【課題】カンチレバーに対して垂直方向に高い探針を備える計測プローブ及びこのような探針を容易に形成することができる計測プローブの製造方法を提供すること。
【解決手段】計測プローブ１は、導電性ポリマーを含むカンチレバー２と、カンチレバー２の固定端２ａが接続されてカンチレバー２を片持ち支持する基部３とを備えている。カンチレバー２は、固定端２ａが基部３に接続される一方、自由端２ｂがカンチレバー２の軸線方向及び面内方向に対して垂直方向のそれぞれに対して先鋭に形成されている。カンチレバー２の固定端２ａと自由端２ｂとの間には湾曲部（曲げ部）２Ａが配されており、固定端２ａ側の面内方向に対して自由端２ｂ側が垂直方向に曲げられて探針５となっている。 （もっと読む）

【課題】 アスペクト比の高い凹凸を有する試料の表面形状を感度良く観察することが可能であるとともに、試料の電気特性を検出することが可能であるプローブを提供する。
【解決手段】 プローブ２０は、先端部２１ａが先鋭化されるとともに基端部２１ｂが略棒状に形成され、導電性を有し、試料上を走査される探針２１と、探針２１が先端部２２ａに突出して設けられるとともに、探針２１と電気的に接続される配線２９が配設されたカンチレバー２２と、カンチレバー２２の基端部２２ｂを、先端部２２ａが自由端となるように片持ち状態で固定する本体部２３とを備えている。探針２１の基端部２１ｂの断面形状は、中空部３０を有する略Ｃ形で、プローブ２２の中心軸２２ｄに対して略線対称となっている。 （もっと読む）

【課題】 観察等を行う箇所を容易に再現良く探し出すことが可能な顕微鏡用サンプル板を提供すること。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡や光学顕微鏡での試料の観察，測定又は加工に用いるための顕微鏡用サンプル板７であって、当該サンプル板７が透明材料からなり、低い拡大倍率で視認可能な低倍率用マーキング２ａと、当該低倍率用マーキング４ａの内側又は周縁に形成されていて、高い拡大倍率で判別可能な高倍率用マーキング４ｃとを有し、当該高倍率用マーキング４ｃの内側又は周縁に試料等５を有していることを特徴とする顕微鏡用サンプル板７である。 （もっと読む）

【課題】 走査プローブ顕微鏡を用いて、凹凸形状を有する試料（特に急峻なエッジを有する試料）を測定する際には、ユーザによる測定パラメータの設定により、測定形状に誤差が発生する場合がある。本発明は、ユーザの判断によって測定パラメータを設定することなく、容易に、適切な各測定パラメータを設定することができる手法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明では、走査プローブ顕微鏡を用いた試料測定において、スキャン速度、フィードバックゲイン、接触力等の各測定パラメータを変化させて実際の測定対象を測定し、その測定形状から得られた特徴量を用いて適切な測定パラメータを設定する。 （もっと読む）

【課題】 製品ばらつきが小さく、製品歩留まりが高い櫛歯型プローブを提供すること。
【解決手段】 櫛歯型プローブ１０は、静止部１、可動部２、探針３および支持部４を備えている。櫛歯ドライブ１０ａは、静止部１の櫛歯状凹凸部と可動部２の櫛歯状凹凸部とが非接触で噛合し、交流電源７によって与えられる静電力により可動部２がＺ方向に振動する。櫛歯型プローブ１０は、可動部２を励振するのに圧電体層のような機能性薄膜を用いないので、製品歩留まりが高い。可動部２が外力（探針３−試料Ｓ間の原子間力）の影響を受けると、櫛歯ドライブ１０ａのアドミッタンスが変化する。アドミッタンス検出器２０によりアドミッタンスを検出し、この検出値から可動部２の変位量を求める。 （もっと読む）

【課題】 試料表面の凹凸形状等を予め決められた測定点についてステップイン方式で測定し、測定のスループプットを高め、探針の衝突による破損・ダメージを減少できる走査型プローブ顕微鏡の探針制御方法を提供する。
【解決手段】 この探針制御方法は、探針２０と試料１２の相対的な位置関係を変化させ、探針が試料の表面を走査しながら測定部で試料表面を測定する走査型プローブ顕微鏡に適用される。測定点に関する探針の走査移動では、ＸＹ微動機構２９またはＸＹステージ１４によって、探針を試料と非接触状態にて一定間隔で送る行程と、測定点で探針を前記試料に接近・接触させる行程と、探針を試料から退避させる行程を行う。さらに予定された次の測定点に探針を移動する行程で、次の測定点での測定位置をその前の少なくとも２つの測定点の測定値によって予測するステップと、予測により測定点の接近開始位置を決定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】表面の凹凸測定における異常測定値の検出方法に関し、適正なしきい値の設定ができ、異常値のないデータに対して正常値を異常値としたり正常な測定値をゆがめたりすることがなく、異常値が密集して表れたときの検出も可能な方法を提供する。
【解決手段】測定面に多数の格子点Ｐ(i,j)と、格子点を中心とする近接領域と、判定レベルＬとを設定し、各格子点Ｐ(i,j)とその近接領域内にある近接格子点Ｐ(i1,j1),Ｐ(i2,j2)・・・との間の高低差の絶対値の中央値を当該各格子点の偏倚値Ｓ(i,j)とし、当該偏倚値を全格子点について求め、ある偏倚値Ｓより偏倚値Ｓ(i,j)が小さい格子点の数と全格子点の数との割合がｐであるときの前記ある偏倚値Ｓを確率偏倚値Ｓ(p)としてその確率偏倚値の変化率Ｓ(p)/Ｓ(p-a)が判定レベルＬを越える偏倚値を有する格子点の測定値を異常値とする。 （もっと読む）

【課題】一台でキメ深さやＩＲＩを測定できる多機能の路面性状測定装置であって安価かつ高精度なものを車載可能とすべく、移動距離計の測定値からタイヤ変形等の悪影響が取り除かれるようにする
【解決手段】車両に移動距離計１５と高さ計１６と高さ計５１と演算部２０とを搭載する。高さ計１６，５１には、排水用凹部の開口幅より短い第一基準長Ｎに対応した狭い範囲を測定するものを、採用する。演算部２０は、移動距離測定値ΔＳと高さ測定値Ｋ，Ｊとに基づき踏面算出を行って第二基準長Ｍ対応のＩＲＩを算出し、移動距離測定値ΔＳと高さ測定値Ｋとに基づき踏面算出を行わないで第一基準長Ｎ対応のキメ深さ等を算出し、更に基準長Ｍだけ離れた高さ計１６，５１での路面形状について相関を算出して選択的に移動距離測定値ΔＳを校正する。 （もっと読む）

【課題】 微小試験片に張力を加えた際の変位量を高精度に測定することができる変位量測定装置及び変位量測定方法を提供すること。
【解決手段】先端部にチップ（Ｔ）が形成された第１及び第２カンチレバー（１１、１２）を有するマルチプローブ（１）と、第１及び第２カンチレバー（１１、１２）の形状変化を検出する検出部と、マルチプローブ（１）を走査させるスキャナと、スキャナを制御する制御部と、試験片（２）に張力を加える引張機構とを備えた変位量測定装置であって、複数の凸部（２２）が等間隔に表面に形成された試験片（２）に対して引張機構によって張力を加える前後で、制御部がスキャナを制御し、マルチプローブ（１）を用いて、凸部（２２）が配列された方向に沿って試験片（２）の表面を所定距離走査し、検出部が、チップ（Ｔ）の位置変位による第１及び第２カンチレバー（１１、１２）の形状変化から試験片（２）の表面の高さ情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は走査型プローブ顕微鏡及びその動作方法に関し、探針と試料とが接触することを確実に回避することを目的としている。
【解決手段】 探針を試料表面に対して相対的に走査し、これにより試料表面の凹凸を測定する走査型プローブ顕微鏡において、それまでに走査した走査ラインにおける試料表面の高さ情報の最高値に対応して高さ方向の走査基準位置を更新するとともに、走査基準位置に対する高さ方向での探針の相対移動の制限値を設定し、当該更新後に次の走査ラインの走査を順次実行する。 （もっと読む）

【課題】 カンチレバーを取り外すことなく探針の汚染を除去し、かつ試料の表面変質を防止する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡において、試料測定室、探針洗浄室および両室の間の遮断機構を備え、両室の間でカンチレバーを移動可能とし、紫外光照射機構ならびにオゾン供給機構を探針洗浄室に備え、両機構が動作中は試料測定室と探針洗浄室を遮断することを特徴とする。
カンチレバーは、探針洗浄室にて紫外光およびオゾンを用いて探針洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】 本発明は走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離測定方法及び装置に関し、探針先端と試料表面が接触せず、高速でアプローチする、走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離測定方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 探針６を使用して試料１表面を走査し、試料１表面の凹凸を原子分解能で測定を行なう原子間力顕微鏡であって、探針６と試料１表面の距離を近づけるための第１段階の高速アプローチと第２段階の精密アプローチを組み合わせるようにした。この結果、全体として試料表面と探針間のアプローチ時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 支持剛性が高く、振動や温度変化の影響が少なく、光学顕微鏡と組み合わせた場合に、対物レンズや照明装置をサンプルに十分近接できるように薄型のユニットで構成されプローブとサンプルの位置合わせが容易に行えるようなＺ軸粗動機構を有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 プローブ２１が取り付けられた走査型プローブ顕微鏡ユニット４をサンプルＳに近接させるＺ軸粗動機構１１０を、Ｚ軸方向に移動可能な上面移動テーブルを有し、上面から低面にかけて中空の開口部１１３を有し、中空開口部１１３の周囲を取り囲む外周部から内周部にかけて切欠を有する構成とし、走査型プローブ顕微鏡ユニット４を上面移動テーブル上に設けられたＸＹステージ１４０に固定し中空開口部１１３に配置した。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、所望の表面粗さを維持することができると共に、つくりやすい粗さ標準片を提供することにある。
【解決手段】 粗さ測定器の校正に用いられる粗さ標準片１０において、所望の表面粗さを満足する微細な凹凸が形成されている型に樹脂を当てて得られた、該型の凹凸に対応する微細な凹凸１２ａをもつ基準体１２と、前記基準体１２上に均一な厚みでしっかり密着された、所望の硬度を有する保護膜１４と、を備え、前記保護膜１４が基準体１２と同じ凹凸１４ａをもち、該保護膜１４の凹凸１４ａが前記粗さ測定器の校正に用いられることを特徴とする粗さ標準片１０。 （もっと読む）

【課題】鋼板の表面欠陥や内部欠陥を検出する検査装置に適用し、安価にかつ正確に鋼鈑のエッジ検出ができる鋼板のエッジ検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】検出スキャン毎に得られる各チャンネルの信号の中から、エッジを検出したチャンネルの候補を抽出し、該候補から板幅推定値を算出し、該算出した値と板幅実測値を比較し、さらに前回のスキャンでのエッジチャンネル位置と今回のチャンネル位置を比較する。 （もっと読む）

【目的】試料の表面平面と凹凸部の側壁及び底面の走査を容易且つ正確に行うことができることを目的とする。更に、試料の平面の凹凸部の底角部を死角となることなく正確に操作できるナノチューブプローブを提供する。
【構成】カンチレバー部２に長軸状の突出部３が設けられ、この突出部３の先端部の側部に平坦面３ａが形成され、この側部平坦面３ａに突出部３の軸線方向に対して先端が斜め傾斜方向に突出するようにナノチューブ４ａ、４ｂが配置され、このナノチューブ４ａ、４ｂの基端部が側部平坦面３ａにコーティングあるいは融着により固定され、ナノチューブ４ａ、４ｂの先端を探針として用いる。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、試料表面の吸着層の影響で正確に試料表面の弾性や塑性変形を測定することができないという点である。
【解決手段】 試料と探針を離間した状態から接近させ、接触させ又は接触状態から離間させることにより測定を行う走査形プローブ顕微鏡であって、前記探針に横振動を作用させる加振手段を設けたことを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。また、前記測定は大気中、又は低真空雰囲気中で行われる走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】原子間力顕微鏡に、電気伝導率を計測できる新しい構成の４探針のプローブを導入すること。
【解決手段】従来のＡＦＭプローブを基にして作製された、４探針型原子間力プローブ（４ＰＡＦＭプローブ）のミクロ構造を模式的に示す。
４ＰＡＦＭのプローブの電極は、集束イオンビームシステム（ＦＩＢ）を用いたカンチレバーのチップ上に、３つのスリットを作製することにより構成されている。また、カンチレバーとプローブ基板は、図（ｂ）に示されているように、コーティングされた金の薄膜をエッチングすることによって、４つの独立した伝導部分に分かれて、定電流源及びデジタル電圧計（図示せず）に接続されており、それぞれ電流と電位差信号を伝送する。プローブの２つの外側の電極は電流のソースとドレインとして動作し、電位差を内側の電極間を介して測定するとよい。 （もっと読む）

【課題】 ターゲット物質相互間の斥力による影響を回避して、カンチレバーの表面上にターゲット物質認識物質との結合を介して、付着するターゲット物質の面密度をより高めることが可能であり、その荷重によって、カンチレバーの共振周波数の変化量をより大きくでき、高い検出感度でターゲット物質の検出を可能とする検出方法の提供。
【解決手段】 外力を加えて、予め撓んだ状態とした上で、カンチレバーとターゲット物質と接触させると、ターゲット物質同士の斥力が小さい状態で、ターゲット物質認識物質との結合を介して、ターゲット物質の付着がなされ、その後、カンチレバーを撓ませていた外力を取り除き、カンチレバーの共振周波数の変化量を測定すると、より高い検出感度、また、より簡易な手順でターゲット物質の検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡を用いて試料裏面から観察を行いながら試料と探針の位置合わせを行うことが困難であったという点である。
【解決手段】 試料に対向する探針と、前記試料を置載面に置載する試料ステージと、前記試料ステージを前記置載面方向に走査すると共に、高さを変化させるスキャナと、を有し、前記探針と前記試料との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡において、前記試料ステージの少なくとも試料を置載する部分が光を透過し、前記試料ステージの置載面の裏面から前記試料を写すミラーと、前記ミラーからの像を受ける光学顕微鏡と、前記試料と前記探針を相対的に位置合わせする位置合手段と、を備え、前記光学顕微鏡の像に基づいて前記試料と前記探針の位置合わせを行う走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）