【課題】 垂直に保持した薄板の表面形状の測定において、安定した作動、測定精度の向上、および測定結果の信頼性の向上を達成することを目的とする。
【解決手段】 基台１１０上に垂直保持機構１２０によって保持された薄板１００の側縁の外側に立設された垂直駆動手段３１０と、左右の前記垂直駆動手段３１０の間に架設された水平駆動手段３２０と、前記水平駆動手段３２０に装着され前記薄板１００の表面形状を測定する測定部３３０とを備え、前記垂直駆動手段３１０は、スライド機構３４０とこのスライド機構３４０に平行に前記薄板１００側に配設された送り機構３５０とからなり、前記水平駆動手段３２０の端部が前記スライド機構３４０のスライド部３６０と前記送り機構３５０の送り部材４００とによって支持されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、マルチプローブ顕微鏡において、アプローチ時に試料に独立してバイアス電圧が印加できず、電流計測時に試料バイアスを切り離し、探針間の電流計測を行ことができなかったという点である。更にその場合、探針側での電流計測では変位電流の影響を軽減することができなかったという点である。
【解決手段】試料と探針との間に流れる電流を利用して前記試料の表面を観察する試料観察装置であって、前記試料に対向する少なくとも２個の前記探針と、前記試料を置載する試料台と、前記試料台にバイアス電流を印加する試料バイアス電流印加手段と、前記試料バイアス電流印加手段を前記試料台より電気的に切り離すスイッチと、を備え、前記探針が前記試料にアプローチするときには前記スイッチをＯＮとし、前記探針間の電気計測するときには前記スイッチをＯＦＦとする走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 試料を大気暴露させることなく、試料の設置から測定まで制御された環境下で試料の形状情報や物性情報を計測できる装置を提供すること。
【解決手段】 先端に微小な探針を有するカンチレバー６と、カンチレバー６を保持するためのプレート２と、試料７を設置するための試料固定台４と、筺体３などからなる気密性が保たれるロードロック室１と、カンチレバー６の変位を検出する変位検出機構８と、試料７を移動させる試料移動機構である微動機構１８、ＸＹ粗動機構１９、Ｚ粗動機構２０が設けられた密封容器１７と、密封容器１７を真空排気する真空排気機構２１とガス導入機構２２と、密封容器１７にロードロック室１を取付けるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、液体窒素温度以下の低温でピエゾ素子により試料ステージを駆動する場合、常温に比較し、動作ストロークの減少が著しいという点である。
【解決手段】直交するＸ方向及びＹ方向に移動するＸＹテーブルであって、前記ＸＹテーブルのＸ方向及びＹ方向の少なくとも各方向片側に当接してガス圧によって弾性伸縮する弾性伸縮体を備え、前記ガス圧により前記弾性伸縮体が伸縮することにより前記ＸＹテーブルが移動することを特徴とするＸＹテーブル。 （もっと読む）

【課題】 大きな凹面および凸面形状をした試料表面に対し、カンチレバーやカンチレバーを保持する部材などの干渉がなく、また、探針表面の接触位置が変わることなく、表面粗さ測定誤差が極力少なくなるようにして、精度よく測定ができる表面情報計測装置を提供すること。
【解決手段】 大きな凹面および凸面形状をした試料５ａまたは５ｂ表面に対して、先端に探針（プローブ）を有するカンチレバー１３を用いて試料形状を測定する表面計測装置において、試料５ａ（５ｂ）側に試料移動ステージとカンチレバー１３側に微動機構回転ステージ１８とを備えて、大きな凹面５ｂおよび凸面５ａ形状の試料表面の位置に関わらず、探針表面状態およびカンチレバーたわみに係わる、探針が受ける原子間力の方向が変わらないように調整して、試料表面形状を測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、１つの検出手段で１種類の探針と試料との間に作用する物理量を検出する場合、試料表面が汚染されていたり、酸化物等が形成されている部分では、正確な試料−探針間距離を検出できないことがあるという点である。
【解決手段】試料に対向する探針と、前記試料と前記探針を相対的に２次元走査すると共に、前記試料と前記探針との間の距離を変化させるスキャナと前記探針と前記試料との間に作用する物理量を検出する少なくとの２個の検出手段と、前記検出手段からの少なくとの２種類の検出結果を比較する比較選定手段と、を備え、前記比較選定手段により選定された一の検出結果に基づいて前記スキャナを制御する走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 容易に特異な構造を一意に決めることができ、かつ危険な化学薬品（酸やアルカリなど）などを用いないで校正試料を得ることができる校正試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 この出願の発明による校正試料の作製方法は、（１１０）面を鏡面研磨したＬａ₂ＣｕＯ₄単結晶を２３０から５００℃の温度でアニールした後、徐冷することにより、（１１０）面に断面が鋸歯状の凹凸を有する双晶構造の校正試料を作製することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、パイプラインの安全な使用の寿命を判定する方法および装置に関し、以下のステップからなる。
ａ）パイプライン上で表面腐食解析の領域を画定するステップ。
ｂ）パイプライン上で画定された領域を走査するための腐食走査システムを提供するステップ。
ｃ）腐食走査システムによって画定された領域の表面上の腐食の位置を特定し、その腐食を測定するステップ。
ｄ）腐食走査システムによって画定領域でのパイプラインの残存壁厚を判定するステップ。
ｅ）ステップｃ）とｄ）とで得られた画定領域での腐食に関する表面状態データを処理して、パイプラインの安全な使用の寿命を判定するステップ。
別の態様では、本発明は、本発明による方法を実施するための腐食走査システムに関する。別の態様では、本発明は、パイプラインの安全な寿命を予測するための予測システムに関する。
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【課題】 プラスチックシートに貫通形成された微小孔の形成状態の良否判断を行う場合、電子顕微鏡等を用いての高倍率での観察が必要である。この場合、観察が容易でなく、また良否判断をするには形成状態を熟知している必要がある。
【解決手段】 穿孔前のプラスチックシートに薄膜を設け、プラスチックシートに穿孔して微小孔を貫通形成する。この後、プラスチックシートの薄膜を設けた面を観察面として、穿孔して貫通形成された孔部の周辺の皺や亀裂を観察することにより、微小孔の形状の検査をする。 （もっと読む）

【課題】 原子間力顕微鏡において、カンチレバーの自励振動の停止を防止でき、カンチレバーの探針が測定対象物と接触することを防止できるカンチレバー制御装置の提供。
【解決手段】 原子間力顕微鏡において、探針１２を有するカンチレバー１０と、カンチレバー１０を自励振動させるアクチュエータ２０と、カンチレバー１０の振動速度を検出する振動速度検出器３０と、カンチレバー１０の振動変位を算出する変位算出器３２と、アクチュエータ２０を駆動するための信号を生成する制御器４０とから、カンチレバー制御装置１を構成し、フィードバック制御信号Ｓを（Ｋ−Ｇ・ｘ²）・ｄｘ／ｄｔとする。ただし、ｘはカンチレバー１０の振動変位、ｄｘ／ｄｔはカンチレバー１０の振動速度、Ｋ、Ｇはともに正値のフィードバックゲインである。 （もっと読む）

【課題】 手間をかけずに短時間で生体分子の長さを正確に測定する（測長）ことができると共に該測長に加え生体分子の構造解析等の各種の観察も同時に行うこと。
【解決手段】 一端Ｎが基板２上に固定され、他端Ｓが自由端とされた生体分子Ｐを巻き取り可能なものであって、生体分子Ｐの他端Ｓを外周面に固定可能であると共に、軸線Ｌ回りの外周が既知の長さとされた棒状の探針１５と、該探針１５を先端に有し、軸線Ｌを回転中心として軸線Ｌ回りに回転可能な探針保持部材１６とを備え、探針保持部材１６と基板２とが、基板表面２ａに平行な方向に向けて相対移動可能とされ、探針１５が、相対移動により生体分子Ｐを外周面の周囲に密着させた状態で螺旋状に巻回するプローブ４を提供する。 （もっと読む）

【課題】
対象物の濃度が希薄な試料であっても、対象物を容易に見つけることができ、観察時間を短縮できるようにする。
【解決手段】
好ましい形態では、プローブ１２ａを用いてＤＮＡが置かれている基板全体を走査し、プローブ１２ａがＤＮＡを検出すると、プローブ１２ａのカーボンナノチューブ配置領域内でＤＮＡの存在する領域を特定する。次に、プローブ１２ｂに切り替えて、その特定した領域に位置決めし、そのプローブ１２ｂのカーボンナノチューブ配置領域内でＤＮＡの存在する領域を特定する。次に、プローブ１２ｃに切り替えて、同様にしてＤＮＡの存在領域をさらに狭く特定する。最後に先端に１つのカーボンナノチューブが取り付けられているプローブ１２ｄに切り替え、プローブ１２ｃが検出したＤＮＡ存在領域を、制御部２２によって順次走査しながら測定する。 （もっと読む）

【課題】 容易且つ高精度に形状公差を検査することが可能な電機子コアの検査方法を提供すること。
【解決手段】 波形計測部１５は、各コアシートの切断面、詳しくはその厚み方向において異なる複数の計測箇所に臨むように各々配置された複数のセンサ２の出力する各波形信号Ｓａ〜Ｓｃに基づいて、各計測箇所における各々の凹凸変化を示す複数の計測データＤａ〜Ｄｃを生成する。演算部１６は、波形計測部１５から入力された各計測データＤａ〜Ｄｃをそれぞれ予め設定された複数の区間に区分し、その各区間毎に破断部に起因するノイズ成分の有無を判定することにより、その有効／無効を評価する。そして、かかる評価に基づいて各区間毎の有効な区間データを抽出し、その各区間データを合成することにより破断部に起因するノイズを含まない検査データＤｔを生成する。 （もっと読む）

【課題】 比較的構造が簡単で、加工精度の管理が簡単で、比較的長い寿命が得られる長さ測定機を得るにある。
【解決手段】 被測定物に接触できる検出子を一方向に伸びたガイドに沿って移動できるスライダに取付け、前記ガイドに平行な送りねじで駆動されるボールナットにより前記スライダをガイドの長さ方向に移動させて測定を行う長さ測定機において、矩形断面の剛性ガイドを前記送りねじ及びガイドが支持される機体フレームに固定して同剛性ガイドに沿い移動できるコ字リテーナに前記ボールナットを固定し、前記前記ガイドをヤング率の大きな矩形断面のセラミック製棒状体で構成し、前記ガイドに略平行な状態に保った直線状ピアノ線片の両端部を前記スライダの前記コ字リテーナに面した部分に固定し、前記コ字リテーナに基端部を固定した連結ピンの先端部を前記ピアノ線片の略中間部に固定した表面性状測定機。 （もっと読む）

【課題】 原子間力顕微鏡のＡＣモード使用時において、試料の解析精度を向上させることができる原子間力顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 略板形状を成すベース部３４から延設されたカンチレバー３５の先端側に探針３６が形成され、前記ベース部３４は、取付手段３０によって振動体２６が設けられた台座部２８に取り付けられており、前記振動体２６によって前記カンチレバー３５を共振振動させることで、前記探針３６が上下動しながら試料１４を走査し、該探針３６が前記試料１４に接触することで生じる前記カンチレバー３５の上下振動の変化を検出器２１によって検出することで、前記試料１４を解析する原子間力顕微鏡１３において、前記振動体２６の振動によって前記ベース部３４に発生する共振振動を抑制するベース部振動抑制手段を、前記ベース部３４および前記取付手段３０の少なくともいずれかに設ける。 （もっと読む）

【課題】被検出体の表面のひび割れ発生箇所を、簡単に感度よく検出する。
【解決手段】
被検出体表面の測定範囲１０に設けられた複数の標点２の少なくとも３点を結んで一つの要素３（仮想領域）を形成して、測定範囲１０を複数の要素３の集まりに離散化し、各要素３の最大主ひずみを算出し、これら各最大主ひずみを差分処理して各要素３の差分ひずみを算出する演算手段と、任意のしきい値より大きな差分ひずみを有する要素を被検出体のひび割れ発生箇所として検出するひび割れ検知手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 試料表面の凹凸形状によらず、精度よく探針と試料表面とを近接または接触させることが可能な走査型プローブ顕微鏡及び走査方法を提供すること。
【解決手段】 試料表面Ｓに平行な２方向の走査及び試料表面Ｓの垂直方向の移動を試料表面Ｓに対して相対的に行う探針２と、探針２及び試料表面Ｓの距離に応じて変化する測定量を検出する検出手段４と、探針２が試料表面Ｓに近接または接触した時点における観測データを採取する観測手段６と、２方向の走査及び垂直方向の移動を制御する制御手段５とを備え、探針２を試料表面Ｓに対して相対的に所定距離で接近離間させる接近離間駆動部２４を備え、検出手段４が、接近離間駆動部２４による接近時と離間時とにおける前記測定量の変化率を検出し、該測定量の変化率が、予め設定された閾値を超えるときに、観測手段６が前記観測データを採取する。 （もっと読む）

【課題】 きわめて簡便な手段で以って、互いに噛合う２つの歯車段の噛合い状態の良否を正確に判定可能として、歯車の回転状態の良否を正確に監視できる歯車監視装置を提供する。
【解決手段】 歯車軸と該歯車軸に取り付けられた歯車とよりなる歯車段を噛み合わせて構成される歯車伝動装置における歯車の回転状態を監視する歯車監視手段において、互いに噛合う複数の前記歯車段のそれぞれについて前記歯車軸の径方向の移動量を検出し、前記移動量検出値に基づき各歯車段毎の歯車軸の傾き量を算出し、前記各歯車段の傾き量算出値に基づき前記互いに噛合う歯車段の相対傾き量を算出し、該相対傾き量に基づき前記歯車の歯当たりを含む歯車の回転状態の良否を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 商業運転中の任意の電気車に設置されているパンタグラフの特性を診断する信頼性の高い装置を提供すること。
【解決手段】 運動シミュレーション装置２は、トロリ線凹凸計測装置１で得られたデータを含む架設状態データに基づいて架線・パンタグラフ系の運動シミュレーションを行い、前記シミュレーション結果に基づいて観測点におけるパンタグラフ定常押上力に対するトロリ線押上量の対照表を作成する。更に、評価装置３は、押上量計測装置４で得られたトロリ線押上量から前記対照表に基づいてパンタグラフ定常押上力を推定し、このパンタグラフ定常押上力の推定値を評価基準値と比較してパンタグラフの良否の判定を行う。 （もっと読む）

【課題】 測定データから測定装置の一定の走査方向にのみ特有に出現するノイズ成分を除去し、精度の高い測定データを得られる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡は、探針１３を有するカンチレバー１４と、試料１０に対する探針の位置を相対的に変化させる移動機構１１，１７と、所定物理量を検出する検出手段と、試料表面を測定する測定手段と、移動機構と測定手段の動作を制御する測定制御手段６０を備える。測定制御手段は、任意角度で交差する第１走査方向と第２走査方向を設定する走査方向設定手段６１、第１走査方向と第２走査方向のそれぞれで探針を走査移動して試料表面を測定し、測定データを得る測定実行手段６２、第１ラインデータと第２ラインデータとの間のデータ差を演算する第１減算手段６３と、第１走査方向に係る測定データから上記データ差を減算する第２減算手段６４とを有する。 （もっと読む）