【課題】平面基板の形状測定時に、被測定基板の下端面形状の影響を低減し被測定基板に発生する平面の反りを低減させる支持部材を提供することを目的とする。
【解決手段】平面基板Ｐの形状測定において、前記平面基板Ｐの下端面２７を支持することにより前記平面基板Ｐを垂直状態に位置決めする支持部材１７であって、上方に凸型形状からなる断面と、該断面が一方向に延在する湾曲面形状１７ｂと、を備え、前記支持部材１７に設けられた湾曲面形状１７ｂの稜線部と、前記平面基板Ｐの下端面２７の板厚方向略中央部が当接するように載置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】支持ピン３の位置再現性を向上させること、及び載置板２と支持ピン３間の移載において基板Ｗの水平方向のずれを防止することである。
【解決手段】基板Ｗの反りを測定する反り測定系７、及び当該基板Ｗの反り以外の物理量又は化学量を測定する通常測定系６に用いられる基板測定用ステージ１であって、前記通常測定系６の通常測定位置Ｐ１、及びその通常測定位置Ｐ１から下方に離間した退避位置Ｐ２の間を移動可能な載置板２と、前記載置板２に設けられた貫通孔２１に挿通可能であり、前記反り測定系７の反り測定位置Ｐ３に固定された複数の支持ピン３と、前記載置板２を前記通常測定位置Ｐ１及び前記退避位置Ｐ２の間で昇降移動させる駆動機構と、を備え、前記反り測定位置Ｐ３が、前記通常測定位置Ｐ１及び退避位置Ｐ２の間に設定されている。 （もっと読む）

【課題】
費用をかけずに製造可能である、測定精度が高くかつ再現性がある測長装置を提供することである。
【解決手段】
両連結部（１４１，１４２）の少なくとも一つが、少なくとも接触部（Ｐ）の領域内ではセラミック材料でできていることにより解決される。 （もっと読む）

【課題】複数のセンサによる測定点を一致させることができるセンサ駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動手段１１は取得した現在の測定対象物９の流れ速度に基づいてアクチュエータ３を駆動し、支持部材３２、すなわちセンサ２Ａを所定の速度で測定対象物９の幅方向に往復移動させる。これによりセンサ２Ａの位置が測定対象物９に対して常に適切な位置に位置づけられるように制御される。位置調整手段１２は、制御装置５１から取得した現在の測定対象物９の流れ速度および、駆動手段１１から取得した現在のセンサ２Ａの速度（測定対象物９の幅方向における速度）に基づいて、アクチュエータ４を駆動し、センサ２Ｂの位置を調整する。これにより、センサ２Ｂの測定点がセンサ２Ａでの測定点に一致するように、センサ２Ａおよびセンサ２Ｂの位置関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】非接触センサの走査範囲の方向を容易に変更することができる非接触センサ用回転ユニット及び非接触センサ用回転装置を提供すること。
【解決手段】一方向に走査可能な非接触センサ２と、非接触センサ２を支持する支持手段３との間に配設され、非接触センサ２の走査方向に対して９０度回転可能となっている非接触センサ用回転ユニット１であり、この非接触センサ用回転ユニット１の少なくとも０度と９０度の回転状態を維持するための位置決め手段である突起１３ａ、第１列状突起１４ａ、及び、第２列状突起１４ｂが非接触センサ用回転ユニット１に設けられている。 （もっと読む）

【課題】高精度位置決めを迅速かつ安定して行なえるようにする。
【解決手段】 ボールねじ軸（リード１ｍｍ）を利用した全域回転駆動型でかつテーブルを最小１ｎｍずつ移動可能で、３つの光学格子（明・暗線が２μｍ）を用い信号分割数を２０００として１ｎｍ／１パルスの移動変位量検出信号を生成でき、オープンループ制御による高速回転とクローズドループ制御による中速回転および低速回転をこの順序で切換えて位置決めでき、低速回転中にインポジション範囲内であることを確認して迅速停止可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】筐体（２２）内に配置された基準尺（２０）と基準尺（２０）から間隔を開けたスキャナカートリッジ（１０）から成る測長装置に関する。
【解決手段】スキャナカートリッジ（１０）は、基準尺（２０）の互いに垂直な方向を向いた二つの案内面（２０１，２０２）上を移送されるとともに、磁気力によって、これらの面（２０１，２０２）に押し付けられる。スキャナカートリッジ（１０）内には、永久磁石（１６１，１６２）が配置されるとともに、筐体（２２）の溝（２３１，２３２）内には、スチールベルト（２６１，２６２）が嵌め込まれており、基準尺（２０）の面（２０１，２０２）に対してスキャナカートリッジ（１０）を押す磁気力が、永久磁石（１６１，１６２）とスチールベルト（２６１，２６２）との相互作用によって生じる。 （もっと読む）

【課題】
本発明の根底をなす課題は、高い測定精度を備えた測長装置を提供することにある。
【解決手段】
電気構成部品（１３）で発生した熱を帯行体（１４）に伝達するように、
かつ測定方向Ｘに対して少なくとも横方向での、帯行体（１４）と走査ユニット（１０）の間の相対運動を許容するように設計されている熱伝導部材１９を備えていることにより解決される。 （もっと読む）

【課題】オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する保管装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段（非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂ）をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段（プローブボックス３０，エアーポンプ４０）を備える。 （もっと読む）

【課題】垂直に保持した薄板の表面形状の測定において、装置構成を簡素化かつ低コストとすると共に、操作を容易にする。
【解決手段】被測定物である薄板ｇの表面形状測定装置において、基台１０上に薄板を垂直に保持する垂直保持機構２０と、薄板ｇを挟んで平行に配置された一対の固定レール４１と、該一対の固定レール間に架設され薄板ｇを挟み薄板表面に対して一定の間隔をもって平行に配置された一対のスライド軸５１、及び該スライド軸を該固定レールに沿って移動させる駆動装置４５と、変位センサ３２ａ〜ｂが装着され該スライド軸に沿って夫々移動可能に配置された一対の測定台３１、及び該測定台の駆動装置と、該スライド軸の両端部に架設され該スライド軸を連結し該スライド軸間の間隔を位置決めする連結部材５２とからなり、該スライド軸と該連結部材とによって略矩形形状とし、薄板ｇの両面の形状を同時に測定可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】オートコリメータでは高精度測定ができない長さが１ｍ以上の長尺状物の表面形状（真直度）を複数の変位センサを用いて測定する。
【解決手段】３本の変位センサＡ，Ｂ，Ｃをピッチ間隔ｐ毎に直列にアーム３１１に固定し、テーブル上に固定された被測定物の真直度を、オートコリメータが高精度に測定できる作動範囲ではオートコリメータにより測定される値を用いて２本の変位センサＡ，Ｂにより２点法で検出された真直度値のピッチングの補正を行って初期真直度値データ列を得、オートコリメータが高精度に測定できない作動範囲における真直度の測定においては第三の変位センサＣより検出される真直度値で測定基準を作り、この測定基準の測定点の値を基準にして変位センサＡ，Ｂによる２点法の出力からピッチングを検出し、それを使用してピッチング補正しながら次々に繰り返して測定範囲を広げて延長真直度値データ列を得、真直度曲線を出力する。 （もっと読む）

【課題】ジャーナル傷の発生による軸受損傷を未然に防止できるジャーナル傷計測診断装置を提供することである。
【解決手段】回転体のロータを支持する軸受部分のジャーナルに発生する摺動傷を傷検出器１７を用いて計測するジャーナル傷計測器１２と、ジャーナル傷計測器１２の傷検出器１７をジャーナル１１のロータ軸方向に自動送りするための速度を制御する制御装置１８と、ジャーナル傷計測器１２の傷検出器１７から伝送される傷の軸方向分布情報を記録しその情報からジャーナルの状態を診断する評価装置２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】移動する装置が高速で動く場合であっても、移動する装置の筐体に発生する歪みによる影響が移動する装置内の機器に及びにくい衝突防止装置を提供することにある。
【解決手段】移動対象装置（３次元形状測定装置）３０を移動手段によってＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動させる装置に用いられる衝突防止装置において、移動対象装置３０内のフレーム３４を覆う筐体３２と、測定対象物との衝突により筐体３２に生じた歪みを検出する歪みセンサ３６と、歪みセンサ３６が検出した歪みが所定以上になった場合に移動手段を停止させる制御手段とを備え、筐体３２とフレーム３４とが、移動手段の機構部である接続ロッド２８で接続されている。 （もっと読む）

【課題】ピッチング誤差やローリング誤差を抽出でき高精度な測定を行える運動誤差測定基準、運動誤差測定装置を提供する。
【解決手段】運動誤差測定基準は、例えばベースに対して所定の方向に移動可能に支持されたステージの運動誤差を求める測定装置で利用することが出来るものであり、前記母線に沿って前記原点からの距離が既知である所定点において、実際の物体面と、母線が構成すべき数学的理想面との差が、面外への微小変位と、面法線の方向の微小角変位に関して校正されており、その校正値が記憶されて演算に供しうる数値データとして付与されているものである。 （もっと読む）

【課題】ステージのガイドの真直度誤差、テーブルの運動誤差をリアルタイムで補正することができ、これらの誤差による形状測定への影響を最小限に抑えた高精度の形状測定を実現することができ、しかも構造が簡単で、比較的安価に実施できる形状測定用測長装置を提供する。
【解決手段】接触式又は非接触式のプローブを用い、測定物またはプローブのいずれかを可動テーブルに搭載して相対移動させることで、測定物を測長する装置において、端子を測長方向に沿う方向に向けて配置され、測定物をスキャンする第１のプローブと、端子を測長方向に沿う方向に向けて配置され、平面基準面をスキャンする第2のプローブと、前記第2のプローブからの測定情報と第１のプローブからの測定情報を処理して可動テーブルのガイドの真直度誤差および可動テーブルの運動誤差を補正する手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】
ボビンが迅速かつ正確に検出、即ち把握されるように簡単な方法でボビンの位置の確認を改善する。
【解決手段】
センサ（１１〜１４，２１〜２４）が、空間的に互いに分離されるようにセンサグループモジュール（２Ａ，２Ｂ）内に配設されていることを特徴とする、ボビンを把持するための要素（３，４，５）を有するグリッパ（１）と、グリッパ（１）に配設された、センサ（１１〜１４，２１〜２４）を有するセンサ装置（２）と、センサ装置（２）から信号を受信し、処理する評価及び制御装置（９）と、評価及び制御装置（９）によって制御され、グリッパ（１）を移動させる位置決め装置（１０）とを有する、特にタバコ加工産業のボビン操作装置。 （もっと読む）

【課題】ステージの左右の歪みを短時間で補正する。
【解決手段】互いに平行となるように離間配置し、移動体２の対向する面に配された一対のガイド軸２２，３２と、ガイド軸２２，３２のうち一方のガイド軸２２に設けられ移動体２の一側部２ａを一方のガイド軸２２に沿って移動させる第１の搬送機構２０と、ガイド軸２２，３２のうち他方のガイド軸３２に設けられ移動体２の他側部２ｂを他方のガイド軸３２に沿って移動させる第２の搬送機構３０と、移動体２の一側部２ａを一方のガイド軸２２に沿って基準位置まで移動させたとき、移動体２の他側部２ｂの所定位置からのずれ量を検出する検出部４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】短時間で精密に３次元形状を測定する面形状測定装置およびその方法を提供すること。
【解決手段】本発明の面形状測定装置１は，対象点の第１軸方向位置を測定するとともに，測定箇所を第１軸方向と交差する面内で走査して測定対象物の形状を測定するものであって，測定対象領域内における重点測定領域を記憶する記憶部と，対象点の第１軸方向位置の測定を，重点測定領域内では第１水準の測定点密度で行い，重点測定領域外では第１水準より低い第２水準の測定点密度で行うように，測定箇所の走査を制御する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】均一なガスフローパターンにより均一な堆積フィルムを生じる半導体処理システムを提供する。
【解決手段】 半導体基板を処理するために、リモートコントロールされ、基板ホルダのスロット内に挿入されたセンサシステム１００が、リアクター等のバッチリアクター内において、ウェハボート等の基板ホルダのアライメントを測定するために用いられる。センサシステム１００は、コントローラと通信するためのトランシーバと、プロセスチャンバ外部のデータ収集ユニットとを備える。さらに、センサシステム１００は、センサからプロセスチャンバの壁まで距離を測定するための距離センサ１２０を備える。センサは、プロセスチャンバの周囲３６０°に渡る範囲の測定を得るために回転される。プロセスチャンバ内の基板ホルダのアライメントは、回転角と、測定された距離又は距離センサ１２０によって受信された信号との関係に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】位置検出手段による検出部がレールの外部にあると、誤検出を生じる場合がある。
【解決手段】上部が開口する略コ字形状に屈曲形成され車両のフロアに固定されたロアレール１の前記開口部に、下部が開口する略コ字形状に屈曲形成されシートに固定されたアッパレール２がスライド自在に嵌挿され、ロアレール１のロックプレート１０に対してアッパレール２を固定するロック機構６が設けられ、アッパレール２の位置を検出する近接センサ３０がアッパレール２に設けられる一方、ロックプレート１０には近接センサ３０により検出される被検出面１０ｄが設けられている。そして、近接センサ３０の反検出面側を当接させることにより検出面３０ｂと被検出面１０ｄとの検出距離ａを必然的に設定させる距離設定部１０ｃがロックプレート１０に一体成形されている。
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