【課題】 測定系の特性の影響を低減すると共に測定に要する時間の短縮化が図れ、より高精度に試料の物性を測定すること。
【解決手段】 試料を載置する載置面を有するステージ３と、このステージ３を支持するとともに試料表面に垂直な方向に振動自在に構成された支持手段５と、支持装置５を所定の振動用周波数及び振動用振幅で振動させる加振手段７と、支持装置５における垂直方向の移動を制御する移動制御手段６と、先端が試料表面に接触するように配置されたプローブ１０と、プローブ先端が試料表面２ａに接触した状態でそのプローブ１０の振動状態を測定する第１の振動状態測定手段１１と、加振手段７を動作させた時に、載置面３ａの振動状態を測定する第２の振動状態測定手段１３と、第２の振動状態測定手段１３によって測定した振動状態の波形と、第１の振動状態測定手段１１によって測定した振動状態の波形とを比較することで試料の物性を測定する測定処理手段１２とを備えてなるプローブ顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエーハ表面のマイクロラフネス（表面粗さ）を正確に評価する半導体ウエーハの評価方法及び評価装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエーハの表面形状を少なくとも異なる２つの測定条件で測定し、該測定した各表面形状のデータをパワースペクトルにそれぞれ変換し、該各パワースペクトルに現れるピークのうちピーク空間周波数が一致しないものをノイズ成分と判別し、該判別したノイズ成分を前記パワースペクトルの少なくとも一方から除去してから評価を行なう半導体ウエーハの評価方法及び少なくとも、表面形状測定手段と、パワースペクトル変換手段と、ノイズ成分判別除去手段とを具備する半導体ウエーハの評価装置。 （もっと読む）

【課題】電圧依存性カーブの異常時には、不正確な接触電位像を表していた恐れがあったという点である。また、ＳＫＰＭを用いると専用の構成部品が必要となりコストアップに繋がるという点である。
【解決手段】 試料に対向する導電性探針と、前記探針を加振する加振手段と、前記試料と前記探針を相対的に２次元走査すると共に、前記試料と前記探針との間の距離を変化させるスキャナと、前記試料と前記探針間にバイアス電圧を印加するバイアス電圧印加手段と、前記バイアス電圧を掃引するバイアス電圧掃引手段と、前記探針からの静電気に関する信号を検出する静電気信号検出手段と、を備えた走査形プローブ顕微鏡であって、前記バイアス電圧を掃引して得られた静電気に関する信号に基づく接触電位差を得ることを特徴とした走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】
高スループットで試料にダメージを与えずに、試料の正確な立体形状情報と同
時に試料の局所的特性に関する分布情報を計測できる走査プローブ顕微鏡を提供
することである。
【解決手段】
光学式の高感度近接センサを具備して試料と探針との接近を制御することによ
って、各測定箇所へのアプローチを高速化した。また、プローブを間歇的に試料
に接触させて探針を試料上で引きずらないようにしながら試料高さデータを得る
と同時に、試料への接触期間に同時に、探針に電圧を掛けたり、探針を振動させ
て応答を計測したり、試料表面の局所的光強度を検出したりすることにより、走
査速度を落とさずに試料上の材質の分布に関する付加的情報を得られるようにし
た。 （もっと読む）

【課題】原子スケールの空間分解能により元素を同定することを可能にする。
【解決手段】測定対象に対してビーム径が１ｍｍよりも小径な高輝度単色Ｘ線を照射するＸ線照射手段と、上記測定対象に対向して配置される探針と、上記探針を介してトンネル電流を検出して処理する処理手段と、測定対象と上記探針と上記測定対象に対する高輝度単色Ｘ線の入射位置とを相対的に移動するための走査手段とを備える走査型プローブ顕微鏡とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、カンチレバーの試料表面上での微小変位の変位量や変位スピードを高精度にコントロールしてカンチレバーと試料表面に働く局所的な微小な摩擦力の測定することができなかったという点である。また、上記測定において、長い時間をかけた状態と同等の状態を作り出して測定を行うことができなかったという点である。
【解決手段】試料と対向する探針との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡の測定方法において、前記探針を有するカンチレバーを加振手段により前記試料表面方向に振動させ、前記試料と前記探針との間の距離をスキャナにより変化させ、前記探針を前記試料に押し込んで前記試料の微小摩擦を測定する方法。 （もっと読む）

【課題】 延伸圧延機の下流に定径圧延機を設置した管材の製造設備において、管材の外面疵（外径凹み疵）を自動的に検出する方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る外面疵検出方法は、延伸圧延機Ｍ１の下流に定径圧延機Ｍ２を設置した管材Ｐの製造設備において管材の外面疵を検出する方法である。本発明に係る方法は、定径圧延機Ｍ１の出側に外径計１を配設し、外径計１によって、管材Ｐの延伸圧延機Ｍ１のロールフランジ部近傍に相当する部位の外径を測定し、この外径測定値の管材Ｐの軸方向の変動に基づいて管材Ｐの外面疵を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】波長が混在した塗膜に対して、需要者の嗜好性に原点を置いた新規で簡便な塗膜外観の評価方法を見出し、その評価方法により需要者満足度の高い塗装レベルとは何かを明らかにし、更に、需要者満足度の高い塗装を有する塗装物品、塗装物品の製造方法、塗膜外観の評価装置を提供する。
【解決手段】塗膜の表面うねりのうち、波長１ｍｍ〜１０ｍｍのうねりの振幅の大きさを選択的に測定し、この測定結果の大小によって前記塗膜の表面の塗膜外観を評価する塗膜外観の評価方法。 （もっと読む）

【課題】 漏れ光の影響を受けることなく、試料の電気的物性を高精度に測定すること。
【解決手段】 先端に探針２を有するカンチレバー３と、該カンチレバー３を支持する支持部４と、カンチレバー３の変位量に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗素子５とを有する自己検知型プローブ６と、ピエゾ抵抗素子５を流れる電流値を検出してカンチレバー３の変位量を検出する検出手段と、試料を載置する試料台と探針２とを、ＸＹ方向及びＺ方向に相対移動させる移動手段と、探針２と試料表面との距離が一定になるように移動手段を制御すると共に試料Ｓの表面形状を測定する制御手段と、探針２と試料表面との間に所定の電圧を印加する印加手段と、印加された電圧に起因する電気物性情報を測定する測定手段とを備え、探針２が、カンチレバー３の基端側まで延びると共に測定手段に電気的接続可能な導電膜２８に電気的に接続されている走査型プローブ顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

探針２０を備えるカンチレバー２１と、探針・試料間の物理量を測定する測定部を備え、試料表面を測定する走査型プローブ顕微鏡の探針交換方法である。走査型プロープ顕微鏡は、カンチレバーの取付け部２２と、カンチレバーカセット３０と、カンチレバーカセットを移動させるＸＹステージ１４とＺステージ１５と、光学顕微鏡１８を備える。上記の走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバー取付け部とカンチレバーカセットの間の位置合せを行い、カンチレバーカセットからカンチレバーを選んでカンチレバー取付け部に装着する第１ステップと、カンチレバー装着後に、光学顕微鏡装置を移動させ、装着されたカンチレバーを観察視野の所定位置に設定する第２ステップとを含む。第２ステップでは、光学顕微鏡側またはカンチレバー側を移動させて位置調整を行うステップを設ける。
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【課題】 観察対象や観察目的に応じてスキャナを交換する必要が無く、高い分解能を保ったまま、微小領域から広域までの観察を行うことのできる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 探針１３をＸ−Ｙ−Ｚ軸方向に移動させる探針側スキャナ１０と試料１２をＸ−Ｙ−Ｚ軸方向に移動させる試料側スキャナ１１の２つのスキャナを設ける。探針側スキャナ１０として最大走査範囲の小さいスキャナ、試料側スキャナ１１として最大走査範囲の大きいスキャナを使用し、観察対象や観察目的に応じて両者を切り替えて使用する。あるいは、探針側スキャナ１０で微小領域の走査を行うと共に、試料側スキャナ１１によって観察視野を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 静止時のクリープ現象の発生を解消し、高速走査と高精度位置決めの両立を可能にし、動的位置決め精度を確保することができる、高速かつ高精度で、スムーズな走査移動等を行うことができる機械式の移動装置を提供する。
【解決手段】 この移動装置は、走査ステージ２１１を移動させる方向に対して平行に設けられた２組の駆動軸機構（２０５Ａ，２０６Ａ−１，２０５Ｂ，２０６Ｂ−１等）と、これらの２組の駆動軸機構のそれぞれに設けられた位置検出機構（２１３Ａ，２１３Ｂ）と、２組の駆動軸機構の動作を制御するコントローラ３３等とから成り、コントローラ等は、少なくとも走査ステージの静止時に、２組の駆動軸機構のそれぞれの駆動位置の偏差ｄを維持するように２組の駆動軸機構を駆動制御するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 標準試料を測定することなく探針の評価を行うことのできる走査型プローブ顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡の探針の評価方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 本発明にかかる走査型原子間力顕微鏡１００は、試料を複数の画素に分割して、各画素の高さを、探針と試料との間に作用する物理量を検出することにより測定する測定部１２０と、前記測定部１２０が測定した各画素の高さと隣接する画素の高さに基づいてそれぞれ勾配を算出する勾配算出部１１２と、算出した前記勾配を用いて、勾配を階級とした頻度分布を作成する頻度分布作成部１１４と、前記頻度分布に基づいて、前記探針の評価を行う探針評価部１１６と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 装置に装着された探針の長さを測定して探針長さを正確に管理し、探針の摩耗状態を正確に推測し、測定中に探針の先端状態を良好に保持し、探針の使用寿命を延長し、測定・検査の精度を良好に保持できる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 この走査型プローブ顕微鏡は、試料１２に対向する探針２０を有する探針部（２１，２２等）と、探針を移動させる探針移動機構１４，１５，２３，２９と、探針と試料の間で生じる物理量を測定する測定部６３（２４，３１，３２）と、試料が載置される試料ステージ１１を備え、探針で試料の表面を走査して試料の表面を測定する走査型プローブ顕微鏡において、探針２０の軸方向の長さを測定する探針長さ測定機構６２を備えるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 検出器の移動に際しても、検出器の姿勢変化を極力抑え、高精度な測定を保証できる駆動装置を提供する。
【解決手段】 フレーム２１に設けられるとともに、外側に粗さ検出器の移動方向と平行に設けられた断面コ字状のガイドレール２２と、ガイドレール２２に沿って摺動可能に設けられかつ検出器５を保持した断面矩形枠状のスライダ２４と、このスライダ２４をガイドレールに付勢する付勢手段３１と、スライダ２４をガイドレール２２に沿って移動させる駆動手段４１とを備える。駆動手段は、モータ４２と、このモータにより駆動されるボールねじ軸４７と、このボールねじ軸に螺合されスライダに連結されたナット部材４８とを備える。ボールねじ軸４７は、スライダ２４の摺動面（スライダ２４の４つの内面）の略中心近傍に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 照明光等の、測定用光以外の光がノイズとなって観測に支障をきたすことを防止できる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 試料表面に平行な２方向の走査及び該試料表面の垂直方向の移動を該試料表面に対して相対的に行う探針と、先端に前記探針が設けられたカンチレバーと、カンチレバーへの測定用光を照射する測定用光照射手段と、測定用光の照射されたカンチレバーからの反射光を検出する反射光検出手段と、反射光検出手段の検出結果に基づいて、探針が試料表面に近接または接触した時点でのカンチレバーのたわみ量を観測データとして、採取する観測手段と、２方向の走査及び垂直方向の移動を制御する移動制御手段とを備える走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバーに測定用光以外の光が照射されたときには、移動制御手段による移動、および、観測手段による反射光に基づく観測データの採取を、それぞれ禁止する処理を行う禁止手段を備える。 （もっと読む）

【課題】漏れ信号の少ないＤＡコンバータを提供する。
【解決手段】抵抗値Ｒの抵抗１８ａ，１８ｂ，１８ｃと抵抗値２Ｒの抵抗１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅから成り、基準電圧Ｖｒｅｆを分割する様に成したＲ−２Ｒ型ラダー抵抗網、入力信号であるデジタル信号の各ビット毎に設けられ、抵抗値２Ｒ抵抗の抵抗値Ｒ抵抗と接続されていない端部をアース若しくは演算増幅器ＯＡの反転入力端子の何れかに切り換える切換スイッチを備え、切換スイッチは２段構えとし、１段目の切換スイッチは、前記抵抗値２Ｒ抵抗の抵抗値Ｒ抵抗と接続されていない端部をアース若しくは２段目の切換スイッチの何れかに切り換える様にし、２段目の切換スイッチはアース若しくは演算増幅器ＯＡの反転入力端子の何れかに切り換える様に成す。 （もっと読む）

【課題】 検査の信頼性が向上し、欠陥有無判定の自動化ができ、更に、検査の高速化が可能な検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】 検査対象であるカム７の回転方向周表面を検査する検査装置１は、カム７の表面３次元情報を取得するセンサを備えたセンサヘッド１９を有し、センサがカム７の回転に伴いカム７面に対し常に垂直となるように、Ｚ軸上下駆動モータ１６を介しセンサヘッド１９が上下動できるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 垂直に保持した薄板の表面形状の測定において、安定した作動、測定精度の向上、および測定結果の信頼性の向上を達成することを目的とする。
【解決手段】 基台１１０上に垂直保持機構１２０によって保持された薄板１００の側縁の外側に立設された垂直駆動手段３１０と、左右の前記垂直駆動手段３１０の間に架設された水平駆動手段３２０と、前記水平駆動手段３２０に装着され前記薄板１００の表面形状を測定する測定部３３０とを備え、前記垂直駆動手段３１０は、スライド機構３４０とこのスライド機構３４０に平行に前記薄板１００側に配設された送り機構３５０とからなり、前記水平駆動手段３２０の端部が前記スライド機構３４０のスライド部３６０と前記送り機構３５０の送り部材４００とによって支持されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、マルチプローブ顕微鏡において、アプローチ時に試料に独立してバイアス電圧が印加できず、電流計測時に試料バイアスを切り離し、探針間の電流計測を行ことができなかったという点である。更にその場合、探針側での電流計測では変位電流の影響を軽減することができなかったという点である。
【解決手段】試料と探針との間に流れる電流を利用して前記試料の表面を観察する試料観察装置であって、前記試料に対向する少なくとも２個の前記探針と、前記試料を置載する試料台と、前記試料台にバイアス電流を印加する試料バイアス電流印加手段と、前記試料バイアス電流印加手段を前記試料台より電気的に切り離すスイッチと、を備え、前記探針が前記試料にアプローチするときには前記スイッチをＯＮとし、前記探針間の電気計測するときには前記スイッチをＯＦＦとする走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）