【課題】錆び面の連続測定を可能にする。
【解決手段】磁性体（大径鋼管１００）の表面に磁力で吸着しながら走行するための、磁力を発生する複数の車輪１０を備えた磁力吸着式走行台車において、前記複数の車輪１０の踏面を覆うように掛け渡される非磁性体の無限軌道（ベルト９０）を設けると共に、前記車輪１０から離れた所に、スクレーパ９２を設ける。 （もっと読む）

【課題】 表面形状の計測を高精度化することができ、触針を簡易に支持することによって小型の形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 ＸＹステージ装置８２に設けたＸ駆動装置５０がエアスライドによって可動部５２を非接触で支持しリニアモータ５１ａ，５１ｂによって可動部５２を駆動するので、載置台８２ａのＸＹ軸方向に関する運動が滑らかで高精度になる。よって、光学素子ＯＥをＸＹ面内で移動させる際にＺ軸方向の微小変位が生じにくくなり、触針１１の変位量計測を正確にすることができ、光学素子ＯＥの表面形状の計測精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】試料の振動を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡は、ＡＦＭスキャナおよび試料載置台を備える。試料載置台は、移動プレート、Ｚ方向移動機構およびＸＹ方向移動機構３０ｃを含む。ＸＹ方向移動機構３０ｃは、２つのモータＭａ，Ｍｂ、Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０を有する。Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０には、あり溝ガイド方式が用いられている。 （もっと読む）

【課題】振動の発生を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡１０および光学顕微鏡２０は、顕微鏡連結部材４０に取り付けられる。顕微鏡連結部材４０は、弾性部材５４ａ，５４ｂ，５４ｃ，５４ｄを介してベース筐体部５０により保持される。顕微鏡連結部材４０に、おもりＷが取り付けられる。おもりＷの取り付け位置は、顕微鏡装置の各構成要素の重量、設置位置等を考慮して、各構成要素に発生する振動を確実に減衰できるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながらも、３６０°を超える範囲の回転角の検出にも適用可能な回転角検出装置を提供する。
【解決手段】ステアリングシャフトＳにウォームホイール１０を外嵌しておき、このウォームホイール１０、ウォームギア１１および案内ねじ軸１２により、ステアリングシャフトＳの回転に応じてウォームギア１１を直動させる送りねじ機構を構成した。そして、ウォームギア１１をその軸心方向から挟み込む態様で２つのカンチレバー１３，１４を設けた。また、これらカンチレバー１３，１４に歪みゲージ素子１６，１７をそれぞれ貼着した。 （もっと読む）

【課題】小型で測定精度の高い回転角度測定装置を提供する。
【解決手段】回転盤１に第一、第二案内溝２，３を形成して第一、第二移動体４，５を各案内溝に案内させて移動させる。第一、第二移動体４，５の回転角度を検出して両移動体の回転角度から回転盤１の絶対回転角度を演算部８で演算する。 （もっと読む）

【課題】回転角検出機構が破損しにくい構造の回転角検出センサを提供することである。
【解決手段】一端が開放された筒状のハウジング１に、その蓋部１ａを貫通する回転軸２の一端の大径部２ａを収納し、ハウジング１の一端を塞ぐ蓋部材４の内面と回転軸大径部２ａの端面との間に回転角検出機構５を設けるとともに、ハウジング蓋部１ａの内面に回転軸２と同心に円弧状の溝１ｂを設け、回転軸大径部２ａの段差面２ｂにハウジング蓋部１ａの溝１ｂ内を移動するストッパピン１２を取り付けることにより、ストッパピン１２が折損しても回転角検出機構５の破損にはつながらないようにしたのである。 （もっと読む）

【課題】位置決めおよび測定精度に及ぼす工作物の重量の影響を低減する単純かつコスト効率の高い代案を提供する。
【解決手段】測定対象物３０についての測定可能な変数を決定する装置は、複数の機械脚部３８、４２上に取り付けられた底板１２を有している。測定ヘッド２８は、底板に対して移動させることができる。工作物テーブル４６は、測定対象物３０を支持するために底板１２上に設置することができる。本発明の一局面によれば、底板１２は、垂直方向に調節することができるように機械脚部３８、４２に取り付けられている。機械脚部３８、４２は、工作物テーブル４６を保持するために第１の調節位置で底板１２から上方に突出している。第２の調節位置においては、機械脚部３８、４２は、底板１２内に後退されている。 （もっと読む）

【課題】 被測定物（例えば自動車用ガラス又はその検査用枠材）の形状を高精度に検査することができる物体形状検査装置の提供。
【解決手段】 被測定物の２点以上の測定点についての少なくとも鉛直方向に関する位置情報を、接触方式又は非接触方式の測定手段を用いて取得する物体形状検査装置６０において、被測定物の各測定点に対応する各測定位置に、測定手段を案内する案内機構６６と、測定手段６２ｂの測定データを、測定手段の水面に対する移動軌跡に関する事前取得情報に基づいて補正して、各測定点の鉛直方向の位置情報を生成するデータ処理装置８０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】封筒におけるフラップの糊付けの良否を判定する検査方法及び装置において、封筒の種類を問わずにフラップの糊付不良部を直接検出できるようにすること
【解決手段】封筒の封緘部を内側にして円弧状に屈曲させて糊付不良部のフラップを浮き上らせ、その高さをセンサーによって検知する
【図面】図１ （もっと読む）

【課題】 大型・重量化した基板の表面および裏面の両面形状を、作業性に優れ簡便にしかも高精度に測定できる基板の両面形状測定システムを提供する。
【解決手段】 基板の両面形状測定システムは、主要な構成装置として、基板形状測定装置１、基板ハンドリング・ロボット２およびコンピュータ３を備える。基板形状測定装置１は、垂直状態に配置した縦型定盤４と、それに平行に被測定基板Ｐを保持する基板保持機構５と、変位計走査コラム６とを有し、被測定基板Ｐの両面形状を同時に測定する。基板ハンドリング・ロボット２は、未測定の被測定基板Ｐを垂直状態にして上記基板保持機構５に装着し、あるいは測定済みの被測定基板Ｐを基板保持機構５から取り外す。ここで、基板形状測定装置１および基板ハンドリング・ロボット２は、コンピュータ３により一括制御される。 （もっと読む）

本発明は、外郭が設けられた強固CMMアーム用装置に関し、内部CMMアームと、内部CMMアームを、１つ以上の内部ボリュームが、固体対象物および流体の進入に対してシールされるように、複数の伝達手段を介して駆動する外郭を備える。本発明はまた、RCAの触覚制御にも関する。 （もっと読む）

【課題】より精度の高いエレベータのガイドレール据付精度測定装置を提供する。
【解決手段】エレベータのガイドレール１ａとかご２との変位距離を検出しガイドレール変位信号を出力するガイドレール変位検出手段１０１，１０２と、ガイドレールの昇降路内への据付時の位置の基準となる昇降路の頂部から底部まで垂下されたピアノ線７と、このピアノ線とかごとの間隔の変位距離を検出しかご変位信号を出力するかご変位検出手段１０３，１０４と、かご変位検出手段からのかご変位信号とガイドレール変位検出手段からのガイドレール変位信号からガイドレールの精度を演算して求める精度測定手段１２０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】接触式三次元形状計測機の３軸移動機構等を非接触式として利用できることに着眼して、非接触式位置センサを代わりに取付けて転用による非接触式三次元形状計測方法を提供する。
【解決手段】接触式三次元形状計測機の本来接触式プローブが取付けられるべきヘッド６の原点位置に対する非接触式位置センサ２９の原点位置の原点較正データを予め作成しておき、駆動手段７ｘ，７ｙ，７ｚを駆動制御するように３軸移動機構８の移動範囲の移動始端位置及び移動終端位置を逐次指令し、ヘッド６の移動走査過程において非接触式位置センサ２９に対して所定の繰返し周期でトリガー指令を行い、移動始端位置及び移動終端位置並びに繰返し周期ごとの移動位置で規定されるヘッド６の原点位置を原点較正データに対応して較正して非接触式位置センサ８の原点位置を求めて、この原点位置における非接触式位置センサ８の非接触検知位置データにより計測対象物である車両ボデー９の三次元形状データを作成する。
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【課題】 シート状部材を切断しながらシート状部材の幅方向両端のワイヤの位置をそれぞれ検出することにより、切断面における両端のワイヤ間の長さを正確に求めることができるワイヤ位置検出方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 磁性体のカッター130とそのカッター130からワイヤ301の長手方向に所定距離だけ離れた位置との間の磁気抵抗をカッター130とともに移動する磁気抵抗検出器140によって検出し、ワイヤ301と接触していないカッター130がワイヤ301と接触することにより磁気抵抗が変化したときのカッター130の位置と、ワイヤ301と接触しているカッター130がワイヤ301と接触しなくなることにより磁気抵抗が変化したときのカッター130の位置に基づいてシート状部材300の幅方向両端のワイヤ301の位置をそれぞれ検出する。
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【課題】
ＦＭレーザレーダ装置等使用して計測対象物の周囲を移動している間でも電源ライン及び信号ラインを遮断することなく常に接続される形状計測装置用搬送設備。
【解決手段】
第一台車コネクタユニットと第二台車コネクタユニットとを設置した搬送台車と、計測対象物の一方の側に敷設した第一レールと、第一レールの走行方向に対して交わる方向に走行するように敷設した第二レールと、第二レールの端部で第一レール側に設置した第一コネクタユニット架台と、第二レールを走行すると共に第二台車コネクタユニットと接続される補助台車コネクタユニットを設置した補助台車と、電源ラインと信号ラインが接続された固定側の第一中継コネクタと、第一中継コネクタに接続された第一ケーブルと、第一ケーブルに接続された第一ケーブルコネクタと、第一中継コネクタと補助台車コネクタユニットとに接続された第二ケーブルとを備える。 （もっと読む）

【課題】非接触の計測に際して対象物の配置にずれがあっても、ティーチングで想定された最適の計測を実現する。
【解決手段】３次元計測方法は、非接触センサと、センサの位置および姿勢を変更する数値制御の可能なセンサ移動機構とを用い、あらかじめティーチングによって設定された複数の位置および各位置でのセンサ姿勢を指し示す計測経路情報に則って非接触センサを移動させ、それによって物体の形状を非接触で計測するものであり、予備計測経路情報に従って対象物に対する予備３次元計測を行い、予備３次元計測で得られた形状データとティーチングにおける計測対象である想定対象物の形状データとによって、対象物と想定対象物との位置ずれを検知し、検知した位置ずれに応じて計測経路情報を修正し、修正された計測経路情報に従って対象物の３次元計測を行う。 （もっと読む）

【課題】走査範囲を大きくでき、しかも高精度に試料の観察を行うことができる走査型プロ−ブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】探針１と、探針１の位置を検出する位置検出器２と、探針１を試料Ｓに対して直交する方向に変位させる変位機構３と、変位機構３をＺ軸に対して直交するＸ軸方向に移動させる走査機構４と、変位機構３をＺ軸及びＸ軸に対して相互に直交するＹ軸方向に移動させる走査機構５とを備えた走査型プローブ顕微鏡である。変位機構３をＺ軸方向に伸縮する圧電素子１０にて構成する。走査機構４を、Ｙ軸方向に伸縮する圧電素子１１と、圧電素子１１の伸縮をＸ軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構１２にて構成する。走査機構５を、Ｘ軸方向に伸縮する圧電素子１３と、圧電素子１３の伸縮をＹ軸方向の伸縮に拡大変換するリンク機構１４にて構成する。 （もっと読む）

【課題】 基板が大型化した場合においても基板を正確に測定することができる基板測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 測長機は、基部１０と、この基部１０から応力を受けることなく、その表面が鉛直方向に対して微小角度傾斜した状態で、基部１０に支持されるステージ部１４と、測定を行うべき基板１００の下端部を支持するためのガイドローラ４２および昇降ローラ４３と、ステージ部の上部と下部とに設けられたガイドレール４５に案内されることにより、ステージ部１４の表面に沿って左右方向に移動可能な架台１５と、この架台１５に設けられたガイドレール５３に案内されることにより、架台１５に沿って上下方向に移動可能な撮像部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 作業効率が高く、構成が簡単な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 この位置決め装置では、２つの可動テーブル４，５の移動範囲ＸＡ，ＸＢはオーバラップ部ＸＯを有し、２つの可動テーブル４，５のうちのいずれか１つの可動テーブル４または５がオーバラップ部ＸＯに進入したことに応じて、他の可動テーブル５または４がオーバラップ部ＸＯに進入することを禁止する。したがって、可動テーブル４，５がオーバラップ部ＸＯで衝突することを防止することができ、簡単な構成で作業効率の向上を図ることができる。 （もっと読む）