＭアームは、手動操作可能な実施形態及び自動実施形態で提供される。外骨格を有するＣＭＭアームは、高精度測定のため、又は高精度動作を行うために動作可能である。外骨格を有するＣＭＭアームの動作の方法が提供される。

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【課題】 スタイラスの軸方向に対して有害な曲げ振動の発生を防止することで、微細な表面形状の測定を可能にするタッチセンサを提供する。
【解決手段】 スタイラス１は、その軸方向に略対称の構造である。スタイラス１とスタイラスホルダ５とを連結する支持部材６〜９のスタイラス側の支持部１０〜１３は、スタイラスの重心３に対してスタイラスの軸方向に対称となる複数個所で、更に、その各個所においてスタイラスの軸４に対称な複数個所である。スタイラスの軸方向同一個所における各組の支持部材の重心が略前記軸上にある。加振手段３１および検出手段３２の少なくとも一方は、重心３から等距離となる少なくともスタイラス上の２個所に橋渡しされるように設けられている。 （もっと読む）