【課題】エンコーダの検査を高精度且つ容易に行うことが可能なサーボモータを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、シャフトＳＨに連結され、複数の反射スリット１１１からなるスリットアレイＳＡが円周方向に沿って形成された円板状のディスク１１０と、スリットアレイＳＡに光を照射する点光源１２１、及び、点光源１２１から照射されスリットアレイＳＡで反射された光を受光する受光アレイ１２２を備えた光学モジュール１２０と、光学モジュール１２０が設けられる基板１３０と、モータＭのハウジング１０に固定され、ディスク１１０を内部に収容しつつ、光学モジュール１２０がスリットアレイＳＡと対向するように基板１３０を支持する、円筒状の支持部材１４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】スケールからの反射光による像のコントラストを高くし光検出器の誤検出を防ぐ。
【解決手段】下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置された反射型光学式スケールであって、下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置され、第１領域は、波長λの光の反射率が第２領域よりも高く、第１領域は、下地部材の上に配された反射部材と、反射部材の上に配された第１材料で構成された層と、第１材料で構成された層の上に配された第２材料で構成された層と、で構成され、第２領域は、下地部材の上に配された第２材料で構成された層で構成され、第１材料および第２材料は、光について透過性を有し、第１材料は、反射部材および第２材料よりも光の屈折率が低く、第２材料は、下地部材よりも光の屈折率が低く、第１材料および第２材料の光学膜厚は、第１領域の方が第２領域よりも光の反射率が大きくなるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】迷光が回路要素に入射するのを防止できる光学リードヘッドを提供する。
【解決手段】リードヘッドとスケールトラックとの測定軸方向に沿った変位を測定するための光学リードヘッドは、スケールトラックへ光源光を出力するように構成された照明部と、モノリシック検出器構造と、を備える。モノリシック検出器構造はスケールトラックからのスケール光を受光するように構成された第１トラック光検出器部と、第１金属層と、第２金属層と、第１金属層と第２金属層との間に形成された複数のダミービア３７１と、を備える。複数のダミービア３７１は、第１金属層と第２金属層の間の層を通り抜ける光の伝達を遮るように配置され、かつ、複数のダミービア３７１はモノリシック検出器構造上の回路要素間を接続するための複数の有効ビアを製造する工程と同じ工程によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、湾曲可能であって高精度に微小位置変位の測定を実現することの可能な光学スケール、及び、それを備えた光学ユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】 光透過性を有する樹脂基板２と、該樹脂基板２面上に所定のパターンにて積層形成されているアルミニウム金属膜３とからなる積層構造体４を備え、該積層構造体４におけるアルミニウム金属膜形成面側の表面を覆って光透過性を有する粘着層５が積層されており、且つ、粘着層５面上にアルミニウム金属膜３よりも正反射率の低い低反射層６が積層されている光学スケール１により、湾曲可能であって高精度に微小位置変位の測定を実現することの可能な光学スケール１、及び、それを備えた光学ユニット１０が提供される。 （もっと読む）

【課題】迷光／ノイズ問題に対処する反射型エンコーダを提供する。
【解決手段】光学エンコーダ及び光学エンコーダシステムであって、光源２０８に対して光検出器２１２を上方に配置し、光源２０８と光検出器２１２との相対的な高さの差により、反射迷光２３２の影響を阻止し、光学エンコーダ２０４が、光源２０８と光検出器２１２との間に別個の光バッフルを必要とすることなく、光検出器２１２におけるノイズを最小限にすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】光源とスケールと受光素子の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、空間的に光学的特性が周期的に変化するスケールスリット１２２を有するスケール１１０と、スケール１１０に向けて光を発光する複数の発光部１４２を有する発光ユニット１４０と、発光部１４２から発光されスケールスリット１２２を経由した光を受光する受光部１７２を有する受光ユニット１７０を有している。発光ユニット１４０と受光ユニット１７０は共に基板１９２に搭載されてヘッド１９０を構成している。スケール１１０とヘッド１９０（受光部１７２）は、スケールスリット１２２の光学的特性の変化方向に沿って相対的に移動可能である。スケール１１０は、発光部１４２に対向した光入射部１１８と、受光部１７２に対向した光出射部１２０と、光入射部１１８から入射した光を光出射部１２０へ導光する導光部を有している。 （もっと読む）

【課題】回転情報の制御の精度低下を抑制できる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、中空部、及び中空部から外周面へ通じる貫通孔を有する第１軸部材と、中空部に挿入され、第１軸部材と動力伝達部を介して連結された第２軸部材と、第１軸部材を回転させる駆動部と、第１軸部材と第２軸部材とのうちの一方の軸部材に設けられたスケールを有し、一方の軸部材の回転に関する情報を検出する検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】迷光による干渉信号の変動を抑え、位置検出信号の内挿精度を改善し検出精度の向上を図る。
【解決手段】保護層表面の法線と入射光のなす角度をθ、回折格子１１で発生する回折光が保護層１２の境界面で反射し、迷光となって回折格子に再入射するとき回折格子面の法線のなす角をθ’としたとき、Δ＝２Ｌ（ｎ／ｃｏｓθ’＋ｔａｎθ’・ｓｉｎθ）にて示される迷光とその迷光と干渉する光線の光路長差Δを、当該光路長差Δが０の場合における干渉信号の干渉強度に対し２％以下の干渉強度の干渉信号となる範囲内とする厚さＬを有する屈折率ｎの保護層１２で上記回折格子１１の表面を覆う。 （もっと読む）

【課題】投光部とスケールと受光部の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、スケール１１０と、スケール１１０に向けて光を投光する投光部１４２と、投光部１４２から投光されスケール１１０を経由した光を受光する受光部１７２を有している。スケール１１０は、受光部１７２に対して移動可能である。スケール１１０はまた、投光部１４２に対向した光入射部１１８から入射した光を受光部１７２に対向した光出射部１２０へ導光する導光部を有している。光出射部１２０には、スケール１１０の移動方向に沿って光学的特性が周期的に変化しているスケールスリット１２４が設けられている。光入射部１１８には、スケール１１０の移動方向に垂直な平面に対して、平行成分の光に対する斜め成分の光の相対強度を低減する働きをする斜め光低減スリット１２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができるエンコーダ、及びこのようなエンコーダに用いるエンコーダ用受光装置を提供する。
【解決手段】エンコーダ１では、一直線状の光透過部１７に被検出光を透過させることにより、スケール板１１において、配列ラインＬ１，Ｌ２の互いに離間した一部を含む領域に被検出光が照射される明部１９が形成され、他の領域に被検出光が照射されない暗部２０が形成される。したがって、光強度ピークＰ１，Ｐ２間の相対角度（基準相対角度）は、光透過部１７の形状から一義的に算出できる。そこで、エンコーダ１では、角度検出時の相対角度と基準相対角度とのずれ量を補正量α°として算出することにより、スケール板１１に対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】トラック数を増やさなくても高分解能なアブソリュートエンコーダ、絶対位置検出装置、及びアブソリュートエンコーダの信号パターン配置作成方法を提供する。
【解決手段】信号パターンを読み取り可能なセンサと、センサと相対的に移動可能とされ、センサに読み取られてＫ（Ｋ＞２）段階に分かれてセンサ出力される信号パターンを有する信号トラックを含む基体と、を含むアブソリュートエンコーダとする。また、前記アブソリュートエンコーダと、センサ出力の検出結果に基づいて、センサと基体との絶対位置を算出する演算装置とを有する絶対位置検出装置とする。 （もっと読む）

【課題】受光素子に十分な光量を確保させることができ、小型化することができる光学式エンコーダの提供。
【解決手段】光学式エンコーダ１は、格子状の目盛り２１を有するスケール２と、スケール２に光を出射する光源３１、スケール２と平行に配設され、スケール２にて反射される光を受光する受光素子３２、スケール２にて反射される光を受光素子３２に伝達するスケール側レンズ３３、及びスケール２にて反射される光を導光するスケール用プリズム３４を有するヘッド３とを備える。光源３１から出射される光の光軸Ｌｓｒｃは、目盛り２１の直交方向では、スケール側レンズ３３の光軸Ｌｓに対して傾斜している。スケール用プリズム３４は、目盛り２１の直交方向では、スケール２にて反射される光の光軸をスケール側レンズ３３の光軸Ｌｓと一致させる。 （もっと読む）

【課題】検出器に設けられたレンズアレイの線膨張係数が検出器の受光部とスケールのうちのいずれかと異なっても、動作温度範囲を拡大しつつ、スケールに対する検出器の位置を正確に求めることが可能となる。
【解決手段】第１レンズアレイ１１４、第２レンズアレイ１２２がスケール１０２と受光部１２４とは異なる線膨張係数α_ＬＡを備え、第１レンズアレイ１１４、第２レンズアレイ１２２の特定の一箇所Ｘｓｔで第１レンズアレイ１１４、第２レンズアレイ１２２と受光部１２４とが一体的に固定され、周期信号Ｆｉから求められる位相信号φｉはそれぞれ、異なる線膨張係数α_ＬＡに起因する位相ずれが解消されるように補正され、更に、補正された補正位相信号Ｃφｉを平均して平均位相信号φａｖが求められ、スケール１０２に対する検出器１１０の位置が求められる。 （もっと読む）

【課題】測定ヘッドが小型で、構造の簡単な位置決定デバイスを提供すること。
【解決手段】マーカー１１、１２を備える測定スケール１０と、測定スケール１０に対して移動可能な測定ヘッド２１を備え、測定ヘッド２１は、測定スケール１０の画像を生成するテレセントリック光学系３０と、この画像を捕獲し、測定ヘッド２１の位置決定を可能とする信号を提供するセンサ４０を備え、テレセントリック光学系３０は、光軸３４を含む第１のレンズ要素３３と、レンズ要素３３の測定スケール１０とは逆側に面する焦点Ｆ１に配置されるアパーチャ３５を含む。テレセントリック光学系３０は、レンズ要素３３と一体のブロック３１を備え、ブロック３１の表面３２の第１の領域３２．１がレンズ要素３３の表面を形成し、アパーチャは、表面３２の第２の領域３２．２に設けられ、光軸３４に対して鋭角で傾斜した第１のミラー表面３５として実現される。 （もっと読む）

【課題】受光部の感度が偏光方向に依存する場合であっても、物理量を高精度に検出できる光学式センサを提供する。
【解決手段】本発明に係る光学式センサ１０は、光源１１と、光源１１からの光を伝播する第１光ファイバ１２ａと、第１光ファイバ１２ａの端面からの距離が物理量に応じて変動し、第１光ファイバ１２ａの上記端面から出射された光を反射する反射板１４と、反射板１４が反射した光をそれぞれ伝播する第２光ファイバおよび第３光ファイバ１２ｂ、１２ｃと、第２光ファイバ１２ｂが伝播する光を受光して、受光した光を第１の電流信号に変換する第１受光部１５ａと、第３光ファイバ１２ｃが伝播する光を受光して、受光した光を第２の電流信号に変換する第２受光部１５ｂと、を備えており、第１〜第３光ファイバ１２ａ〜１２ｃは偏波保持ファイバで構成されている。 （もっと読む）

【課題】迷光が抑制され、低ノイズで高精度の位置検出を実現することができる光学式エンコーダ用スケールを得る。
【解決手段】基材１は、鏡面状の反射表面を有する。光吸収層２は、レーザ光の照射により、目盛りとして基材表面が露出するまでの開口領域を略周期的に設け、基材１の反射表面側に積層する。 （もっと読む）

【課題】ハンドリング及び作業性に優れる光電式エンコーダ及びそれを用いた真空装置を提供することである。
【解決手段】光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで形成された回折格子１１を有するスケール１０と、スケール１０に照射された光の反射光を伝搬する第１ファイバ２０を備える検出ヘッド３０と、第１ファイバ２０を伝搬した反射光を集光する第１レンズ６０，６２と、集光された反射光を受光し、電気信号に変換する受光素子５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成により位相格子を保護できるエンコーダ用スケール、及びエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】位相格子５１が形成された基板５０と、位相格子５１を保護する保護部６０と、位相格子５１の周囲のうち少なくとも一部に配置され、基板５０と保護部６０とを貼り合せる接着部５５と、を備えたエンコーダ用スケール１００である。 （もっと読む）

【課題】結像光学系を用いながら小型の検出器ユニットを可能とすると共に、検出器ユニットの受光面に到達する光量を増大させて高精度な位置測定を可能とする。
【解決手段】光学格子１１４が設けられたスケール１１０と、スケール１１０に対峙して測定軸方向Ｘに相対移動可能に配置される検出器ユニット１２０と、を有する光電式エンコーダ１００において、スケール１１０に対峙して光学格子１１４に光を照射する面発光光源である有機ＥＬ素子１２４と、光学格子１１４で変調された光を検出器ユニット１２０の受光面に結像させる両側テレセントリック光学系１３０と、を検出器ユニット１２０に備える。 （もっと読む）

【課題】樹脂封止されたエンコーダの迷光によるエンコーダ信号の劣化や外部への影響を低減することができる光学式エンコーダを提供すること。
【解決手段】相対的に移動する固定体と移動体のいずれか一方に取り付けられた検出ヘッドと、検出ヘッドに対向して、固定体と移動体の他方に取り付けられ、所定ピッチの光学パタンを有する第２格子７１が設けられたスケール７とを備えた光学式エンコーダであって、検出ヘッドは、スケール７に所定の光を照射するＬＥＤ２と、ＬＥＤ２からの光を透過する光透過部材３と、光検出素子が所定のピッチで複数形成された光検出部４とを有し、光透過部材３には、所定ピッチの光学パタンを有する第１格子３１と、ＬＥＤ２からスケール７の第２格子７１へ至る光を絞るための開口絞り３２と、が形成されており、ＬＥＤ２からの光を光透過部材３を介してスケール７に照射した後、スケール７の第２格子７１により反射または回折した光が光検出部４の光検出素子上に形成するイメージの動きを検出する。 （もっと読む）