【課題】テープギャップの手動測定は労働集約的であるため、構造物の大きな領域にわたる複数のテープギャップの測定を正確かつ効率的に実行し、しかもオペレーターの技能に大きく依存しないテープギャップの測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】表面を構成する複合テープの細片間のギャップはゲージによって測定される。表面に沿ってゲージを移動するにつれて隣接するテープ細片のエッジの位置は検出され、隣接する細片間のギャップは検出したエッジの位置に基づいて計算される。 （もっと読む）

【課題】対象物を光ストライプで照射し、対象物表面から反射した光を検出することで、対象物の表面上の複数の点からデータを捕捉するための走査プローブを提供する。
【解決手段】走査プローブは、（ａ）光ストライプを生成および発するためのストライプ生成手段１４、（ｂ）対象物表面から反射した光ストライプを検出するための画素の配列を有する画像センサを備えるカメラ１６、（ｃ）カメラ１６によって検出された強度に応じて、フレームの取得中に光ストライプの強度を調節するための手段を備える。ストライプ長を修正する手段、処理手段のための隔離された区分室、およびスキャナのための取り付け可能なダストカバーを有するスキャナにも関する。 （もっと読む）

【課題】温度変化が生じても、マークの位置を正確に検出すること。
【解決手段】転写ベルト１０上のマーク５を検出する光ピックアップ６ａ、６ｂと、光ピックアップ６ａ、６ｂを収容するケース１０１１、１０１２と、ケース１０１１、１０１２を固定位置１０２１、１０２２に固定して保持する回路基板１００５とを備え、固定位置１０２１、１０２２を含む面であって、転写ベルト１０の移動方向に垂直な面である固定位置面から、検出位置１０３１、１０３２を含む面であって、転写ベルト１０の移動方向に垂直な面である検出位置面までの、ケース１０１１、１０１２における部位の温度変化による転写ベルト１０の移動方向に平行な方向の膨張量の合計である総膨張量と、回路基板１００５における固定位置１０２１、１０２２の間の部位の温度変化による膨張量とが略同一であること。 （もっと読む）

【課題】一台でキメ深さやＩＲＩを測定できる多機能の路面性状測定装置であって安価かつ高精度なものを車載可能とすべく、移動距離計の測定値からタイヤ変形等の悪影響が取り除かれるようにする
【解決手段】車両に移動距離計１５と高さ計１６と高さ計５１と演算部２０とを搭載する。高さ計１６，５１には、排水用凹部の開口幅より短い第一基準長Ｎに対応した狭い範囲を測定するものを、採用する。演算部２０は、移動距離測定値ΔＳと高さ測定値Ｋ，Ｊとに基づき踏面算出を行って第二基準長Ｍ対応のＩＲＩを算出し、移動距離測定値ΔＳと高さ測定値Ｋとに基づき踏面算出を行わないで第一基準長Ｎ対応のキメ深さ等を算出し、更に基準長Ｍだけ離れた高さ計１６，５１での路面形状について相関を算出して選択的に移動距離測定値ΔＳを校正する。 （もっと読む）

【課題】 容易且つ高精度に形状公差を検査することが可能な電機子コアの検査方法を提供すること。
【解決手段】 波形計測部１５は、各コアシートの切断面、詳しくはその厚み方向において異なる複数の計測箇所に臨むように各々配置された複数のセンサ２の出力する各波形信号Ｓａ〜Ｓｃに基づいて、各計測箇所における各々の凹凸変化を示す複数の計測データＤａ〜Ｄｃを生成する。演算部１６は、波形計測部１５から入力された各計測データＤａ〜Ｄｃをそれぞれ予め設定された複数の区間に区分し、その各区間毎に破断部に起因するノイズ成分の有無を判定することにより、その有効／無効を評価する。そして、かかる評価に基づいて各区間毎の有効な区間データを抽出し、その各区間データを合成することにより破断部に起因するノイズを含まない検査データＤｔを生成する。 （もっと読む）

【課題】スピンドルの操作性および耐久性を向上させることのできるスピンドルの制動装置および測定器を提供すること。
【解決手段】制動装置６００は、スピンドル３００が移動するシリンダ６１０と、このシリンダ６１０内を２つに区画するピストン６２０と、スピンドル３００とピストン６２０とを、軸方向および軸直交方向に対し一定のクリアランス６３３を介して連結する連動手段６６０と備え、連動手段６６０は、ピストン６２０に形成された中空室６２３と、スピンドル３００の他端に設けられ、他端側が中空室６２３内に係合収納される係合部６３０とを含み構成され、スピンドル３００が一端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の一端側内壁に当接し、かつ、他端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の他端側内壁に当接するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 試料表面の凹凸形状によらず、精度よく探針と試料表面とを近接または接触させることが可能な走査型プローブ顕微鏡及び走査方法を提供すること。
【解決手段】 試料表面Ｓに平行な２方向の走査及び試料表面Ｓの垂直方向の移動を試料表面Ｓに対して相対的に行う探針２と、探針２及び試料表面Ｓの距離に応じて変化する測定量を検出する検出手段４と、探針２が試料表面Ｓに近接または接触した時点における観測データを採取する観測手段６と、２方向の走査及び垂直方向の移動を制御する制御手段５とを備え、探針２を試料表面Ｓに対して相対的に所定距離で接近離間させる接近離間駆動部２４を備え、検出手段４が、接近離間駆動部２４による接近時と離間時とにおける前記測定量の変化率を検出し、該測定量の変化率が、予め設定された閾値を超えるときに、観測手段６が前記観測データを採取する。 （もっと読む）

【課題】 長距離の計測においても精度の高い線形計測が可能なパイプラインの形状計測評価方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 パイプラインの始点及び終点におけるピグ本体の姿勢を予め取得しておき、始点におけるピグ本体の姿勢に対して、ピグ本体の走行によって得られた姿勢変化角を順次累積して始点から終点までの順方向の姿勢データを求めるとともに、終点におけるピグ本体の姿勢に対して、ピグ本体の走行によって得られた姿勢変化角を順次累積して終点から始点までの逆方向の姿勢データを求め、順方向の姿勢データと逆方向の姿勢データとを用いて姿勢誤差を低減した姿勢データを再計算し、再計算後の姿勢データを用いてパイプラインの線形形状を求める。 （もっと読む）

【課題】
探針走査機構の各駆動軸の真直誤差を低減して探針位置決め精度を向上させることによって、走査型プローブ顕微鏡の計測精度を向上させる。
【解決手段】
探針を試料表面に近接または接触させて前記試料表面を走査することにより前記試料表面の形状を計測する走査型プローブ顕微鏡において、試料を載置して少なくとも１軸方向に移動可能な試料ステージと、該試料ステージに載置された試料の表面に近接または接触させて前記試料表面を走査する探針と、該探針を３次元方向に駆動する探針駆動手段と、前記探針のたわみを検出するたわみ検出手段と、対物レンズを有して該対物レンズのほぼ光軸上に配置された前記探針及び前記試料を観察する観察手段とを備え、前記探針駆動部を、前記対物レンズの光軸に対して対称に配置された対を成す駆動源を３組備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】被測定物の測定面と測定機の測定方向との平行出しを、効率よく行うことのできる平行出し装置、および、平行出し方法を提供すること。
【解決手段】被測定物に並列した移動案内体と、移動案内体に沿って移動するスライダとを備える。スライダの移動位置におけるスライダ移動位置、および、測定物の測定面位置を、スライダに備えられた光電式リニアスケール５、および、センサ６によって検出し、これらを基に、ＣＰＵ７１は、スライダの移動方向を基準とする測定面の傾き直線を演算し、傾き直線から揺動支点の調整基準値を設定し、調整基準値をメモリ７２に記憶させ、記憶させた調整基準値、および、センサ６によって検出される測定面位置の差を調整量として算出する。調整量はモニタ８に表示され、作業者は、表示された調整量に従って移動案内体の姿勢を調整する。 （もっと読む）

【課題】 重力鉛直偏差による重力誤差を極力抑え、長距離の測定でも十分な精度を確保することの可能なパイプラインの形状計測評価方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 ピグ本体を静止状態として静止状態における加速度計の加速度データを取得し、その加速度データから重力方向を求め、この重力方向と地上の現在地点における緯度とから、パイプラインの線形形状の計測を開始する際に必要なピグ本体の初期姿勢角を算出し、この初期姿勢角を、加速度データから求められる重力方向と地球を密度一様な楕円体と仮定した場合の重力方向との偏差に基づく補正角によって補正し、その補正後の初期姿勢角を用いてパイプラインの線形形状を求める。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の測定面の任意の位置における高さデータを高精度にて推定する高さデータ推定方法、高さデータ推定用プログラム、及び３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】 複数のサンプリング位置における高さデータに関して、設計データと測定データとの誤差値を求め（Ｓ６）、求まった誤差値にて形成される形状の関数を求める（Ｓ６）。そして、該関数に基づいて、被測定物の測定面の任意点における推定誤差値を求めるようにしている（Ｓ７）。したがって、上記推定誤差値の精度は、測定データの高さデータに基づき作成される面の曲率半径及び傾斜面角度とは無関係となり、一定となる。よって、従来に比べて、高い精度にてなる推定誤差値を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】基板自体のうねりや反り、さらには機械的な精度等による測定誤差等の疑似段差成分を精度良好に除去することができ、これにより高精度な表面段差分布を得ることが可能な表面段差測定方法を提供する。
【解決手段】基板の表面段差分布を測定する表面段差測定方法であり、表面段差分布を測定する測定領域とその周辺領域とを含む領域において表面段差のない平坦部における基板の表面高さを測定することにより、測定領域に関して表面段差の影響を含まない第１の表面段差分布を得る（Ｓ１）。測定領域内の全面において基板の表面高さを測定することにより、測定領域に関して前記表面段差の影響を含む第２の表面段差分布を測定する（Ｓ２）。第２の表面段差分布から第１の表面段差分布を取り除くことにより、測定領域における基板の表面段差分布を得る（Ｓ３）。 （もっと読む）

【課題】被測定面の形状測定を行う前の演算による測定シミュレーションによって、プローブと測定治具等との干渉の有無を確認することで、実際の形状測定におけるプローブ干渉によるトラブルを防ぐ。
【解決手段】ステップＳ２において、被測定物を保持する測定治具に設けられた基準球によって形状測定装置に対する被測定物の取付状態を検出し、座標変換を行ったうえで、被測定物の設計形状データＤ２、測定治具形状データＤ３等を用いた演算による測定シミュレーションを行い、測定治具や、被測定物の被測定面以外の面に対するプローブ干渉の有無を確認したうえで、走査中のプローブ傾斜角度を算出し、ステップＳ１２の形状測定工程におけるプローブ走査速度を自動設定する。 （もっと読む）

【課題】 検査の手間を省き、且つ、アセンブリを分解することなく、しかも、検査結果の再現性を高めるようにした無端ベルト用エレメント検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 ベルト式無段変速機に用いられる無端ベルト（１）の構成部品であるエレメント（３ａ）の検査装置（１０）において、前記無端ベルトに周回運動を与える運動付与手段（１３）と、周回運動中の前記無端ベルトのエレメントの積層周期を計測する計測手段（１５、１７）と、前記計測手段の計測結果を所定の基準周期と比較して前記エレメントの積層異常箇所を判定する判定手段（１８）とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 カンチレバーを容易に交換することができ、かつ光学像の十分な鮮明度および解像度を確保することができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 保持機構４００はカンチレバー保持機構４００Ａおよびミラー保持機構４００Ｂから構成されている。カンチレバー保持機構４００Ａは保持機構保持部１１ｃの下部からＺ方向に延びるように設けられている。カンチレバー保持機構４００Ａは、その下端部においてカンチレバー１００を着脱可能に保持する。ミラー保持機構４００Ｂは側壁部１１Ａの内面１１ｘからＸ方向に延びるように設けられている。ミラー保持機構４００Ｂは、先端部においてミラー固定部材４５０を着脱可能に保持する。ミラー固定部材４５０にはミラー２５が固定されている。カンチレバー保持機構４００Ａとミラー保持機構４００Ｂとは互いに分離されている。 （もっと読む）

【課題】 直流電動機を構成する整流子の整流子面の良否を直流電動機稼働中に診断することのできる方法及び装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、整流子２と整流子２に摺接して電流を供給するブラシ３とを具備する直流電動機の整流子診断装置１であって、ブラシ３の整流子２との摺接面３１に対向する表面３２の変位量を測定する変位量測定装置１１と、整流子２の回転位相を検出する回転位相検出装置１２と、回転位相検出装置１２で検出した所定の回転位相毎に変位量測定装置１１で測定した変位量を取り込み、当該取り込んだ変位量の大小に基づいて整流子面の良否を診断する信号処理装置１３と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする問題点は、走査プローブ顕微鏡で狭域の走査をする場合における、広域走査でのスキャナ駆動回路の持つノイズやドリフトが観察像の質を悪くしていることである。
【解決手段】探針と試料との間に作用する物理量を検出する走査形プローブ顕微鏡において、探針と試料を相対的に走査するスキャナと、前記スキャナの走査領域に対応した少なくとも２個のスキャナ駆動回路と、前記少なくとも２個のスキャナ駆動回路を切り替える切替手段と、を備えた走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 大きさにばらつきのあるウェハであっても、その回転中心のずれを測定し、このずれを高速に補正することにより、その平坦度を高速高精度で測定できるようにする。
【解決手段】 板材１４を保持しながら回転させ、その回転角度と外形とを測定して、板材１４の形状をもとに、この板材１４自体の中心からその回転中心までの位置ずれを算出する。板材１４を回転させたときに、この板材１４の面の方向に走査する変位センサによって、板材１４の回転中心を原点とする座標系についての複数の測定点において、変位センサから板材１４の表面までの距離または距離の変化を測定する。前記算出した位置ずれにより、変位センサによる測定点の位置データを、板材１４自体の中心を原点とする座標系に補正する。補正した位置データに基づいて、板材１４の表面における厚さむらおよび反りを算出する。 （もっと読む）

【課題】 複数種のスペーサの溝ピッチと反転角度の測定を可能にすること。
【解決手段】 測定装置は、周回する螺旋溝が設けられたスペーサ１２，反転する螺旋溝が設けられたスペーサ１３の溝ピッチおよび溝反転角度を測定する。スペーサの進行量に対応した信号を発生させる速度パルス発生器１６と、螺旋溝に嵌合された回転体１８と、回転角度に対応したパルス状の回転角度信号と、回転角度信号から遅延，進行した回転方向判定信号と、螺旋溝の１回転に伴う１回転パルス信号を送出する第１，２パルス発生器１９，２０とを備えている。演算装置２２は、スペーサの種別を選別し、螺旋溝の溝ピッチを演算するとともに、回転角度および回転方向判別信号を受けて、螺旋溝の反転位置を判別し、隣接する反転位置間での前記速度パルス発生器のパルスおよび回転角度信号を計数して、螺旋溝の溝ピッチと溝角度とを演算する。 （もっと読む）