【課題】連続的な角度変化を測定できる機械角度測定装置を得ること。
【解決手段】機械角度測定装置は、機械要素５を回転させるモータ４の検出角度をフィードバックして、検出角度が指令角度に追従するようにモータを駆動することで、機械要素の機械角度を制御する装置において機械角度を測定する機械角度測定装置であって、回転する機械要素の位置、加速度および角速度の少なくとも１つを測定するセンサ１と、検出角度とセンサによる測定結果とから機械角度を計算する機械角度計算部１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】不適切な幾何誤差に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、きわめて効果的に防止することが可能な幾何誤差計測システムを提供する。
【解決手段】幾何誤差計測システムＳは、予め幾何誤差の閾値を設定可能な閾値記憶領域２５と、同定した幾何誤差が閾値を上回っている場合にその事態を報知する出力手段３２と、幾何誤差設定値を更新記憶可能なパラメータ記憶領域２６とを有している。そして、新たな幾何誤差の計測後に、その計測値に、パラメータ記憶領域２６に記憶されている幾何誤差設定値を加算することによって、新たな幾何誤差設定値を算出するとともに、新たに計測された幾何誤差あるいは算出された新たな幾何誤差設定値の内のいずれか一方が閾値を上回っている場合には、幾何誤差設定値を自動更新せず、手動による新たな幾何誤差設定値の設定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】機械上の被加工物を工作機械の制御器に保存されたプログラムを利用して、高速に、正確に、且つ容易に被加工物を測定することを可能にする工作機械上の被加工物を測定する方法を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償するためにいくつかの方法が記載されている。 （もっと読む）

【課題】外乱に基づいて不適切な幾何誤差が計測された場合であっても、そのような不適切な幾何誤差に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、きわめて効果的に防止することが可能な幾何誤差の計測方法を提供する。
【解決手段】幾何誤差の計測においては外乱誤差有無確認ステップを実行し、幾何誤差を同定する前に、Ａ軸およびＣ軸を複数の条件で割り出して、ターゲット球１２の直径を計測し、それらの計測値のバラツキを算出し、それらのバラツキが予め設定された直径変動量許容値Ｄａを超えた場合には、計測ミスと判断する。 （もっと読む）

【課題】筒状体の軸方向及び周方向の全面の外径と肉厚を同時に測定し、その内径および内外径中心線のずれである位置度を測定する装置及び方法を提供する。
【解決手段】筒状体形状測定装置１０は、筒状体１の外面を軸方向および周方向に三次元座標を測定するための三次元測定用プローブと、この三次元測定用プローブと所定の距離を隔てて配置され、筒状体１の厚さを測定するための探触子と、この三次元測定用プローブおよび探触子を搭載したプローブユニット１２を走査させる走査手段１３，１４と、走査手段１３，１４を制御して前記筒状体の軸方向および周方向にわたる外面を走査し、前記筒状体の周方向および軸方向の外径と肉厚とを計測し、この計測結果に基づいて前記筒状体の周方向および軸方向の内径と、前記筒状体の内外径中心線のずれである位置度を算出する三次元・厚さ測定器１１を具備する。 （もっと読む）

【課題】測長距離の制限を受けることがないと共にリニアモータの能力を十分に発揮させて制御時間の短縮を図ることができるリニアモータ位置検出システムを提供する。
【解決手段】リニアモータ５により移動されるテーブル４の直線運動をラック１２とピニオンギア１３により回転運動に変換するようにしたので、直線運動系での検出は有限目盛りであるのに対して回転運動系での検出は無限目盛りとなり、理論的には直線運動系の測長距離が無限であっても、直線運動系の測長距離を回転運動系の測長距離に容易に変換することができ、測長距離の変更に容易に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】出力データの精度評価を、理論的で、簡単な計算で行え、計算量が少なく、収束計算を行う必要が無く、データ処理を行う多くのソフトウェアに適用可能であり、誤差の要因の分析、要因毎の大きさの比較等の多くの解析が可能となるようにする。
【解決手段】データ処理を入力データによって数値微分することで、データ処理のヤコビ行列Ｊを求める手順（ステップ１１０）と、入力データの持つ誤差の分散共分散を推定して、入力データの誤差行列Ｄを求める手順（ステップ１２０）と、前記ヤコビ行列Ｊ及び入力データの誤差行列Ｄより、出力データの持つ誤差の分散共分散を表す誤差行列Ｒを計算する手順（ステップ１３０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】関節プローブヘッドの回転軸をロックするためのブレーキを提供する。
【解決手段】支持体に取り付くための第１のマウントと、表面検出装置が取り付け可能な第２のマウントとを備え、第２のマウントが第１のマウントに対し一以上の軸回りに回転可能である関節プローブヘッドにおいて、第１のマウントに対する第２のマウントの一以上の軸回りの位置をロックするための少なくとも一以上の機械式ブレーキが設けられ、これにより、少なくとも一つの位置測定装置が、ロック位置において、第１のマウントに対する第２のマウントの一以上の軸回りの位置を決定すべく設けられる。 （もっと読む）

【課題】被測定物を精度良く測定が可能であるとともに、安価な測定装置を提供する。
【解決手段】長尺な被測定物Ａの形状を測定する測定装置であって、ベース１と、前記ベース１の一方側に設けたビーム支持部２と、前記ビーム支持部２の上部にピン軸４によって一方側の両側部を支持し、他端側を傾動及び倒立可能に設けたビーム５と、前記ビーム５の一方端に設けられ、前記被測定物Ａの一端を支持及び回転可能する支持部６と、前記ビーム５の他方端に移動可能に設けられ、被測定物の他端をクランプ及び回転可能するクランプ部７と、前記ベース１と前記ビーム５との間に設けたビーム傾動及び倒立用のアクチュエータ８と、前記被測定物Ａに対向するように、前記ビーム上に移動可能に設けた寸法測定部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 平板状の被測定物に生じる体積変化の分布を測定可能な装置を提供する。
【解決手段】 圧力測定装置１０は、平板状の被測定物を表裏面から挟持する一対の固定部材２，１２と、固定部材１２の内側面に設けられているとともに、被測定物と固定部材１２の間に生じる圧力分布を検出する圧力センサ８を備えている。圧力測定装置１０は、被測定物と固定部材１２の間に生じる圧力分布を検出することにより、被測定物に生じた体積変化の分布を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】特定のエリアでは高い位置決め精度を確保しつつ、全体として比較的安価な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の位置を検出するレゾルバ３０ａ〜３０ｃ（以下レゾルバ３０とする。）と、
プラテン１０の特定のエリアＡにおけるスライダ１の位置をレゾルバ３０よりも高い精度で検出するレーザ干渉計２０ａ，２０ｂ（以下レーザ干渉計２０とする。）と、
スライダ１の位置に応じてレゾルバ３０またはレーザ干渉計２０のいずれかの位置検出装置を選択する切替スイッチ１００ｃと、
位置指令値および切替スイッチ１００ｃで選択された位置検出装置で検出される位置検出値に基づいてスライダ１の位置制御を実行する位置制御部１０２と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】取付位置にずれが生じたときにも取付部位の姿勢角を正確に検出することができる姿勢角検出装置を提供する。
【解決手段】人体の部位１００の姿勢角を検出する姿勢角検出装置１０であって、姿勢角センサ２０と、移動量検出手段３１、３２と演算手段６０を備えている。姿勢角センサ２０は、人体の部位１００の表面に取り付けられ、自己の姿勢角を検出する。移動量検出手段３１、３２は、取付部位１００の表面を移動したときの姿勢角センサ２０の初期位置からの移動量を検出する。演算手段６０は、検出された姿勢角を検出された移動量に基づいて補正する。 （もっと読む）

本発明は、被対象物に対する機械的誤差を実時間で補正しながら被対象物の表面座標を精密に測定することができる構造の基準板を用いた３次元座標測定機に関するもので、被対象物の上方に配置されてＸ軸ステージ軸上に左右に移動自在な状態で設置される測定部と、測定部の上方に配置されて固定される基準板とを備え測定部が、測定部と基準板との間の距離及び測定部と被対象物との間の距離を実時間で測定してＸ軸ステージの機械的誤差を補正して精密に測定するように設計されているものである。 （もっと読む）

【課題】基板の走査中に生じるヨーイング等の誤差を補正することができると共に、基板処理手段が基板の所定位置に精度よく処理を施すことができる基板処理装置等の提供。
【解決手段】基板Ｐを固定する基板保持部１１を載置する、Ｙ軸方向に離れた基板搬送部２２ａ及び２２ｃのベース構造体２上の位置を測定することによって、間接的に基板Ｐ上のＹ軸方向に離れた２箇所の位置のそれぞれと、ガントリ３とのＸ軸方向の距離を測定する位置測定ユニット１３ａ及び１３ｂと、位置測定ユニット１３ａ及び１３ｂが測定した２つの距離が異なる場合に、該２つの距離が同じになるように基板搬送部２２ａ〜２２ｄを制御する走査制御部５と、基板Ｐとガントリ３とのＸ軸方向の距離を測定する相対位置測定部２９とを備え、ガントリ３に搭載されたヘッドユニット２５は、相対位置測定部２９が測定した距離に基づくタイミングで、基板Ｐにインク塗布を行う。 （もっと読む）

【課題】複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差の変動検出方法を提供する。
【解決手段】
多点プローブの零点誤差の変動検出方法は、センサユニット２２０をスピンドルにて回転されている状態の試料の測定面に相対するように配置して、試料が１回転する間において、試料が所定回転角度回転する毎に複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃから出力される試料の測定面における同心円に沿う形状値及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０に読取りさせて記憶装置３４０に記憶させる。記憶装置３４０が記憶した、同一の試料に関する新しい測定値と古い測定値とに基づいて、零点誤差の変動量を算出する。 （もっと読む）

【課題】多点プローブにおいて、複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差関連値記録装置を提供する。
【解決手段】
零点誤差関連値記録装置は試料を回転させるスピンドルと、複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃを含む真直形状測定用のセンサユニット２２０を試料の測定面に相対するように支持するセンサキャリッジ２３０を備える。試料が所定回転角度回転する毎に変位センサＡ，Ｂ，Ｃから、試料の測定面における同心円に沿う形状値ｆ（ｒ_F，θ），ｆ（r₀，θ），ｆ（r_R，θ）及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０が読取り、読取りした形状値及び零点誤差を含む測定値を記憶装置３４０に記憶する。 （もっと読む）

【課題】パターンを書き込む際に生じるあらゆる物理的変形に無関係に、オブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法及びパターン生成装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、露光装置での使用を対象とするオブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法であって、表面を備えた厚さＴのオブジェクトをパターン生成装置のステージの上に配置するステップと、表面を多数の測定ポイントに分割するステップであって、隣接する２つの測定ポイントが所定の最大距離を越えない距離Ｐで間を隔てられているステップと、各測定ポイントにおける表面の勾配を決定するステップと、各測定ポイントのｘ−ｙ平面における二次元局部オフセットｄを勾配及びオブジェクトの厚さＴの関数として計算するステップと、前記表面に書き込むパターンを、二次元局部オフセットｄを使用して修正するステップとを含む方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】
回転移動軸の角度割り出し精度測定を容易し、測定時間の短縮とコストの削減を可能にする角度割り出し精度測定装置、及び角度割り出し精度測定方法を提供すること。
【解決手段】
エンコーダ１１と、エンコーダ１１の摺動抵抗の大きさに対応する外径形状と長さとを有する取付けシャフト１２と、補正値を算出する演算部とを備えた角度割り出し精度測定装置１０により回転移動軸１３の角度割り出し精度を測定する。 （もっと読む）

【課題】オートコリメータでは高精度測定ができない長さが１ｍ以上の長尺状物の表面形状（真直度）を複数の変位センサを用いて測定する。
【解決手段】３本の変位センサＡ，Ｂ，Ｃをピッチ間隔ｐ毎に直列にアーム３１１に固定し、テーブル上に固定された被測定物の真直度を、オートコリメータが高精度に測定できる作動範囲ではオートコリメータにより測定される値を用いて２本の変位センサＡ，Ｂにより２点法で検出された真直度値のピッチングの補正を行って初期真直度値データ列を得、オートコリメータが高精度に測定できない作動範囲における真直度の測定においては第三の変位センサＣより検出される真直度値で測定基準を作り、この測定基準の測定点の値を基準にして変位センサＡ，Ｂによる２点法の出力からピッチングを検出し、それを使用してピッチング補正しながら次々に繰り返して測定範囲を広げて延長真直度値データ列を得、真直度曲線を出力する。 （もっと読む）

【課題】ピッチング誤差やローリング誤差を抽出でき高精度な測定を行える運動誤差測定基準、運動誤差測定装置を提供する。
【解決手段】運動誤差測定基準は、例えばベースに対して所定の方向に移動可能に支持されたステージの運動誤差を求める測定装置で利用することが出来るものであり、前記母線に沿って前記原点からの距離が既知である所定点において、実際の物体面と、母線が構成すべき数学的理想面との差が、面外への微小変位と、面法線の方向の微小角変位に関して校正されており、その校正値が記憶されて演算に供しうる数値データとして付与されているものである。 （もっと読む）