【課題】 測定データから測定装置の一定の走査方向にのみ特有に出現するノイズ成分を除去し、精度の高い測定データを得られる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡は、探針１３を有するカンチレバー１４と、試料１０に対する探針の位置を相対的に変化させる移動機構１１，１７と、所定物理量を検出する検出手段と、試料表面を測定する測定手段と、移動機構と測定手段の動作を制御する測定制御手段６０を備える。測定制御手段は、任意角度で交差する第１走査方向と第２走査方向を設定する走査方向設定手段６１、第１走査方向と第２走査方向のそれぞれで探針を走査移動して試料表面を測定し、測定データを得る測定実行手段６２、第１ラインデータと第２ラインデータとの間のデータ差を演算する第１減算手段６３と、第１走査方向に係る測定データから上記データ差を減算する第２減算手段６４とを有する。 （もっと読む）

【課題】ベルト表面の変形を効率的にかつ精度良く検査する。
【解決手段】光学式の変位測定器１６が、プーリ１２，１４に巻き掛けられたベルト１０の表面の変位を測定する。変位測定器１６で測定された測定データは、ベルト１０の表面の変形量を算出する変形算出部２４に入力される。変形検出装置２０の記憶部２２には、プーリが回転した場合におけるプーリ表面の位置変位情報が予め記憶されている。測定データが入力されると、変形算出部２４は、記憶部２２からプーリ表面の位置変位情報を読み出し、これらの測定データとプーリ表面の位置変位情報とからベルト１０の表面の変形量を算出する。 （もっと読む）

【課題】試料に対するより幅広い解析を行うことを可能とすること。
【解決手段】試料５上のＸＹ座標に対応させてＬＳＭ像とＳＰＭ像とをＣＰＵ１８により画像情報メモリ２２ａに記憶し、ＳＰＭ像のＺ座標位置情報ＤｚをＣＰＵ１８により高さ情報メモリ２２ｂに記憶し、ＣＰＵ１８によって高さ情報メモリ２２ｂからＳＰＭ像のＺ座標位置情報Ｄｚを読み出すと共に、画像情報メモリ２２ａに記憶されたＬＳＭ像に含まれる輝度情報Ｄｐを抽出し、これらＺ座標位置情報Ｄｚと輝度情報Ｄｐとを合わせて試料５の三次元画像情報を作成して表示部２３に表示する。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡の試料台の上に試料の被観察部である中心部がプローブの深針に近接するように設置し、試料の両端部を対向する一対の把持具で把持し、対向位置にある一対の把持具が反対方向に移動可能であり、試料の被観察部である中心部が静止状態を保つように試料に歪みを与えることができる走査型プローブ顕微鏡用試料延伸ホルダーおよび該試料延伸ホルダーを用いた試料の表面状態の観察方法を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡に設置された試料１０を延伸させる試料延伸ホルダー１であって、試料１０の両端部を把持する一対の把持具９と、一対の把持具９を移動可能に支持する支持部材４と、対向位置にある一対の把持具９を互いに離間する方向に移動させる移動機構７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 超高真空中において試料に応力を印加しながらその表面構造の原子レベルの分解能でのその場観察を行うことができる超高真空走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 この出願の発明の超高真空走査型プローブ顕微鏡は、超高真空状態の真空槽内に、板状試料（２）の一端又は両端を支持する試料ホルダー（３）と、垂直方向の変位がナノスケールで制御され、板状試料（２）に対し応力を印加する応力印加機構（６）、（７）、（８）と、応力が印加された板状試料表面の状態を原子レベルの分解能でその場計測するプローブ（１）を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 カンチレバーを自動的に干渉の危険がある周辺機器から退避させることができ、手作業によってカンチレバーを容易且つ迅速に交換することができるとともに、構成の簡単化とコストの低減とを図ることができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 カンチレバー６１によって試料の表面情報を測定する走査型プローブ顕微鏡１において、駆動手段によりＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能なＸＹステージ２０と、駆動手段によりＺ軸方向に移動可能なＺ駆動部３０，８０と、駆動手段によりＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の合成した３次元方向に回転可能な電動レボルバ５０とを備え、レバー交換制御部からの信号に基づいて、これらＸＹステージ２０、Ｚ駆動部３０，８０及び電動レボルバ５０を駆動させ、ＸＹステージ２０をカンチレバー６１から退避させ、又はカンチレバー６１をＸＹステージ２０から退避させる構成としてある。 （もっと読む）

【課題】 ＸＹ方向へのクロストークを極力なくしてＺ方向への直進性を向上し、高精度に試料の形状情報や物理情報を計測すること。
【解決手段】 探針２ａを有するプローブ２と、該プローブ２を固定すると共に電圧を印加されたときに試料表面Ｂに垂直なＺ方向に伸縮するＺアクチュエータ４と、該Ｚアクチュエータ４に電圧を印加する印加手段５と、該印加手段５の作動を制御する制御手段とを備え、Ｚアクチュエータ４が、Ｚ方向に伸縮自在な圧電体２０と、圧電体２０の内周面又は外周面に少なくとも周方向に３つ以上に分割された状態でそれぞれ電気的に独立して設けられ、接触する領域の範囲で圧電体２０に電圧を印加して伸縮させる複数の分割電極２２とを有し、制御手段が、分割電極２２にそれぞれ接触する圧電体２０の各接触領域の伸縮量がそれぞれ同一となるように、予め決められた電圧印加量の比率で電圧を印加するよう印加手段５を制御する表面情報計測装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】
探針走査機構の各駆動軸の真直誤差を低減して探針位置決め精度を向上させることによって、走査型プローブ顕微鏡の計測精度を向上させる。
【解決手段】
探針を試料表面に近接または接触させて前記試料表面を走査することにより前記試料表面の形状を計測する走査型プローブ顕微鏡において、試料を載置して少なくとも１軸方向に移動可能な試料ステージと、該試料ステージに載置された試料の表面に近接または接触させて前記試料表面を走査する探針と、該探針を３次元方向に駆動する探針駆動手段と、前記探針のたわみを検出するたわみ検出手段と、対物レンズを有して該対物レンズのほぼ光軸上に配置された前記探針及び前記試料を観察する観察手段とを備え、前記探針駆動部を、前記対物レンズの光軸に対して対称に配置された対を成す駆動源を３組備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】低周波環境ノイズに対して感度が低い原子間力顕微鏡を提供する。
【解決手段】試料載台は試料を支持するように構成されている。カンチレバー・マウントは、走査先端を有する機械的カンチレバーを機械的に固定するように構成されている。カンチレバー力検出器は、電気カンチレバー力誤差信号を生成するように構成されている。カンチレバー・フィードバック・システムは、前記電子カンチレバー力誤差信号に応答する方式で前記機械的カンチレバーを電気機械的に駆動するように構成されている。試料載台フィードバック・システムは、前記電子カンチレバー力誤差信号に応答する方式で前記試料載台を電気機械的に変位するように構成されている。前記カンチレバー・フィードバック・システムと前記試料載台フィードバック・システムとは、電子カンチレバー力誤差信号を並列に受け入れるように接続されている。 （もっと読む）

【課題】 一意性を証明する必要がある被判定物の真贋を容易に、かつ、確実に判定することができる真贋判定装置を提供する。
【解決手段】 被判定物２の所定位置Ａに配置され、ナノメートル規模のランダムな表面形状を有する膜３と、被判定物２の所定位置Ａの表面形状を観察して表面形状情報を出力する観察手段４と、表面形状情報に基づいて乱数を演算する演算部８と、被判定物２に配置された膜３に基づく乱数が予め記憶された記憶部８と、観察手段４により観察された表面形状情報に基づく乱数と、記憶部９に記憶された乱数とを比較する比較部１０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハ表面を全体的に欠陥検査する。
【解決手段】 欠陥レビューＳＥＭを用いた欠陥検出に際し、製品ウェーハ２０の全面（Ｒ端面を除く。）にＸＹ座標系を設定し、製品ウェーハ２０表面を全体的に検査できるようにする。これにより、有効チップ領域外の領域についても欠陥検出が行える。また、その検査結果をそれが得られた位置の座標と関連付けて記憶することにより、検査結果を解析等に効率的に利用することができ、より高精度に不良原因を究明し、チップ２１ａの品質向上、歩留まり向上を図れる。 （もっと読む）

一定時間に亘って凹凸を検出する、凹凸検出のための装置（１０）、及び方法。得られた情報を使用して、凹凸の三次元構造、及び／又は伸縮性及び／又は弾性的挙動又は特徴に関して特定する。
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【課題】 ローラの表面に強固に付着している異物を除去する。
【解決手段】 回転駆動側と従動側の一対のローラに金属リングを掛け渡し、該一対のローラの離隔距離を調整して前記金属リングに所定のテンションを与えつつ、該テンションを強めることによって前記金属リングの周長を補正する周長補正装置、又は、前記離隔距離を測定して、その計測値から前記金属リングの周長を計算する周長測定装置、又は、前記離隔距離を調整して前記金属リングに所定のテンションを与えつつ、前記金属リングの表面欠陥の有無を検査する表面欠陥検査装置は、前記一対のローラのそれぞれの外周面に接触する刃先を有するスクレーパを備える。 （もっと読む）

【課題】 検査の手間を省き、且つ、アセンブリを分解することなく、しかも、検査結果の再現性を高めるようにした無端ベルト用エレメント検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 ベルト式無段変速機に用いられる無端ベルト（１）の構成部品であるエレメント（３ａ）の検査装置（１０）において、前記無端ベルトに周回運動を与える運動付与手段（１３）と、周回運動中の前記無端ベルトのエレメントの積層周期を計測する計測手段（１５、１７）と、前記計測手段の計測結果を所定の基準周期と比較して前記エレメントの積層異常箇所を判定する判定手段（１８）とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 金属エレメントの凹部に噛み込んだ異物の検査を自動化し、以て、効率の改善と検査精度の向上を図る。
【解決手段】 無段変速機用ベルトの金属エレメント（３ａ）に形成された一方の凹部（３ｇ）をレール（２０）に乗せ該レールに沿って多数の金属エレメントを順次に搬送する搬送手段と、前記搬送状態にある金属エレメントの他方の凹部に非接触で挿入される検査棒（２６）とを備え、前記金属エレメントの他方の凹部に噛み込んだ異物と前記検査棒との干渉、又は、前記金属エレメントの一方の凹部に噛み込んだ異物による金属エレメントの前記レールからの浮き上がり部分と前記検査棒との干渉によって該異物の存在の有無を検査する。 （もっと読む）

原子間力顕微鏡、分子力プローブ機器、高分解能プロファイルメータ、および化学的または生物学的検出プローブを含むカンチレバー型機器用のコントローラ。本コントローラは、これら機器におけるカンチレバーの撓みを検出するために広く用いられる光検出器の出力を、高速アナログ／デジタル変換器（ＡＤＣ）により収集する。次いで、得られた出力信号のデジタル表現を、フィールドプログラマブルゲートアレイおよびデジタル信号プロセッサにより、アナログ電子回路を用いずに処理する。アナログ信号処理は本質的にノイズが多いが、デジタル計算は、計測信号にいかなるランダムノイズも加えることがないという点で、本質的に「完全」である。フィールドプログラマブルゲートアレイおよびデジタル信号処理による処理は、コントローラのハードウエアを修正しなくてもプログラム手段により変更できるので、コントローラのフレキシビリティが最大化される。
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【課題】蛍光体ペースト塗布工程直後に塗布工程の状態を検査することで塗布工程に発生した連続欠陥の原因となる不具合を迅速に発見し、不良品となりロスとなる基板数を最小限に抑え、速やかに工程を復旧させることを可能にするディスプレイパネルの検査方法および検査装置並びにそれらを用いた製造方法を提供する。
【解決手段】高さ測定手段を有し、基板に所定の間隔で複数本塗布された液状材料と交差する方向へ、基板、または高さ測定手段を移動させながら、液状材料塗布部を含む基板面の高さ測定を離散的に行い、得られた離散高さ形状信号間を補間して求められた高さ形状信号から液状材料毎の高さを抜き出して連ねた高さ信号を検査信号とし、検査信号より液状材料毎の塗布量を測定することを特徴とするディスプレイパネルの検査方法、および検査装置並びにそれらを用いた製造方法。 （もっと読む）

【課題】 操作性に優れたテーブル移動機構およびプローブ走査装置を提供する。
【解決手段】 プローブ走査装置１は、原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０を一体的に備える。原子間力顕微鏡１０は試料載置台３０を有する。試料載置台３０は、ＸＹ方向移動機構３０ａおよびＺ方向移動機構３０ｂを含む。ＸＹ方向移動機構３０ａの上部には、試料Ｍを載置するための第３の移動プレート３３０が設けられている。ＸＹ方向移動機構３０ａの側面側からＹ方向に延びるようにＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０が互いに平行に設けられている。使用者がＸ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０を回転操作することにより、第３の移動プレート３３０がＸ方向およびＹ方向に移動する。第３の移動プレート３３０のＸ方向およびＹ方向への移動時において、Ｘ方向移動ノブ３４０およびＹ方向移動ノブ３５０はＸ方向およびＹ方向に移動しない。 （もっと読む）

【課題】 カンチレバーを容易に交換することができ、かつ光学像の十分な鮮明度および解像度を確保することができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 保持機構４００はカンチレバー保持機構４００Ａおよびミラー保持機構４００Ｂから構成されている。カンチレバー保持機構４００Ａは保持機構保持部１１ｃの下部からＺ方向に延びるように設けられている。カンチレバー保持機構４００Ａは、その下端部においてカンチレバー１００を着脱可能に保持する。ミラー保持機構４００Ｂは側壁部１１Ａの内面１１ｘからＸ方向に延びるように設けられている。ミラー保持機構４００Ｂは、先端部においてミラー固定部材４５０を着脱可能に保持する。ミラー固定部材４５０にはミラー２５が固定されている。カンチレバー保持機構４００Ａとミラー保持機構４００Ｂとは互いに分離されている。 （もっと読む）

【課題】 直流電動機を構成する整流子の整流子面の良否を直流電動機稼働中に診断することのできる方法及び装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、整流子２と整流子２に摺接して電流を供給するブラシ３とを具備する直流電動機の整流子診断装置１であって、ブラシ３の整流子２との摺接面３１に対向する表面３２の変位量を測定する変位量測定装置１１と、整流子２の回転位相を検出する回転位相検出装置１２と、回転位相検出装置１２で検出した所定の回転位相毎に変位量測定装置１１で測定した変位量を取り込み、当該取り込んだ変位量の大小に基づいて整流子面の良否を診断する信号処理装置１３と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）