【課題】棒状体の真の曲がりを測定することができる棒状体の曲がり測定装置を提供する。
【解決手段】長手方向に搬送される棒状体ａの搬送方向と直交する平面内において互いに交差する第１及び第２の方向の棒状体変位を検出する一組または複数組の変位検出手段３を有する曲がり測定装置において，少なくとも前記変位検出手段３に最も近い上流側と下流側とに棒状体ａを下方から支持するＶ字状案内ロール１ａ，１ｂを設けると共に，該Ｖ字状案内ロール１ａ，１ｂの姿勢を棒状体ａの水平方向成分の曲りに追従可能に構成したことを特徴とする棒状体の曲がり測定装置。 （もっと読む）

【課題】走査に用いる走査系の運動誤差を除去できる形状計測装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状計測装置は、走査系を構成している回転スピンドル１１２及び直動スライド１４２と、スライド１４２上に設置されている変位センサ類で構成されている。回転スピンドル１１２により、計測試料１２０とその外周に設けられた補助試料１１４とが回転している。直線上に動く直動スライド１４２上では、計測試料形状計測用変位プローブ１３２と、その両側に補助試料１１４の表面形状及び走査系の運動誤差を計測できる２台の変位センサ１３４，１３６を設置している。試料外周部に設けた補助試料１１４を変位センサ１３４，１３６で２点測定して、表面形状を求めておくことにより、直動スライド１４２の真直度誤差、回転スピンドル１１２の回転運動誤差、熱膨張などによる系統誤差を全て除去できるようにしている。 （もっと読む）

【課題】高抵抗率のウェーハをプレートに張付けた状態で高精度に測定できるウェーハ厚さ測定装置を提供する。
【解決手段】本ウェーハ厚さ測定装置は、平板状のセンサー較正用マスターワーク及びウェーハ貼付け用プレートが載置されるインデックステーブルと、センサーヘッドを備えた厚み測定センサー及び基準ピンが設けられたセンサー部と、センサーヘッドの先端をマスターワークあるいはウェーハに当接させ、基準ピンの先端を前記マスターワークあるいはプレートに当接させるセンサー当接機構を有し、センサーヘッド及び基準ピンの先端をマスターワークに当てて厚み測定センサーの較正を行い、厚み測定センサーの先端をウェーハに当接させ、基準ピンの先端をプレートに当接させて、両先端の後退量により、ウェーハの厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】位置合せ装置の位置合せ体をワークに対して容易に位置合わせさせることができる位置合せ装置を提供する。また、ワークに形成された孔又は穴の位置ずれ、及び該孔又は穴の軸線の傾き、及びワークの配置位置のずれに容易に対応することができるエアマイクロ測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】エアマイクロ測定装置１０は位置合せ装置１１とエアマイクロメータ１２とを備えており、該位置合せ装置１１には、装置本体１８と複数の連結部材１９と位置合せ体２０とが設けられている。位置合せ体２０には、エアマイクロメータ１２の測定用ゲージ１４が取着されている。そして、昇降装置１５の駆動に基づき、位置合せ装置１１及び測定用ゲージ１４が下方に移動した際に、該測定用ゲージ１４の測定子３６の端縁部３６ａがワークＷの内側縁部１７に当接した場合、位置合せ体２０は、装置本体１８に対して相対移動する。 （もっと読む）

【課題】 位置検出手段による検出部がレールの外部にあると、誤検出を生じる場合がある。
【解決手段】 上部が開口する略コ字形状に屈曲形成され車両のフロアに固定されたロアレール１の前記開口部に、下部が開口する略コ字形状に屈曲形成されシートに固定されたアッパレール２がスライド自在に嵌挿され、アッパレール２に回動可能に支持したロック爪７と、ロアレール１の内部に固定されてロック爪７が係脱可能なロックプレート１０とにより、ロック機構６が構成され、前記アッパレール２の位置を検出する近接センサ３０がアッパレール２に設けられ、該近接センサ３０の検出面３０ｂが、前記ロックプレート１０の側面に臨ませてある。
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【課題】 静止時のクリープ現象の発生を解消し、高速走査と高精度位置決めの両立を可能にし、動的位置決め精度を確保することができる、高速かつ高精度で、スムーズな走査移動等を行うことができる機械式の移動装置を提供する。
【解決手段】 この移動装置は、走査ステージ２１１を移動させる方向に対して平行に設けられた２組の駆動軸機構（２０５Ａ，２０６Ａ−１，２０５Ｂ，２０６Ｂ−１等）と、これらの２組の駆動軸機構のそれぞれに設けられた位置検出機構（２１３Ａ，２１３Ｂ）と、２組の駆動軸機構の動作を制御するコントローラ３３等とから成り、コントローラ等は、少なくとも走査ステージの静止時に、２組の駆動軸機構のそれぞれの駆動位置の偏差ｄを維持するように２組の駆動軸機構を駆動制御するように構成される。 （もっと読む）

【課題】インナーリングとアウターリングの位置関係を高精度に計測する。
【解決手段】調整工程（ステップ２１０）において調整された第１、第２センサヘッドと第１、第２スケール部とを固定工程（ステップ２１２）において固定し、該固定した状態で、各センサのスケール部をインナーリングに接続し、各センサヘッドをアウターリングに接続する（ステップ２１４）。そして、解除工程（ステップ２１６）において、スケール部とセンサヘッドとの固定を解除する。従って、取り付け後に各センサの計測軸間の位置姿勢関係の調整が不要となる。また、取り付け前に計測軸間の位置姿勢関係の調整が行われるので、その位置姿勢関係の高精度な調整、設定が可能である。 （もっと読む）

【課題】 検出器の移動に際しても、検出器の姿勢変化を極力抑え、高精度な測定を保証できる駆動装置を提供する。
【解決手段】 フレーム２１に設けられるとともに、外側に粗さ検出器の移動方向と平行に設けられた断面コ字状のガイドレール２２と、ガイドレール２２に沿って摺動可能に設けられかつ検出器５を保持した断面矩形枠状のスライダ２４と、このスライダ２４をガイドレールに付勢する付勢手段３１と、スライダ２４をガイドレール２２に沿って移動させる駆動手段４１とを備える。駆動手段は、モータ４２と、このモータにより駆動されるボールねじ軸４７と、このボールねじ軸に螺合されスライダに連結されたナット部材４８とを備える。ボールねじ軸４７は、スライダ２４の摺動面（スライダ２４の４つの内面）の略中心近傍に配置されている。 （もっと読む）

【課題】被測定物に傷をつけたり、障害物との衝突による測定プローブの破損を防止すること。
【解決手段】測定プローブによる押し込み量の設定が不適切な場合には、位置制御からフォーカス制御に切り換わらない構成とし、また、光検出器１１ａ、１１ｂの検出信号とフォーカス誤差信号のいずれかが設定範囲を超えるとＸ軸方向あるいはＹ軸方向の駆動を停止し、それまでの移動方向と逆方向に設定量駆動するので、被測定物２１に傷をつけたり、測定プローブと障害物等との衝突による測定プローブの破損を防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ等のインライン自動検査工程でたとえ試料が帯電していたとしても、短時間で最適にかつ正確に除電することにより、探針の接近を中断することなく、安定した動作で測定・検査を行うことができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】
この走査型プローブ顕微鏡は、カンチレバー２１の先端に設けられた探針２０を試料１２に対して接近させ、探針２０と試料１２の間の作用に基づき試料表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡であり、予め登録した情報に基づき指定される試料の測定位置を測定する測定部（１１，２０，２１，２４，３１，３２，３３，３４等）と、予め登録した情報に基づき試料の測定位置をスポット的に除電する除電部４０１，３０２とを有するように構成される。 （もっと読む）

【課題】極厚の精密樹脂シートのシート幅方向の厚み分布を成形ロールの外周面から精密に測定できるシート厚み計測装置を提供する。
【解決手段】 本発明のシート厚み計測装置３４は、Ｔダイ５からシート状に押出された溶融樹脂を回転する成形ロール１、２の第１ニップ部３３ａに流し込むことで成形されるシート６の幅方向のシート厚さ分布を、シート６の幅方向に移動しながら成形ロール２の上面側から測定するものであり、シート６の幅方向に移動可能な１つのトラバース台９に、シート６の表面位置を検出する表面検出センサ７と、シート６の裏面位置を検出する裏面検出センサ８とを、シート６の厚み方向に対する相対位置が調整可能なように搭載し、少なくとも表面検出センサ７は投光受光の光軸が一致している光軸一致式センサであることを特徴とする。 （もっと読む）

測定装置は、容器（１４）の外部表面において指定された位置及び場所について座標を与えるものであり、容器（１４）の外部表面と接するように構成されたベース（２０）と、ベース（２０）から上方に延びる測定スケール（４２）を含んだレール（３０）と、レール（３０）によってスライド可能に支持されるヘッド（３２）であって、このヘッド（３２）をレール（３０）に取り外し可能に固定するために用いられるクランプメカニズム（４０）を含んだヘッドと、容器（１４）の外部表面にイメージを投影する、ヘッド（３２）によって収容されるレーザ（６４）と、を含む。この測定装置は、指定された位置のノズル（１２）の軸に対する半径方向位置及び角度位置と、指定された位置を与えたトランスデューサプローブ（１１１）のスキューとの両方を迅速に測定する。
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【課題】 周回路の内周を基準として一定ピッチで設けられた複数の計測線を利用してコーナー区間でも自走体を円滑に走行させることが可能なゲーム機を提供する。
【解決手段】 周回路３５の内周を基準として周回路３５の長手方向に一定のピッチＰＴｍで並ぶ複数の計測線３６を有するゲーム機本体１０と、周回路３５上を自走可能な自走体３０とを備えたゲーム機２において、自走体３０には、前後方向に一定のピッチＰＴｍｓで並べられ、それぞれが計測線３６を検出可能な複数の検出部６０を有する計測線検出装置５２を設け、その検出結果に基づいて自走体３０の周回路３５における走行を制御する。周回路３５の内周における計測線３６のピッチＰＴｍを検出部６０のピッチＰＴｍｓの整数倍に設定し、かつ検出部６０の個数と検出部６０のピッチＰＴｍｓとの積を周回路３５の外周における計測線３６の最大ピッチＰＴｏｕｔよりも大きく設定する。 （もっと読む）

【課題】評価対象の微小凹凸歪みが測定できる十分な精度を実現するとともに、３次元的にうねった滑らかな凸平面形状から定量的な凹凸歪みの評価を可能にすること。
【解決手段】３次元形状測定器１０によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークＷの３次元形状を測定する３次元形状測定装置および方法において、ステージ２に沿って上下方向に移動する測定ヘッド１と、前記測定ヘッド１および前記ステージ機構2に接続され、前記ステージ機構2の駆動により得られた３次元の点群データから凹凸歪みを評価する制御処理装置３とから成り、異なる角度における一定距離毎に平行にずらした各断面において、基準点と前後の２点からなる傾斜の変化角度を基準点をずらしながらそれぞれデータを求めて、凹凸歪みの評価を行うものである。 （もっと読む）

【課題】段取り作業の効率化を図ると共に、測定精度を向上させることにある。
【解決手段】モータ１により水平回転駆動される回転テーブル２上にその中心軸に直交する回転平面上で互いに直交するＸ方向及びＹ方向に移動可能な移動調整テーブル４を載せ、その上に被測定物１０を支持する複数個のジャッキ３が搭載テーブルを載せて構成された回転部と、複数のアームを鉛直方向に移動可能に、且つ水平方向に移動可能にそれぞれ支持し、これら各アームの先端部に被測定物の面や円弧面を計測する測定器８を取付けて構成された測定器移動部と、回転テーブル２の回転軸線上で互いに交差するスリット状の複数のレーザ光を照射するレーザ発生器９と、被測定物の予定角度位置での面の高さや円弧面における半径方向の長さの測定値がそれぞれ取込まれ、被測定物の傾き量や回転テーブルの中心に対する被測定物の中心の偏心量を求める演算処理部２０と備える。 （もっと読む）

【課題】 比較的構造が簡単で、加工精度の管理が簡単で、比較的長い寿命が得られる長さ測定機を得るにある。
【解決手段】 被測定物に接触できる検出子を一方向に伸びたガイドに沿って移動できるスライダに取付け、前記ガイドに平行な送りねじで駆動されるボールナットにより前記スライダをガイドの長さ方向に移動させて測定を行う長さ測定機において、矩形断面の剛性ガイドを前記送りねじ及びガイドが支持される機体フレームに固定して同剛性ガイドに沿い移動できるコ字リテーナに前記ボールナットを固定し、前記前記ガイドをヤング率の大きな矩形断面のセラミック製棒状体で構成し、前記ガイドに略平行な状態に保った直線状ピアノ線片の両端部を前記スライダの前記コ字リテーナに面した部分に固定し、前記コ字リテーナに基端部を固定した連結ピンの先端部を前記ピアノ線片の略中間部に固定した表面性状測定機。 （もっと読む）

【課題】車両の設置位置が標準位置から大きくずれている場合であっても確実且つ高精度にトー角度を測定する。
【解決手段】トー角度測定装置１０における測定ユニット１８は、車両１４のハブ１６を着座台４８に着座させると共に、第２ベース部材３６に対して車幅方向及び平面視回転方向に移動自在な着座テーブル４６と、該着座テーブル４６から外側方に向かって延在する鉛直な測定面６８を備える被測定部材７０と、第２ベース部材３６を基準として測定面６８に対向するように設けられ、間隔ｙ１だけ離れた２箇所から測定面６８に対する距離ｘ₁、ｘ₂を計測する非接触距離センサ６２ａ、６２ｂとを有する。測定面６８は、車幅方向に対して角度βの鋭角をなす向きに設定されている。 （もっと読む）

【課題】スピンドルの操作性および耐久性を向上させることのできるスピンドルの制動装置および測定器を提供すること。
【解決手段】制動装置６００は、スピンドル３００が移動するシリンダ６１０と、このシリンダ６１０内を２つに区画するピストン６２０と、スピンドル３００とピストン６２０とを、軸方向および軸直交方向に対し一定のクリアランス６３３を介して連結する連動手段６６０と備え、連動手段６６０は、ピストン６２０に形成された中空室６２３と、スピンドル３００の他端に設けられ、他端側が中空室６２３内に係合収納される係合部６３０とを含み構成され、スピンドル３００が一端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の一端側内壁に当接し、かつ、他端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の他端側内壁に当接するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 プローブの操作性がよいこと、形状変化のある被検体にも対応できること、スキャナの取り付け時間を要しないことなどを実現することができる探傷装置を提供する。
【解決手段】 プローブ位置情報を採取する手段を、例えば、プローブ２１に結合され、ボール３１の回転をローラ３２，３３を介してエンコーダ３４，３５に伝えるボール式のものであってプローブが被検体（配管２８）の表面上を移動するときにプローブとともに移動してボールが被検体の表面上を転動することによりエンコーダがボールの回転検出信号を出力する構成のマウススキャナ２２と、エンコーダの回転検出信号に基づいて被検体の表面上のプローブの位置を求めるエンコーダ出力装置２４とを有する構成とする。この場合、マウススキャナに設けたジャイロ４１の回転角検出信号に基づいてプローブの位置をマウススキャナの座標軸上の値から被検体の座標軸上の値に変換することが望ましい。 （もっと読む）

【課題】直交３軸方向に移動可能な移動機構に設けられたローリング及びピッチング回転可能な回転ヘッドに、接触位置センサに代えて、非接触式位置センサが取付け可能な三次元形状計測機において、ローリング及びピッチング回転角に対する非接触式のセンサ原点位置のキャリブレーションデータを簡単に作成する。
【解決手段】接触式用キャリブレーションデータにより較正した基準ローリング回転角及び基準ピッチング回転について、回転ヘッド中心位置Ｏoを固定した状態で、非接触位置センサ２０により、座標値が既知の基準点を計測することによりセンサ原点位置Ｏｓの基準座標値を算出し、その回転ヘッド中心位置Ｏoに対するＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の基準オフセット量Ｈ，Ｌ，Ｗを算出し、較正したローリング及びピッチング回転角θr，θpについてＨ，Ｌ，Ｗに対するオフセット量を算出して基準座標値を補正することにより、センサ原点位置Ｏｓの座標値（Ｘso,Ｙso,Ｚso）のキャリブレーションデータを作成する。
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