【課題】検査体において設計形状との誤差が公差から外れている箇所を検査体上で容易に特定できる物品の形状検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ＸＹ平面に設置されたベースと、ベース上に設置された検査体の寸法を計測するセンサユニット３ａ，３ｂと、検査体において、センサユニット３ａ，３ｂによって計測された検査体の形状実測値と予め設定されている設計値との誤差が公差を外れている箇所を特定する処理装置１０と、処理装置１０によって誤差が公差を外れていると判定された箇所にマーキングを行う印字ノズルとを具備する物品の形状検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】特別な外部基準を必要としないため簡便、低コスト、迅速、低設置面積といった特徴を持つ走査運動誤差測定方法において、従来、取り除くことのできなかったスピンドル回転誤差の影響を低減できる走査運動誤差測定方法を提供する。
【解決手段】旋盤や円筒研削盤上において作製した加工対象である被加工物５をスピンドル３から取り外すことなくそのまま測定の基準として用いて、被加工物５を搭載したスピンドル３の回転中心軸４に対して工具Ｔと正対する位置に変位検出器Ｂを配置し、回転中心軸４に沿ってスライドにより走査しながら得られた変位検出器Ｂの出力から、回転中心軸４を基準としたスライド走査機構の持つ運動誤差を測定する装置において、回転中心軸４の整数回転分の平均を求めることにより、回転中心軸４の運動誤差の影響を低減する。 （もっと読む）

【課題】軸を中心として回転対称な非球面部材における非球面の輪郭形状の測定において、軸を挟んだ対称な有効径の範囲全体を対象とすることなく、短い時間で輪郭形状の誤差を高精度に測定可能な面形状測定機、測定方法及び面形状の測定値の解析方法を提供する。
【解決手段】軸Ａを挟んだ非対称な範囲Ｍにおいて、軸Ａの一方の側の所定位置から他方の側の別の所定位置までの非球面の輪郭形状を測定し、範囲Ｍにおける非球面の輪郭形状の測定値を用いて、測定値を得ていない軸Ａを挟んだ他方の側の所定範囲に仮測定値として補完し、次いで、軸Ａを挟んだ非対称な範囲と仮測定値を補完された範囲とを合わせた範囲において、測定値と仮測定値と非球面の輪郭形状の設計値とを用いて、所定の収束条件を満たすまで収束計算を行なうことにより、非球面の輪郭形状の誤差を算出する。 （もっと読む）

【課題】繋ぎ合わせ演算を高精度に行うことが可能な測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の測定方法は、被測定物を複数の部分領域に分割して測定し、複数の部分領域を繋ぎ合わせて被測定物の全体形状を測定する測定方法であって、複数の部分領域を測定するステップＳ５０１〜Ｓ５１１と、基準となる部分領域における誤差を固定するステップＳ１０２と、複数の部分領域における各誤差を算出するステップＳ１０５と、各誤差に応じた補正を行って複数の部分領域を繋ぎ合わせるステップＳ１０７とを有し、ステップＳ１０２〜Ｓ１０７は、基準となる部分領域を変えて繰り返し実行される（Ｓ１１０）。 （もっと読む）

【課題】蒸気発生器の伝熱管と振止部材との相対変位を計測できる相対変位計測方法を提供することにある。
【解決手段】伝熱管と振止部材との間で発生する相対変位を検出する相対変位計測方法であって、伝熱管に配置された距離測定手段により、振止部材に配置されたターゲットとの距離を測定する測定ステップと、測定ステップにより測定した間隔に基づいて、伝熱管と振止部材との相対変位を算出する算出ステップとを有し、振動時の伝熱管の所定位置と振止部材の所定位置との相対変位を計測することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】計測器を用いて車両に対するエンジンマウントの変位を迅速且つ正確に測定できるエンジンマウント変位測定方法を提供する。
【解決手段】車両１を定盤１１の上に配置して、車両１の車軸方向に基づいて車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）を決定し、車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）における計測器２１、５１の原点位置と、計測器基準の座標系Ｑ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）におけるエンジンマウントの三次元位置とを用いて所定の座標変換行列式により、車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）におけるエンジンマウントの三次元位置を算出する。これにより、車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）におけるエンジンマウントの変位を迅速且つ正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】対向配置された対象物同士の相対的な傾きをを高精度にかつ容易に調整することができる傾き調整の技術を提供することを目的とする。
【解決手段】基板５５には第１検出部である電極が形成され、基板５６には第２検出部である電極が基板５５の電極と対を構成する位置に形成されている。そして、基板５５および基板５６をステージ部１５の保持部２９およびヘッド部３９の保持部４４にそれぞれ保持し、基板５５および基板５６の電極の対の間の静電容量を検出部５０により検出する。そして、検出された静電容量が所定の値になるように、Ｘ−Ｙテーブル制御部５２によってＸ−Ｙステージ機構１１を移動させ、基板５５および基板５６の相対的な傾きを調整する。 （もっと読む）

【課題】被測定対象物の周囲に障害物がある場合においても正確に３次元形状を測定することのできる３次元形状測定システムおよび測定された３次元形状によって容易に強度を評価することのできる評価強度評価システムを得ることにある。
【解決手段】被測定対象物の３次元表面形状を測定する表面形状測定装置１と、被測定対象物の３次元内面形状を測定する内面形状測定装置２と、被測定対象物の構造材内部の状態を測定する非破壊測定装置３と、この表面形状測定装置、内面形状測定装置、非破壊測定装置によって計測された３次元点群データを入力合成する点群データ変換入力合成装置４と、この点群データ変換入力合成装置によって合成処理した点群データから３次元形状を作成する３次元形状変換処理装置５を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明では、他の情報処理装置との位置関係を把握した上で、所定の位置関係にある他の情報処理装置と、高度なセキュリティ機能を有する情報処理システムを自立的に構築する情報処理装置等を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明に係る情報処理装置は、距離計測用センサを用いて計測した距離に基づいて、当該情報処理装置の位置を基準とした他の情報処理装置の位置を検出する位置検出手段と、位置検出手段による検出結果に基づいて、当該情報処理装置と他の情報処理装置とが所定の位置関係にあるか否かを判定する位置判定手段と、対象物検出用センサを用いて、対象物を検出する対象物検出手段と、位置判定手段により所定の位置関係にあると判定された他の情報処理装置に対して、対象物検出手段により検出された対象物を識別する識別情報を通知する情報通知手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを有するとともに、
スライダ１のＸ軸方向の位置に応じた信号を出力するレゾルバ３０と、スライダ１のＸ軸方向の加速度を検出する加速度センサ３１とを備えた位置検出装置３００を備え、
位置検出装置３００がレゾルバ３０と加速度センサ３１の出力に基づいてスライダ１の位置を求めることを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】一度に広範囲の被検査物表面形状を検査できる表面形状検査装置及び表面形状検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物５の表面の凹凸を増幅する凹凸形状増幅部材１と、凹凸形状増幅部材１の下面を被検査物５の表面に沿わせるように当接させる透明板２と、被検査物５の表面の検査対象部分を凹凸形状増幅部材１に対して相対的に移動させる回転機構７と、凹凸形状増幅部材１によって増幅された被検査物５の表面の凹凸を光学的に検出するカメラ３及びコンピュータ４とを有する。 （もっと読む）

【課題】
CD-SEM画像からパターンのエッジを抽出する際にパターン上における高さ（基板からの距離を表す値）を指定してエッジ点を抽出する。あるいは、それを行って得られるLER値やLERのフーリエスペクトルを得る。
【解決手段】
あらかじめ同じサンプルをAFMとCD-SEMとで観察しておき(601)、AFM観察結果から、高さを指定して得られるLERの大きさやLERの自己相関距離あるいはスペクトルという指標を求め、さらにCD-SEM観察結果からは、エッジ点を検出する画像処理条件を指定して得られるこれらの指標を求め(602)、値が一致するときにその値を与える高さと画像処理条件とが対応していると判断し（603）、以降、AFM観察の代わりにCD-SEM画像からこの画像処理条件を用いてエッジ点を抽出する。 （もっと読む）

【課題】吐出口から吐出される樹脂材料のシート厚を正確に制御すること。
【解決手段】互いにリップ面１１を対向させた状態で接続した一対のリップ１０と、リップ面１１の相互間距離を調整する調整手段２０とを具備し、リップ面１１の相互間に構成されるスリット状の吐出口１２から樹脂材料を吐出する樹脂押出用口金装置において、吐出口１２の外部においてリップ面１１に平行となる態様でリップ１０に設けた測定面１３と、測定面１３に対向する態様でリップ１０に保持され、予め設定した計測基準から測定面１３までの距離を計測する変位センサ３０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
内外からの振動がプリント板へ伝達されるのを防ぎつつ、センサの測定精度を向上させることで、繰り返し安定して保持可能としプリント板に印刷されたはんだの形状を測定する技術を提供する。
【解決手段】
プリント板１が検査位置まで搬送されてきたとき前記プリント板の辺縁部１ａの下面を下から上へ押し上げることによって、前記辺縁部の上面をガイド部３の突出部３ａの下辺に押圧して位置を固定して支持するクランプ６とを備え、該クランプで支持された状態でプリント板に印刷されたはんだの形状を検査する印刷はんだ検査装置であって、
前記クランプ部が前記プリント板を押し上げるときに、該プリント板の辺縁部の下面と前記クランプ部との間に存する弾性体ベルト５諸共押し上げることで、前記辺縁部の下面を前記弾性体ベルトで押圧し前記プリント板を固定して支持することを特徴とする印刷はんだ検査装置。 （もっと読む）

【課題】適切に車両の傾きの状態を検出することができる自動二輪車を提供する。
【解決手段】自動二輪車には、車体の進行方向左右の路面Ｒまでの距離を測定するセンサであって、モーターサイクルの下方向に向けて取付けられる下方距離センサ（左）ＬＬ、および下方距離センサ（右）ＬＲと、進行方向左右の路面Ｒまでの距離を測定するセンサであって、下方距離センサＬＬ，ＬＲよりも外側に向けて取付けられる側方距離センサ（左）ＳＬ、および側方距離センサ（右）ＳＲとが設けられている。下方距離センサ（左）ＬＬ、および下方距離センサ（右）ＬＲの測定値に基づいて、車両のバンク角θ_Ｂが算出される。バンク角θ_Ｂが所定範囲内になければ、側方距離センサ（左）ＳＬ、および側方距離センサ（右）ＳＲにより転倒の可能性が判定される。 （もっと読む）

【課題】重量のある大きいワークピースを、その重量が測定精度に悪影響を及ぼすことなく、迅速で且つ信頼性の高いやり方で測定できるようにする、測定装置及びワークピース受け具を提供する。
【解決手段】ワークピース（２）測定用の測定装置（１００）は、ワークピースを受け合うターンテーブル（１）と、ターンテーブル軸受を有するベースプレート（３）と、該ベースプレートが載置される基台（１２）とを備えている。前記ターンテーブルは、当該ターンテーブルの下側に位置し、ターンテーブル軸受によってベースプレートに保持される、鉛直方向の軸（Ｗ）を備えている。前記ターンテーブル軸受は、ターンテーブルから離間した軸の底部端面（１３）にアキシャル軸受（９）を備えている。前記軸は、ワークピースの重量（Ｇ）が、ターンテーブルによって受け止められるときは、ターンテーブル，軸及びアキシャル軸受を介して、基台に伝えられるように、アキシャル軸受に回転可能に保持されている。 （もっと読む）

【課題】バーミラーの形状、スライダの走り、スライダのヨーイング角の情報を、高精度に識別して測定可能な機能を備えるＸＹステージを実現する。
【解決手段】プラテン上をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御されるスライダと、前記スライダの一辺近傍に配置されたバーミラーと、このバーミラーに光を当てて距離を計測するレーザ干渉計とを具備するＸＹステージにおいて、
前記バーミラーに沿って等間隔に固定配置された３個の距離計と、
前記スライダを所定距離づつｎ回（ｎ≧２）平行移動させるスライダ移動手段と、
前記スライダの初期位置及び所定距離の移動毎に、前記距離計の測定値に基づいて前記バーミラーの形状、前記スライダの走り、前記スライダのヨーイング角の少なく共いずれかを演算するバーミラー形状演算装置と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物が非球面形状であっても、極めて高精度に測定データを取得することができる三次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸方向に駆動される移動体においてＺ軸方向に移動自在に支持されたプローブを、被測定物の測定面に、所定の経路に沿って走査させて前記被測定物の形状を測定する三次元形状測定方法であって、測定時にＸ−Ｙ方向に移動する移動体の移動量を基準として測定データを取得するサンプリングピッチを、被測定物の既得形状情報から得られる走査上の各位置における被測定物の測定面の法線方向に引いた直線と、被測定物の中心線と、が交わる点を中心として、前記表面上の位置で被測定物の表面形状と接する円を近似円とし、その近似円の半径から算出する。これにより、被測定物の表面形状に沿う方向に対して一定のピッチで測定データを取り込むことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明における課題は、行うべき作業についての知識が希薄な作業者（初心者、非熟練者）が作業に精通した者（ベテラン、熟練者）と同等の作業を行うために、作業者を支援するための装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の作業支援装置は、作業対象となる物体が置かれている状況を把握するための計測部、計測部をコントロールし、かつ得られた情報に対して適切な情報処理を行い、さらに作業者へ提示する視覚情報を構築する情報処理部、及び作業者に対し対象となる物体上に重ね合わせた視覚情報を与えるための表示部を具備し、作業者がなすべき作業を作業現場において指示することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】センサヘッドにおけるセンサの設置ずれ量及びセンサヘッドと計測対象との間の相対傾斜に起因する誤差を無くすことのできる幾何学量計測方法を提供する。
【解決手段】少なくとも３個のセンサを配置したセンサヘッドを計測対象に沿って相対移動させ、各センサから得られる検出信号を用いて計測対象表面の幾何学量を計測する。予め、基準平面３０に対して真直度の計測を行い、両側のセンサの基準点を結ぶ線分からの中央のセンサの基準点の計測方向に関するずれ量を算出すると共に、基準平面とセンサヘッドとの間の相対傾斜とずれ量との間の関係を対のデータとして補正テーブルを作成する。幾何学量の計測に際しては、計測対象とセンサヘッドとの間の相対傾斜を算出し、かつ前記補正テーブルを参照して前記算出されたずれ量を取り出し、該取り出したずれ量と３個のセンサから得られた検出信号を用いて計測対象表面の幾何学量を演算する。 （もっと読む）