【課題】被測定物を精度良く測定が可能であるとともに、安価な測定装置を提供する。
【解決手段】長尺な被測定物Ａの形状を測定する測定装置であって、ベース１と、前記ベース１の一方側に設けたビーム支持部２と、前記ビーム支持部２の上部にピン軸４によって一方側の両側部を支持し、他端側を傾動及び倒立可能に設けたビーム５と、前記ビーム５の一方端に設けられ、前記被測定物Ａの一端を支持及び回転可能する支持部６と、前記ビーム５の他方端に移動可能に設けられ、被測定物の他端をクランプ及び回転可能するクランプ部７と、前記ベース１と前記ビーム５との間に設けたビーム傾動及び倒立用のアクチュエータ８と、前記被測定物Ａに対向するように、前記ビーム上に移動可能に設けた寸法測定部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】低コストでフレームの所定箇所の位置を求めることができるセンシング方法を提供すること。
【解決手段】センシング方法は、自動二輪車のフレーム１０の測定点の位置を求める方法である。このセンシング方法は、測定装置６０により、フレーム１０の後方側から、このフレーム１０の測定点の全てをセンシングする。この発明によれば、１台の測定装置６０でフレーム１０をセンシングできるから、システムを小型化でき、低コストとなる。 （もっと読む）

【課題】複数の測定手段を備える形状測定装置において、各測定手段の測定範囲を広くする。
【解決手段】形状測定装置は、レーザプローブ１７、画像プローブ１８、タッチプローブ１９の３種類のプローブを備えている。回転軸移動部１３Ｂは、傾斜軸Ａ１回りに回転自在に傾斜軸支持部１３Ａに支持されており、回転軸移動部１３Ｂを傾斜軸Ａ１回りに傾斜させることにより、回転テーブル１３Ｃに設置されている被検物２を、各プローブに対して傾斜させることができる。各プローブは、各プローブの図内の左側面が、傾斜軸Ａ１に対して略平行になるように配置されている。本発明は、例えば、形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の表面プロファイルを、容易に算出することができる真直度測定方法を提供する。
【解決手段】 第１の方向に並ぶ３個の変位計と、測定対象物との一方（稼動物）を他方（固定物）に対して第１の方向に移動させながら、３個の変位計から、それぞれ測定対象物の表面において第１の方向に延在する測定対象線に沿って並ぶ３つの被測定点までの距離を測定する。測定対象線に沿う表面プロファイル、可動物に固定された基準点の軌跡である倣い曲線のプロファイル、及び可動物の移動に伴うピッチング成分のプロファイルうち、２つのプロイファイルで規定される解の候補を複数個決定する。表面プロファイル、倣い曲線のプロファル、及びピッチング成分のプロファイルうち、解の候補に規定されていないプロファイルに基づいて定義される評価関数の値を適応度として、複数の解の候補に遺伝的アルゴリズムを適用し、最も適応度の高い解の候補を抽出する。 （もっと読む）

【課題】 ３個の変位計のゼロ点調整を高精度に行うことなく、測定対象物の表面プロファイルを算出することができる真直度測定方法を提供する。
【解決手段】 第１の方向に並び、相対位置が固定された３個の変位計と、測定対象物との一方（可動物）を他方（固定物）に対して第１の方向に移動させながら、３個の変位計から、それぞれ測定対象物の表面において第１の方向に延在する測定対象線に沿って並ぶ３つの被測定点までの距離を測定する。３個の変位計の測定結果に基づいて、可動物に対する相対位置が固定された基準点の軌跡である倣い曲線のプロファイルを算出する。倣い曲線の算出されたプロファイルの２次成分を、事前に測定されている倣い曲線のプロファイルの２次成分に基づいて補正する。補正された倣い曲線のプロファイルに基づいて、測定対象物の表面のプロファイルを算出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に形成された円形孔の内径を測定する技術を提供する。
【解決方法】内径測定装置１０は、距離センサ１２と、回転機構３８と、コンピュータ２０を備えている。距離センサ１２は、円形孔３４の内部に配置され、円形孔３４の内壁までの距離を測定する。回転機構３８は、円形孔３４の軸３６に対して角度θを成す基準軸３２を中心に距離センサ１２と測定対象物１６を相対回転させる。コンピュータ２０は、距離センサ１２によって各方向で測定された距離データから、円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状を特定する断面特定機能と、断面特定機能によって特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する短径算出機能を併せ持っている。内径測定装置１０は、算出された楕円形状の短径を円形孔３４の内径とする。 （もっと読む）

【課題】 生タイヤの生産を停止させずに成型ドラム上のタイヤ構成部材を検査すること、及び検査した部材とそれを成型した生タイヤとを対応させることを可能にする。
【解決手段】 成型ドラム４にタイヤ構成部材５を貼り付けた後、成型者がジョイント合わせ等を行っている機械の待ち時間に、点観測式レーザ変位計１により、タイヤ構成部材５の表面迄の距離を測定する。その測定データと、予め測定しておいた成型ドラム４の表面迄の距離の測定データを基に、タイヤ構成部材５の断面形状データ及び貼り付け位置データを求める。求めたデータを、そのタイヤ構成部材５を用いて成型する生タイヤのバーコードとともにデータベース３に保存する。また、求めたデータとマスタデータとを比較処理部９で比較し、差が所定の閾値を越えた場合、比較結果出力部１０でアラームを出力する。 （もっと読む）

【課題】ローラ面に養生フィルムを被覆したままでローラ形状を測定できる装置を提供すると共に、その装置を使用してオフラインでダミーによるクリアランス調整を行うことにより、ローラ面を傷つけることなく迅速にクリアランス調整を行うことができる。
【解決手段】直径が１ｍ以上の冷却ローラ１４のローラ面に樹脂製の養生フィルム３０を被覆したままで該冷却ローラの形状を測定するローラ形状測定装置４０は、金属のみに反応することによりローラ面までの距離を測定する渦電流式の変位計４２と、変位計４２をスライドバー４４にスライド自在に支持して冷却ローラ１４の幅方向に移動させる移動手段４６と、変位計４２での測定値とローラ面までの実測距離との関係を予め求めた検量線データを有し、変位計４２で測定した測定値を検量線データに基づいて補正する補正手段と、を備える。そして、このロール形状測定装置４０でオンライン測定したローラ形状結果に基づいて、冷却ローラ１４と遮風板２２とのクリアランス調整をオフラインで行う。 （もっと読む）

【課題】ダイヤルを何回転も回すことなくワンタッチで保持具を操作できるようにすると共に、作業環境の悪い場所であっても該保持具により測長装置を支持体に容易に固定できるようにする。
【解決手段】支持体２に設置された測長装置の両側を保持して該測長装置を固定する保持具１Ａ、１Ｂを備える。これらの保持具１Ａ、１Ｂは、レバー１ｂの回動と共に回動して本体１ａと協働して支持体２を挟んで締め付ける脚部１ｄを有する。この脚部１ｄは、本体１ａと協働して支持体２を挟んで締め付ける第１の位置に回動する。また、支持体２と隙間を有してスライドの方向に測長装置を移送する第２の位置に回動する。また、支持体２の幅に対して該脚部１ｄの幅が狭くなって保持具１Ａ、１Ｂを支持体２から取り外す第３の位置に回動する。この構成によって、何回転もダイヤルを回すことなく、ワンタッチで保持具１Ａ、１Ｂを支持体２に固定、解除及び乖離できる。 （もっと読む）

【課題】金属リングの周長を精度よく測定することができる金属リングの周長測定方法を提供する。
【解決手段】金属リングＷを１対のローラ２，３に掛け回し、一方のローラ３を他方のローラ２から離間する方向へ移動することにより金属リングＷに張力を付与すると共に両ローラ２，３間の距離を測定し、両ローラ２，３間の距離から金属リングＷの周長を算出する金属リングＷの周長測定方法において、金属リングＷの１つの部位Ｐ_１が両ローラ２，３間の所定の位置Ｍにあるときに金属リングＷの周長を算出した後、金属リングＷの他の部位Ｐ_２が所定の位置Ｍにあるときに金属リングＷの周長を算出する処理を少なくとも１回行い、算出された全ての金属リングＷの周長の平均値を金属リングＷの周長とする。金属リングＷの周長を算出する処理を少なくとも３回以上行うことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する保管装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段（非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂ）をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段（プローブボックス３０，エアーポンプ４０）と、保護手段に供給されるクリーンエアーの浄化を行う集塵手段４４を備える。 （もっと読む）

【課題】スパイラル鋼管の製造工程において、鋼帯の成形・溶接後の鋼管の形状をオンラインで計測可能であるとともに、現状の設備を活用し極力簡単な設備改造で計測可能なスパイラル鋼管の製造方法および形状測定装置を提供する。
【解決手段】このスパイラル鋼管の形状測定装置は、鋼帯２を内面ローラー４および外面ローラー４を備える成形装置３を用いて管状に成形した後、鋼帯２の幅方向端面突合せ部をサブマージアーク溶接して鋼管７にするスパイラル鋼管の製造方法の溶接工程に用いられるスパイラル鋼管の形状測定装置であって、内面ローラー４を支持するマンドレル１の先端部に設けられて鋼管７の内面までの距離を非接触で測定する距離計１７と、距離計１７を鋼管７の周方向に回転させるモータ１５と、距離計１７の回転角を計測する回転角計測手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】特定のエリアでは高い位置決め精度を確保しつつ、全体として比較的安価な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の位置を検出するレゾルバ３０ａ〜３０ｃ（以下レゾルバ３０とする。）と、
プラテン１０の特定のエリアＡにおけるスライダ１の位置をレゾルバ３０よりも高い精度で検出するレーザ干渉計２０ａ，２０ｂ（以下レーザ干渉計２０とする。）と、
スライダ１の位置に応じてレゾルバ３０またはレーザ干渉計２０のいずれかの位置検出装置を選択する切替スイッチ１００ｃと、
位置指令値および切替スイッチ１００ｃで選択された位置検出装置で検出される位置検出値に基づいてスライダ１の位置制御を実行する位置制御部１０２と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】高い操作性を有する新たな形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物６０を挟んで対向配置される少なくとも２台の駆動機構付き測定機ＣＭＭ１，ＣＭＭ２と、これらの測定機ごとにそれぞれ対応して接続される少なくとも２台の操作コントローラ５１，５２と、を備えるものである。そして、操作コントローラ５１，５２のそれぞれは、非接続の測定機ＣＭＭ２，ＣＭＭ１を含むすべての測定機を操作可能に構成されている。また、操作コントローラ５１，５２は、切替ボタン５３，５４を有しており、この切替ボタンを切り替えることによって操作対象となる測定機を選択可能となっている。 （もっと読む）

【課題】複数台の測定機間での振動の影響を排除した上で高い操作性と測定精度を実現した新たな形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物５０を挟んで対向配置される少なくとも２台の駆動機構付き測定機ＣＭＭ１，ＣＭＭ２と、これらの測定機ごとにそれぞれ対応して接続される少なくとも２台の制御装置４１，４２と、を備えるものであって、前記制御装置４１，４２は、測定機ＣＭＭ１，ＣＭＭ２の動作状態を検出自在であるとともに、制御装置４１，４２ごとで連携を取り合うことにより、一の測定機ＣＭＭ１の動作状態の検出結果に応じて他の測定機ＣＭＭ２に対する動作指令を発信自在である。 （もっと読む）

【課題】 非接触で球面形状を高精度に測定できる球面形状測定装置および球面形状測定方法を提供する。
【解決手段】 軸部１ｂの一端に球面形状部１ａを有する被測定物１を、被測定物支持手段１０により軸部１ｂの中心軸回りに回転させる。球面形状部１ａの表面位置を非接触で測定する非接触変位計３１を、その中心軸上の所定位置を回動中心として軸部１ｂの中心軸を含む平面内で、変位計回動手段３２により回動させる。被接触変位計３１の軸方向位置は軸方向位置調整手段４１で調整する。これにより、被測定物１を回転させながら、その軸部１ｂの中心軸を含む平面内で前記球面形状部１ａの中心を回動中心として非接触変位計３１を回動させて、球面形状部１ａの球面形状測定を行う。 （もっと読む）

【課題】スケール、スケールベース、及びベースの熱膨張等による伸縮で生じるスケールベースの変形を防いで、スケールによる高精度な変位測定を可能とする。
【解決手段】スケールベース１１２は、スケール１１６で測定される測定方向（Ｙ方向）の複数箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３でベース１１０に固定され、該固定される箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３間のスケールベース１１６にスリット１１４が設けられ、前記スケール１１６は該スケールベース１１２の該固定される箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の２箇所以上において該スケールベース１１２により支持され、且つ、該スケールベース１１２は、該固定される箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３以外の位置において該ベース１１０との間、及び該支持する箇所以外の位置において該スケール１１６との間、のそれぞれに空隙Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を有する。 （もっと読む）

【課題】長距離を移動する移動体の位置を精度良く検出できる位置検出システムを提供する。
【解決手段】両面に反射面が形成された反射板６が、クレーン本体２の移動経路に沿って、間隔が全て異なるようにして複数配置される。反射板支持フレーム５に内蔵される姿勢状態検出装置は、各反射板６の姿勢状態を検出する。測距装置３は、クレーン本体２と共に移動し、移動経路における前後方向に測定波を出射し、各方向について、反射板６によって反射された測定波の反射波を検出することで、当該反射板６までの距離を計測する。制御装置７は、測距装置３の計測結果と、姿勢状態検出装置の検出結果と、に基づいて、クレーン本体２の現在位置を求める。反射板６は、クレーン本体２が接近した際、測定波を反射可能な姿勢からクレーン本体２の通過を妨げない姿勢に切り替わる。 （もっと読む）

【課題】基板の走査中に生じるヨーイング等の誤差を補正することができると共に、基板処理手段が基板の所定位置に精度よく処理を施すことができる基板処理装置等の提供。
【解決手段】基板Ｐを固定する基板保持部１１を載置する、Ｙ軸方向に離れた基板搬送部２２ａ及び２２ｃのベース構造体２上の位置を測定することによって、間接的に基板Ｐ上のＹ軸方向に離れた２箇所の位置のそれぞれと、ガントリ３とのＸ軸方向の距離を測定する位置測定ユニット１３ａ及び１３ｂと、位置測定ユニット１３ａ及び１３ｂが測定した２つの距離が異なる場合に、該２つの距離が同じになるように基板搬送部２２ａ〜２２ｄを制御する走査制御部５と、基板Ｐとガントリ３とのＸ軸方向の距離を測定する相対位置測定部２９とを備え、ガントリ３に搭載されたヘッドユニット２５は、相対位置測定部２９が測定した距離に基づくタイミングで、基板Ｐにインク塗布を行う。 （もっと読む）

【課題】１軸方向にのみ移動可能なワークステージを備える簡素な機構の近接露光装置において、ワークステージに搭載された基板の平坦度を２次元で精度よく測定することができる近接露光装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持して一軸方向（例えば、Ｘ方向）に移動可能なワークステージ１と、マスクステージ２上に配置されてセンサ駆動機構４７によりワークステージ１の移動方向と直交する方向（例えば、Ｙ方向）に移動されるギャップセンサ４０とを備え、ワークステージ１及びギャップセンサ４０を互いに直交する方向に移動させて基板Ｗの平坦度を２次元で測定する。 （もっと読む）