【課題】対象物の所望の位置を容易かつ迅速に観察することができる顕微鏡システム、顕微鏡システムを用いた観察方法および観察プログラムを提供する。
【解決手段】顕微鏡システムにおいて、使用者は、原子間力顕微鏡の試料載置台上に試料を載置し（ステップＳ１）、光学顕微鏡による試料の観察を行う（ステップＳ２）。使用者は、光学顕微鏡による試料の観察時に光学顕微鏡の倍率の調整を行う（ステップＳ２ａ）。また、使用者は、光学顕微鏡による試料の観察時に原子間力顕微鏡による試料の観察対象領域の探索も行う（ステップＳ２ｂ）。続いて、使用者は、ステップＳ２ｂにおいて探索した観察対象領域の中から、さらに原子間力顕微鏡による試料の観察対象領域を指定する（ステップＳ３）。その後、使用者は、ステップＳ３において指定した観察対象領域について原子間力顕微鏡による試料の観察を行う（ステップＳ４）。 （もっと読む）

【課題】 退避位置から適切な位置まで検査対象物及び探針を互いに接近させる際の操作性を向上させた走査型プローブ顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物が載置される載置台１１と、カンチレバーに取り付けられた探針を載置台１１上の検査対象物へ押圧しながら走査させ、検査対象物の表面形状を示す形状データを生成するプローブ顕微鏡５と、検査対象物を撮影し、カンチレバーの後方から見た顕微鏡画像を生成する光学顕微鏡１３とからなる走査型プローブ顕微鏡装置であって、載置台１１及びカンチレバーを相対的に移動させ、検査対象物及び探針を互いに接近させるアプローチ制御部１１２と、検査対象物及びカンチレバーを撮影し、カンチレバーの側方から見たサイドビュー画像を生成するサイドビューカメラ制御部１４０と、顕微鏡画像及びサイドビュー画像を画像処理し、モニター３１上に表示する画像処理部３０により構成される。 （もっと読む）

【課題】 カウンター質量となる可動部の可動範囲を確保することができ、常に良好に慣性力を相殺し、支持体の振動、しかして試料又は探針の振動を抑制する。
【解決手段】 試料又は探針を駆動する駆動ステージにおいて、探針１又は試料保持台５０５を移動させるためのカウンター駆動素子５００と、該探針又は試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部５１５、５１０と、を有し、前記可動部は、前記カウンター駆動素子５００の外側に、該駆動素子を囲むように設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、走査形プローブ顕微鏡等でのヒートサイクルにおいて、チューブ型圧電素子の破損が発生するという点である。
【解決手段】 円筒状に形成され、一方の端部に切欠部が形成された圧電素子体と、前記圧電素子体の前記一方の端部を固定し、前記圧電素子体と温度変化による変形率が異なる固定台と、前記圧電素子体に設けられた電極と、を備えた前記圧電素子体の他方の端部を微動させる微動装置であって、前記圧電素子体と前記固定台との温度変化による変形量の違いを前記切欠部を形成することにより生ずる前記圧電素子体の弾性変形で吸収することを特徴とする微動装置。 （もっと読む）

【課題】測定位置にかかわりなく一定圧の安定した微小接触圧を創成でき、それにより、傾斜部分でも誤差の少ない正確な精密測定を実現することができ、しかも構造が簡単で安価に実施できる極低測定圧接触式測長装置を提供する。
【解決手段】被測定物に測定端子を接触させて測長する形式の測定装置において、測定端子を並進させるための駆動シリンダを有し、かつ、前記駆動シリンダが、微小圧力創成用のために内部に吹き込まれる駆動用気体の一部を流出させる気体流出機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】対象物を容易かつ迅速に観察することができる顕微鏡システム、顕微鏡システムを用いた観察条件調整方法および観察条件調整プログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵは、カンチレバーのたわみ量を初期値に設定し（ステップＳ２１）、そのたわみ量を保つように試料の表面にカンチレバーを往復走査させる（ステップＳ２２）。ＣＰＵは、表示装置における同一のピクセルに対応する往路高さデータと復路高さデータとを１ピクセル毎に比較し、それらの差分の絶対値（差分値）を算出し、さらに算出された複数の差分値の総和を算出し（ステップＳ２３）、算出された差分値の総和が予め定められたしきい値以下であるか否かを判別する（ステップＳ２４）。ＣＰＵは、総和がしきい値以下である場合に現在のたわみ量を基準たわみ量として設定し（ステップＳ２５）、総和がしきい値以下でない場合にたわみ量を再設定する（ステップＳ２６）。 （もっと読む）

【課題】広範囲に渡る試料の観察を容易に行うことができるとともに、迅速かつ正確な観察を行うことが可能な顕微鏡システム、観察方法および観察プログラムを提供する。
【解決手段】試料上の走査単位領域および観察対象領域を設定する。ＣＰＵは観察対象領域内の走査単位領域の個数および位置を設定し、各走査単位領域の形状情報を取得する（ステップＳ２１）。ＣＰＵは、取得した形状情報に基づいて全ての走査単位領域の上面視画像を表示装置に表示させる（ステップＳ２２）。複数の走査単位領域の上面視画像を使用者が手動で連結する場合、ＣＰＵは選択された上面視画像に対するオフセット処理を行う（ステップＳ２７）。オフセット処理は、隣接する走査単位領域の上面視画像の重複領域の画像のピクセルの階調がほぼ等しくなるように一方の上面視画像のピクセルの階調をオフセットすることにより行われる。 （もっと読む）

【課題】 表面の凹凸による輪郭が明瞭でない検査対象物であっても、感度の調整具合を適切に判断することができる走査型プローブ顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 カンチレバーに取り付けられた探針を検査対象物上で往復走査させる走査制御部２４と、カンチレバーに作用する押圧力の目標値に対する偏差に基づいて探針の高さを制御する高さ制御部２６と、探針の走査位置情報及び高さ情報に基づいて走査線上の表面形状を検出する表面形状検出部２７ａと、走査位置情報及び偏差に基づいて走査線上の偏差分布を求める偏差分布検出部２７ｂと、往復走査の往路及び復路においてそれぞれ得られた表面形状を重ねて２次元表示するとともに、往路及び復路においてそれぞれ得られた偏差分布を重ねて２次元表示する表示制御部２９と、ユーザが指定するオフセット量に基づいて往路及び復路における走査位置情報をオフセットさせるオフセット調整部２８により構成される。 （もっと読む）

【課題】試料の振動を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡は、ＡＦＭスキャナおよび試料載置台を備える。試料載置台は、移動プレート、Ｚ方向移動機構およびＸＹ方向移動機構３０ｃを含む。ＸＹ方向移動機構３０ｃは、２つのモータＭａ，Ｍｂ、Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０を有する。Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０には、あり溝ガイド方式が用いられている。 （もっと読む）

【課題】振動の発生を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０は、顕微鏡連結部材４０に取り付けられる。顕微鏡連結部材４０は、弾性部材５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄを介してベース筐体部５０により保持される。顕微鏡連結部材４０に、おもりＷが取り付けられる。おもりＷの取り付け位置は、顕微鏡装置の各構成要素の重量、設置位置等を考慮して、各構成要素に発生する振動を確実に減衰できるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】 ＳＰＭ装置で使用する探針において、観察や加工などで探針先端に付着した物質を、ＳＰＭ装置内で除去し、探針先端を洗浄することを課題とする。
【解決手段】 異物4が付着した探針1を、サンプル3に押しつける。この時カンチレバー側のスキャナー5とサンプル台6の間で、相対的に水平振動10と垂直振動11を発生させる。探針先端への適切な摩擦を発生することにより、探針1の先端をに付着した異物4を取り除き、洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】
探針アプローチ時間を短縮してインライン装置としてのスループットを向上させた原子間力顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、試料の表面の形状を計測する走査型プローブ顕微鏡であって、試料の表面の高さを探針計測位置から距離Ｌ離れた高さ計測位置において計測する高さセンサ１１６と、高さ計測位置Ｃでの試料の表面の高さ情報ｈＣを前記高さセンサ１１６で計測した結果を用いて試料ステージ１０４を上昇させて、前記高さ計測位置での試料の表面の高さと探針計測位置での試料の表面の高さとの間の高さずれ情報ΔＺ又は段差情報（ＲｈＣ−ＲｈＡ）に基づき前記探針計測位置における試料の表面と前記探針の先端との間の間隔が所望の範囲（ｈｇ）になるように前記試料の表面を前記探針の先端に接近させる制御手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上の試料の位置特定を容易にし、様々なＳＰＭの規格や、ＡＦＭによる液中観察等にも適切な形状を有する、使い勝手に優れたＳＰＭ用の基板を提供すること。
【解決手段】基本形状を円形とした、表面が極めて平坦なガラスや雲母等の薄板の弧の１部に角を形成した基板の裏面に、１格子の１辺が数ｎｍから数ｍｍの格子を配設して、その格子を特定するために文字、記号を格子に表記することを特徴とする、汎用性に優れたＳＰＭ用基板。 （もっと読む）

【課題】 電界集中によりプラズマから受けるダメージを減少させて探針基体の先端部にカーボンナノチューブをプラズマＣＶＤ法によって成長させることができるプローブ顕微鏡用探針の作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 先端部１０ａを露出させてタングステン探針１０を保持するホルダー２６を容器２１内に配し、該容器２１内に導入した炭素系ガスをプラズマ化し、該プラズマ化した炭素系ガスに先端部１０ａを曝すことにより、当該先端部１０ａにカーボンナノチューブ３１を成長させる。タングステン探針１０の先端部１０ａには触媒金属が蒸着されている。 （もっと読む）

【課題】測定誤差の少ない圧電体薄膜の変位量を得ることができる圧電体薄膜の評価装置を提供する。
【解決手段】圧電体薄膜３１の評価装置１１は、圧電体薄膜３１の測定面に接触させる試料固定治具２０の上方に備えられたプローブ１３と、プローブ１３にレーザー光３４を照射する光源１６と、プローブ１３のたわみによって変位した反射光レーザー３５を受光する位置検出素子１７と、位置検出素子１７によって受光した反射光レーザー３５のずれ量から変位量を算出する位置検出信号処理回路１８と、圧電体薄膜３１を固定する試料固定治具２０とを有する。圧電体薄膜３１は、試料固定治具２０によって、電界方向に対して交差する方向の測定面とプローブ１３（探針３３）とが直接接触することができる上面になるように固定される。 （もっと読む）

【課題】ＡＦＭを用いることで表面が金薄膜１０４で覆われた尖鋭部１０３と被測定試料
２０１との間の距離をトンネル電流が流れる距離にまで近接させることが出来るようにな
り、印加電圧−トンネル電流の関係の面内分布が測れるようになった。しかし、尖鋭部１
０３からの電界により被測定試料２０１中のバンド構造が歪められ、精密に測定を行うこ
とが困難であった。そこで、被測定試料２０１中のバンド構造をより精密に測定するため
の探針を提供する。
【解決手段】尖鋭部１０３を覆うように形成された金薄膜１０４を、さらに酸化シリコン
等からなるトンネル絶縁膜１０５で覆う。ＡＦＭの接触モードで尖鋭部１０３と被測定試
料２０１との距離が極めて近くなった場合でも、尖鋭部１０３を覆う金薄膜１０４と被測
定試料２０１との間にはトンネル絶縁膜１０５分の絶縁物が介在するため、被測定試料２
０１のバンド構造を乱さずに測定することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、微孔（micro viaまたはlaser via）に銅を充填後の凹みまたは凸起の分析方法を開示する。
【解決手段】高さスキャン装置を利用して、プリント基板に銅を充填するステップを実施後に積層材料表面にできる銅めっき層の高さ分布を測定してから、各微孔の所在箇所の局部における銅被覆面積の複数個の高さ値を選択する。当該局部の銅被覆面積の該微孔周囲の複数個の高さ値を平均または計算して相対的標準高さを得、さらに該相対的標準高さと該微孔範囲内の銅被覆表面の各高さ値を比較して、その差の値を出す。それぞれの差の値の許容凹み量または許容凸起量を上回る累積数量が設定値を超えているか否かを計算する。超えていれば当該微孔範囲内の銅被覆表面に凹みまたは凸起欠陥があると判定する。 （もっと読む）

【課題】 短時間に、精度の高いＳＰＭ測定を行うことができる複合型顕微鏡を提供する。
【解決手段】 プローブにより試料３表面を走査し物性値の力を検出し画像化可能にしたＳＰＭ６、試料３の表面形状の３次元情報を取得可能にしたＬＳＭを有し、ＬＳＭにより取得された３次元情報に基づいて制御部１１によりＳＰＭ６の走査軌道情報を求め、該走査軌道情報に基づいてプローブの走査軌道を制御する。 （もっと読む）

【課題】 余分な振動をカット（相殺）して、カンチレバーのみの振動特性で該カンチレバーを振動させること。
【解決手段】 試料に対向配置され、先端に探針３ａを有すると共に基端側が本体部３ｂに片持ち状態に支持されたカンチレバー３を固定するものであって、カンチレバーを試料に対して所定角度傾けた状態で本体部を載置して固定する載置台１０と、該載置台に固定され、所定の波形信号に応じた位相及び振幅で振動する第１の加振源１１と、該第１の加振源が固定されたホルダ本体１２と、該ホルダ本体の少なくとも１箇所に固定され、第１の加振源から載置台及びホルダ本体に伝わった振動を、相殺させる振動を発生させる第２の加振源１３とを備えている加振型カンチレバーホルダ２を提供する。 （もっと読む）

【課題】カンチレバーに対して垂直方向に高い探針を備える計測プローブ及びこのような探針を容易に形成することができる計測プローブの製造方法を提供すること。
【解決手段】計測プローブ１は、導電性ポリマーを含むカンチレバー２と、カンチレバー２の固定端２ａが接続されてカンチレバー２を片持ち支持する基部３とを備えている。カンチレバー２は、固定端２ａが基部３に接続される一方、自由端２ｂがカンチレバー２の軸線方向及び面内方向に対して垂直方向のそれぞれに対して先鋭に形成されている。カンチレバー２の固定端２ａと自由端２ｂとの間には湾曲部（曲げ部）２Ａが配されており、固定端２ａ側の面内方向に対して自由端２ｂ側が垂直方向に曲げられて探針５となっている。 （もっと読む）