【課題】複数のセンサによる測定点を一致させることができるセンサ駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動手段１１は取得した現在の測定対象物９の流れ速度に基づいてアクチュエータ３を駆動し、支持部材３２、すなわちセンサ２Ａを所定の速度で測定対象物９の幅方向に往復移動させる。これによりセンサ２Ａの位置が測定対象物９に対して常に適切な位置に位置づけられるように制御される。位置調整手段１２は、制御装置５１から取得した現在の測定対象物９の流れ速度および、駆動手段１１から取得した現在のセンサ２Ａの速度（測定対象物９の幅方向における速度）に基づいて、アクチュエータ４を駆動し、センサ２Ｂの位置を調整する。これにより、センサ２Ｂの測定点がセンサ２Ａでの測定点に一致するように、センサ２Ａおよびセンサ２Ｂの位置関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】設置環境の温度変化による架台内部の温度影響を可及的に小さくすることである。
【解決手段】基板を測定するための測定機器を収容する測定機器用架台であって、前記測定機器が内部に配置される枠体３と、前記枠体３に設けられ、前記測定機器の少なくとも側方を囲む内面板６１及びその内面板６１との間に気体層を形成する外面板６２からなる二重壁構造４と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 表面形状の勾配に応じてサンプリング間隔を設定するとともに、その間隔にしたがって探針を制御することにより、表面形状に適応し、測定時間の短縮と、測定精度の向上を実現すること。
【解決手段】 探針を走査時に、直前までの観測データを履歴として記憶し、観測データ形状を元に、ＸまたはＹ方向のサンプリング間隔をその都度設定し、次のサンプリング位置まで探針を走査することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】水車におけるステーベン５の欠陥を高い精度で効率的に求める。
【解決手段】 先端部１９の三次元位置と向きとを読取る三次元デジタイザ７の先端部１９に距離計８を取付けて、先端部をステーベン５に対する倣い操作を行なうことによって、ステーベンの三次元形状を測定する。次に、三次元デジタイザの先端部に超音波探触子９を取付けて、ステーベンの表面の各位置へ超音波探触子を順次当接していくことによって、ステーベンに対して超音波パルスを送信してエコーを受信する。そして、超音波探触子のステーベンにおける各当接位置、エコー受信情報、及び測定した三次元形状に基づいてステーベンにおける欠陥の３次元位置と欠陥規模とを算出する。算出した三次元欠陥を三次元グラフィック表示する。 （もっと読む）

【課題】ジャーナル傷の発生による軸受損傷を未然に防止できるジャーナル傷計測診断装置を提供することである。
【解決手段】回転体のロータを支持する軸受部分のジャーナルに発生する摺動傷を傷検出器１７を用いて計測するジャーナル傷計測器１２と、ジャーナル傷計測器１２の傷検出器１７をジャーナル１１のロータ軸方向に自動送りするための速度を制御する制御装置１８と、ジャーナル傷計測器１２の傷検出器１７から伝送される傷の軸方向分布情報を記録しその情報からジャーナルの状態を診断する評価装置２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】安価で且つ少ない作業手間と時間で路面性状を測定できる路面性状測定方法を提供する。
【解決手段】路面の補修を行う基準となる路面の平たん性σ、わだち掘れ深さＤ、ひび割れ率Ｃを測定する路面性状測定方法において、振動測定器２を搭載した車両３を一定速度で走行させて、被測定路面１の所定の区間内での振動数を検出して、その振動数から、予め形成された振動数に対する平たん性の相関表に基づいて前記区間内の平たん性σを決定することで、平たん性σを測定する。 （もっと読む）

【課題】 複数のカンチレバーのそれぞれからの反射光を識別可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 第1波長を有する第1照射光を発する第1の光源15、第1波長とは異なる第2波長を有する第2照射光を発する第2の光源25、試料50a上を走査し、第1照射光を第1反射光として反射する第1プローブ1、試料50b上を走査し、第2照射光を第2反射光として反射する第2プローブ2、第1波長を有する第1反射光を受光する第1受光素子16、及び第2波長を有する第2反射光を受光する第2受光素子26を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は高精度な測定を行うことのできる測定装置を提供することにある。
【解決手段】測定時において、ワーク２０に対して位置及び姿勢が変化しないように保持された基準部材１２と、該ワーク２０表面を走査しながら、該ワーク２０表面の凹凸に応じて上下方向に変位するスタイラス１４と、該スタイラス１４の特定部位３６の変位を該基準部材１２との比較において測定する変位計１６と、該スタイラス１４を該ワーク２０表面に沿って走査させる走査手段１８と、を備え、該基準部材１２は該走査によっても該ワーク２０に対する位置及び姿勢が変化せず、該スタイラス１４の特定部位３６の上下方向への変位を該基準部材１２を基準にして測定し、該測定されたスタイラス１４の特定部位３６の変位に基づき該ワーク２０の微細な形状を把握することを特徴とする測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】測定された凹凸のデータをフーリエ変換して得られるパワースペクトルのグラフを、低波数側と高波数側の境界を設定することなく近似して評価することができる方法を提供する。
【解決手段】 測定された凹凸のデータをフーリエ変換して得られるパワースペクトルのグラフを、式（１）により近似し、

Ｐ＝Ｂ×（Ａ^1/(1+f/fc) ） （１）

（Ｐは波数頻度、ｆは波数、Ａ、Ｂ、ｆｃはそれぞれ定数を表す。）
式（１）の係数の値を求めることを特徴とする微細な凹凸の評価方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は平面形状の高精度測定を変位計の走査によって実現することを課題とする。
【解決手段】面上の半径rの円に沿う凹凸を変位計Ｄｂの回転走査で測定するときに，回転中の軸方向の出入りを検出する変位計Ｄａと，変位計Ｄａ，変位計Ｄｂの測定点を結ぶ直径上の，半径Rの円に沿う走査測定をする変位計Ｄｃ，変位計Dｄ，合計４本を用意して，半径Rの円が描かれる面が回転走査軸と同心で，前記半径ｒの円に対して相対的に180度回転した位置にも反転設置できる基準円輪ＳＣ上にある形にし，基準円輪ＳＣの反転操作の前後の回転走査における４本の変位計の出力から，合計６つを選んで用いることで，走査のための回転運動誤差と半径ｒの円と半径Rの円に沿う凹凸形状を分離同定する。この結果得られた円に沿う凹凸形状と，別の方法を用いて複数の直径上で得られた直線に沿う凹凸形状とを数学的に合成すると平面を正しく構成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、測定操作が比較的に容易であり、しかも凹凸を高精度で簡易に測定することができる剛体電車線凹凸測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の剛体電車線凹凸測定装置は、レール２上を移動する自走式架線工作車１に固定される固定枠６と、この固定枠６に対して可動する可動枠７と、可動枠７に固定されて剛体電車線のパンタグラフ摺接面との間の変位を非接触状態で測定する計測するレーザ変位センサ１０と、レーザ変位センサ１０の上下振動の加速度を計測する上下加速度センサ９とからなる。 （もっと読む）

【課題】スキャナーの整列誤差に起因するイメージの歪曲が防止された走査探針顕微鏡及びそれを利用した測定方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）探針と、（ｉｉ）探針の位置を直線上で変化させる第１スキャナーと、（ｉｉｉ）サンプルの位置を平面上で変化させる第２スキャナーと、（ｉｖ）第２スキャナーによるサンプルの位置変化がなされる平面が、第１スキャナーによる探針の位置変化がなされる直線に対して垂直になるように、第２スキャナーまたは第１スキャナーの位置を調整する調整装置と、を備えることを特徴とする走査探針顕微鏡及びそれを利用した測定方法である。 （もっと読む）

【課題】高品質なＡＦＭ像を取得できる走査型プローブ顕微鏡用走査機構を提供する。
【解決手段】走査機構は、可動部１２４とＸＹ弾性部材とＺ弾性部材１２７Ａと１２７Ｂと固定部１２５とからなるＸＹステージと、可動部１２４をＸ方向に移動させるＸアクチュエーター１２２Ａと、可動部１２４をＹ方向に移動させるＹアクチュエーターと、Ｚ方向に変位しうるＺアクチュエーター１２３と、Ｚアクチュエーター１２３の中央部を保持している保持部材１３０と、Ｚアクチュエーター１２３の下側の自由端に固定された試料台１３１と、Ｚアクチュエーター１２３の上側の自由端に固定されたセンサーターゲット１３２と、センサーターゲット１３２の変位を検出する変位センサー１１４とを有している。保持部材１３０は可動部１２４に固定されている。センサーターゲット１３２は試料台１３１とほぼ同等の重さを有している。 （もっと読む）

【課題】作業者の手を煩わすことなく簡単且つ短時間でプローブの交換を行うことができ、小型の走査型プローブ顕微鏡にも適用可能であること。
【解決手段】試料Ｓに対向配置され、レバー部２ａの先端に探針２ｂを有すると共に該レバー部の基端側が本体部２ｃに片持ち状態に支持されたプローブ２を複数固定するものであって、試料表面Ｓ１に対向する対向面１０ａを有し、該対向面に複数のプローブを、本体部を介してそれぞれ着脱自在に固定する固定板１０と、該固定板を移動可能に支持するホルダ本体１１と、固定板を移動させると共に複数のプローブのうち選択したいずれかのプローブを観察ポジションＰに位置させる可動手段１２とを備えているプローブホルダ３を提供する。 （もっと読む）

【課題】帯状体表面の欠陥を、蛇行しているときにも検出できること、及び欠陥の大きさ、種類、形状も認識できること。
【解決手段】ガイドロール(4)(5)に巻装されて走行する磁気テープ(3)に対向して配設されるラインＣＣＤカメラ(6ａ、6ｂ、6ｃ、6ｄ、6ｅ)と、磁気テープ(3)を照射する光照射手段(9)と、磁気テープ(3)の走行速度を検出するパルス発生器(11)と、ラインＣＣＤカメラの撮像した画像を処理する画像処理手段(7ａ、7ｂ、7ｃ)とを具備し、画像処理手段(7ａ、7ｂ、7ｃ)は少なくとも磁気テープ(3)の一方の縁部と表面上の欠陥を認識させ、パルス発生器(11)の出力に基づく磁気テープ(3)の走行方向における欠陥の位置と、縁部から欠陥までの距離とを演算するようにした。 （もっと読む）

【課題】 探針と試料を測定領域に位置決めする際の探針破損を低減させ、探針先端形状に起因する分解能の変化を抑えて、適切でしかも安定な測定ができるプローブ顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 先端に粗動用探針２１を有した粗動用カンチレバー２３と、先端に測定用探針２２を有した測定用カンチレバー２４を構成したプローブ顕微鏡において、粗動用探針２２で試料測定領域に位置決めされた後に、粗動用探針２１と測定用探針２２の試料表面との距離を変更するカンチレバー変換手段で、一旦、粗動用探針２１を試料表面測定領域から離し、測定用探針２２に切り替えた後に、測定用探針２２を試料測定領域に位置決めして測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】計測光を反射するプローブに光学系の焦点を追従させることで測定精度を向上させる。
【解決手段】プローブ２２の反射面で計測光を反射させ、プローブ２２と被測定物１の間に作用する原子間力を利用して被測定物１の表面形状を測定する。プローブ２２を駆動する第１のスキャナ１０とは別に、光学系の焦点位置を移動させる第２のスキャナ２６を設けて、第１、第２のスキャナ１０、２６の制御量の相関を表わす位置変換データをあらかじめ求めておく。第１、第２のスキャナ１０、２６を同期的に制御することで、プローブ２２に光学系の焦点を追従させる。 （もっと読む）

【課題】走査ステージあるいは探針の駆動ステージを交換するたびに操作者による校正の手間を要することなく、これらのステージに発生する慣性力を適正に相殺することができる走査型プローブ装置を提供する。
【解決手段】探針と、試料を保持する試料保持台５０５を移動させるための駆動素子５００と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部５１０、５１５とを備えた走査ステージと、
を有し、前記探針と前記試料とを相対的に移動させ、前記試料の情報を取得し、または前記試料に情報を記録し、または前記試料を加工する走査型プローブ装置をつぎのように構成する。
すなわち、前記走査ステージが、該走査ステージを駆動する駆動回路５を備え、前記試料保持台を含む前記駆動素子と前記可動部が前記走査型プローブ装置本体１に対して着脱交換可能とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】管路計測や孔内計測において、管路や地盤等の内部状況を的確に把握可能な内部検査装置を提供する。
【解決手段】ピッチ角、方位角、ロール角を検出する角度検出器２と、この角度検出器２の管内又は孔内の壁面に対する踊り量を検出する非接触変位センサ３，４と、を有し、管路内又は地盤に形成された孔内に挿入され、内部を移動可能な内部検査装置１であって、該管路内又は孔内を撮影する撮影手段を先端に備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、高い感度のトンネル電流検出部でトンネル電流を検出すると、探針−試料間に生じる浮遊容量による影響も大きく増幅されてしまい、測定結果が補正しきれない悪影響を受けてしまうという点である。
【解決手段】 試料に対向した探針と前記試料の間隔を固定した状態で、前記探針と前記試料間に印加するバイアス電圧を走引し、前記探針と前記試料間に流れるトンネル電流を検出して前記試料の局所領域の分析を行うトンネルスペクトロスコピー装置において、前記バイアス電圧の極性を反転して増幅し、それを微分した信号を前記トンネル電流に加算して、前記探針と前記試料間に生じる浮遊容量による影響を打ち消すよう構成したことを特徴としたトンネルスペクトロスコピー装置。 （もっと読む）